光学元件技术要求与检验国际新标准ppt课件.ppt
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基本内容0.30.1弧分34381nETDmmRRETDfL21111RqGLRqPMC/DPSDPC/D非球面非旋转对称绕Z轴旋转对称面坐标轴不重合的回转面椭球面双曲面抛物面锥面（ab）柱面椭球面双曲面抛物面锥面（a=b）球面环带面平面（斯密特校正板）4.2.1 被测表面偏差分解与A、B、CSagitta/APV/B(RMSt)PV/C(RMSi)-b-d=e (RMSa)PV1020406080SCRATCHSAMPLE510204050DIGSAMPLERa 0.012Rq15nm ？Rq2.00.5nm注意：P1 P4 不要与PI- PIV混淆Rq 2G5GRq 2m5 mmRq 0.001P30.002/1PSD 10P40.001/1-6
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