2022年蚀刻线岗位操作指引规范.docx

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1、精选学习资料 - - - - - - - - - XXXXXX电子科技文件编号：版本 A：版次：生效日期：制 定审 核批 准日 期日 期日 期文件更换履历表修订版次更换性质、内容、摘要修订页次修订日期文件会签：拟案单位于内“ ” 以示回签部门总经理治理者代表市场部工程部制造部品保部物控部设备部治理部财务部选购部研发部此文件为江西华浩源电子科技之秘密文件,未经许可,不得复印；发行管制章名师归纳总结 - - - - - - -第 1 页,共 7 页精选学习资料 - - - - - - - - - XXXXXX电子科技制作单位：文件编号：蚀刻线岗位操作标准生效日期：版本号：总页数：第 1 页 共 6

2、 页1.0 目的：标准职工操作 ,提高职工的操作技能；2.0 适用范畴：本规程只适用本公司蚀刻工序的 D.E. S 线；3.1 显影段：撕聚酯膜 入板显影 1#/2#高压水洗 1#2#3#4#市水洗 1#冷风干 热风干 收板 自检3.2 蚀刻段：入板 蚀刻 1#2#3#高压水洗 5#6#7#市水洗 2#检查3.3 去膜段： 入板 去膜 1#2# 高压水洗 8#9#10#市水洗 3# 钝化 1#2#3#高压水洗 11#12#市水洗 4#冷风干 热风干 出板曝光能量与显影参数对比表类别曝光能量显影温度显影速度药水浓度备注线路5 级28PH值 10.4-11 30CO3 2- 8-15g/L 322

3、8线路6 级30CO3 2- 8-15g/L 3228名师归纳总结 线路7 级30*m/min CO3 2- 8-15g/L 不准生产第 2 页,共 7 页3228油墨7 级CO 2- 8-15g/L 只限于 BGA产品3032只限于 BGA产品油墨8 级28*m/min CO 2- 8-15g/L 30只限于 BGA产品32不准生产28油墨9 级30*m/min CO 2- 8-15g/L 只限于 BGA产品32不准生产28油墨10 级30*m/min CO 2- 8-15g/L 不准生产3228油墨11 级CO 2- 8-15g/L 带阻焊桥的产品3032油墨12 级3032CO 2- 8

4、-15g/L - - - - - - -精选学习资料 - - - - - - - - - 蚀刻线岗位操作标准制作单位：文件编号：生效日期：版本号：总页数：第 2 页 共 6 页名师归纳总结 缸名项目掌握范畴最正确值配槽量更换标 准分析频率第 3 页,共 7 页显 影 800L 碳酸钾8-15 g/l 10 g/l 8kg 每班或PH 值PH0.8-1.6 kg/cm21.2 kg/cm2上压力下压力1.0-1.8 kg/cm2 28-321.5 kg/cm2 30温 度2 次/班干 膜：1. 2 - 1.8 m / m i n 此参数仅供参考, 具 体的参数由首件来确 定,超出此范畴的为异 常

5、现象, 必需得到工程 师的确认方可生产；速 度感 光线 路 油 墨 ： 0. 6- 1.2 m / m i n阻 焊 油 墨 ： 0.6 - 1.2m / m i n1HZ 等于 0. 036 米 每分 钟 此公式 只限于 显 影 速度 调试压力水洗压 力0.8-1.2 kg/cm2 50-701.0kg/cm2 651 次 /班热风吹干温 度蚀刻 1200L铜离子120-150 g/L 130 g/L 1 次/班盐 酸1.5-2.5 N 2.0 N 1 次/班频率显 示1 次/班上压力1.2-2.0 kg/cm21.6 kg/cm2下压力1.4-2.0 kg/cm21.8 kg/cm2温 度

6、49-5452单面板： 0.5 OZ 1.9-2.5 m/min 2. 2 m/min 注：此参数只供做首 板参考 ,每批生产板 必需先做首板 ,待首 板 OK 后 ,再批量生 产,批量生产时必需 有专人检验板；单面板： 1.0 OZ 1.1-1.4 m/min 1.3 m/min 双面板： 0.5 OZ 1.3 m/min 1.0-1.3 m/min 1.2 m/min 0. 3 m / m i n蚀 刻1.0OZ已加厚0.6-0.9 m/min 0.8 m/min 注：速度运算公式：1hz 等于 0.036 米每分钟10-20um此工式只限于蚀刻脱0.5OZ已加厚0.9-1.2 m/min

7、 1.0 m/min 膜运算方法10-20um1200L 注：此参数只供做首板参考,每批生压力水洗压 力0.9-1.2 m/min 1.0 m/min 产板必需先做首板,待首板OK 后 ,再批量生产,量产时,每30pnl 测0.4-0.7 m/min 0.5 m/min 试 1 次；0.8-1.2 kg/cm21.0 kg/cm21 次/班去 膜氢氧化钠3-5% 4% 25k1次 /41 次 /班上压力0.8-1.4 kg/cm21.1 kg/cm2g 天下压力1.0-1.6 kg/cm21.3 kg/cm2 600+600 L 消泡剂0.05-0.2% 0.1% 1 次/班温 度50-605

8、5压力水洗速 度1.0-2.2 m/min 1.6 m/min 压 力1.0-1.4 kg/cm21.2 kg/cm2钝化H2SO41-3% 2% 60L 1次 /31 次 /班压 力1.0-1.4 kg/cm21.2 kg/cm2天压力水洗压 力1.0-1.4 kg/cm21.2 kg/cm21 次/班热风干温度75-100851 次/周棉 芯20/5-10um 20”/10um - - - - - - -蚀刻线岗位操作标准精选学习资料 文件编号：- - - - - - - - - 制作单位：生效日期：版本号：总页数：第 3 页 共 6 页5.1.1 检查药水槽,水洗槽液位是否正常,并使之正

9、常；5.1.2 检查各盖板是否盖好,没盖好必需盖好；5.1.3 检查各输送轮是否清洁,不清洁必需清洗洁净；5.1.4 检查烘干段加热系统是否正常,不正常使之修复；保养中 ,如在修理保养中必 需挂上标识牌 ,待修理 OK 后再开机；5.1.6 检查连接部位是否需加润滑油；5.1.7 检查急停开关是否复位；5.2.1 开启主电源 ,机器电源；5.2.2 轻触触摸屏 ,进入机器运行操作系统；5.2.3 查看各段的温度是否正常,不正常的使之正常 各段的温度都由工程师设定好 ,严禁随便更换 , 假设要更换 ,必需由工艺部专职工程师更换 ；5.2.4 开喷淋前领班或储干检查输送轮、 轴转动是否正常, 如有

10、跳动或不转等反常应做好记号,并通知设备组修理,待修理完毕后才能开机；5.2.5 显影开机：依次打开显影1#2#、摇摆 1#2#、水洗 1#2#3#4#、冷风 1#、热风 1#；5.2.6 蚀刻开机：轻触“ 下一页” 按扭依次打开蚀刻 1#2#3#、摇摆 1#2#3#、水洗 5#6#7#；5.2.7 脱膜开机：依次打开 脱膜 1#2#、滚筒 1#2#、吹膜 1#2#、水洗 8#9#10#、钝化 1#2#3#、水洗 11/12、冷风 2、热风 2、冷却风扇；5.2.8 三段喷淋开起后检查喷淋摇摆、喷淋喷嘴,无反常后再开传动；“ 传动速度” 按扭,进入速度设定界面,轻触设定栏,输入所需的速度值,轻触

11、“ 确定” 按 扭,确认速度；1#2#3#；“ 掌握” 按扭,进入界面,轻触传动5.2.11 手动打开显影、蚀刻、脱膜、钝化后面的市水洗1#2#3#4#,并调至适当的流量 400L/h；5.2.12 打开掌握柜的总电源开关； 里面全部的设定参数,除了本工序的工程师外,其他人不 准作任何修改设定；5.3.1 将已曝光好的板撕掉聚酯膜后按操作示意图片平稳地放在转轮上,板与板之间的间隔为 10cm 以上,放板宽度不得超过 530mm 5.3.2 假如铜厚 0.5OZ 以下的单面板必需带回形框或载板过机；5.3.3 每放完一批板后面要放上一张绿板或引导板作标记；5.3.4 显影后产品必需有专人自检,自

12、检合格后方可放入蚀刻机；5.3.5 蚀刻后必需抽检,掌握欠蚀刻的板进入脱膜段；5.3.6 显影、蚀刻、首件前,必需先核对首件上的产品型号、版本号与流转单上的是否一样,梳对无误后再进行生产； 开头生产批量前, 必需先核对产品型号、 版本号与流转单是否一样,领代班或负责人每1 小时抽查一次产品型号、版本号与流转单是否一样；名师归纳总结 - - - - - - -第 4 页,共 7 页蚀刻线岗位操作标准精选学习资料 文件编号：- - - - - - - - - 制作单位：生效日期：版本号：总页数：第 4 页 共 6 页5.4.1 戴棉手套或指套双手对角拿板 5.4.2 将生产板与绿胶片摆放整齐；,将

13、板平整的放绿板上,留意拿板位置尽量拿板边缘；5.4.3 连续生产时,一旦发觉出板不连续必需立刻查看蚀刻机是否在卡板；假如显现卡板,立 即按下红色的急停按扭, 由领班或储干轻轻取出所卡之板,如取出所卡之板需拿出输送轮、轴时,要由领班或储干拿出,并做好记号,按原位装回,不得调乱位置；5.5 关机 5.5.1 将各水洗槽的进水阀门关闭,最终关闭总水阀；5.5.2 按开机相反次序关机；6.1 添加物料时必需戴胶手套及防护眼罩、防酸围裙和水鞋 如图 1；6.2 机器卡板时必需立刻按下红色的急停按扭使机器停下后再开盖取板 如在药水缸处卡必需戴 好防护用具再开盖取板,取出后即刻将板清洗洁净 ；6.3 入料时

14、应尽量使板位于机器中间位置,以保证受喷洒位置最好；6.4 入料时板与板间距应在 10cm 以上 , 宽度应在 530mm 以内,防止显现卡板 特殊是单面板；6.5 铜厚 0.5OZ 以下的单面板必需带回形框或载板过机；烘烤 12min,然后再蚀刻；6.7 接板人员必需戴绵手套或指套作业 ,并将板放整齐；6.8 每批板批量生产前必需先做首板,首板张数等于菲林数 曝光、显影、 蚀刻时每批每次只蚀刻2PNL,待首板 OK 后,再量产；6.9 在每班生产前必需通知化验室分析药水及测量各药水缸温度；6.10 蚀刻线生产时显影必需自检,蚀刻后必需抽检；6.11 生产线药水添加时必需有领代班、主管或工程师在

15、场确认,防止意外大事发生；6.12 如发生药水泄漏、火灾等反常时,请按紧急应变措施方法 QCW091处理；6.13 显影换缸时,先加水到液位再加碳酸钾,保养时先加水开启循环后再加氢氧化钠并手动搅 拌,以免氢氧化钠结成块；7.1.1 每班对机身及机台清洁一次；7.1.2 每 2 小时检查各压力 ,温度液及喷嘴是否正常 ,并使之正常；7.1.3 每 2 小时检查显影 ,去膜段消泡是正常,每次补加消泡剂 7.1.4 每 2 小时用清水 DI 水清洗吸水棉辘一次；300ml 稀释成 1000ml 后加入；7.1.5 每班检查传送链条及输送轮转动 ,外表是否正常 ,是否需加润滑油；7.1.6 每班清洁蚀

16、刻药水箱过滤袋一次；7.1.7 每班清洁去膜的干膜渣一次；7.1.8 每三天更换显影段的水洗缸一次,换水时用碎布擦洗缸壁；7.1.9 每三天对蚀刻、去膜、钝化的水缸更换水洗一次；7.1.10 每三天对全线的棉芯及水泵过滤网清洁一次；7.1.11 每周全线的棉过滤芯更换一次；7.1.12 每周烘干段风机空气滤棉反吹清洁一次需设备组协作 ,如太脏需更换名师归纳总结 - - - - - - -第 5 页,共 7 页精选学习资料 - - - - - - - - - 蚀刻线岗位操作标准制作单位：文件编号：生效日期：版本号：总页数：第 5 页 共 6 页7.2.1 显影段保养半个月一次7.2.1.1 排掉

17、缸内的药水和水；7.2.1.2 用清水清洗缸壁,必需清除污物、沉淀及结晶体,清洗废水排入废水站综合废水 池净化排放处理；7.2.1.3 加水至液位,加 1 桶25kg氢氧化钠 NaOH,喷淋循环 1-2 小时后排掉；7.2.1.4 加清水,开启喷淋 30 分钟后排掉；7.2.1.5 加水至液位,加 2 桶硫酸,喷淋循环 1-2 小时后排掉；7.2.1.6 加水喷淋 30min 排掉,拆下喷嘴清洗,安装保证喷嘴成“ 一” 型调整摆架 全部废液和清洗废水排入废水站综合废水池净化排放处理7.2.1.8 加水至液位,加 8kgK 2CO3,循环升温；7.2.1.6 流程保养,但是氢氧化钠及硫酸都是用5

18、%,详细添加量由各缸的体积来打算,而无喷嘴段的滚轮要用高压水枪冲洗；7.2.1.10 风干段的滚轮要取出清洗 需设备组帮助, 取出时做好次序标记, 按原位装回；风刀用压缩空气进行清洁；7.2.1.11保养好后,要检查各滚轮运行是否正常,确保无误后方可进行生产；显影缸体上的油墨残渣,在用碱进行循环前先用洗网水擦洁净；7.2.2 蚀刻段保养每 2 个月一次7.2.2.1 将蚀刻液用桶装起来；7.2.2.2 用水清洗缸体内的杂质及沉淀后排掉,处理；清洗废水排入废水站综合废水池净化排放7.2.2.3 用 5%的氢氧化钠 NaOH循环 1-2 小时后排掉,再加清水循环 15 分钟后排掉,氢氧化钠清洗液和

19、清洗废水排入废水站综合废水池净化排放处理；7.2.2.4 用 5%的盐酸循环 30 分钟后排掉,再加清水循环 清洗废水排入废水站综合废水池净化排放处理；15 分钟后排掉,盐酸清洗液和7.2.2.5 拆下喷嘴清洗疏通,安装喷嘴调整为“ 一” 字型；7.2.2.6 将药水抽回缸里循环升温；7.2.2.7 对于水洗缸排掉原水后按 水枪冲洗洁净；7.2.2.2-7.2.2.5 进行保养,而喷洒不到的滚轮要用高压7.2.2.8 保养好后,要检查各滚轮运行是否正常,确保无误后方可进行生产；7.2.3 去膜段保养 1 个月一次7.2.3.1 排掉原液,加清水循环 20 分钟排掉,；7.2.3.2 去膜缸及其

20、水洗缸：用 排掉；5%的硫酸循环 1-2 小时后排掉,再加清水循环半小时后7.2.3.3 钝化缸及其水洗缸：用5%的氢氧化钠 NaOH循环 1-2 小时后排掉,再用5%的硫酸循环半小时后排掉；7.2.3.5 风干段的滚轮要取出清洗需设备组帮助,取出时做好次序标记,按原位装回7.2.3.6 保养好后,要检查各传送轮运行是否正常,有无不转或跳动,确保无误后方可进行生产；名师归纳总结 - - - - - - -第 6 页,共 7 页精选学习资料 - - - - - - - - - 蚀刻线岗位操作标准制作单位：工艺部文件编号：生效日期：版本号：总页数：第 6 页 共 6 页显影不净1.温度过低；2.速

21、度过快；1.检查加热管是否正常,提高温度；3.喷嘴堵塞；4.预烘时间过长；2.调慢速度；3.清洗喷嘴；5.药液浓度过低；6.曝光能量过高；4.削减预烘时间；5. 分析调整或换缸；显影过度7.压力过低；8.油墨过厚；6.降低曝光能量；7.调整压力；9.菲林擦花或粘有油墨；8.减慢显影速度；9.检查菲林；1.温度过高；2.速度太慢；1.调整温度；2.调快速度；3.药水浓度偏高；4.压力过大；3.加水调整浓度；4.减小压力；5. 预烘时间短；6.曝光能量低；5.加长预烘时间；6.增加曝光能量；欠蚀刻7.油墨太薄；7.加快显影速度；1. 温度过低；2. 蚀刻速度过快；1. 调整温度；2. 调慢速度；3

22、. 药液浓度过低；4. 喷嘴堵塞；3.按药水最正确值添加；4.清洗疏通喷5. 压力过低；6.板面有铜粒 /胶；嘴；过蚀刻7.显影不净；8.铜后度不均；5. 调整压力；6.贴膜前处理铜面；7.调整显影参数；8.镀铜掌握其厚度；1. 温度过高；2.蚀刻速度过慢；1.调整温度；2. 调快速度；3.药水浓度偏高；4.压力过大；3.掌握药水的浓度；4.减小压力；去膜不洁净1. 温度过低；2.去膜速度过快；1. 调整温度；2. 调快速度；3.药水浓度过低；3.分析,补加氢氧化钠；9.1 每班将机身用抹布擦洁净；9.2 将全部物料及引导板 /引导板按相应标识处摆放整齐；9.3 地面要常常打扫,保证无积水；9.4 每班下班前把垃圾分类处理；10.1 蚀刻线生产及加药记录表；10.2 蚀刻线自检表；10.3 设备日常保护保养记录；名师归纳总结 - - - - - - -第 7 页,共 7 页