2022年防静电管控程序 .pdf

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1、文件制定修改作废连络单文件名防静电管控程序文件编号KDSC-Q-018(1)第 1 版部门别管理者代表文控中心生产部工程技术部质量部采购部企划部销售部厂务部作成部门确认作成审核作 成鞠 德 香会 签分 发变更原因新作成是否属重大变更？是否工程变更（ ECN ）编号如是重大变更是否有可靠性评估报告并附在本文件后？有无可靠性评估报告编号会签确认部 门管理者代表文控中心生产部工程技术部质量部采购部销售部企划部会签者意见栏部 门厂务部会签者意见栏批准注: 指作成 ; 指会签； 指纸本分发； 指电子档分发表单编号： KDSC-QR-Q-001A名师资料总结 - - -精品资料欢迎下载 - - - - -

2、 - - - - - - - - - - - - - 名师精心整理 - - - - - - - 第 1 页，共 12 页 - - - - - - - - - 表单编号： KDSC-QR-Q-001A文 件 修 改 履 历 表文件名称：防静电管控程序文件编号： KDSC-Q-018(1) 版本号： 1 修改时间修改内容修改页数版本号修改人生效时间2010.12.09 初版12 1 鞠德香201012.15 名师资料总结 - - -精品资料欢迎下载 - - - - - - - - - - - - - - - - - - 名师精心整理 - - - - - - - 第 2 页，共 12 页 - - -

3、 - - - - - - 盖有红色“文控中心发行专用章”章的文件为受控版本，其余版本不受控。防静电管控程序文件编号 : KDSC-Q-018(1) 版 本 号 : 1 页数 : 3/12 目录1. 目的2. 范围3. 定义（含缩写）4. 职责5. 程序内容6. 安全7. 引用文件8. 记录保存9. 流程图10. 附件名师资料总结 - - -精品资料欢迎下载 - - - - - - - - - - - - - - - - - - 名师精心整理 - - - - - - - 第 3 页，共 12 页 - - - - - - - - - 盖有红色“文控中心发行专用章”章的文件为受控版本，其余版本不受控

4、。防静电管控程序文件编号 : KDSC-Q-018(1) 版 本 号 : 1 页数 : 4/12 1. 目的建立此程序保护科达半导体有限公司生产产品免遭ESD 的破坏2. 范围2.1 适用于科达半导体有限公司所有的工序( 所有引脚被短路在一起的工序除外) ， 员工，需接触产品的来访者，产品和设备。3. 定义（含缩写）3.1 静电放电具有不同静电势的物体之间的静电荷的迅速转移3.2 静电放电敏感器件易在操作，测试或运输过程中由于电场或静电放电而受损的分立器件，集成电路或电子元器件。3.3 导电材料导电材料的表面电阻: R 105ohm/square 3.4 静电消散材料静电消散材料的表面电阻:

5、105 R1012ohm/square 3.5 防静电材料防静电材料 : 一种在与各种材料分离时都能阻止摩擦电产生及最小静电产生的材料。防静电材料产生的静电场应小于 +/-100V 。3.6 绝缘材料绝缘材料的表面电阻: R 1012ohm/square 3.7 离子风机一种向空气释放离子为手段。正离子被吸附到负离子表面而负离子被吸附到正离子表面从而达到中和电荷之效果4. 职责4.1质量部管理职责4.1.1 发展 ESD防护管理和制备适当的测试模式4.1.2编写并更新 ESD培训教材和控制规范4.1.3依据 ESD控制要求，指导并培训ESD负责人名师资料总结 - - -精品资料欢迎下载 - -

6、 - - - - - - - - - - - - - - - - 名师精心整理 - - - - - - - 第 4 页，共 12 页 - - - - - - - - - 盖有红色“文控中心发行专用章”章的文件为受控版本，其余版本不受控。防静电管控程序文件编号 : KDSC-Q-018(1) 版 本 号 : 1 页数 : 5/12 4.1.4 每天监控检查是否所有操作工在操作前用腕带测试仪测试自己的鞋子。4.1.5监控所有操作工在操作前用腕带测试仪测试自己的鞋子。4.2.3 执行对员工的ESD 培训。4.2 工程技术部职责4.2.1 执行并维护 ESD控制4.2.2批准新生产设备的ESD防护状况

7、4.3 领班职责4.3.1 领班负责对本规范的执行，记录及保存。4.3.2 需要 ESD控制的各个区域的领班最终负责正确的ESD防护用品的使用和坚决执行ESD的需求和程序。4.3.4如发现设备上的ESD器件发生问题或需修理时领班应通知工程技术部。4.3.5 4在工作台被移动过前领班应通知工程技术部以便作移动后的接地保护。4.3.6一旦发现失效的材料和设备，领班应该更换。4.4 维修工程师4.4.1按生产领班要求维修ESD工作。4.4.2 对ESD工作站、机器及工作架等进行日常检查和根据文件要求做预防维护。4.4.3 按QA 和生产部的要求采取纠正措施。4.5 QA职责4.5.1 对组装和测试区

8、域的不符合项提出整改要求4.5.2 批准并持续批准材料和设备的ESD控制项目4.6 员工职责4.6.1 所有员工在工作区域必须遵守并执行ESD防护。4.6.2无论何时员工发现有与ESD规范不符，应停止工作并告知其主管。4.6.3 所有人员在切筋、测试、FVI、EVI/ 包装、后道质检区，都需做腕带测试。Process Wrist Strap Shoe/Booty圆片接收X 圆片检验X 贴片X 划片X 二光检验X 装片X 键合X 三光检验X *塑封X *塑封后固化X 名师资料总结 - - -精品资料欢迎下载 - - - - - - - - - - - - - - - - - - 名师精心整理 -

9、 - - - - - - 第 5 页，共 12 页 - - - - - - - - - 盖有红色“文控中心发行专用章”章的文件为受控版本，其余版本不受控。防静电管控程序文件编号 : KDSC-Q-018(1) 版 本 号 : 1 页数 : 6/12 *电镀X 打印X 切筋 /打弯外观检验 /包装4.7.4 所有涉及人员在ESD测试通过并在记录纸上记录后方可进入ESD控制区域。测试频率: 翻班人员每班一次, 或常白班人员每天一次. 4.7来访人员职责进入 ESD防护区域的来访人员须穿着ESD鞋并通过 ESD测试并记录 , 或接受指令站立距ESD敏感器件至少 12英寸远的地方5. 程序内容：5.1

10、 ESD 防护要求5.1.1 个人的接地5.1.1.1 在静电保护区域和工作站接触器件的人员须戴上腕带或穿上防静电鞋。接地腕带应与工作台或机器连接。全体人员的腕带或鞋物应每天每班被测量并记录在静电检查记录表。5.1.1.2. 当操作工坐着操作设备的时候，必须在需要的区域带好腕带。5.1.1.3所有的人必须穿好通过检查的防静电鞋或带上手腕才能进入放置产品的地方。5.1.2 手腕带，防静电鞋5.1.2.1所有的员工在操作半导体产品的时候必须带好手腕带。只有在移动产品或不可能带手腕带的地方可除外。5.1.2.2如果腕带或防静电鞋不合格，操作工或其他人员必须经质量部确认，必要时更换新的。5.1.2.3

11、 腕带的测量电阻应该在0.75 M ohms 到10M ohms之间。5.1.2.4 操作工穿上防静电鞋之后，人体和导电( 或消散 ) 地板间应 0.75 M ohms 到100 M ohms 之间5.1.3防护服5.1.3.1 所有的员工必须穿ESD防护服和防护帽。5.1.3.2 ESD防护服必须有传导的条线，不应产生超过+/-100 伏的静电电压。5.1.3.3ESD 防护服必须每月定期测量，并保持记录。5.1.4防护工作台表面5.1.4.1有可能与单独器件直接接触的非抗静电工作台表面须铺有静电吸收垫。该垫子应与接地工作台连接，必须用螺钉固定在工作台上，且用导线连通。5.1.4.2工作台面

12、的静电消散阻抗应该在105109ohms 5.1.4.3 每个 ESD工作台必须连接到ESD接地点。从静电消散的工作表面到接地点应该是105109ohms 5.1.4.4 静电消散工作台表面应该被每月度定期地测量并保留记录。名师资料总结 - - -精品资料欢迎下载 - - - - - - - - - - - - - - - - - - 名师精心整理 - - - - - - - 第 6 页，共 12 页 - - - - - - - - - 盖有红色“文控中心发行专用章”章的文件为受控版本，其余版本不受控。防静电管控程序文件编号 : KDSC-Q-018(1) 版 本 号 : 1 页数 : 7/1

13、2 5.1.4.5 在使用静电消散桌不实际的特殊应用的地方，不锈钢桌子可以被使用。5.1.4.6各种工作台必须被识别和控制，应有辨认的号码。5.1.5 工作椅5.1.5.1 生产线上工作椅的表面电阻应在105ohms到109ohms之间， 椅面到消散地板的电阻应在105ohms到109ohms之间。5.1.6 传导的或消散地板5.1.6.1 传导的或消散地板的表面电阻应该在105到109 ohms 之间. 5.1.6.2传导的或消散地板应连接到大地且表面。传导地板到地的电阻应在105到109 ohms 之间5.1.6.3 地板应该被定期地清洁，测量，并保持记录。5.1.7架子和氮气柜5.1.7

14、.1 架子和氮气柜不必接地,但支架必须是导电材料,并且所有 ESDS器件必须在 ESD保护包装中 . 5.1.7.2 架子和氮气柜的工作表面到静电消散地板表面的电阻应在105到109 ohms 之间5.1.7.3架子和氮气柜需要定期检查和记录. 5.1.8有源设备接地5.1.8.1 在 ESD安全工作站的所有的有电源的设备应该被接地通接地插座。注：设备接地是指插座里被测试和达到地方要求的地线（绿线）。5.1.8.2所有的有电源的设备应该接地从设备机身( 底盘 ) 到地线，防止电冲击。5.1.8.3所有有电源的设备应该用绝缘材料从工作台和地板隔离开。5.1.9无源设备接地5.1.9.1所有的无电

15、源的设备应该接地从设备机身( 底盘 ) 到地线。5.1.10 接地连接固定连接装置类似于金属夹, 吸合器及香蕉插头应被连接于指定接地点. 线的结合应缠绕或焊接. 鳄鱼夹是不被推荐使用的. 5.2材料的批准5.2.1质量部提供 ESD材料的测试报告给采购部，采购部根据测试报告保持一个被批准的ESD材料供应商清单。5.2.2 使用新的防静电材料需要通过IQA 来料检查。5.2.3 在工作站的材料不应该产生超过+/-100伏的摩擦电荷 ,表面电阻在 1051012 ohms/sq。5.2.4 其他材料包括 : 5.2.4.1 料盘用于放置静电敏感器件的盘子应该有1051012的表面电阻。摩擦电荷不超

16、过+/-100 伏。名师资料总结 - - -精品资料欢迎下载 - - - - - - - - - - - - - - - - - - 名师精心整理 - - - - - - - 第 7 页，共 12 页 - - - - - - - - - 盖有红色“文控中心发行专用章”章的文件为受控版本，其余版本不受控。防静电管控程序文件编号 : KDSC-Q-018(1) 版 本 号 : 1 页数 : 8/12 5.2.4.2防静电料管用于放置静电敏感器件的条管应该是防静电的或传导的材料。该1051012的表面电阻。擦电荷不超过+/-100 伏。5.2.4.3防静电袋所有的纸 (随件单 )等应被放在防静电的或

17、静电消散的袋子里。不允许纸和静电敏感器件直接接触。该有1051012的表面电阻。摩擦电荷不超过+/-100 伏。5.2.4.4手套和手指套只有防静电的或传导的手套和手指套可以被使用在工作区。该有1051012的表面电阻，擦电荷不超过+/-100 伏。5.2.5静电电压的控制水平所有生产工序中产生的静电电压应该在+/- 100 伏以内。5.2.6保护区5 .2.6.1如果 ESD警告标签损坏了，发现者应该通知部门主管，由对应部门进行修复。5.2.6.2如果要建立新的生产线，由生产部把ESD警示标签贴上去。5.2.6.3所有 ESD和非ESD区域应该用不同的警示牌加以区分。5.3将静电充电减至最小

18、的方法5.3.1电荷积累的预防/ 中和方法包括， 抗静电液体的处理，相对湿度控制， 离子风机和 ESD防护服或其他方法。5.3.2 抗静电液体抗静电化学品（抗静电液体）可以用于防止工作或存储区域可产生静电荷的材料上，防止静电电荷的产生。在抗静电化学品的应中，用者应考虑以下几点：5.3.2.1 应选择让 ESDS器件免受污染的抗静电液体5.3.2.2 抗静电液体不适用于器件或包装直接暴露于喷雾中5.3.3 相对湿度控制相对湿度对静电的产生有重要的关系，它的控制参考生产环境管控程序。5.3.4 离子风机5.3.4.1 桌上的离子风机必须被安置于适当位置，以达到可以覆盖厂商指定的区域。离子风机须对准

19、器件和操作工的手，而不是对准操作工。5.3.4.2 器件不应太靠近离子风机，以至于超过离子发生器厂商指定的最小距离离子风机正面至器件的最小距离为30厘米。 在离子风机不可能安装在足够距离的地方, 例如小型设备内, 必需安装在可能最远的位置上. 名师资料总结 - - -精品资料欢迎下载 - - - - - - - - - - - - - - - - - - 名师精心整理 - - - - - - - 第 8 页，共 12 页 - - - - - - - - - 盖有红色“文控中心发行专用章”章的文件为受控版本，其余版本不受控。防静电管控程序文件编号 : KDSC-Q-018(1) 版 本 号 :

20、1 页数 : 9/12 桌上离子风机正面到被操作器件的最大距离为100厘米. 如果是其他型号的桌上离子风机需用于生产线，须根据离子中和功能试验出最大使用距离。5.3.4.3 离子发生器与无保护的器件之间应是自由的直接的空气流通5.3.4.4 操作离子风机的操作工应该在工作结束后( 例如 : PM, calibration 和layout change等) 确认离子风机，处理和重新安装朝着device的方向。5.3.5 ESD防护服5.3.5.1 任何时候 ESD防护服的穿着者在ESD防护工作区或指定的ESD防护区内必须扣紧防护服5.3.5.2必须依从 ESD防护服厂商的清洁指导以得到最大的效力

21、和效用5.3.6 手套 /指套只有棉手套，抗静电/ 导电手套或抗静电/ 导电指套可被使用于操作ESDS器件5.4 测试方法5.4.1 腕带目视检查 : 被损坏或污染视为不合格每天用腕带 / 鞋类测试仪进行快速检查，在A和C之间(0.75 M ohms R 10 M ohms) 5.4.2 防静电鞋目视检查 : 被损坏或穿破视为不合格。每天用腕带测试仪进行快速检查。5.4.3 工作台接地点连接检查: 接地线断开或松弛连接在接地点上视为不合格. 公共接地点或腕带插座松弛视为不合格。桌子接地点到接地点电阻：2 ohms 垫子表面电阻 : 105109 ohms 垫子表面到接地点: 105109 oh

22、m 5.4.4 地板用表面电阻仪测地板垫子的表面电阻。地板垫子的表面电阻必须在105到109之间。地板垫子到接地线的电阻必须在105到109之间。名师资料总结 - - -精品资料欢迎下载 - - - - - - - - - - - - - - - - - - 名师精心整理 - - - - - - - 第 9 页，共 12 页 - - - - - - - - - 盖有红色“文控中心发行专用章”章的文件为受控版本，其余版本不受控。防静电管控程序文件编号 : KDSC-Q-018(1) 版 本 号 : 1 页数 : 10/12 5.4.5防静电服5.4.5.1 采样率：每季度全体。5.4.5.2目检

23、防静电服的外观，导电格或线是否连续。5.4.5.3用静电场强计测量防静电服的抗静电特性5.4.5.3.1 让某人穿上 ESD 导电服，确保他是通过脚套接地的。5.4.5.3.2 用静电场强计测量ESD导电服的场强（距离ESD导电服 1英寸）。5.4.5.3.3 读数应小于 100静电伏特。测量2次，并记录在记录表上。5.4.5.4 用表面电阻计测量ESD导电服的表面电阻。5.4.5.4.1 将ESD导电服放在一平的表面上，并在衣服上放上表面电阻计。5.4.5.4.2 测量读数，读数应小于1012，记录在记录表上。5.4.5.5 防静电服的使用寿命控制5.4.5.5.1 操作工包括 QC检验工和

24、线上维修工服装的有效期根据入厂日期为两年。5.4.5.5.2 工程师，技术员，培训员等服装的有效期根据入厂日期为两年5.4.5.5.3 企划，质量，营销，和部门领导等非一线员工服装的有效期根据入厂日期为三年5.4.5.5.4 当到期时，有关部门应在一个月前把相关的人员名单交于仓库，仓库负责旧的收集和新的发放5.4.5.5.5当需要而过期发生时，必须在经QA 检查合格后方可使用，但期限不超过半年5.4.5.6 防静电服装的防护5.4.5.6.1操作工及 QA检验员每人 2件防静电服5.4.5.6.2 定期清洗一次防静电服5.4.5.6.3须对损坏的防静电服进行修理，如拉链损坏，袖口松开等。该防静

25、电服无法修复，应立即更换。5.4.6架子和氮气柜5.4.7 ESD 材料用表面电阻仪来测量导电的，消散的和防静电材料的表面电阻，用场强仪测量摩擦电压。5.4.8 机器接地5.4.8.1 有源设备底盘接地电阻 : 在A和B之间 ( 最大 10欧姆 ) 轨道接地电阻 : 在C和B之间 ( 最大 10欧姆 ) 公共接地点或腕带插座电阻：最大10M 欧姆（推荐电阻小于10 欧姆）连接检测：松弛视为不合格。5.4.8.2 无源设备名师资料总结 - - -精品资料欢迎下载 - - - - - - - - - - - - - - - - - - 名师精心整理 - - - - - - - 第 10 页，共 1

26、2 页 - - - - - - - - - 盖有红色“文控中心发行专用章”章的文件为受控版本，其余版本不受控。防静电管控程序文件编号 : KDSC-Q-018(1) 版 本 号 : 1 页数 : 11/12 直接接地 : 在A和B之间(最大 10欧姆 ) 间接接地 : 在A和B之间 ( 最大 35兆欧 ) 5.4.9 ESD 椅子表面到地板的电阻: 105109 ohms 5.4.10静电鞋 /腕带测试仪5.4.10.1设备的校正应参照测定仪器管控程序。5.5 整改措施5.5.1 若发现某区域 ESD防护不当，则该区域生产须停止直到问题被解决为止。5.5.2所有 ESD器件须从关闭区域转移到E

27、SD安全区域5.5.3若发现有 ESD防护不当 , 失效原因和失效情况必须被纠正及记录, 记录必须被存档保留. 5.6 计量所有的测试、测量设备的校正应参照测定仪器管控程序来进行。6. 安全安全性须根据操作安全规范定义。7. 引用文件7.1测定仪器管控程序7.2生产环境管控程序8. 记录保存8.1ESD警示培训8.1.1 所有操作 ESD敏感器件的人员须接受最基本的ESD警示培训及至少每年一次的再培训。8.1.2进入 ESD防护区域的人员须接受ESD警示培训或站在ESD敏感器件防静电区域以外8.1.3 ESD警示培训必须包括静电原理，本规范相应部分的简介及在工作区域的实际运用。8.1.4 培训

28、记录应为每个员工保留。培训记录应至少需要包括培训时间，课程长度，主题及培训员姓名。记录必须保留至少 2整年。8.2 ESD检查记录附件的检查记录至少保持一年，连续监控项目和目视检查无记录要求。8.2.1 合格的电阻和电势测量结果可被记录为数值或通过。8.2.2 不合格的项目，当测量设备可以提供数值时必须被记录为数值。另外，必须记录为失效。9. 流程图名师资料总结 - - -精品资料欢迎下载 - - - - - - - - - - - - - - - - - - 名师精心整理 - - - - - - - 第 11 页，共 12 页 - - - - - - - - - 盖有红色“文控中心发行专用章

29、”章的文件为受控版本，其余版本不受控。防静电管控程序文件编号 : KDSC-Q-018(1) 版 本 号 : 1 页数 : 12/12 无10. 附件序号项目项目 NO 检查项目规范发生部门责任部门频 率样本数规 格1 手腕带1 目视检查1次/ 季度100% 是否损坏生产部质量部2 电阻值测量1次/ 天100% 0.7510M 生产部生产部2 防静电鞋3 目视检查1次/ 季度100% 4 电阻值测量1次/ 天100% 0.75100M 生产部生产部3 防静电工作台和不锈钢工作台5 接地线接地目视检查1次/ 季度100% 正确接地工程技术工程技术6 接地点1次/ 月100% 2欧姆工程技术质量部

30、7 表面电阻1次/ 月100% 105 109生产部质量部8 防静电垫接地1次/ 月100% 105 109生产部质量部9 桌子移动每次发生100% N/A 生产部质量部4 防静电地板10 表面电阻1次/ 月5点105 109全车间质量部11 防静电地板接地1次/ 季度5点105 109全车间质量部5 防静电服12 静态电压1次/ 季度100% 100v 全车间质量部6 氮气柜13 工作表面到静电消散地板表面1次/ 季度100% 105 109工程技术质量部7 防静电椅14 表面到地板的电阻1次/ 季度100% 105 109生产部质量部名师资料总结 - - -精品资料欢迎下载 - - - - - - - - - - - - - - - - - - 名师精心整理 - - - - - - - 第 12 页，共 12 页 - - - - - - - - -