第五章-工艺集成ppt课件.ppt

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1、我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物工艺集成工艺集成 Process Integration大规模集成电路制造工艺大规模集成电路制造工艺我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物2知识回顾知识回顾我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物3工艺集成工艺集成集成电路的工艺集成：集成电路的工艺集成： 运用各类单项工

2、艺技术（外延、氧化、气相沉积、光运用各类单项工艺技术（外延、氧化、气相沉积、光刻、扩散、离子注入、刻蚀以及金属化等工艺）形成电路刻、扩散、离子注入、刻蚀以及金属化等工艺）形成电路结构的制造过程。结构的制造过程。 薄膜形成薄膜形成光刻光刻掺杂、刻蚀掺杂、刻蚀我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物4工艺集成工艺集成 形成薄膜：化学反应，形成薄膜：化学反应，PVDPVD，CVDCVD，旋涂，电镀；，旋涂，电镀； 光刻：实现图形的过渡转移；光刻：实现图形的过渡转移； 改变薄膜：注入，扩散，退火；改变薄膜：

3、注入，扩散，退火； 刻蚀：最后图形的转移；刻蚀：最后图形的转移；器件的制备：器件的制备：各种工艺的集成各种工艺的集成 MOS MOS，CMOSCMOS，BJTBJT，BiCMOSBiCMOS，MESFETMESFET工艺目的：工艺目的：我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物5工艺的选择工艺的选择工艺条件：工艺条件：温度温度, , 压强压强, , 时间时间, , 功率功率, , 剂量剂量, ,气体流量气体流量, , 工艺参数：工艺参数：厚度厚度, , 介电常数介电常数, , 应力应力, , 浓度浓度

4、, , 速度速度,器件参数：器件参数：阈值电压阈值电压, , 击穿电压击穿电压, , 漏电流漏电流, , 增益增益,我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物6工艺的限制工艺的限制 MOSMOS：阈值电压束缚了氧化层厚度；：阈值电压束缚了氧化层厚度； BJTBJT：电流增益束缚了基区宽度；：电流增益束缚了基区宽度； 内连线：内连线：RCRC延迟束缚了电阻率；延迟束缚了电阻率； AlAl的存在限制了工艺温度；的存在限制了工艺温度； 刻蚀的选择比限制了材料的选择；刻蚀的选择比限制了材料的选择；器件特性要求

5、对工艺的限制：器件特性要求对工艺的限制：工艺兼容性的限制：工艺兼容性的限制：我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物7集成电路中器件的隔离集成电路中器件的隔离 由于MOSFET的源、漏与衬底的导电类型不同， 所以本身就是被PN结所隔离，即自隔离(self-isolated)； MOSFETMOSFET晶体管是自隔离，可有较高的密度， 但邻近的器件会有寄生效应； 我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物8L

6、OCOS 隔离隔离希望场区的V VT T大,保证寄生MOSFETMOSFET的电流小于1pA1pA；增加场区V VT T 的方法: 场氧化层增厚:栅氧化层的7-107-10倍； 增加场氧化区下面掺杂浓度(Channel-Stop ImplantChannel-Stop Implant， 沟道阻断注入)； /x222sA DBTFBBoqNVVC/=lnA DBiNkTqn我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物9LOCOS隔离工艺隔离工艺氮化硅氮化硅P型型衬底衬底p+p+P型型衬底衬底氮化硅氮化硅p

7、+p+SiO2我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物10LOCOS隔离工艺隔离工艺Birds Beak我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物11改进的LOCOS工艺 PBL: polybuffered LOCOS在LPCVD Si3N4前, 先淀积一层多晶硅,让多晶硅消耗场氧化时横向扩散的O。鸟嘴可减小至0.1-0.2um。 我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢

8、？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物12浅阱隔离浅阱隔离(Shallow Trench Isolation)与与LOCOS相比相比，STI尺寸按比例缩小更容易！尺寸按比例缩小更容易！我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物13MESFET器件制备工艺流程器件制备工艺流程GaAs优点：优点： 电子迁移率高；电子迁移率高； 更高的饱和漂移速度；更高的饱和漂移速度； 衬底可以实现半绝缘；衬底可以实现半绝缘；GaAs缺点：缺点： 体缺陷多；体缺陷多； 少子寿命短；少子寿命短； 氧化物

9、质量差；氧化物质量差；光刻胶光刻胶 外延生长外延生长n型有源层；型有源层； 外延生长外延生长n+接触层；接触层； Mask #1 刻蚀形成隔离刻蚀形成隔离我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物14MESFET器件制备工艺流程器件制备工艺流程Mask #2 形成源漏欧姆接触形成源漏欧姆接触金属蒸发沉积金属蒸发沉积 Lift-off工艺形工艺形 成金属图形；成金属图形； 蒸发沉积金属；蒸发沉积金属；Mask #3 刻蚀刻蚀n+层层GaAs， 源漏间形成断路；源漏间形成断路；光刻胶光刻胶光刻胶光刻胶光刻

10、胶光刻胶我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物15MESFET器件制备工艺流程器件制备工艺流程Mask #4 将沟道区刻薄；将沟道区刻薄； 定义栅极图形；定义栅极图形；金属蒸发沉积金属蒸发沉积光刻胶光刻胶光刻胶光刻胶Lift-off工艺形成栅电极工艺形成栅电极我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物16npn型型BJT器件制备工艺流程器件制备工艺流程 SiO2隔离隔离金属电极金属电极npn BJT：基区

11、为：基区为p型半导体，少数载流子为电子，型半导体，少数载流子为电子， 具有更高的迁移率，器件工作速度更快；具有更高的迁移率，器件工作速度更快； 横向隔离用横向隔离用SiO2，相对于，相对于pn结隔离，寄生电容更小；结隔离，寄生电容更小； 纵向利用纵向利用n+p结隔离；结隔离； n+埋层，也可以减少集电极的串联电阻；埋层，也可以减少集电极的串联电阻；我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物17npn型型BJT器件制备工艺流程器件制备工艺流程 Mask #1 定义埋层注入区定义埋层注入区 杂质注入杂质注

12、入+扩散；扩散； n型外延层生长，型外延层生长， 避免埋层杂质扩散；避免埋层杂质扩散；我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物18npn型型BJT器件制备工艺流程器件制备工艺流程 Mask #2 形成隔离形成隔离 减压减压SiO2生长；生长； Si3N4沉积；沉积； 硅阱刻蚀；硅阱刻蚀； 沟道阻挡离子注入；沟道阻挡离子注入； 隔离隔离SiO2形成；形成； Si3N4去除；去除；我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有

13、一个活的生物19npn型型BJT器件制备工艺流程器件制备工艺流程 Mask #3 基区注入掺杂基区注入掺杂Mask #4 薄氧化层刻蚀薄氧化层刻蚀Mask #5 基区接触基区接触p+注入掺杂注入掺杂我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物20npn型型BJT器件制备工艺流程器件制备工艺流程 n n+ +发射极发射极/ /集电极接触区集电极接触区P/AsP/As离子注入离子注入Mask #6 发射极注入；发射极注入； 集电极金属接触区注入；集电极金属接触区注入； 低能量，高剂量注入；低能量，高剂量注入

14、；绝缘层绝缘层我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物21npn型型BJT器件制备工艺流程器件制备工艺流程 PECVD SiNPECVD SiNx x 钝化层钝化层内连金属内连金属纵向纵向npnBJTnpnBJTMask #7 开接触孔；开接触孔；Mask #8 形成金属电极；形成金属电极；l 8次光刻次光刻l 5次注入次注入l 7次成膜次成膜l 5次刻蚀次刻蚀我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物22

15、NMOS制备工艺流程制备工艺流程Mask #1 定义有源区定义有源区(沟道阻止注入)我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物23NMOS制备工艺流程制备工艺流程LOCOS隔离隔离 去除去除Si3N4； 去除压力释放氧化层；去除压力释放氧化层；我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物24NMOS制备工艺流程制备工艺流程多晶硅多晶硅栅氧化层栅氧化层 自对准源自对准源/ /漏漏/ /栅注入栅注入pnpn结结沟道

16、沟道 栅栅 开栅接触孔开栅接触孔 多晶硅区多晶硅区l 栅氧化层生长；栅氧化层生长；l 多晶硅层沉积；多晶硅层沉积；Mask #2 形成栅极形成栅极我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物25NMOS制备工艺流程制备工艺流程 内连金属内连金属(Al-Si-Cu)(Al-Si-Cu) 内连绝缘层内连绝缘层接触孔接触孔Mask #3 开接触孔；开接触孔；Mask #4 形成金属电极形成金属电极金属半导体金属半导体我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快

17、，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物26NMOS制备工艺流程制备工艺流程 源漏接触源漏接触 外联接触外联接触钝化层钝化层PECVD SiNPECVD SiNx xMask #5 开外联接触窗口开外联接触窗口我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物27基于基于LOCOS的的CMOS工艺工艺AlCuSi PSGp+p+n+n+p+p+SiO2我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物28CMOS集成电路制

18、造工艺集成电路制造工艺I技术特点：技术特点： LOCOS隔离工艺；隔离工艺； 平坦化层：平坦化层：PSG， re-flow at 1100oC Al-Si金属作为内联金属；金属作为内联金属； 最小图形尺寸：最小图形尺寸：30.8um我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物29P型基片基于基于LOCOS的的CMOS工艺工艺我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物30释放压力氧化层P型基片生长释放压力生长释放

19、压力氧化層氧化層我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物31释放压力氧化层P型基片氮化硅LPCVD沉积沉积氮化氮化硅硅我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物32P型基片光刻胶氮化硅光光刻胶旋涂刻胶旋涂我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物33Mask #1, LOCOS隔离隔离我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐

20、怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物34P型基片光刻胶氮化硅Mask #1, LOCOS隔离隔离我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物35P型基片光刻胶氮化硅对准对准和曝光和曝光我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物36氮化硅P型基片光刻胶显显影影我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也

21、感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物37氮化硅P型基片光刻胶刻蚀氮化硅刻蚀氮化硅我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物38氮化硅P型基片去除光刻胶去除光刻胶我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物39氮化硅P型基片p+p+沟道阻止注入沟道阻止注入我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物40P型基

22、片氮化硅p+p+SiO2氧化形成氧化形成LOCOS我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物41P型基片p+p+SiO2去除氮化硅去除氮化硅/压力释放氧化硅压力释放氧化硅，清洗清洗我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物42P型基片p+p+p+SiO2生长遮蔽氧化层生长遮蔽氧化层我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活

23、的生物43光刻胶P型基片p+p+p+SiO2光刻胶旋涂光刻胶旋涂我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物44Mask#2, N型型阱区阱区我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物45光刻胶P型基片p+p+p+SiO2Mask#2, N型型阱区阱区我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物46光刻胶P型基片p+p+

24、p+SiO2曝光曝光我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物47光刻胶P型基片p+p+p+SiO2显影显影我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物48磷离子注入光刻胶P型基片p+p+p+SiO2N型阱区N型型阱区注入（预沉积）阱区注入（预沉积）我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物49P型基片p+p+p+Si

25、O2N型阱区去除去除光光刻胶刻胶我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物50P型基片p+p+N型阱区SiO2N型型阱区驱入（阱区驱入（Drive-in）我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物51P型基片p+p+N型阱区SiO2去除遮蔽氧化层去除遮蔽氧化层我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物52P型基片p+

26、p+N型阱区SiO2生长栅极氧化层生长栅极氧化层我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物53多晶硅P型基片p+p+N型阱区SiO2栅极氧化层沉积多晶硅沉积多晶硅我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物54多晶硅P型基片p+p+N型阱区SiO2光刻胶旋涂光刻胶旋涂我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物55Mas

27、k #3，栅极图形，栅极图形我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物56P型基片p+p+N型阱区SiO2多晶硅Mask #3，栅极图形，栅极图形我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物57 多晶硅P型基片p+p+N型阱区SiO2曝光曝光我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物58多晶硅P型基片p+p+N型阱区S

28、iO2显显影影我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物59P型基片p+p+N型阱区SiO2光刻胶多晶硅栅极刻蚀多晶硅刻蚀多晶硅光刻胶我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物60多晶硅栅极P型基片p+p+N型阱区SiO2去除光刻胶去除光刻胶我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物61多晶硅栅极光刻胶P型基片p+p

29、+N型阱SiO2光刻胶旋涂光刻胶旋涂我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物62光刻胶P型基片p+p+N型阱SiO2Mask #4 NMOS源漏注入源漏注入我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物63光刻胶P型基片p+p+N型阱SiO2曝光曝光我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物64光刻胶P型基片p+p+N

30、型阱SiO2显影显影我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物65P型基片p+p+SiO2磷/砷离子注入NMOS源漏栅自对准注入源漏栅自对准注入我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物66P型基片p+p+SiO2去除光刻胶去除光刻胶我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物67P型基片p+p+SiO2光阻光阻旋涂旋

31、涂我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物68P型基片p+p+SiO2Mask #5 PMOS源漏注入源漏注入我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物69P型基片p+p+N型阱区SiO2显显影影我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物70硼离子注入P型基片p+p+SiO2P型型源漏栅自对准注入源漏栅自对准注入我

32、吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物71P型基片p+p+SiO2去除去除光阻光阻我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物72p+p+P型基片SiO2n+n+p+p+退火退火我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物73p+p+SiO2n+n+p+p+LPCVD氮化氮化硅阻挡层沉积硅阻挡层沉积我吓了一跳，蝎子是多

33、么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物74PSGp+p+SiO2n+n+p+p+CVD沉积沉积PSG/BPSG我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物75PSGp+p+SiO2n+n+p+p+PSG Re-Flow我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物76PSGp+p+SiO2n+n+p+p+光刻胶旋涂光刻胶旋涂我吓了一跳，蝎

34、子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物77PSGp+p+SiO2n+n+p+p+Mask #6 形成接触孔形成接触孔我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物78BPSGp+p+SiO2n+n+p+p+显显影影我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物79 PSGp+p+SiO2n+n+p+p+接触孔刻蚀接触孔刻蚀我吓了一跳，

35、蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物80 PSGp+p+n+n+p+p+SiO2去除光刻胶去除光刻胶我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物81AlCuSiPSGp+p+n+n+p+p+SiO2金属沉积金属沉积我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物82AlCuSiPSGp+p+n+n+p+p+SiO2光刻胶旋涂光刻胶

36、旋涂我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物83AlCuSi PSGp+p+n+n+p+p+SiO2Mask #7 形成金属连线形成金属连线我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物84AlCuSiPSGp+p+n+n+p+p+SiO2显显影影我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物85AlCuSiBPSGp+p

37、+n+n+p+p+SiO2金属刻蚀金属刻蚀我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物86AlCuSi PSGp+p+n+n+p+p+SiO2去除去除光光刻胶刻胶#我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物87CMOS集成电路制造集成电路制造II技术特点：技术特点： 消除单晶硅衬底内氧杂质的影响，外延生长器件层；消除单晶硅衬底内氧杂质的影响，外延生长器件层； STI绝缘替代绝缘替代LOCOS绝缘；绝缘； 引入引

38、入LDD结构减小热载流子效应结构减小热载流子效应 利用金属硅化物减小寄生电阻；利用金属硅化物减小寄生电阻； 利用利用BPSG作为金属前电介质，减小作为金属前电介质，减小Re-Flow温度；温度； RTP活化注入杂质；活化注入杂质； 最小图形尺寸：最小图形尺寸：0.80.13um我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物P型硅衬底准备型硅衬底准备P型硅衬底我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物轻掺杂外延生长

39、轻掺杂外延生长硅外延层P型硅衬底我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物90Mask #1: N型型阱区阱区 我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物N型型阱区注入阱区注入p- 外延层P型衬底光刻胶N型阱区磷离子我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物Mask #2: P型型阱区阱区我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和

40、恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物93P型型阱区注入阱区注入硼离子P型阱区N型阱区光刻胶我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物94杂质扩散杂质扩散N型阱区P型阱区我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物95生长氧化层生长氧化层, LPCVD 沉积氮化硅沉积氮化硅N型阱区P型阱区氮化硅我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把

41、它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物96Mask #3: 浅沟槽绝缘浅沟槽绝缘(STI)我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物刻蚀沟槽刻蚀沟槽N型阱P型阱氮化硅氮化硅我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物98HDP-CVD 沉积沉积USG 填充沟道填充沟道N型阱P型阱氮化硅氮化硅USGUSG我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一

42、个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物99CMP USG, 停止停止于氮化硅层于氮化硅层N型阱P型阱NitrideNitrideUSG我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物100去除氧化硅去除氧化硅/氮化硅氮化硅N型阱P型阱USGSTI我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物101Mask #4: NMOS沟道沟道 VT 调整掺杂调整掺杂我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和

43、恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物102光刻胶磷离子N型阱P型阱USGSTINMOS沟道沟道 VT 调整掺杂调整掺杂我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物103Mask #5: PMOS沟道沟道 VT 调整掺杂调整掺杂我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物104光刻胶硼离子N型阱P型阱STIUSGPMOS沟道沟道 VT 调整掺杂

44、调整掺杂我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物105热氧化层生长热氧化层生长/LPCVD沉积多晶硅沉积多晶硅多晶硅N型阱P型阱STIUSG我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物106Mask #6: 栅极栅极我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物107刻蚀多晶硅刻蚀多晶硅 多晶硅栅极N型阱P型阱STIUS

45、G 光刻胶栅极氧化层我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物108Mask #7: NMOS LDD掺杂掺杂我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物109NMOS LDD掺杂掺杂光刻胶砷离子N型阱P型阱USGSTI我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物110Mask #8: PMOS LDD掺杂掺杂我吓了一跳

46、，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物111PMOS LDD掺杂掺杂, BF2+光刻胶BF2+ 离子N型阱P型阱STIUSG我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物112侧壁层侧壁层(Spacer)栅极氧化层n- LDDn- LDD侧壁层侧壁层多晶硅栅极多晶硅栅极栅极氧化层n- LDDn- LDD我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表

47、里边有一个活的生物113Mask #9: NMOS源漏注入源漏注入我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物114NMOS源漏注入源漏注入光刻胶磷离子N型阱P型阱n+n+STIp-p-USG我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物115Mask #9: PMOS 源漏注入源漏注入我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活

48、的生物116PMOS 源漏注入源漏注入光刻胶硼离子N型阱P型阱n+n+STIp+p+USG我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物117金属硅化物制备金属硅化物制备多晶多晶硅栅极硅栅极侧壁层侧壁层侧壁层栅极氧化层n-n-n+n+Ar+Ar+Ti多晶多晶硅栅极硅栅极n-n-n+n+TiSi2TiSi2Ti多晶多晶硅栅极硅栅极n-n-n+n+TiSi2TiSi2多晶多晶硅栅极硅栅极n-n-n+n+我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测

49、没有错：表里边有一个活的生物118钛金属沉积RTP 硅化物形成未反应钛去除硅硅硅STI侧壁层钛钛金属硅化物多晶硅栅极氧化层栅极氧化层钛自对准金属硅化物形成钛自对准金属硅化物形成我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物119硼磷硅玻璃沉积硼磷硅玻璃沉积(BPSG)和再流动和再流动 (Re-Flow)n+n+p+p+STIUSGBPSGn+n+p+p+STIUSGBPSG我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生

50、物120Mask #10: 接触孔接触孔我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物121接触孔刻蚀接触孔刻蚀N型阱P型阱BPSGn+n+p+p+STIUSG我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一个活的生物122CVD钨沉积钨沉积N型阱P型阱BPSGn+n+p+p+STIUSG钨钛 / 氮化钛我吓了一跳，蝎子是多么丑恶和恐怖的东西，为什么把它放在这样一个美丽的世界里呢？但是我也感到愉快，证实我的猜测没有错：表里边有一