第六章X射线荧光光谱分析(第3-4节)ppt课件.ppt

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1、 第二节 X射线荧光光谱仪的类型和构造 6.2.1 X射线荧光光谱仪的类型 X射线荧光光谱仪有两种基本类型： 波长色散 能量色散 X光管型同步辐射加速器型能量色散波长色散色散型非色散型X射线荧光光谱仪平行束法单道扫描型聚焦法多道型 1. 能量色散型X射线荧光光谱 能量色散是根据特征X射线光子的能量来鉴别元素的。 激发源有：电子的和质子的 X射线的和放射性源 X射线源有用X光管和 同步辐射加速器。 能量色散是X光管发出的X射线，经过光学系统聚焦，以一定的掠射角、固定的光斑照射在样品上，样品受激产生的X射线荧光，经狹缝被Si(Li)探测器检测，通过前置放大器、放大线路将信号放大，再经过多道分析器色

2、散，输入计算机获得样品的X射线荧光光谱；然后由定量分析程序计算出样品中各元素的含量。 2. 波长色散型X射线荧光光谱仪 其分析原理是根据当样品中元素的原子受到高能X射线照射时, 发射出具有特征的X射线谱的波长和强度来分别鉴定元素种类及测定其含量，而与激发X射线的能量无关。 按二次X射线分光方法和光路道数分为：光谱衍射方法A平行束法(平面晶体)B聚焦法(曲面晶体)道数C单道型D多道型2022-7-316波长色散型X射线荧光光谱仪结构图 波长色散型的仪器有两类： .为平行束法单道扫描型X射线荧光光谱仪 .为聚焦型多道X射线荧光光谱仪。 1）平行束法： 样品中发射出来的X射线通过狭缝成平行光束，经过

3、平面分光晶体分离光谱。分光晶体和探测器在测角器上分别以和 2的转速转动。这样每一条特征X射线的衍射角就被测出。 图66给出了平行束法分光系统图。图图66 平行束法分光系统平行束法分光系统 2）聚焦法：在聚焦法中，从窄的第一狭缝出来的X射线，通过弯曲晶体分离光谱，被分离的X射线经过第二狭缝进入探测器。第一狭缝、分光晶体和第二狭缝（必须满足罗兰聚焦条件和布拉格衍射条件）安装在同一个罗兰聚焦园上 。这样可获得最大强度的X射线，并且分辨率高。图6一7给出了聚焦法分光系统图。图图67 聚焦法分光系统聚焦法分光系统 3) 单道型：单道型X射线荧光光谱仪一般有二个探测器。分别用来测量重元素和轻元素；有4到1

4、0块分光晶体，根据被测元素选择其中一块晶体；只有一个测角器和一个计算记录器，每次只能测一个元素。因此，这种仪器适用于测量频率低、样品量少、测量元素多的情况，常用作检验分析、验收分析和研究分析。 图68是一个平行束法单道扫描型X射线荧光光谱仪的示意图。图图68 平行束法单道扫描型平行束法单道扫描型X射线荧光光谱仪示意图射线荧光光谱仪示意图 4)多道型： 多道型X射线荧光光谱仪基本上是相当于许多单道型的光谱仪构成的，每个通道都有自己的狭缝、晶体、探测器、计数记录器。每个通道固定测量一个指定的元素，一般在制造时，按指定的分析元素，选用最佳部件，并固定在相应分析元素的2角度上，不必再加调整。另外还有l

5、2个扫描道，用作定性扫描分析和测量固定道不能测量的其它分析元素。这样就不必改动固定道了。如果固定道的分析元素要改变，狭缝、晶体和探测器可以重新调整。这种仪器适用于测量频率高、样品量多和要求分析时间短的情况，通常用作固定分析元素的样品分析，在生产上使用较多。 图69是一个聚焦法多道型X射线荧光光谱的示意图。 图图69 聚焦法多道型聚焦法多道型X射线荧光光谱仪示意图射线荧光光谱仪示意图 6.2.2 6.2.2 波长色散型波长色散型X-X-射线荧光光谱仪的构造射线荧光光谱仪的构造 通常的波长色散型X射线荧光光谱仪是由三大部分组成： X射线发生器， 分光系统 测量记录系统。 但每一部分都另有一些部件构

6、成（见表6-4）。正确选择测量条件可以得到精确而可靠的分析结果。X射线发生器分 光 系 统测量记录系统A、X光管B、X射线电源控制器C、高压电源D、X光管冷却装置A、测角器B、狭缝系统C、分光晶体D、探测器E、样品室A、脉冲高度分析器B、定标/定时器C、记录系统D、计数管高压电源E、数据处理机表表64 波长色散型波长色散型X射线荧光光谱仪的构造射线荧光光谱仪的构造下面介绍一下仪器的一些重要部件。1)X X光管：光管：X光管是一种应用最广泛的X射线源。X射线荧光光谱仪上使用的是封闭式的X光管，它具有如下特点：A、输出功率高，通过提高功率、减少靶到窗口距离、使用薄的铍窗来实现，通常XRF分析范围在

7、0.740Kev，电压就是150KV；B、输出强度恒定，长期漂移保持在0.20.05C、操作温度低；D、靶材有较高的纯度，靶材的原子序数越低，以特征谱线激发为主；E、使用寿命长。 我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物2022-7-31 封闭式的X光管有负高压工作的侧窗型和正高压工作的端窗型两种管。 （1）侧窗型X射线管。它的窗口位于管头的侧面，结构比较简单，采用

8、负高压工作，阳极与地同电位。它只需用一般自来水或空气直接冷却阳极靶就可以了。因此使用比较方便，安全可靠且价格低。缺点是管子的窗口由于吸收反向散射电子，所以铍窗厚度较大，通常达300m，对测定轻元素不利。我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物2022-7-31 （2）端窗型X射线管。它的窗口位于管头的顶部，是应用比较广泛的一种。因为它可以有效地利用空间位置。能安装多

9、达30个波道的光路。为了兼顾长短波长的激发效率，通常选用铑靶。由于窗口不吸收反向散射电子，铍窗厚度可薄到125m，这就大大提高了对长波辐射的透射率，非常有利于对轻元素的激发。这种管子由于采用正高压工作，阳极必须与地隔离。直接冷却阳极靶的水路必须采用去离子水（ 510105s/cm）循环冷却，因此，这类管子结构比较复杂，价格亦比较贵。2022-7-3120端窗型X 射线管结构示意图2022-7-3121高速电子撞击使阳极元素的内层电子激发；产生高速电子撞击使阳极元素的内层电子激发；产生X X射线辐射。射线辐射。侧窗型X 射线管结构示意图 X光管发射出来的连续谱和靶材的特征谱都可用来激发二次X射线

10、，在这些光谱中仅波长比样品中被测元素某谱系吸收边波长短的X射线才能激发该谱系的特征X射线。如果靶线靠近吸收限短波一侧并很强，则该靶线在激发过程中起主要作用。否则连续谱激发起主要作用。 从样品中产生的二次X射线光子数(IF)与X光管发射出的初级X射线到达样品上的光子数(IP)的比值叫做X射线荧光激发效率E EZZ。 E EZZ=I=IF F/I/IP P (634) 图610和611说明，波长比吸收限波长短，而且越接近吸收限的X射线进行激发最有效。图图610 重元素重元素K系系X射线荧光激发效射线荧光激发效 图图611 轻元素轻元素K系系X射线荧光激发效率射线荧光激发效率 X光管发射出来的X射线

11、称为初级X射线或叫做一次X射线，它是由连续谱和靶材的特征谱组成。在第一节中已经知道，连续谱的强度分布函数为： 对于X光管发射出来的连续谱必须还要考虑二个因子，靶材的自吸收因子f和X光管窗口(Be)的吸收因子Wab，这样公式为： 铍窗的吸收因子Wab可以根据X射线吸收公式求得式中Be为铍的质量吸收系数；Be为铍的密度，Be=o.185gcm2；tBe为铍窗的厚度。1)(1KiZI02(66) ab020c1)fW(1KiZI(635) )texp(WBeBeBeab(636) 1)EE(ChEkiZImax222E或abmax222cofW1)EE(ChEkiZ(E)I或对于靶材的自吸收因子f有

12、一个半经验公式其中式中()为靶材的质量吸收系数，为X射线自靶面的出射角。式(639)为经验公式 。2)C(1f(637) csc)11(1.651.650(638) )10)(0.25 Z102.56(1)Z102.56(11C4203123(639) csc(E)hCE()hCE(1.651.65max 对于特征谱的计算，采用计算特征谱和相应波长处连续谱的强度比值IchIco来计算。式中 V0=i/0 或 V0Emax/Ei (i、Ei为特征谱线的波长、能量)a、b、d为常数，对于不同的谱线，a、b、d值不同。d)ZbaR(II4coch(640) 11VlnVV000(641) 2003.

13、21.17V1V0.5expR(642) 表表65 式式(640)中常数中常数a、b、d的值的值 谱 线abdKK1L1,2L13.221065.131052.021071.761079.761042.051052.651066.05106-0.39-0.14 0.21-0.09 关于X光管发射出来的X射线强度分布，也有表可查，大部分表的数值是实际测量得到的。 靶材有Rh、W、Mo、Cr、Sc、Ag、Pt和Au等，常用的是Rh、W、Pt、Cr靶。表66给出了W、Pt、Cr和Rh靶的X光管用途和特征，表67是实际使用时强度比较。表表66 W66 W、PtPt、CrCr和和RhRh靶的靶的X X光

14、管用途和特征光管用途和特征靶 用 途特 征W用于重元素1.48的WL1特征线和连续谱用来有效地激发重元素。Pt用于重元素仅有少量的不纯杂质谱线，用于分析W、Cu的微量成分。Cr用于轻元素2.29 的CrK线提高了轻元素分析的灵敏度，与W靶相比，轻元素的谱线强度是2倍，而重元素的谱线强度是1/4。Rh用于重元素和轻元素0.61的RhK线用于激发重元素，而4.60的RhL1线用于激发轻元素。MgAlSiPSClCaTiMnFeNiMoSnCr/W2.502.502.32.39 92.42.40 02.72.70 02.12.10 02.12.16 61.81.80 0-0.20.23 3-0.40

15、.41 1-Rh/Cr-1.11.16 6-1.11.11 1-0.10.18 82.12.16 6-2.02.00 04.24.22 21.71.73 3表表67 Cr、Rh和和W靶的强度计数比较靶的强度计数比较 2) 分光晶体：波长色散X射线荧光光谱分析是根据特征谱线的波长来鉴别元素的。从样品中发射出来的X射线荧光光谱中不同元素的K、L等谱系的谱线混在一起，必须分开才能鉴别。利用单晶的衍射性能，根据布拉格公式可以将X射线荧光按波长顺序分开来，这种利用晶体的衍射性进行X射线分光的方法叫做晶体色散法，所使用的晶体叫做分光晶体，也叫分析晶体。 所用的分光晶体应具有四个特性：A、适合于所需要测量的

16、分析线的波长范围； 2d，并且衍射强度大 ，峰背比高；B、分辨率高，即具有较高的色散率和窄的衍射峰宽度；C、不产生异常反射线，不产生晶体荧光，不含干扰元素；D、稳定性好，要求温度系数小，对水蒸气、空气、X射线中曝光时的稳定性要好；机械性能良好。 晶体的分辨率就是它分开或辨别波长几乎相等(接近)的两条谱线的能力，分辨率同时受到两个因素的影响：角色散，即两条波长差为光谱线2角分开的程度，越大分辨率越高；和发散度即衍射线的2宽度，一般用衍射峰的半高宽B(即衍射峰半高处的宽度)来表示，B越小，分辨率越高。角色散可从布拉格衍射公式的微分形式得到： 2dsin=n (632)两边微分 2dcosd=nd

17、得： n=1时 从式(643)可知，随d减小或角增大分辨率提高，晶体的2d必须大于，当2d稍大于时分辨率最好，当n变大时，dd也变大，故选用高次衍射线也能提高分辨率。 222n4dn2dcosndd(643) 224d12dcos1dd 晶体的发散度B与准直器和晶体本身结构性质有关。如要使两条谱线分辨开，根据瑞利判别原理，这两条谱线峰处的2角之差大于或等于两个峰的半高宽之和时才能算分辨，即2=2B或=B。代入式(643)，得 =2dcosn (644) 式(644)的意思是晶体的发散度为B时，两条谱线的波长差大于或等于2dcosn时，此两条谱线才能分开，小于就不能分开。 在分析中，根据分析的要

18、求来合适地选择晶体。表68给出了一些常用的分光晶体。2dcosnB表表68 常常 用用 的的 分分 光光 晶晶 体体分光晶体衍射面2 d ()测量范围特 点黄 玉(303)2.712大于23VX射线反射比LiF低，但峰的分离较好。LiF(200)4.0267大于19KX射线反射强，用于重元素NaCl(200)5.649大于16SX射线反射对S特别强Ge(111)6.532大于15P晶体形状是菱形的，对P、S反射强，可消除高次衍射线PET(a)(002)8.742大于13Al对A1、Si反射强EDDT(b)(020)8.808大于13Al一般用于轻元素，Al和SiADP(c)(101)10.64

19、大于12Mg测Mg用石 膏(020)15.16大于11Na测Na用TAP(d)(001)25.75大于8O用于非常轻的元素SX一2全反射镜6C测C用注：(a)PEG-季戊四醇 C(CH2OH)4 (b)EDDT-酒石酸乙二铵 C6H14N2O6 (c)ADP-磷酸二氢铵 NH4H2PO4 (d)TAP-邻苯二甲酸氢铵 TlOOC.C6H4.COOH 3)X射线光路： 波长大于0.3nm的X射线由于被空气吸收使强度显著减弱，因而对探测比20Ca轻的元素，X射线的光路(X光管样品分光晶体探测器)用真空或充满He气。除直接测量液体样品外，一般都用真空光路。图612给出了真空度和轻元素的X射线强度的关

20、系。图图612 真空度与轻元素真空度与轻元素X射线强度的关系射线强度的关系 我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物2022-7-31表6A 温度与气压的变化对元素X射线强度的影响 4)探测器： 探测器实际上是一种能量转化装置，是用来接收X射线通过能量转化(光能转化为电能)变成可探测信号，然后通过电子测量装置进行测量。在入射X射线与探测器活性材料的相互作用下产生电子

21、，由这些光电子形成的电流经电容和电阻产生脉冲电压。脉冲电压的大小与X射线光子的能量成正比。 在X射线荧光光谱仪上，一般波长色散型的仪器用闪烁计数管和流气式正比计数管，能量色散型的仪器用Si(Li)半导体探测器。我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物2022-7-31 （1）流气式正比计数器（F-PC）。它主要用来探测波长在0.21.5nm的X射线，用于分析轻元素。

22、通常用厚26m，并喷镀铝的聚酯膜作窗口材料，充有90氩10甲烷的混合气体。由于窗口如此薄，探测器很容易漏气，故需不断补充新鲜气体，气体的流量一般为1.63.2 L/min。 阳极丝（一般为直径为25100m金属丝），也叫芯线。X射线光子入射时，跟氩原子作用，夺去其最外层电子，产生氩阳离子。这就是射线的电离作用。由此产生的电子和阳离子叫做离子对。我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表

23、里边有一个活的生物2022-7-31图A 流气式正比计数器（FPC）结构我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物2022-7-31 近年来，为了探测超软X射线（波长达110nm），窗口常采用lm的聚丙烯或聚碳酸酯薄膜，甲烷的含量可高达100或用氦气代替氩气。流气式正比计数器的能量分辨率仅次于半导体探测器，是闪烁计数器的23倍。它的计数分辨时间与闪烁计数器相仿，适用于

24、高达105106cps（即脉冲s）的计数。我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物2022-7-31 （2）闪烁计数器（SC）。它主要用来探测波长在0.010.3nm的X射线，用于重元素分析，可记录高达106107cps的计数。它是由一块用铊激活的密封于铍窗内的碘化钠（NaI（Tl）晶体和一个光电倍增管所组成。它对高能量的X射线具有比较完全的吸收能力，而对6keV以

25、下的低能量X射线探测效率较差。这正好同流气式正比计数器的探测效率形成互补。 我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物2022-7-31 闪烁计数器由闪烁体和光电倍增管组成。闪烁体一般采用微量铊激活的NaI单晶。入射X射线（光子）转变成闪烁光子（能量约3eV（410nm）的蓝光）而射到光电倍增管上。 光电倍增管由光阴极和十级左右的打拿极（次阴极）以及阳极组成。位于与闪

26、烁体相接的光电倍增管入射窗附近的光阴极也叫做光电面。蓝光射到光电面时，放射出光电子，这种光电子打到第一级次阴极上就产生出加倍的二次电子，通过以后各级次阴极，电子流约增加到16倍，最后在阳极上产生电脉冲。 我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物2022-7-31图B 闪烁计数器结构（SC）我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？

27、但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物2022-7-31 （3）半导体探测器（SSD）锂漂移硅和锂漂移锗探测器（记作Si（Li）和Ge（Li）半导体探测器）。其优点是有极高的分辨率，良好的线性响应，寿命长和工作性能稳定等。它在常温下的噪声可达几十电子伏特以上。当用于X射线测量时，它必须在液氮保护下进行低温操作；因此在应用上受到了限制。 图C 表示SC和FPC的计数效率。 我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世

28、界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物2022-7-31图C 表示SC和FPC的计数效率 我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物2022-7-31表表69 各各 种种 探探 测测 器器 性性 能能 比比

29、 较较探 测 器使用波长范围(nm)死 时 间(s)允许最大计数率(计数/秒)能量分辨本领闪烁计数管(SC)0.020.20.1106较差流气式正比计数管(FPC)0.1550.2105较好Si(Li)半导体计数管0.051104最佳这三种探测器的性能见表69。 5）Solar狭缝：也叫准直器。Solar狭缝是由间隔平行的金属箔片组成的，作用在于截取一发散的X射线，使之成为平行光束，到达晶体和探测器窗口。 在晶体前面的狭缝称为第一狭缝；在晶体后面，探测器窗口前的狭缝称为第二狭缝。狭缝的分辨率与狭缝的发散度（BC）有关，发散度小，分辨率高。如图613所示，狭缝的发散度BC=tg-1d/L，狭缝的

30、发散角为2。如果箔间距d变短，分辨率就提高，X射线强度减弱，所以在重元素范围内，峰相互之间比较接近，用细狭缝(箔间距d小)，牺牲X射线强度来提高分辨率；而轻元素则相反。 对于轻元素，各元素的谱线相隔较远，强度较弱，用粗狭缝，来提高X射线强度。一般仪器上，第一狭缝都有粗、细各一个，根据被测元素来选择其中一个。2 dL图图613 Solar狭缝狭缝 6) 脉冲高度分析器： 脉冲高度分析器的作用是把从探测器出来经过放大以后的信号脉冲，选取一定范围的脉冲高度，将分析线脉冲从某些干扰线(如某些谱线的高次衍射线、晶体荧光、或待测元素特征谱线、高次线的逃逸线等)和散射线中分辨出来，从而可在不受任何干扰的情况

31、下进行分析测量。 从探测器输出的脉冲信号的大小与进入探测器的X射线光子能量成正比，脉冲信号的多少与X射线光子能量的关系曲线叫做脉冲高度分布曲线，也叫做波高分布曲线。 图614给出了脉冲高度分析器和各部分信号的方块图。从探测器来的信号按比例放大，然后进入上限和下限选择电路，这些电路只输出超过一定电平(上限或下限)的信号，经选择后进入下一个电路。在这电路中有两个输入端，如果两个输入端中有一个有输入，一个没有输入，电路有输出；如果两个输入端都有输入或都没有输入，电路没有输出。联合使用这些电路，就得到一定范围内的脉冲信号，这就是脉冲高度分析器的工作原理。 下限电平就叫做电平，上限与下限电平差叫做道下限

32、电平就叫做电平，上限与下限电平差叫做道宽或窗域。宽或窗域。电平与道宽可以调节，根据需要预先设置好，可以先作出能量分布函数，从能量分布函数中选择有用的信号，确定电平与道宽。图图614 脉冲高度分析器和各部分信号方块图脉冲高度分析器和各部分信号方块图 6.2.3 能量色散型X射线荧光光谱仪的构造 仪器主要组成由： 激发源（X光管） 样品室 Si(Li)探测器 多道分析器 记录和数据处理系统等组成。 1）X光管：由于能量色散型X射线荧光光谱仪使用的是Si(Li)探测器，它的最大计数率仅为104cps，所以用低功率的X光管。一般用30W或40W的侧窗铑(Rh)靶 X光管。由于侧窗管是负高压的，功率又低

33、，不必用水冷却，用空气冷却就可。 2）样品室： 根据测试样品的要求，有不同大小的样品室，一般能谱仪的样品室与波谱仪的一样。美国EDAX International Inc.产的EAGLE-II型和EAGLE-III型能量色散型X射线探针使用的是大样品室，样品室的直径为33cm，深度为31cm，室中有三维移动的样品架，样品在样品架上可在上、下、左、右、前、后自由地移动。 3）毛细管聚焦： 根据全反射原理：12nnsinrsini毛细管聚焦：毛细管聚焦基于全反射原理：当射线以掠入射角(入射射线与管壁表面之间的夹角)不大于全反射临界角c 入射到的空心玻璃毛细管光滑内管壁上，射线将以全反射在管壁之间传

34、输，传输原理见图。在射线毛细管中，空心玻璃毛细管起波导作用，射线在其中进行多次反射传输，而不像其他掠入射反射镜系统中只有一到两次反射，从而可以有效地控制射线的方向。我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物2022-7-31图图6.2.3-1 X射线毛细管光学原理示意图射线毛细管光学原理示意图 4）Si(Li)探测器： Si(Li)探测器由单晶硅半导体圆片组成，在其正

35、、负区(p型和n型)之间夹一层本征型(i型)补偿区。是一种pin型二极管，把锂扩散到P型硅中而形成补偿区，以补偿已存在的杂质和掺杂物。 半导体表面的P型层不参于探测过程，故称为半导体探测器的死层。在半导体Si(Li)片的两面，用真空镀膜法镀一层金，形成两个电极，与场效应晶体管前置放大器装在一起，然后设置一个厚度约为10微米的铍窗，并用胶密封其底面和边缘，形成一密封壳。X射线光子射入后，在锂片飘移层中被吸收，被吸收的每个X射线光子，将其能量转移给一个光电子，这个光电子又在引起新的电子空穴对的过程中耗尽其能量，每3.8eV的光子能量可产生一电子空穴对，X射线光子的能量越大，产生的电子空穴对就越多，

36、这就为Si(Li)探测器的输出脉冲高度与X射线光子能量成正比提供了依据。 Si(Li)探测器，应始终保持在真空恒温器的液氮温度(-196，77K)之下，即使闲置不用，也应如此。当探测器使用时，液氮致冷可以降低噪声，从而获得最佳分辨率，而且液氮致冷可使非常活泼的锂原子，在任何情况下都能保持最低的扩散速率。 5）多道分析器： 多道分析器有两类： 1.是单道分析器演变而来的多阈式多道分析器， 2.是模拟-数字变换(ADC)式多道分析器。 现代应用较多的ADC式的多道分析器。其电路由输入电路（ADC测量电路）、存储器和数据输出三部分组成。输入电路对输入脉冲信号进行编码，存储器按照编码结果进行分类记录，

37、数据输出设备把记录的结果以数据形式或者曲线形式输出。道数有256、512、1024、4096、8192道等，一般能谱仪用几千道就可以了，如一个020keV的谱用2048道，道宽约为9.8eV。 记录仪记录下的是每道的光子数，通过光滑化程序，就可以得到一张强度I随能量E连续分布的光谱图。 第三节第三节 样品的制备样品的制备 在X射线荧光光谱分析中，对于定性分析仅要求样品固定以防样品在真空中扩散；而对于定量分析，因为X射线荧光光谱分析是一种相对分析法，所以被测样品必须与标样的条件准备得完全一样，制样的好坏直接影响测量结果。对于不同的样品，制备的方法也不同。 6.3.1 6.3.1 块状样品块状样品

38、 1)钢铁、铁合金：由于样品较硬，可用金刚砂纸或磨床来磨平或抛光样品表面，要求样品表面平滑。 2)铝、铜及其合金：由于这类样品硬度较低，用车床或铣床来车平即可。 3)其它样品：要求被测样品的表面和标样的表面一样。 6.3.2 6.3.2 粉末样品粉末样品 对于一些金属屑粒、化学药品、聚合物、植物、陶瓷、矿石、土壤、岩石和沉积物，还有一些氧化物的粉末样品。由于颗粒大小不同，对X射线荧光光谱分析影响较大，所以在测量以前都要进行粉碎、磨细，颗粒大小一般需要颗粒的直径小于0.053mm（200目），然后在压力机上将粉末样品压片成型。要注意，在压片时，被测样品和标样的颗粒大小一样，所使用的压力要一样，这

39、样样品的密度一样。 我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物2022-7-31最常用压片方法有：（1）粉末直接压片。这种方法要求试样量比较多，且具有一定的粘结性，试样可直接倒入钢模中加压成形。（2）金属环保护压片法。它是把粉末样品直接压入金属（铝）或塑料环中，对样片起保护作用。（3）嵌镶压片法。为了制成更为坚固的样片，采用粘结剂做成基底和边套，能更好地保护被测试样不

40、受破损。嵌镶用的粘结剂通常有硼酸、甲基纤维素或低压聚乙烯粉末。 6.3.3 6.3.3 熔融法熔融法 熔融法是将样品熔解在一定的溶剂中，形成一种固溶体。它具有： 能消除待测元素化学态效应； 能消除样品的不均匀性和粒度效应； 能降低或消除样品的吸收增强效应， 熔融片便于进行测量和保管等优点。是目前常用的样品制备方法。 熔融效果的好坏，取决于熔剂、熔剂用量、熔融温度和时间。最常用的熔剂是硼酸盐，用95Pt加5%Au的合金坩埚。 6.3.4 6.3.4 液体样品液体样品 有些样品本身就是液体，如水、污水、油，电镀液等，有些固体样品，如不均匀样品，不规则的金属、合金和陶瓷等制件，或某些固体样品的标样难

41、以制备时把固体样品通过化学处理成液体样品。对于液体样品可以用液体样品盒，在空气光路中直接测定，这种方法现在很少采用。也可以把液体样品转化为固体样品再来测定。 方法主要有： 滴40100l液体样品在滤纸片上，干燥后测量，图615给出了滤纸片的形状，图616是制样过程，此法叫做点滴滤纸法； 用离子交换树脂吸收样品中的金属成分，离子交换树脂干燥后再测量其中的金属成分； 用有机溶剂萃取溶液中的待测元素，萃取后吸收在滤纸片上，干燥后测量； 在一个高度纯的金属上电解沉淀液体样品中的金属成分，然后测量； 用化学的方法使液体中的金属成分沉淀，干燥后测量。 目前常用的是点滴滤纸法，它是薄样法中的一种，具有许多优

42、点。图图615 滤纸片的形状滤纸片的形状 图图616 点滴滤纸片法制样过点滴滤纸片法制样过程程 第四节第四节 定性分析定性分析 X射线荧光光谱法特别适合于定性分析，它具有方便、快速和不破坏样品等优点。由于X射线荧光光谱简单，鉴定样品的组成元素是很容易的。定性分析是通过扫描分析，与测角器转动同步的记录系统进行记录，得到定性扫描图，根据定性扫描图上峰的位置来确定样品中所含的元素。图617为一个青铜器件的定性扫描图。2022-7-3174 从Moseley定律分析元素产生的特征X射线的波长，与其原子序数Z具有一定的对应的关系，这就是XRF定性分析的基础。那么在波长色散XRF中，则是通过Bragg定律

43、n=2dsin 将特征的波长与谱峰的2角联系起来。 1.如果检测样品中某个指定元素，只需选择合适的测量条件，并对该元素的主要谱线进行定性扫描，从所得的扫描谱图即可对该元素存在与否予以确定。 2. 若需对未知样品中所有元素进行定性，则需要用不同的测量条件和扫描条件编制若干个扫描程序段，对元素周期表中5B92U的所有元素进行全程扫描。然后由XRF专业知识人员根据X射线特征谱线波长及对应的2角（见下表、图），对扫描图谱中的谱峰逐一定性判别。我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物我吓了一跳，蝎子是多么丑恶

44、和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物2022-7-31我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物2022-7-31 晶体LiF200 2d0.402nm 2/（）原子序数元素谱线级数波长/nm能量/kev57.4284PoL620.0967212.7657.4660NdL510.193556.3

45、857.4790ThL220.0967912.7557.8747AgK240.0487025.3457.5226FeK10.193726.3757.5582PbL 320.0969112.73表：X射线波长及2角表（部分） 6.4.1 6.4.1 测量条件测量条件 仪器测量条件的选择，根据具体样品的分析要求来确定。对于全分析最好选用铑(Rh)靶X光管。 1. 测量条件 X光管 在额定功率下，尽量使用大的管电压和小的管电流，一般4kW的管为50kV70mA或40kV90mA；3kW的管为50kV50mA或40kV60mA。 滤光片、准直器、狭缝（宽、中、细） 分光晶体和探测器以及光路中介质条件。

46、 2. 扫描条件 扫描的2角度范围 速度 步长 6.4.2 谱峰的鉴别谱峰的鉴别 X射线荧光光谱定性分析是根据特征X射线的波长或能量来鉴定元素的。对于波长色散型的仪器，通过晶体衍射进行色散，原理就是布拉格公式 2 d sin=n。 通过定性扫描分析得到被分析样品的X射线荧光光谱图，从图上读出峰的衍射角位置(2角)。在已经计算好的每个晶体的衍射角度表(2-谱线表)上，查出这个角度位置上的峰可能的元素谱线。 下面是一些识别谱峰的方法： 2角：个谱系的峰不能单独出现，K和K、L1和L1等，具有不变的相对强度比出现。 对于强的峰，有二次和三次衍射峰出现，衍射级和强度间有一定关系的。 n 相对强度 1：

47、2：3：4100：20：7：3 一个元素的K1和K2线一般来讲是重叠的，以“K”表示，然而由于二次和三次衍射，峰的角度增大，K1和K2会出现分开。 表表611 特征特征X射线的相对强度射线的相对强度K 系L 系轻 元 素中间元素重 元 素K1100100100L1100K2505050L150K1,3152126L220K20.139L211L110L36L44L3L32L21 管电压：只有X光管的电子加速电压超过那个元素某谱系的激发电压时，那个元素某谱系的特征X射线才会激发出来。如管电压低于激发电压，不可能有该元素该谱系的特征线存在。 初级X射线的散射：初级X射线可以被样品散射，出现在X射线

48、荧光光谱中通常有X光管靶材的特征线，如Rh靶，有 RhK、RhK、等线以及杂质的谐线，如CuK、FeK、等线出现。 凭经验： 6.4.3 6.4.3 解谱的步骤解谱的步骤 人工解谱的步骤： 在定性扫描谱图上先确定强度最大的峰的2位置的角度，参照以上识别谱峰的方法，查“2谱线表”，找出此强度最大的峰是那个元素的K或L线； 在“谱线2表”上查出此元素的其它谱线的2位置的角度，在定性扫描谱图上将它们找出来； 在定性扫描谱图上再确定除已确认的谱线外的其余峰中强度最大的峰的2位置的角度，查“2谱线表”，找出此强度最大的峰是那个元素的K或L线； 重复步骤、，直到所有的峰确定为止。 2022-7-3183图

49、图617（01）一个青铜器件的定性扫描图）一个青铜器件的定性扫描图LiF(200)下面以图617为例加以说明： 图图617（02） 一个青铜器件的定性扫描图一个青铜器件的定性扫描图LiF(200) 图617上，强度最大的峰的2位置的角度为45.03, 查“2谱线表”，它是CuK线； 在“谱线2表”上查出Cu的CuK线和CuK、CuK的二次线的2角度分别为：40.45、87.50和99.96，在扫描图(图617)上将它们找出来； 图617上，剩下峰中强度最大的峰的2位置的角度为14.04, 查“2谱线表”，它是SnK线； 在“谱线2表”上查出Sn的SnK、SnL、SnL1、SnL2、SnL3和SnL1线的2角度分别为：12.43、126.77、114.41、104.09、110.37和96.37，在扫描图(图617)上将它们找出来； 现代XRF谱仪所带的定性分析软件一般均可自动对扫描谱图进行搜索和匹配，搜索包括确定元素的峰位、背景和峰位的净强度；而匹配则是从XRF特征谱线数据库中进行配对，以确定是何种元素的那条谱线。