第二章光电检测ppt课件.ppt
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1、第二章第二章 光电检测器件工作原理及特性光电检测器件工作原理及特性第二章第二章 光电检测器件工作原理及特性光电检测器件工作原理及特性 半导体物理基础半导体物理基础 光电检测器件的物理基础光电检测器件的物理基础 光电检测器件的特性参数光电检测器件的特性参数一、半导体的特性一、半导体的特性半导体的半导体的导电能力导电能力在不同的条件在不同的条件下有下有显著的差异。显著的差异。 2-1 2-1 半导体物理基础半导体物理基础物质按导电能力可分为:物质按导电能力可分为:导体,绝缘体,半导体导体,绝缘体,半导体。变电站电气主接线是指变电站的变压器、输电线路怎样与电力系统相连接,从而完成输配电任务。变电站的
2、主接线是电力系统接线组成中一个重要组成部分41、温度升高,导电能力增强,电阻率下降;温度升高,导电能力增强,电阻率下降; 如室温附近的纯硅如室温附近的纯硅(Si),温度每增加,温度每增加8,电阻率相应地降低,电阻率相应地降低50%左右;左右;2 2、微量杂质含量,可以显著改变导电能力;、微量杂质含量,可以显著改变导电能力; 以纯硅中每以纯硅中每100万个硅原子掺进一个万个硅原子掺进一个族杂质;电阻率在室温下却由大约族杂质;电阻率在室温下却由大约0.214 Mcm降至降至0.2 cm以下以下 (降低降低6个数量级);个数量级);3 3、光照可以改变导电能力;、光照可以改变导电能力; 如在绝缘衬底
3、上制备的硫化镉如在绝缘衬底上制备的硫化镉(CdS)薄膜,无光照时的暗电阻为几十薄膜,无光照时的暗电阻为几十M,当受光照后电阻值可以下降为几十当受光照后电阻值可以下降为几十K;4 4、电场、磁场等影响半导体的导电能力。、电场、磁场等影响半导体的导电能力。半导体的特性半导体的特性半导体物理基础半导体物理基础人们就是利用人们就是利用半导体的热敏半导体的热敏、光敏特性光敏特性制作成半导体制作成半导体热敏元件和光热敏元件和光敏元件敏元件,利用半导体的掺杂特性制造了种类繁多,不同用途的半导,利用半导体的掺杂特性制造了种类繁多,不同用途的半导体器件,如半导体二极管、晶体二极管、场效应管等。体器件,如半导体二
4、极管、晶体二极管、场效应管等。变电站电气主接线是指变电站的变压器、输电线路怎样与电力系统相连接,从而完成输配电任务。变电站的主接线是电力系统接线组成中一个重要组成部分5常见的半导体材料p 元素半导体: 硅、锗、硒 p 化合物半导体:砷化镓(GaAs)、铝砷化镓(Ga1-xAlxAs)、锑化銦 (InSb)、硫化镉(CdS)和硫化铅(PbS)等,p 固熔体半导体:氧化亚铜p 有机半导体:砷化镓磷化镓p 玻璃半导体p 稀土半导体 半导体物理基础半导体物理基础变电站电气主接线是指变电站的变压器、输电线路怎样与电力系统相连接,从而完成输配电任务。变电站的主接线是电力系统接线组成中一个重要组成部分61.
5、原子中电子的能级原子是由一个带正电的原子核与一些带负电的电子所组成。电子环绕原子核在各自的轨道上不停的运动。二、能带理论二、能带理论根据量子论,电子运动有下面三个重要特点: (1) 电子绕核运动,具有完全确定的能量,这种稳定的运动状态陈为量子态。每一量子态所取的确定能量称为能级。(2) 由于微观粒子具有粒子与波动的两重性,因此,严格说原子中的电子没有完全确定的轨道。轨道代表电子出现几率最大的一部分区域。(3) 在一个原子或原子组成的系统中,不能有两个电子同属于一个量子态,即在每一个能级中,最多只能容纳两个自旋方向相反的电子,这就是泡利不相容原理。电子首先填满低能级,而后依次向上填,直到所有电子
6、填完为止。半导体物理基础半导体物理基础变电站电气主接线是指变电站的变压器、输电线路怎样与电力系统相连接,从而完成输配电任务。变电站的主接线是电力系统接线组成中一个重要组成部分72.晶体中电子的能带n 电子共有化 结合成晶体的原子之间的距离很近,这使不同原子间的电子轨道(量子态)将发生不同程度的交迭。轨道的交迭使电子可从一个原子转移到另一个原子上去,在整个晶体中运动,成为整个晶体所共有的现象。n 能带 N个原子排列起来结合成晶体,原来分属于N个单个原子的相同能级对应分裂或属于整个晶体的N个能量稍有差别的能级。这些能级互相靠得很近,分布在一定的能量区域。能量区域中这些密集的能级被称为能带,能带内的
7、能级可看成是连续的。 半导体物理基础半导体物理基础变电站电气主接线是指变电站的变压器、输电线路怎样与电力系统相连接,从而完成输配电任务。变电站的主接线是电力系统接线组成中一个重要组成部分8N个原子结合成晶体前后的能级状态变化半导体物理基础半导体物理基础变电站电气主接线是指变电站的变压器、输电线路怎样与电力系统相连接,从而完成输配电任务。变电站的主接线是电力系统接线组成中一个重要组成部分93.半导体的导电结构半导体的导电结构当一块半导体的两端加上电压之后,价电子在无规则热运动的当一块半导体的两端加上电压之后,价电子在无规则热运动的基础上叠加了电场引起的定向运动,形成了电流,并且运动状基础上叠加了
8、电场引起的定向运动,形成了电流,并且运动状态发生了变化。因而起运动能量必然与原来热运动时有所不同。态发生了变化。因而起运动能量必然与原来热运动时有所不同。在晶体中,根据泡利不相容原理,每个能级上最多能容纳两个在晶体中,根据泡利不相容原理,每个能级上最多能容纳两个电子,因此,要改变晶体中电子的运动状态,必需满足两个条电子,因此,要改变晶体中电子的运动状态,必需满足两个条件:件:1)具有能向电子提供能量的外部作用;)具有能向电子提供能量的外部作用;2)电子要跃入的那个能级是空的)电子要跃入的那个能级是空的半导体物理基础半导体物理基础变电站电气主接线是指变电站的变压器、输电线路怎样与电力系统相连接,
9、从而完成输配电任务。变电站的主接线是电力系统接线组成中一个重要组成部分10半导体导电条件:在有外加电压条件下,电子能否导电,必须考虑电子填充能带的情况。满带中的电子不导电,不满的能带中的电子才可以导电绝对温度为零时,纯净半导体的价带被价电子填满,导带是空的 不导电半导体物理基础半导体物理基础变电站电气主接线是指变电站的变压器、输电线路怎样与电力系统相连接,从而完成输配电任务。变电站的主接线是电力系统接线组成中一个重要组成部分11满带满带:各个能级都被电子填满的能带禁带禁带:两个能带之间的区域(其宽度直接决定导电性)空带空带:所有能级都没有电子填充的能带 价带价带:由最外层价电子能级分裂后形成的
10、能带 未被电子占满的能带称为导带禁带的宽度称为带隙能带的分类能带的分类半导体物理基础半导体物理基础变电站电气主接线是指变电站的变压器、输电线路怎样与电力系统相连接,从而完成输配电任务。变电站的主接线是电力系统接线组成中一个重要组成部分12导体、绝缘体和半导体导体、绝缘体和半导体导体:导体:( (导导) )价带电子价带电子绝缘体:绝缘体:无价带电子无价带电子禁带太宽禁带太宽半导体半导体:价带充满电子价带充满电子禁带较窄禁带较窄外界能量激励外界能量激励满带电子激励满带电子激励成为导带电子成为导带电子满带留下空穴满带留下空穴半导体物理基础半导体物理基础变电站电气主接线是指变电站的变压器、输电线路怎样
11、与电力系统相连接,从而完成输配电任务。变电站的主接线是电力系统接线组成中一个重要组成部分13硅的晶格结构硅的晶格结构 ( (平面图平面图) )1 1、本征半导体材料、本征半导体材料 SiSi电子和空穴是成对出现的Si电子受到激励跃迁到导带,电子受到激励跃迁到导带,导致电子和空穴成对出现导致电子和空穴成对出现E此时外加电场,发生电子此时外加电场,发生电子/空穴空穴移动导电。移动导电。载流子:在电子技术中把参与在电子技术中把参与导电的物质称为载流子。导电的物质称为载流子。本征半导体有两种载流子:本征半导体有两种载流子:自由电子,空穴。自由电子,空穴。半导体物理基础半导体物理基础变电站电气主接线是指
12、变电站的变压器、输电线路怎样与电力系统相连接,从而完成输配电任务。变电站的主接线是电力系统接线组成中一个重要组成部分14导带 EC价带 EV电子跃迁带隙 Eg = 1.1 eV电子态数量空穴态数量电子浓度分布空穴浓度分布空穴电子本征半导体的能带图电子向导带跃迁电子向导带跃迁空穴向价带反向跃迁空穴向价带反向跃迁半导体物理基础半导体物理基础变电站电气主接线是指变电站的变压器、输电线路怎样与电力系统相连接,从而完成输配电任务。变电站的主接线是电力系统接线组成中一个重要组成部分15As+4As+52 2、非本征半导体材料:、非本征半导体材料:n n型型掺入第掺入第V族元素族元素(如磷如磷P, 砷砷As
13、, 锑锑Sb)后,某些电子受到很弱的束后,某些电子受到很弱的束缚,只要很少的能量缚,只要很少的能量D DED (0.040.05eV)就能让它成为自由电子。就能让它成为自由电子。这个电离过程称为杂质电离。这个电离过程称为杂质电离。施主杂质半导体物理基础半导体物理基础变电站电气主接线是指变电站的变压器、输电线路怎样与电力系统相连接,从而完成输配电任务。变电站的主接线是电力系统接线组成中一个重要组成部分16施主能级施主能级被施主杂质束缚住的多余电子所处的能级称为被施主杂质束缚住的多余电子所处的能级称为施主能级施主能级施主能级位于离导带很近的禁带施主能级位于离导带很近的禁带施主能级上的电子吸收少量的
14、能量施主能级上的电子吸收少量的能量D DED后可以跃迁到导带后可以跃迁到导带施主能级电子能量电子浓度分布空穴浓度分布施主杂质电离使导带 电子浓度增加 半导体物理基础半导体物理基础变电站电气主接线是指变电站的变压器、输电线路怎样与电力系统相连接,从而完成输配电任务。变电站的主接线是电力系统接线组成中一个重要组成部分173 3、非本征半导体材料:、非本征半导体材料:p p型型掺入第掺入第III族元素族元素(如铟如铟In,镓镓Ga,铝铝Al),晶体只需要很少的能量,晶体只需要很少的能量D DEA Eg 就可以产生自由空穴就可以产生自由空穴B受主杂质变电站电气主接线是指变电站的变压器、输电线路怎样与电
15、力系统相连接,从而完成输配电任务。变电站的主接线是电力系统接线组成中一个重要组成部分18受主能级受主能级被受主杂质束缚的空穴所处的能级称为被受主杂质束缚的空穴所处的能级称为受主能级受主能级受主能级位于靠近价带受主能级位于靠近价带EV的禁带中的禁带中空穴获得较小的能量空穴获得较小的能量D DEA后就能反向跃迁到价带成为导电空穴后就能反向跃迁到价带成为导电空穴电子浓度分布电子浓度分布空穴浓度分布空穴浓度分布受主能级电离使导带受主能级电离使导带 空穴浓度增加空穴浓度增加 电子能量电子能量变电站电气主接线是指变电站的变压器、输电线路怎样与电力系统相连接,从而完成输配电任务。变电站的主接线是电力系统接线
16、组成中一个重要组成部分19平衡和非平衡载流子平衡和非平衡载流子处于热平衡状态的半导体,在一定温度下,载流子浓度处于热平衡状态的半导体,在一定温度下,载流子浓度一定。这种处于热平衡状态下的载流子浓度,称为一定。这种处于热平衡状态下的载流子浓度,称为平衡载平衡载流子流子浓度。浓度。处于非平衡状态的半导体,其载流子浓度也不再是平衡处于非平衡状态的半导体,其载流子浓度也不再是平衡载流子浓度,比它们多出一部分。比平衡状态多出来的这载流子浓度,比它们多出一部分。比平衡状态多出来的这部分载流子称为部分载流子称为非平衡载流子非平衡载流子。 载流子:载流子:在电子技术中把参与导电的物质称为载流子在电子技术中把参
17、与导电的物质称为载流子。因为本征半导体内部参与导电的物质有自由电子和空穴,因为本征半导体内部参与导电的物质有自由电子和空穴,所以本征半导体中有两种载流子,一种是带负电的自由电所以本征半导体中有两种载流子,一种是带负电的自由电子,另一种是带正电的空穴。子,另一种是带正电的空穴。半导体对光的吸收半导体对光的吸收变电站电气主接线是指变电站的变压器、输电线路怎样与电力系统相连接,从而完成输配电任务。变电站的主接线是电力系统接线组成中一个重要组成部分20非平衡载流子的产生非平衡载流子的产生 光注入光注入:用光照使得半导体内部产生非平衡载流子。用光照使得半导体内部产生非平衡载流子。当光子的能量大于半导体的
18、禁带宽度时,光子就能把价当光子的能量大于半导体的禁带宽度时,光子就能把价带电子激发到导带上去,产生电子空穴对,使导带比带电子激发到导带上去,产生电子空穴对,使导带比平衡时多出一部分电子,价带比平衡时多出一部分空穴。平衡时多出一部分电子,价带比平衡时多出一部分空穴。产生的非平衡电子浓度等于价带非平衡空穴浓度。光注产生的非平衡电子浓度等于价带非平衡空穴浓度。光注入产生非平衡载流子,导致半导体电导率增加。入产生非平衡载流子,导致半导体电导率增加。 其它方法其它方法:电注入、高能粒子辐照等。电注入、高能粒子辐照等。半导体对光的吸收半导体对光的吸收变电站电气主接线是指变电站的变压器、输电线路怎样与电力系
19、统相连接,从而完成输配电任务。变电站的主接线是电力系统接线组成中一个重要组成部分21四、载流子的运动四、载流子的运动扩散运动扩散运动:把载流子由热运动造成的从高浓:把载流子由热运动造成的从高浓度处向低浓度处的前一运动成为扩散。度处向低浓度处的前一运动成为扩散。漂移运动:漂移运动:载流子在电场的加速作用下,除载流子在电场的加速作用下,除热运动之外获得的附加运动称为漂移运动。热运动之外获得的附加运动称为漂移运动。载流子的载流子的运动形式运动形式平衡载流子平衡载流子:处于热平衡状态下的载流子。处于热平衡状态下的载流子。 非平衡载流子非平衡载流子:半导体处于非平衡状态时,比平衡状态多出来的载流子。半导
20、体处于非平衡状态时,比平衡状态多出来的载流子。考虑扩散运动考虑扩散运动:1)、对于杂质分布不均匀的半导体;)、对于杂质分布不均匀的半导体; 2)、处于非平衡状态的半导体,需要考虑扩散运动。)、处于非平衡状态的半导体,需要考虑扩散运动。不考虑扩散运动不考虑扩散运动:对于处于平衡状态的杂质均匀分布的半导体;:对于处于平衡状态的杂质均匀分布的半导体;变电站电气主接线是指变电站的变压器、输电线路怎样与电力系统相连接,从而完成输配电任务。变电站的主接线是电力系统接线组成中一个重要组成部分22变电站电气主接线是指变电站的变压器、输电线路怎样与电力系统相连接,从而完成输配电任务。变电站的主接线是电力系统接线
21、组成中一个重要组成部分n 非平衡载流子非平衡载流子例:例:n型半导体硅,掺杂浓度型半导体硅,掺杂浓度注:注:(1)在光照等小注入的情况下,非平衡少数载流子浓)在光照等小注入的情况下,非平衡少数载流子浓度度可以比平衡少数载流子浓度大得多可以比平衡少数载流子浓度大得多(2)非平衡少数载流子起重要作用非平衡少数载流子起重要作用,非平衡载流子都,非平衡载流子都指非平衡少数载流子指非平衡少数载流子假定假定 变电站电气主接线是指变电站的变压器、输电线路怎样与电力系统相连接,从而完成输配电任务。变电站的主接线是电力系统接线组成中一个重要组成部分24物体受光照射,一部分光被物体反射,一部分光被物体吸收,物体受
22、光照射,一部分光被物体反射,一部分光被物体吸收,其余的光透过物体。其余的光透过物体。半导体对半导体对光的吸收光的吸收本征吸收本征吸收非本征吸收非本征吸收半导体对光的吸收半导体对光的吸收四、半导体对光的吸收四、半导体对光的吸收变电站电气主接线是指变电站的变压器、输电线路怎样与电力系统相连接,从而完成输配电任务。变电站的主接线是电力系统接线组成中一个重要组成部分25本征吸收本征吸收:光子能量足够大,价带中的电子能激发到导带。光子能量足够大,价带中的电子能激发到导带。 特点:特点:产生电子空穴对产生电子空穴对条件:条件:ghvE本征半导体本征半导体和和杂质半导体杂质半导体内部,都有可能发生内部,都有
23、可能发生本征吸收本征吸收!半导体对光的吸收半导体对光的吸收变电站电气主接线是指变电站的变压器、输电线路怎样与电力系统相连接,从而完成输配电任务。变电站的主接线是电力系统接线组成中一个重要组成部分26非本征吸收非本征吸收:光子能量不足以使价带中的电子激发到导带:光子能量不足以使价带中的电子激发到导带 ,包括杂质吸收、自由载流子吸收、激子吸收、晶格包括杂质吸收、自由载流子吸收、激子吸收、晶格.杂质吸收杂质吸收:N N型半导体型半导体施主束缚电子施主束缚电子导带导带P P型半导体型半导体受主束缚空穴受主束缚空穴价带价带 自由载流子吸收自由载流子吸收:由同一能带内不同能级之间的跃迁引起由同一能带内不同
24、能级之间的跃迁引起的。载流子浓度很大时,导带中的电子和价带中的空穴的。载流子浓度很大时,导带中的电子和价带中的空穴产生带内能级间跃迁而出现的非选择性吸收产生带内能级间跃迁而出现的非选择性吸收.激子吸收激子吸收:价带中的电子吸收小于禁带宽度的光子能量也能离开价带,价带中的电子吸收小于禁带宽度的光子能量也能离开价带,但因能量不够还不能跃迁到导带成为自由电子。这时,电子实际还与空穴保但因能量不够还不能跃迁到导带成为自由电子。这时,电子实际还与空穴保持着库仑力的相互作用,形成一个电中性系统。持着库仑力的相互作用,形成一个电中性系统。晶格吸收晶格吸收: 所吸收辐射的能量转变为晶格原子的振动能量所吸收辐射
25、的能量转变为晶格原子的振动能量.这两种吸收对光电导没有贡献,甚至会这两种吸收对光电导没有贡献,甚至会降低光电转换效率降低光电转换效率本征吸收和杂质吸收能够产生本征吸收和杂质吸收能够产生非平衡载流子。非平衡载流子。半导体对光的吸收半导体对光的吸收变电站电气主接线是指变电站的变压器、输电线路怎样与电力系统相连接,从而完成输配电任务。变电站的主接线是电力系统接线组成中一个重要组成部分27五、五、PN结结将将P P型和型和N N型半导体采用特型半导体采用特殊工艺制造成半导体。半殊工艺制造成半导体。半导体内有一物理界面,界导体内有一物理界面,界面附近形成一个极薄的特面附近形成一个极薄的特殊区域,称为殊区
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