PVD涂层各自特点参数及应用介绍ppt课件.pptx
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1、PVD涂层原理及应用介绍目录1、PVD涂层原理2、各种涂层特点及性能参数3、涂层选择和应用4、经验小结PVD涂层原理靶材发射靶材发射1、引弧针瞬间高温高能2、靶材原子的电子得到能量逸出 原子被电离为正离子3、正离子在靶材上方形成离子云 与阴极的靶材形成电场4、电场场致发射,靶材原子不断 电离发射5、高能正离子高速进入电场PVD涂层原理靶材发射靶材发射PVD涂层原理电弧斑电弧斑弧斑产生过程PVD涂层原理涂层沉积过程涂层沉积过程工件工件上加有200V偏压 弧光放电逸出的金属离子带有初始能量,在偏压形成的电场中得到很大的加速,被加速的离子打到工件上形成涂层PVD涂层原理涂层沉积过程涂层沉积过程PVD
2、涂层原理涂层与基材的结合涂层与基材的结合1、镶嵌2、离子间的相互作用力(范德华力)3、化学键图1图2图3主要是以下三种形式共同作用,化学键是主要结合方式涂层特点及性能参数涂层类型涂层硬度耐热温度摩擦系数涂层厚度颜色适用范围特点TiNHV23006000.62-3um金黄色丝锥、刀片、滚刀,塑胶、成型模具中低速加工较软材料TiCNHV25005000.32-3um棕灰铰刀、丝锥专用涂层钢材,有色金属CrNHV18007000.22-3um银灰色塑胶、成型模具亲和性低、冲压粘的材料DLC(类金刚石) HV20003500.051-3um亮黑色塑胶模具的滑动部件、有色金属以及电子行业的刀具涂层适用于
3、切削石墨铝合金等有色金属、高度运动部件、运动机械密封无油润滑、表面装饰AlCr系HV340011000.353-5um亮蓝灰色 滚刀、杆类、刀片干切,高速切削,球墨铸铁TiAl系 HV33007500.32-3um紫灰色杆类、刀片、滚刀中高速加工TISi系(TiSi+AlCr) HV350013000.252-5um古铜色各类钻头、铣刀、刀片应用于高速切削难加工材料,钢件如下是常见的PVD涂层种类和特点涂层特点及性能参数PVD涂层硬度涂层特点及性能参数PVD涂层微观结构涂层选择及应用涂层选择及应用根据刀具主要失效模式选择涂层根据刀具主要失效模式选择涂层磨损磨损崩刃崩刃积屑瘤积屑瘤月牙洼月牙洼
4、塑性变形塑性变形沟槽沟槽耐磨涂层耐磨涂层耐高温涂层耐高温涂层低亲和性涂层低亲和性涂层涂层选择及应用涂层选择及应用涂层选择及应用Sticking & SolderingSticking & Soldering粘连&焊接ErosionErosion冲蚀Thermal fatigue /heat Thermal fatigue /heat checking checking 热疲劳/热裂纹Reason Reason 原因原因Melt depositon on tool due to mechanical locking and chemical reaction由机械锁闭和化学反应导致的熔化沉积Ef
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