第一章半导体中的电子状态ppt课件.ppt
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1、第一章第一章 半导体中的半导体中的电子状态电子状态电子科技大学微固学院2022年7月主要内容 1.1 半导体的晶体结构和结合性质半导体的晶体结构和结合性质 1.2 半导体电子状态与能带半导体电子状态与能带 1.3 半导体电子运动半导体电子运动 有效质量有效质量 1.4 半导体中载流子的产生半导体中载流子的产生 导电机构导电机构 1.5 Si、Ge、GaAs的能带结构的能带结构要求:要求:掌握半导体的掌握半导体的晶体结构、电子结构、能带晶体结构、电子结构、能带结构、有效质量结构、有效质量,本征半导体的,本征半导体的导电机构导电机构、空穴,、空穴,锗、硅、砷化镓的锗、硅、砷化镓的能带结构能带结构。
2、 1.1 半导体的晶体结构和结合性质半导体的晶体结构和结合性质晶体结构:晶体结构:金刚石型金刚石型闪锌矿型闪锌矿型纤锌矿型纤锌矿型结合键:结合键:共价键共价键混合键混合键共价共价+离子离子 1. 金刚石型结构和共价键金刚石型结构和共价键由两个面心立方晶由两个面心立方晶格沿立方体的空间格沿立方体的空间对角线滑移对角线滑移1/4空间空间对角线长度套构而对角线长度套构而成成正四面体结构正四面体结构共价键结合共价键结合 sp3杂化轨道杂化轨道饱和性、方向性饱和性、方向性特点:特点:10928(100)面上的投影)面上的投影金刚石结构金刚石结构Ge: a=5.65754Si: a=5.43089Si、G
3、e都属于金刚石型结构都属于金刚石型结构2. 闪锌矿结构和混合键闪锌矿结构和混合键 每个原子被四个异族原子包围每个原子被四个异族原子包围 III-V族化合物半导体绝大多数具有闪锌矿型结构族化合物半导体绝大多数具有闪锌矿型结构 混合键混合键共价键共价键+离子键离子键共价键占优势共价键占优势 GaAs闪锌矿结构闪锌矿结构闪锌矿结构GaAs: a=5.653253. 纤锌矿型结构纤锌矿型结构六方对称性六方对称性 ZnO、GaN等具有纤锌矿型结构等具有纤锌矿型结构 混合键混合键共价键共价键+离子键离子键离子键占优势离子键占优势 电子的共有化运动电子的共有化运动导带、价带、禁带的形成导带、价带、禁带的形成
4、 1.2 半导体中的电子状态与能带半导体中的电子状态与能带半导体中的电子状态半导体中的电子状态(1)、孤立原子中的电子状态、孤立原子中的电子状态其状态由下列量子数确定:其状态由下列量子数确定:nn:主量子数,主量子数,1,2,3,nl: 轨道轨道(角角)量子数量子数,0,1,2,(,(n1)nml:磁量子数,磁量子数,0, 1, 2, , lnms:自旋磁量子数,自旋磁量子数, 1/21. 电子的共有化运动电子的共有化运动孤立原子中的电子能级是量子化的孤立原子中的电子能级是量子化的孤立原子中的电子能级是量子化的孤立原子中的电子能级是量子化的n能量最低原理能量最低原理n泡利不相容原理泡利不相容原
5、理1s2s2p3sE电子壳层:电子壳层:1s 2s 2p 3s 3p 3d 4sn电子的共有化运动电子的共有化运动原子组成晶体后,由于相邻原子的原子组成晶体后,由于相邻原子的“相似相似”电子壳层发生交叠电子壳层发生交叠,电子不再,电子不再完全局限在某一个原子上,可以由一个完全局限在某一个原子上,可以由一个原子转移到相邻的原子上,因而,电子原子转移到相邻的原子上,因而,电子将可以在整个晶体相似壳层间运动将可以在整个晶体相似壳层间运动内层电子共有化程度弱内层电子共有化程度弱n(2)、晶体中的电子状态、晶体中的电子状态2p3s电子将可以在整个晶体相似壳层间运动电子将可以在整个晶体相似壳层间运动电子的
6、共有化运动示意图电子的共有化运动示意图电子的共有化运动电子的共有化运动能级分裂能级分裂2. 能带的形成能带的形成原子间距2sE原子间距2sEr02p2p2s2s2p孤立原子孤立原子中的能级中的能级晶体中的晶体中的能带能带N个能级3N个能级允带禁带共有化运动共有化运动能级分裂能级分裂形成能带形成能带r0能带的形成是电子共有化运动的必然结果能带的形成是电子共有化运动的必然结果允带允带禁带禁带禁带禁带dps内层电子共有化运动弱,能级分裂小,能带窄;内层电子共有化运动弱,能级分裂小,能带窄;外壳层电子共有化运动显著,能带宽。外壳层电子共有化运动显著,能带宽。n能带中能量不连续能带中能量不连续, 当原子
7、数很多时,导当原子数很多时,导带、价带内能级密度很大,可以认为能带、价带内能级密度很大,可以认为能带准连续带准连续n能带的宽窄由晶体的性质决定能带的宽窄由晶体的性质决定, 与所含与所含的原子数无关的原子数无关n每个能带中的能级数目与晶体中的原子每个能带中的能级数目与晶体中的原子数有关数有关思考:思考:Si的的能带能带?Si : 1s22s22p63s23p23p3sN个能级个能级,容纳容纳2N个个e3N个能级个能级,可容纳可容纳6N个个e2Ne2Ne2Ne/6N2Ne/2N能级与分裂形成的能带总是对应的吗?能级与分裂形成的能带总是对应的吗?Si : 1s22s22p63s23p2原子间距原子间
8、距0r0r12Ne/6N3p3s2Ne/2NEg0e/4N4Ne/4N4Ne/8N金刚石结构半导体的能带形成金刚石结构半导体的能带形成满带即价带满带即价带空带即导带空带即导带sp3杂化杂化禁带宽度禁带宽度存在轨道杂化,失去孤立原子能级与晶体能带的对应关系。杂化后能带重存在轨道杂化,失去孤立原子能级与晶体能带的对应关系。杂化后能带重新分开为上能带和下能带,上能带称为新分开为上能带和下能带,上能带称为导带导带,下能带称为,下能带称为价带价带半导体的能带示意图半导体的能带示意图价带价带:0K条件下被电子填充的能量最高的能带条件下被电子填充的能量最高的能带 (valence band)导带导带:0K条
9、件下未被电子填充的能量最低的能带条件下未被电子填充的能量最低的能带 (conductance band)禁带禁带:导带底与价带顶之间能带导带底与价带顶之间能带 (forbidden band)带隙带隙:导带底与价带顶之间的能量差:导带底与价带顶之间的能量差 (band gap) 禁带宽度禁带宽度 VCgEEE电子能量导带导带价带价带EgEcEv能带示意图能带示意图EgEcEv价键电子与能带的对应关系:价键电子与能带的对应关系:n成键电子对应于价带成键电子对应于价带n自由电子对应于导带自由电子对应于导带n绝缘体的禁带宽度:绝缘体的禁带宽度: 6evn半导体的禁带宽度:半导体的禁带宽度:1ev导体
10、、绝缘体和半导体的能带导体、绝缘体和半导体的能带常温下:常温下: Si:Eg=1.12ev Ge: Eg=0.67ev GaAs: Eg =1.43ev半满带半满带(导带导带)价带价带导带导带禁带禁带价带价带导带导带禁带禁带满带满带(价带价带)禁带禁带绝缘体绝缘体半导体半导体导体导体3. 半导体电子状态与能带半导体电子状态与能带 布里渊区布里渊区n波函数波函数描述微观粒子的状态n薛定谔方程薛定谔方程决定微观粒子运动的方程22( )2V rEmE(k)- k关系关系k 称为波矢,大小为:称为波矢,大小为:方向为平面波的传播方向方向为平面波的传播方向n自由电子的波函数自由电子的波函数(一维情况一维
11、情况)自由电子的运动状态自由电子的运动状态ikrAer )(自由电子空间分布自由电子空间分布自由电子在空间是自由电子在空间是等几率分布等几率分布的的,自由运动自由运动22)(Ar2 kk自由电子自由电子E与与k 的关系的关系Ek0能量能量 E(k)22001()22phkEmm=自由电子的能量自由电子的能量 E(k)是是连续能谱连续能谱0mp 02202121mpmEkp( )()nV rV rR晶体中的周期性势场分布晶体中的周期性势场分布(一维一维)rRV(r)Rn是任意晶格矢量晶体中的电子是在具有周期性的等效势场中运动晶体中的电子是在具有周期性的等效势场中运动单电子近似单电子近似晶体中电子
12、的运动状态晶体中电子的运动状态n晶体中电子的波动方程晶体中电子的波动方程ikrerur)()(22( )2V rEm 布洛赫定理布洛赫定理当势场具有周期性时,波动方程的解具当势场具有周期性时,波动方程的解具有如下形式:有如下形式:u平面波因子平面波因子(位相因子位相因子) eikr 是是k方向上传播的平面波,方向上传播的平面波,反映电子的共有化运动。反映电子的共有化运动。 uu(r)具有和晶格一样的周期性,即:具有和晶格一样的周期性,即:( )()nu ru rRu(r) 反映周期势场对共有化运动的影响反映周期势场对共有化运动的影响电子在晶体中的电子在晶体中的分布分布几率是晶格的周期函几率是晶
13、格的周期函数数,晶体中各处分布,晶体中各处分布几率不同,但不同原几率不同,但不同原胞的等价位置上出现胞的等价位置上出现的几率相同。的几率相同。电子在晶体中的分布:电子在晶体中的分布:)()()(2rurur电子能量分布电子能量分布-布里渊区布里渊区允带允带允带允带允带允带禁带禁带禁带禁带kE0 /a-2/a3/a-/a2/a-3/a第第1第第2第第2第第3第第3布里渊区布里渊区,.)2, 1( ,nank电子在周期场中运动时其能量不连续,形成一系列允带电子在周期场中运动时其能量不连续,形成一系列允带和禁带。一个允带对应的和禁带。一个允带对应的k值范围称为值范围称为布里渊区布里渊区kE简约布里渊
14、区简约布里渊区/a- /a0简约波矢简约波矢平移平移an2nk值只能取分立值值只能取分立值对应一个能级对应一个能级,线度为,线度为1/L布里渊区布里渊区对应一个能带对应一个能带第一布里渊区第一布里渊区,对应内壳层分裂的能级能量对应内壳层分裂的能级能量第二布里渊区第二布里渊区,对应较高壳层的能级能量对应较高壳层的能级能量n简约布里渊区简约布里渊区将其他区域平移将其他区域平移2n/a移动至第一布里渊区,这时第一布里渊区称移动至第一布里渊区,这时第一布里渊区称为简约布里渊区为简约布里渊区这一区域的波矢这一区域的波矢k 称为简约波矢称为简约波矢n允带和禁带允带和禁带晶体中的电子能量某些能量区域是禁止的
15、,即禁带晶体中的电子能量某些能量区域是禁止的,即禁带.允带以禁带分允带以禁带分隔隔,禁带出现在布里渊区边界禁带出现在布里渊区边界问题:波矢问题:波矢k能级?能级? 布里渊区布里渊区能带?能带?金刚石结构的第一布里渊区是一个十四面体金刚石结构的第一布里渊区是一个十四面体思考:布里渊区边界各处的能量?思考:布里渊区边界各处的能量?1.3 半导体中电子的运动半导体中电子的运动 有效质量有效质量半导体导带中半导体导带中E(k)与与k的关系的关系kE简约布里渊区简约布里渊区导带导带价带价带考虑考虑能带底能带底或或能能带顶带顶的电子能量状态的电子能量状态从从粒子性粒子性出发出发,它具有一定的质量它具有一定
16、的质量m0和运和运动速度动速度v,它的能量它的能量E和动量和动量p分别为分别为:1. 自由电子自由电子:0mp 02202121mpmE从从波动性波动性出发出发,电子的运动看成频率为电子的运动看成频率为、波矢为波矢为k的平面波在波矢方向的传输过程的平面波在波矢方向的传输过程.EhvPhk德布罗意关系德布罗意关系0mp 02202121mpmE0mp 02202121mpmEPhk0mp 02202121mpmE自由电子E与k 的关系Ek0能量能量 E(k)22001()22phkEmm=omhkhdkdEoophkmm对对E(k)微分微分,得到得到:v(k)电子速度电子速度v与与E分布的关系:
17、分布的关系:22001()22phkEmm=dkdEhmhk10omhkhdkdEoophkmm对对E(k)微分微分,得到得到:电子速度电子速度v与与E分布的关系:分布的关系:22001()22phkEmm=dkdEhmhk10加速度加速度 a有外力有外力F作用于电子作用于电子,在在dt 时时间内间内, 电子位移了电子位移了ds 距离距离外力对电子所作的功等于能外力对电子所作的功等于能量的变化量的变化,即即:dkFhdtdEFdsFdtdkdEhFdtdE1-Fds00mFdtmhdkdtdaamF02. 半导体中的电子半导体中的电子能量能量E(k)考虑能带底或能带顶的电子状态考虑能带底或能带
18、顶的电子状态kE01/2a-1/a3/2a-1/2a1/a-3/2a第第1第第2第第2第第3第第3布里渊区布里渊区,.)2, 1( ,2nankkE简约布里渊区简约布里渊区以一维情况为例以一维情况为例设设E(k)E(k)在在k=0k=0处取得极值,在处取得极值,在极值附近按泰勒级数展开:极值附近按泰勒级数展开:002221( )(0)()().2kkdEd EE kEkkdkdk00kdEdk202221)0()(kdkEdEkEkkE简约布里渊区简约布里渊区导带导带价带价带令令则则称称 mn*为为电子的有效质量电子的有效质量*022211nkmdkEd*222)0()(nmkEkE22dkE
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