常用传感器汇总ppt课件.ppt
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1、传感器是将被测物理量转化为与之相对应的的易传感器是将被测物理量转化为与之相对应的的易于检测、传输或处理的信号的装置于检测、传输或处理的信号的装置 。组成:组成:一般由敏感元件与其他辅助件组成。敏感元件是一般由敏感元件与其他辅助件组成。敏感元件是传感器的核心。传感器的核心。 作用:作用:(1)类似于人的感觉器官。将被测物理量转换)类似于人的感觉器官。将被测物理量转换成为可测信号并传给中间环节进行处理分析。成为可测信号并传给中间环节进行处理分析。(2)认为是人的感官延伸。可探索人们无法用)认为是人的感官延伸。可探索人们无法用感官直接测量的事物。感官直接测量的事物。第第4章章 常用传感器常用传感器4
2、-1 传感器分类传感器分类(1)按被测物理量)按被测物理量位移传感器力传感器温度传感器加速度传感器(2)按输出量)按输出量电阻式电容式电感式(3)按能量转换原理分为有源传感器和无)按能量转换原理分为有源传感器和无源传感器源传感器有源传感器有源传感器:将非电量转化为电能量的传感器。如测速发电机、磁感式传感器等。 无源传感器无源传感器:将被测量转换为电参量(如电阻、电容、电感等)的变化。各类电阻(热敏电阻、压敏电阻、光敏电阻等)式传感器、电容式传感器、电感式传感器等。4.2 电阻式传感器电阻式传感器滑变电阻式传感器滑变电阻式传感器电阻应变式传感器电阻应变式传感器压敏电阻式传感器压敏电阻式传感器热敏
3、电阻式传感器热敏电阻式传感器光敏电阻式传感器光敏电阻式传感器 一、滑变电阻式传感器 滑变电阻式传感器又称电位计式传感器滑变电阻式传感器又称电位计式传感器,其工作原理是通过滑动触点改变电阻丝的长度来改变电阻滑动触点改变电阻丝的长度来改变电阻值的大小值的大小,进而将电阻值的变化转变为电压或电流的变化,如图4-1所示。图4-1 滑变电阻式传感器 (a)线位移型 (b)角位移型 图中变阻器的活动触C的滑动量分别为X(线位移型)和(角位移型)。固定触点A和活动触点C之间的电阻值分别为: 式中: 、 分别为线位移型和角位移型滑变电阻式传感器的输出电阻; 、 分别为单长度和单位弧度的电阻值; 、 分别是线位
4、移和角位移。 滑变电阻式传感器的滑变电阻式传感器的输出(电阻)输出(电阻)与与输入(位移)输入(位移)呈线性关呈线性关系。传感器的灵敏度系。传感器的灵敏度 E E : XKRlwKRRlRKwKXKaXdREllwKddRE线绕式结构的缺点:线绕式结构的缺点: 电阻的变化是台阶状电阻的变化是台阶状(当滑动触点从一圈导线移至下一圈时,电阻值不是连续变化,而是呈现出一个一个的台阶)。优点优点: 结构简单、性能稳定、使用方便结构简单、性能稳定、使用方便。在汽车领域得到了广泛地应用。 在汽车上的应用在汽车上的应用: 发动机节气门位置传感器、汽车侧滑试验台上的线位移传感器等多采用滑变电阻式传感器。 二、
5、电阻应变片式传感器二、电阻应变片式传感器 由物理学之,金属丝的电阻与金属丝的长度、截面积及电阻率的关系如下: 式中: 电阻值, ; 电阻率, ; 金属丝的长度, ; 金属丝的截面积, 。 当金属丝受到拉伸或压缩时,由于金属丝的长度当金属丝受到拉伸或压缩时,由于金属丝的长度L L和截面和截面积积A A要发生变化,因此电阻值要发生变化,因此电阻值R R亦会发生变化亦会发生变化。为了了解其变化规律,下面对上式进行微分得: ALRRmmm /2LmA2mm2)(ALdALddLAdR 设金属丝的半径为r,则截面积 ,将其代入式中并整理得: 式中: 电阻丝的纵向应变 ,常用 表示; 金属丝的径向相对变化
6、率,当金属丝沿轴向伸长时,径向必然会相对地缩小,其二者的关系为: 金属丝的泊松比; 金属丝电阻率的相对变化率,其大小与纵向所受的应力 有关。 与材料有关的纵向压阻系数; 材料的弹性模量。2rArdrdLdLRdR2LdLrdrLdLrdrdEdE整理得: 对于一般的金属材料而言,电阻率的变化率很小,即对于一般的金属材料而言,电阻率的变化率很小,即纵向压阻系数纵向压阻系数 很小,可忽略不计很小,可忽略不计。如此,上式就变为: 即金属丝的电阻变化率即金属丝的电阻变化率 与纵向应变与纵向应变 成正比,这就成正比,这就是金属丝的是金属丝的应变效应应变效应。利用应变效应制做的传感器称为。利用应变效应制做
7、的传感器称为电电阻应变片式传感器阻应变片式传感器。 电阻应变片式传感器的灵敏度,用 表示。RdRRE)21 (ERdR)21 ( RdR21/RdRER 由基片由基片1 1、敏感栅、敏感栅2 2、盖片、盖片3 3和引线和引线4 4等部分组成等部分组成。敏敏感栅是由具有高电阻率的电阻丝绕制成栅形,粘接在基感栅是由具有高电阻率的电阻丝绕制成栅形,粘接在基片和盖片之间,在焊上引线片和盖片之间,在焊上引线4 4就构成电阻应变片。就构成电阻应变片。 电阻应变片的构造1 基底;2 敏感栅;3 盖片;4 引线2、电阻应变片的构造3 3、使用方法、使用方法 将应变片用将应变片用粘接剂粘贴粘接剂粘贴在在被测试件
8、表面。在载荷或外界因被测试件表面。在载荷或外界因素作用下试件发生变形,粘贴在素作用下试件发生变形,粘贴在试件表面的电阻丝随试件一起发试件表面的电阻丝随试件一起发生变形,电阻值发生变化。生变形,电阻值发生变化。 于是就实现了将被测量转于是就实现了将被测量转化为电阻值的变化。通过测量电化为电阻值的变化。通过测量电阻应变片的阻应变片的电阻值的变化电阻值的变化,就可,就可以确定以确定被测量的大小被测量的大小。4、电阻应变片的种类、电阻应变片的种类(1)金属丝式)金属丝式回线式应变片 a、回线式应变片、回线式应变片 回线式应变片是将电阻丝绕制成敏感棚,然后粘回线式应变片是将电阻丝绕制成敏感棚,然后粘结在
9、各种绝缘基底上而制成的,它是一种常用的应变结在各种绝缘基底上而制成的,它是一种常用的应变片。片。优点优点是制作简单、价格便宜;是制作简单、价格便宜;缺点缺点是是横向效应横向效应比较明显。比较明显。横向效应横向效应“横向效应横向效应”:将直的金属丝绕成敏感栅之后,虽然长度相同,但应变状态不同(变化方向不一致,相互制约),应变片敏感栅的电阻变化较直的金属丝小,因而灵敏系数有所降低,这种现象称为应变片的横向效应。 由于横向效应的影响,应变片的灵敏系数K恒小于同一材料金属丝的灵敏度系数。短接式应变片b、短接式应变片、短接式应变片 这种应变片是将敏感栅平行安放。两端用直径比这种应变片是将敏感栅平行安放。
10、两端用直径比栅丝直径大栅丝直径大510倍的镀银丝短接起来而构成的。倍的镀银丝短接起来而构成的。 突出优点是克服了回线式应变片的横向效应。但突出优点是克服了回线式应变片的横向效应。但由于焊点多,在冲击、振动试验条件下,易在焊接点由于焊点多,在冲击、振动试验条件下,易在焊接点处出现疲劳破坏。制造工艺要求高。处出现疲劳破坏。制造工艺要求高。 (2)金属箔式应变片)金属箔式应变片 这类应变片利用照相制版或光刻腐蚀的方法,在绝这类应变片利用照相制版或光刻腐蚀的方法,在绝缘基底上将厚度仅为缘基底上将厚度仅为1m10m的金属箔片制成各种图的金属箔片制成各种图形而成的应变片。形而成的应变片。优点:优点:不仅可
11、制造出可满足各种不同测试要求的形状复杂的应变片,而且刻制出的线条均匀线条均匀、尺寸精度高,适于大批量制造大批量制造。 (3)薄膜应变片)薄膜应变片 薄膜应变片是薄膜技术发展的产物,其厚度在薄膜应变片是薄膜技术发展的产物,其厚度在 以下。它是采用以下。它是采用真空蒸发或真空沉积真空蒸发或真空沉积等方法,将电阻材等方法,将电阻材料在基底上制成一层各种形式敏感栅而形成应变片。料在基底上制成一层各种形式敏感栅而形成应变片。m1 . 0四、半导体应变片四、半导体应变片用半导体材料切割、光刻成单条状敏感栅而成的应变片。用半导体材料切割、光刻成单条状敏感栅而成的应变片。是基于半导体材料的是基于半导体材料的“
12、压阻效应压阻效应”而制成。而制成。 关于压阻效应:关于压阻效应:材料受外力的作用时,其电阻率发生变化的现象。材料受外力的作用时,其电阻率发生变化的现象。所有材料在某种程度都呈现压阻效应,但半导体所有材料在某种程度都呈现压阻效应,但半导体的这种效应特别显著。的这种效应特别显著。 关于关于电阻值相对变化量:电阻值相对变化量: 其中受外力作用时受外力作用时rdrdldlRdR2Ed 那么那么 关于关于半导体应变片的灵敏度系数半导体应变片的灵敏度系数 :sK)21 (ERdR)21 (ERRKxdefBl受力后材料几何尺寸的变化受力后材料几何尺寸的变化, 即(即(1+2);l受力后材料的电阻率发生的变
13、化受力后材料的电阻率发生的变化, 即即 ;l对于半导体材料对于半导体材料 (1+2) l半导体应变片的灵敏度系数为常量半导体应变片的灵敏度系数为常量l电阻值相对变化量与应变系数的正比例关系电阻值相对变化量与应变系数的正比例关系ERRKxB结论:结论:EE结构形式结构形式 5、应变片的主要参数、应变片的主要参数(1)应变片的尺寸)应变片的尺寸 顺着应变片轴向敏感栅两端转向处之间的距离称为栅长栅长l。金属丝式l一般为5180mm,箔式的一般为0.3180mm。敏感栅的横向尺寸称为栅宽b 。 小栅长的应变片对制造要求高对粘贴的要求亦高。因此应尽量选要栅长大栅长大一些的片子,应变片的栅栅宽也以小一些宽
14、也以小一些的为好。5 应变片的主要参数应变片的主要参数(2)应变片电阻值)应变片电阻值(R0) 它是指未安装的应变片,在不受外力的情况下,它是指未安装的应变片,在不受外力的情况下,室温条件购定的电阻值,也称原始阻值,单位以室温条件购定的电阻值,也称原始阻值,单位以 计。计。应变片电阻值己趋于标准化,有应变片电阻值己趋于标准化,有60 ,120 ,350 ,600 和和1000 各种阻值,其中各种阻值,其中l 20 为最常使用。为最常使用。(3)绝缘电阻)绝缘电阻 应变片引线和安装应变片的试件之间的电阻值称应变片引线和安装应变片的试件之间的电阻值称为绝缘电阻。此值常作为应变片粘结层固化程度和是为
15、绝缘电阻。此值常作为应变片粘结层固化程度和是否受潮的标志。否受潮的标志。一般应大于一般应大于 。1010 (4)灵敏系数)灵敏系数(K) 灵敏系数指应变片安装于试件表面,在其轴线方向的灵敏系数指应变片安装于试件表面,在其轴线方向的单向应单向应力作用力作用下,应变片的下,应变片的阻值相对变化阻值相对变化与试件表面上安装应变片区域与试件表面上安装应变片区域的的轴向应变轴向应变之比。此值的准确性格直接影响测量精度,其误差大之比。此值的准确性格直接影响测量精度,其误差大小是衡量应变片质量优劣的主要标志。同时要求小是衡量应变片质量优劣的主要标志。同时要求K值值尽量大尽量大而而稳稳定定。 (5)机械滞后机
16、械滞后 对已安装的应变片,在恒定的温度环境下,对已安装的应变片,在恒定的温度环境下,加载加载和和卸载卸载过程过程中中同一载荷同一载荷下下指示应变指示应变的的最大差值最大差值,称为机械滞后。造成此现象,称为机械滞后。造成此现象的原因很多,如应变片本身特性不好;试件本身的材质不好;粘的原因很多,如应变片本身特性不好;试件本身的材质不好;粘结剂选择不当;固化不良;粘接技术不佳,部分脱落和粘结层太结剂选择不当;固化不良;粘接技术不佳,部分脱落和粘结层太厚等。厚等。 在测量过程中,为了减小应变片的机械滞后给测量结果带来在测量过程中,为了减小应变片的机械滞后给测量结果带来的误差,可对新粘贴应变片的试件反复
17、加、卸载的误差,可对新粘贴应变片的试件反复加、卸载35次。次。(7)应变极限)应变极限 温度不变时使试件的应变逐渐加大,应变片的指温度不变时使试件的应变逐渐加大,应变片的指示应变与真实应变的相对误差(非线性误差)小于规示应变与真实应变的相对误差(非线性误差)小于规定值(一般为定值(一般为10%)情况下所能达到的最大应变值为)情况下所能达到的最大应变值为该应变片的应变极限。该应变片的应变极限。(6)零点漂移)零点漂移 零点漂移是指已粘贴好的应变片,在温度一定和零点漂移是指已粘贴好的应变片,在温度一定和试件不受力试件不受力时,指示应变随时间而变化。这是由于应时,指示应变随时间而变化。这是由于应变片
18、的绝缘电阻过低及通过电流而产生热量等原因造变片的绝缘电阻过低及通过电流而产生热量等原因造成。成。6、应用举例、应用举例电阻应变式位移传感器电阻应变式位移传感器工作原理:工作原理:例例2 2:电子称电子称原理将物品重量通过悬臂梁转化结构变形再通过应变片转化为电量输出。应应变变片片 三、 压敏电阻式传感器压敏电阻式传感器 压阻效应压阻效应:有些半导体材料在受到压力作用后,其有些半导体材料在受到压力作用后,其电阻率会发生变化电阻率会发生变化。 最常用的半导体电阻材料有硅和锗,掺入杂质可形成P型或N型半导体。由于半导体(如单晶硅)是各向异性材料,因此它的压阻效应不仅与掺杂浓度、温度和材料类型有关,还与
19、晶向有关(即对晶体的不同方向上施加力时,其电阻的变化方式不同)。1.工作原理工作原理rdrdldlRdR2xxBEKRR 压敏电阻常用来制造压力传感器,即压敏电阻式压力压敏电阻式压力传感器,又称为扩散硅压力传感器传感器,又称为扩散硅压力传感器。其核心件是一块沿某核心件是一块沿某晶向切割的晶向切割的 N N 型硅膜片型硅膜片, ,在膜片上利用集成电路工艺扩散在膜片上利用集成电路工艺扩散出四个阻值相同的出四个阻值相同的 P P 型电阻,型电阻,并将其连成一平衡电桥,膜片的四周用圆形硅环固定,如此便形成了上、下两腔,上腔为高压腔,下腔为低压腔。 1引线;2硅环;3高压腔;4低压腔;5硅膜片2.应用应
20、用 四、热敏电阻式温度传感器 热敏电阻式温度传感器是利用某些金属氧化物或单晶锗、热敏电阻式温度传感器是利用某些金属氧化物或单晶锗、单晶硅等材料的电阻值随温度的变化而变化的特性工作的单晶硅等材料的电阻值随温度的变化而变化的特性工作的。不同材料制造热敏电阻具有不同的温度特性,即:正温度系数型(正温度系数型(PTCPTC):电阻值随温度的上升而上升;负温度系数型(负温度系数型(NTCNTC):电阻值随温度的上升而下降;临界温度型(临界温度型(CTRCTR):在某一特定温度,电阻值发生突变。热敏电阻特性曲线1正温度系数型(PTC);2负温度系数型(NTC);3临界温度型(CTR) 汽车上各部位(如发动
21、机温度、进气温度等)的温度测量几乎都采用负温度系数型(NTC)热敏电阻式温度传感器。下图某种轿车发动机进气温度传感器和水温度传感器,它主进气温度传感器和水温度传感器,它主要由热敏电阻、引线和外壳组成,负温度系数型热敏电阻温要由热敏电阻、引线和外壳组成,负温度系数型热敏电阻温度传感器的电阻值与温度的关系为:度传感器的电阻值与温度的关系为: 式中: 热敏电阻的电阻值; 、 与热敏电阻材料和制造工艺有关的常数; 被测温度。热敏电阻温度传感器(a) 进气温度传感器 (b)水温度传感器1外壳;2热敏电阻;3引线/B TRAeRABT2.2 电容式传感器电容式传感器 变换原理变换原理: 将被测量的变化转化
22、为电容量变化将被测量的变化转化为电容量变化两平行极板组成的电容器两平行极板组成的电容器, ,它的电容量为它的电容量为: :AC0+A改变电容器的改变电容器的 、A或或时,都会引起电容量的变化。据此时,都会引起电容量的变化。据此便可制做出三种不同类型的电容式传感器,即:便可制做出三种不同类型的电容式传感器,即:A型电容型电容式传感器、式传感器、型电容式传感器和型电容式传感器和型电容式传感器。型电容式传感器。 一、A型电容式传感器 A型电容式传感器有三种不同的结构形式,即: 平移式平移式 旋转式旋转式 A型电容式传感器 (a)平板平移式 (b)圆柱平移式 (c)旋转式1 活动极板;2 固定极板1、
23、平移式电容传感器 当活动极板1沿x方向移动时,电容器极板有效面积的变化量为: 由此带来电容量的变化为: 式中: 传感器的灵敏度。 对于某一具体的电容式传感器, 均为定值,即为常数。由此可见,该电容式传感器的输出与输入呈线性关系电容式传感器的输出与输入呈线性关系。 xbAcEcExbCr0bxCErc02、旋转式电容传感器 当动极板相对于固定板转过一定角度 时,两级板间的相对面积发生变化。221rA由此带来电容量的变化为: 2021rCr220rCErc =常数二、 型电容式传感器 图4-11(a)是一平板电容器的示意图,若电容器的两极板间的电介质不变(即 不变)及电容极板的有效面积不变,则该电
24、容器的电容量为: 由上式知,当电容器极板间间距d改变时,电容量随电容量随d d的变化规律是的变化规律是一双曲线一双曲线,如图4-11(b)所示。图4-11 型电容式传感器(a) 型电容式传感器的结构示意图 (b) 型电容式传感器的特性曲线1 活动极板;2 固定极板rdKdACr10 上式表明,上式表明, 型电容式传感器的灵敏度与极板间距的型电容式传感器的灵敏度与极板间距的平方成反比,即极板间距越小,灵敏度越高。平方成反比,即极板间距越小,灵敏度越高。201AddCSr其灵敏度为:其灵敏度为:为减小非线性误差,要求为减小非线性误差,要求 ,即在较小的间,即在较小的间隙变化范围内工作以获得近似的线
25、性误差。因此这隙变化范围内工作以获得近似的线性误差。因此这种传感器的测量范围有限。种传感器的测量范围有限。应用:测量较小位移应用:测量较小位移00.10.01 mm 几百 三、 型电容式传感器 两极板间存在厚度为B的介质时,电容器的电容量为式中,B-介质厚度,m; 为极板间的相对介电常数;rrrrBBAC/0 四、差动电容传感器 提高测试系统的灵敏度可提高系统的测试精度提高测试系统的灵敏度可提高系统的测试精度;此外任何任何电器元件通电时间延长时,温度会上升,电器件的性能会电器元件通电时间延长时,温度会上升,电器件的性能会发生变化,即会产生测试误差发生变化,即会产生测试误差。为了提高测试系统的灵
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