先进制造工艺技术-微纳制造技术ppt课件.ppt

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1、1之之 先进制造工艺技术先进制造工艺技术先进制造系统先进制造系统1 1 微纳制造微纳制造 1.1 微纳制造的发展微纳制造的发展 1.2 微系统的关键技术微系统的关键技术 1.3 纳米加工技术纳米加工技术 1.4 微纳制造例子微纳制造例子2之之 先进制造工艺技术先进制造工艺技术先进制造系统先进制造系统 微纳制造技术是关于微系统和纳米技术的统称。微纳制造技术是关于微系统和纳米技术的统称。 1 1）微系统）微系统 是指集成了微电子和微机械（或光学、化学、是指集成了微电子和微机械（或光学、化学、生物等方面微元件）的系统。它以微米尺度理论为基础，用生物等方面微元件）的系统。它以微米尺度理论为基础，用批量

2、化的微电子技术和三维加工技术来完成信息获取、处理批量化的微电子技术和三维加工技术来完成信息获取、处理及执行等功能。微系统按特征尺寸范围可分为三类：及执行等功能。微系统按特征尺寸范围可分为三类：1mm1mm 10mm10mm的微小机械，的微小机械，1m1m1mm1mm的微机械，的微机械，1nm1nm10m10m的纳米机械的纳米机械。 2 2）纳米技术）纳米技术 是指纳米级是指纳米级0.1nm0.1nm100nm100nm的材料、设计、的材料、设计、加工、测量、控制和产品的技术。加工、测量、控制和产品的技术。 本节将主要介绍纳米加工技术。本节将主要介绍纳米加工技术。 1.1 1.1 微纳制造的发展

3、微纳制造的发展 1. 微纳制造的概念微纳制造的概念 3之之 先进制造工艺技术先进制造工艺技术先进制造系统先进制造系统 微型机械将逐步走向微型机械将逐步走向实实用化，对工农业、信息、环境、生用化，对工农业、信息、环境、生物医疗、空间、国防等领域的发展将产生重大影响。物医疗、空间、国防等领域的发展将产生重大影响。 如把传感器和调配药剂量的如把传感器和调配药剂量的“药剂师药剂师”集于一身，制成微集于一身，制成微型型“智能药丸智能药丸”，通过口服或皮下注射进入人体，用以探测和，通过口服或皮下注射进入人体，用以探测和清除人体内的癌细胞。微系统可用于视网膜手术、修补血管等。清除人体内的癌细胞。微系统可用于

4、视网膜手术、修补血管等。 在工业领域，微型机电产品可以在管路检修和飞机内部检在工业领域，微型机电产品可以在管路检修和飞机内部检修等狭窄空间和恶劣环境下进行诊断和修复工作。在汽车轮胎修等狭窄空间和恶劣环境下进行诊断和修复工作。在汽车轮胎内嵌入微型压力传感器用以保持适当充气，避免充气过量或不内嵌入微型压力传感器用以保持适当充气，避免充气过量或不足，仅此一项就可节油足，仅此一项就可节油1010，仅美国国防部系统就能节省几十，仅美国国防部系统就能节省几十亿美元的汽油费。亿美元的汽油费。1.1 1.1 微纳制造的发展微纳制造的发展 2.2.微微纳制造技术的应用纳制造技术的应用4之之 先进制造工艺技术先进

5、制造工艺技术先进制造系统先进制造系统1.2 1.2 微系统的关键技术微系统的关键技术 微系统设计技术微系统设计技术 微细加工技术微细加工技术 微系统组装和封装技术微系统组装和封装技术 微系统的表征和测试技术微系统的表征和测试技术5之之 先进制造工艺技术先进制造工艺技术先进制造系统先进制造系统1.3 1.3 纳米加工技术纳米加工技术 纳米加工技术主要有纳米加工技术主要有5 5个方面个方面： 6之之 先进制造工艺技术先进制造工艺技术先进制造系统先进制造系统 它的工艺过程为：它的工艺过程为： 采用深层同步辐射光刻，涂覆光采用深层同步辐射光刻，涂覆光致抗蚀剂（图致抗蚀剂（图a a），经），经X X射线

6、曝光蚀刻射线曝光蚀刻出图形（图出图形（图b b）；）； 电铸，以曝光蚀刻的图形实体作电铸，以曝光蚀刻的图形实体作为电铸用胎模，用电沉积法在胎模上为电铸用胎模，用电沉积法在胎模上沉积金属（图沉积金属（图c c），生成微铸件（图），生成微铸件（图d d） 注射成形，以微铸件为模具，即注射成形，以微铸件为模具，即可加工所要求的微零件（图可加工所要求的微零件（图e e）。）。1.3 纳米加工技术纳米加工技术图图1 LIGA法的工艺过程法的工艺过程a）涂覆光致抗蚀剂 b）X射线曝光蚀刻c）电铸 d）微铸件 e）注射成形零件d）7之之 先进制造工艺技术先进制造工艺技术先进制造系统先进制造系统1.3 纳米加

7、工技术纳米加工技术8之之 先进制造工艺技术先进制造工艺技术先进制造系统先进制造系统1.3 纳米加工技术纳米加工技术9之之 先进制造工艺技术先进制造工艺技术先进制造系统先进制造系统1.3 纳米加工技术纳米加工技术10之之 先进制造工艺技术先进制造工艺技术先进制造系统先进制造系统1.3 纳米加工技术纳米加工技术11之之 先进制造工艺技术先进制造工艺技术先进制造系统先进制造系统1.3 纳米加工技术纳米加工技术12之之 先进制造工艺技术先进制造工艺技术先进制造系统先进制造系统 目前，集成电路已经从目前，集成电路已经从2020世纪世纪6060年代的每个年代的每个芯片上仅几十个器件发展到现在的每个芯片上可

8、芯片上仅几十个器件发展到现在的每个芯片上可包含约包含约1010亿个器件，亿个器件，其集成度每其集成度每3 3年提高年提高4 4倍倍。这。这一增长速度不仅导致了半导体市场在过去一增长速度不仅导致了半导体市场在过去3030年中年中以平均每年约以平均每年约15%15%的速度增长，而且对现代经济、的速度增长，而且对现代经济、国防和社会也产生了巨大的影响。集成电路之所国防和社会也产生了巨大的影响。集成电路之所以能飞速发展，光刻技术的支持起到了极为关键以能飞速发展，光刻技术的支持起到了极为关键的作用。的作用。 1.4 微纳制造应用案例微纳制造应用案例1.1.电子束光刻加工技术电子束光刻加工技术13之之 先

9、进制造工艺技术先进制造工艺技术先进制造系统先进制造系统 电子束光刻的电子束光刻的原理如图原理如图2 2所示，所示，在由掩膜在由掩膜（其上有所需集成电路图形）、光致抗蚀剂涂层（其上有所需集成电路图形）、光致抗蚀剂涂层和半导体基片构成的三层材料上，利用电子束透和半导体基片构成的三层材料上，利用电子束透射掩膜，照射到光致抗蚀剂涂层上，射掩膜，照射到光致抗蚀剂涂层上，由于化学反由于化学反应，经显影后，在光致抗蚀剂涂层上就形成与掩应，经显影后，在光致抗蚀剂涂层上就形成与掩膜相同的所需线路图形膜相同的所需线路图形。随之，。随之，在基片上形成电在基片上形成电路路有两种处理办法：用离子束溅射去除，可得有两种处

10、理办法：用离子束溅射去除，可得到凹形电路。用金属蒸镀方法，可形成凸形电到凹形电路。用金属蒸镀方法，可形成凸形电路。路。 1.4 微纳制造应用案例微纳制造应用案例1.1.电子束光刻加工技术电子束光刻加工技术14之之 先进制造工艺技术先进制造工艺技术先进制造系统先进制造系统1. 1. 电子束光刻加工技术电子束光刻加工技术1.4 微纳制造应用案例微纳制造应用案例图图2 电子束光刻加工过程电子束光刻加工过程15之之 先进制造工艺技术先进制造工艺技术先进制造系统先进制造系统2. 微型机械昆虫 加州大学布克莱分校的学者花了三年时间，研究自然界昆虫的特别飞行方式，并根据这种非稳定速度模式的气动学原理，制造了

11、只有 25 毫米宽 (从一翼端至另一翼端) 的微型机械昆虫。 该机械昆虫有类似同类生物的灵活胸腔结构，并在其中置有压电致动器，可作有力及高频率的振翅动作，只要装上锂电池或太阳能充电电池，便能像自然界中的昆虫一样自动不停的飞翔。1.4 微纳制造应用案例微纳制造应用案例16之之 先进制造工艺技术先进制造工艺技术先进制造系统先进制造系统3. 3. 世界最小的微型机械人世界最小的微型机械人 美国山迪亚国家实验室的科学美国山迪亚国家实验室的科学家家, ,成功研制了世界最小的微型机成功研制了世界最小的微型机械人，其只有械人，其只有1/41/4立方寸，体重小立方寸，体重小於於1 1盎司。科学家希望利用这种微

12、盎司。科学家希望利用这种微型机械人，帮助侦查地雷，化学及型机械人，帮助侦查地雷，化学及生物武器的所在；由於机械人体积生物武器的所在；由於机械人体积细小，可爬进建筑物的管道，找出细小，可爬进建筑物的管道，找出化学品甚至人类所在，并将有关信化学品甚至人类所在，并将有关信息传送到指挥中心；科学家还可以息传送到指挥中心；科学家还可以部署一群微型机械人，进行不同的部署一群微型机械人，进行不同的任务，比较体积大的机械人更灵活任务，比较体积大的机械人更灵活和有弹性。和有弹性。1.4 微纳制造应用案例微纳制造应用案例17之之 先进制造工艺技术先进制造工艺技术先进制造系统先进制造系统 耳蜗里的听觉毛细胞可以感测

13、到在淋巴液内移动的声波，并且将声波转换为电子讯号，听神经再将此讯号传达到大脑。但不幸的是很多人甚至是一出生就没有机会倾听大自然美妙的声音，但是密西根大学研究人员研发的机械耳蜗他们带来了希望。4. 4. 以微型加工技术制造的机械耳蜗以微型加工技术制造的机械耳蜗1.4 微纳制造应用案例微纳制造应用案例 机械耳蜗的作用原理与生物耳蜗相同，以薄膜结构模仿基底膜构造。密大的机械耳蜗有三个优点，首先是其尺寸大小如实体，其次是适合大量生产，最后是能以低功率机械方式进行声学信号处理。18之之 先进制造工艺技术先进制造工艺技术先进制造系统先进制造系统5. 微型机械零件微型机械零件“自组织化自组织化”装配技装配技

14、术术东京大学山下勋教授日前开发出一种微型机械零件东京大学山下勋教授日前开发出一种微型机械零件“自组织自组织化化”自动装配技术，利用自然界的自动装配技术，利用自然界的“自组织化自组织化”现象把散乱零件现象把散乱零件结合到一起，对提高工作效率、增加微型机械产量大有帮助。结合到一起，对提高工作效率、增加微型机械产量大有帮助。原子在硅酸化物基片上可以自然成形，这种现象被称为原子在硅酸化物基片上可以自然成形，这种现象被称为“自自组织化组织化”。山下教授受此启发，先在微型零件表面涂上化学物质，。山下教授受此启发，先在微型零件表面涂上化学物质，让他们具有溶水性或排水性，然后放入溶液中。结果，排水性零让他们具

15、有溶水性或排水性，然后放入溶液中。结果，排水性零件互相吸引，而与溶水性零件互相排斥。只要在零件表面涂料上件互相吸引，而与溶水性零件互相排斥。只要在零件表面涂料上下功夫，零件就会根据需要很好地结合在一起。研究人员把直径下功夫，零件就会根据需要很好地结合在一起。研究人员把直径仅为仅为1010微米的硅粒作为零件进行实验，硅粒排成一列，连成微小微米的硅粒作为零件进行实验，硅粒排成一列，连成微小柱形，再在基片表面进行化学处理，成功地把硅粒柱敷设在基片柱形，再在基片表面进行化学处理，成功地把硅粒柱敷设在基片上。这种技术在超大规模集成电路微型装置镶嵌中大有用武之地。上。这种技术在超大规模集成电路微型装置镶嵌

16、中大有用武之地。1.4 微纳制造应用案例微纳制造应用案例19之之 先进制造工艺技术先进制造工艺技术先进制造系统先进制造系统 根据美国康乃尔大学奈米生物科技研根据美国康乃尔大学奈米生物科技研究小组的研究，已成功地制造出与病毒大究小组的研究，已成功地制造出与病毒大小差不多的分子马达。该生物分子马达是小差不多的分子马达。该生物分子马达是以以200nm200nm长、长、80nm80nm直径宽的金属镍为轴，并直径宽的金属镍为轴，并以分子以分子(F1-(F1-腺嘌呤核甘三磷酸合成酵素腺嘌呤核甘三磷酸合成酵素) )作作为马达，而以长为马达，而以长750nm750nm、直径为、直径为150nm150nm的镍的

17、镍作为螺旋桨。据研究人员的观察，该分子作为螺旋桨。据研究人员的观察，该分子马达被浸泡至马达被浸泡至ATPATP溶液中后，利用生物分子溶液中后，利用生物分子细胞内的化学反应，以细胞内的化学反应，以ATP ATP 作为能源，每作为能源，每秒转速可达秒转速可达8 8圈，并可连续转动圈，并可连续转动2.52.5小时。小时。 研究人员相信，像这样的微型分子马达可作为纳米机器人或其它纳米组件研究人员相信，像这样的微型分子马达可作为纳米机器人或其它纳米组件零件的一部分，它的潜在应用价值是非常之大的。也许，将来利用该马达所零件的一部分，它的潜在应用价值是非常之大的。也许，将来利用该马达所作成的潜艇就可进入人类

18、的血管之中，不必藉由传统的开刀方式，即可清除作成的潜艇就可进入人类的血管之中，不必藉由传统的开刀方式，即可清除脑血管中的血块，清理血管壁上的沉积物质，以排除中风的危机。脑血管中的血块，清理血管壁上的沉积物质，以排除中风的危机。6. 6. 纳米生物科技纳米生物科技- -分子马达分子马达1.4 微纳制造应用案例微纳制造应用案例20之之 先进制造工艺技术先进制造工艺技术先进制造系统先进制造系统7. 纳米齿轮纳米齿轮 Nano Gear此外，科学家利用苯甲基与此外，科学家利用苯甲基与C60的键结形成分子齿轮的雏型。的键结形成分子齿轮的雏型。因此，我们设想若能将多个分子以准确的位置键结至纳米碳管上，因此

19、，我们设想若能将多个分子以准确的位置键结至纳米碳管上，这样所形成的分子齿轮，将成为组成纳米机器非常有用的组件。这样所形成的分子齿轮，将成为组成纳米机器非常有用的组件。1.4 微纳制造应用案例微纳制造应用案例 由日本由日本Morinobu Endo教授所教授所领导的科技研究小组，于领导的科技研究小组，于2002年年2月初发表，利用纳米材料的月初发表，利用纳米材料的组成，于现有的制作技术，已组成，于现有的制作技术，已成功研制出世界上最小的齿轮。成功研制出世界上最小的齿轮。该齿轮直径仅有该齿轮直径仅有0.2mm，且具，且具有良好的抗磨损、抗热、滑动有良好的抗磨损、抗热、滑动特性，这无非为实现分子机器

20、特性，这无非为实现分子机器的实现又迈进了一大步。的实现又迈进了一大步。21之之 先进制造工艺技术先进制造工艺技术先进制造系统先进制造系统8. 8. 原子操纵术原子操纵术 原子操纵术可说是原子操纵术可说是STM (扫描穿透显微镜扫描穿透显微镜)的专长，该工的专长，该工具具备微小且精密的操控能力。扫描穿透显微镜的主要构造部具具备微小且精密的操控能力。扫描穿透显微镜的主要构造部分有一根金属钨分有一根金属钨(W)至的探针针头仅有几个原子宽，探针针头至的探针针头仅有几个原子宽，探针针头仅有几个原子那么宽。探针与被观测样品并不接触，而是在其仅有几个原子那么宽。探针与被观测样品并不接触，而是在其上方来回扫描

21、，当距离很近（约上方来回扫描，当距离很近（约10埃），针尖跟表面的偏压虽埃），针尖跟表面的偏压虽不大，但所产生的电场可不容忽视。藉由针头和样品之间电场不大，但所产生的电场可不容忽视。藉由针头和样品之间电场的吸引从而把样品中的原子拉离表面，并通过针头沿着表面移的吸引从而把样品中的原子拉离表面，并通过针头沿着表面移动到别处。如果对这种现象善加利用，就能对单个原子进行操动到别处。如果对这种现象善加利用，就能对单个原子进行操作，从而将它们逐个按特定结构作，从而将它们逐个按特定结构“组装组装”成纳米机械。成纳米机械。 1.4 微纳制造应用案例微纳制造应用案例 1990年美国年美国IBM的一群科的一群科学

22、家，首度将一颗颗氙原子学家，首度将一颗颗氙原子在镍表面上拖曳，逐颗将在镍表面上拖曳，逐颗将37颗原子排成颗原子排成“IBM”三个英文三个英文字母，相当引人注目字母，相当引人注目(如图如图)。22之之 先进制造工艺技术先进制造工艺技术先进制造系统先进制造系统8. 8. 原子操纵术原子操纵术1.4 微纳制造应用案例微纳制造应用案例将一顆一顆的铁原子團将一顆一顆的铁原子團, ,在在Cu(111)Cu(111)表面上排列成表面上排列成“原子原子”二字。二字。将一顆一顆的一氧化碳原子團，在将一顆一顆的一氧化碳原子團，在Pt(111)Pt(111)表面上排列成人的形狀。表面上排列成人的形狀。23之之 先进

23、制造工艺技术先进制造工艺技术先进制造系统先进制造系统9. 1.4 微纳制造应用案例微纳制造应用案例24之之 先进制造工艺技术先进制造工艺技术先进制造系统先进制造系统9. 莲花虽生长于池塘的淤泥中，但它露在水面上的莲花荷叶却出污泥而不染，美丽而洁净，它可说是运用自然的纳米科技来达成自我洁净的最佳实例。 经过科学家的察研究，在1990年代初终于揭开了荷叶叶面的奥妙。原来在荷叶叶面上存在着非常复杂的多重纳米和微米级的超微结构。经过电子显微镜的分析，莲花的叶面是由一层极细致的表面所组成，并非想象中的光滑。而此细致的表面的结构与粗糙度达微米至纳米尺寸的大小。叶面上布满细微的凸状物再加上表面所存在的蜡质，这使得在尺寸上远大于该结构的灰尘、雨水等降落在叶面上时，只能和叶面上凸状物形成点的接触。液滴在自身的表面张力作用下形成球状，藉由液滴在滚动中吸附灰尘，并滚出叶面，这样的能力胜过人类的任何清洁科技。这就是莲花纳米表面“自我洁净”的奥妙所在。1.4 微纳制造应用案例微纳制造应用案例25之之 先进制造工艺技术先进制造工艺技术先进制造系统先进制造系统1.4 微纳加工例子微纳加工例子9.