AFM原子力显微镜操作步骤.doc

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1、AFM原子力显微镜操作步骤1. AFM仪器开机。确认电源与控制机箱连接线无误后，依次打开计算机电源机箱低压电源高压电源激光器电源。2安装样品以及探针进给。安装好样品后将固定螺栓微微旋紧，切记勿要用死力！探针进给指的是将样品与探针逼近到进入原子力状态。仪器提供粗调和细调两种进给机构，每次测试前先将细调旋钮反向退到底，用粗调机构进样至离探针约1mm左右，再用细调机构进样，观察光斑，缓慢细调至光斑移动到PSD信号接收区域，继续微调并观察机箱显示读数：PSD信号约1.600V左右，Z反馈信号约-150至-250。此时进入反馈状态，进入反馈状态后，控制系统会自动调整和保持样品与探针之间的间距。3 样品扫

2、描。 运行扫描软件，根据需要设置扫描参数。进入扫描工作状态。4图像显示与存贮。扫描过程自动进行。图像以逐行 (或逐列) 扫描、逐行（或逐列）显示的方式显示。在不改变扫描参数的情况下，扫描在同一区域循环重复进行。也可根据需要改变扫描区域和扫描范围。对于满意的图像，可随时将图像捕获存贮。存贮时，计算机自动保存图像信息和扫描参数信息。5退出扫描和关机。如已获得理想的图像，不再作另外扫描，可按“退出”键退出扫描程序。然后依次关闭高压电源、激光器电源、低压电源等。 注意事项：1. 在进行安装样品操作时，固定螺栓只需轻轻旋紧，勿要用螺刀按压，用力过猛容易损害仪器。2. 退出扫描后，首先应将样品退出反馈状态，以免误伤探针！3. 在进行样品更换时，为安全考虑，应先关闭高压电源。更换好以后重新开启高压电源。1显 源操电开步后好更压关虑全，品行针针以，馈品先后器害易力用螺勿旋需栓，作品行项。源压源激电高关后描退”退描外作像想机机扫息数扫和图自计贮贮捕图随像满于范和扫要根可复重区描下情描变在示示显或、扫列 逐图动贮与显态作描入参扫据件扫运描距间间与保整自系后状反态入此 至 约反，左.约 ：示察调微区接 到光调缓察观构用右 针至构调底向钮细前测构种细调器。子进逼针样是进力用记紧栓固品给给及品源器电高电箱电计依误无箱与机器