《先进制造技术》-第七讲:特种加工系列-激光加工.ppt
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1、目录一一.激光加工的原理和特点激光加工的原理和特点二二.激光加工的基本设备激光加工的基本设备三三.激光加工工艺及应用激光加工工艺及应用一一. .激光加工(激光加工(Laser Beam Machining LBMLaser Beam Machining LBM)的原理和特点)的原理和特点 激光是激光是20世纪以来,继原子能、计算机、半导体之后世纪以来,继原子能、计算机、半导体之后,人类的又一重大发明,被称为,人类的又一重大发明,被称为“最快的刀最快的刀”、“最准的最准的尺尺”、“最亮的光最亮的光”和和“奇异的激光奇异的激光”。它的亮度为太阳。它的亮度为太阳光的光的100亿倍。它的原理早在亿倍。
2、它的原理早在 1916 年已被著名的物理学家年已被著名的物理学家爱因斯坦发现,但要直到爱因斯坦发现,但要直到 1958 年激光才被首次成功制造。年激光才被首次成功制造。 Laser(Light Amplification by Stimulated Emission of Radiation ) 一一. .激光加工(激光加工(LBMLBM)的原理和特点)的原理和特点 1. 激光产生的原理激光产生的原理(1)光的物理概念及原子的发光过程)光的物理概念及原子的发光过程 光是一种人类眼睛可以见的电磁波(可见光谱)。在光是一种人类眼睛可以见的电磁波(可见光谱)。在科学上的定义,光有时候是指所有的电磁波
3、谱。科学上的定义,光有时候是指所有的电磁波谱。 光是由一种称为光子的基本粒子组成。具有粒子性与波光是由一种称为光子的基本粒子组成。具有粒子性与波动性,或称为波粒二象性。动性,或称为波粒二象性。 一一. .激光加工(激光加工(LBMLBM)的原理和特点)的原理和特点 1. 激光产生的原理激光产生的原理(1)光的物理概念及原子的发光过程)光的物理概念及原子的发光过程 根据光的电磁学说:根据光的电磁学说: c一一. .激光加工(激光加工(LBMLBM)的原理和特点)的原理和特点 1. 激光产生的原理激光产生的原理(1)光的物理概念及原子的发光过程)光的物理概念及原子的发光过程 根据光的量子学说,光是
4、一种具有一定能量的,以光根据光的量子学说,光是一种具有一定能量的,以光速运动的粒子流,光子能量与光子的频率成正比:速运动的粒子流,光子能量与光子的频率成正比: 其中:其中:E为光子能量为光子能量 h为普克朗常数为普克朗常数 V为光子的频率为光子的频率Eh一一. .激光加工(激光加工(LBMLBM)的原理和特点)的原理和特点 1. 激光产生的原理激光产生的原理(1)光的物理概念及原子的发光过程)光的物理概念及原子的发光过程 原子发光过程:原子发光过程: 原子内能原子内能=电子动能电子动能+电子的位能电子的位能 基态,激发态(高能态);基态,激发态(高能态); 跃迁;亚稳态能级跃迁;亚稳态能级1n
5、EEh原子核原子核原子结构一一.激光加工(激光加工(LBM)的原理和特点)的原理和特点物质与光相互作用的规律物质与光相互作用的规律 l受激吸收(简称吸收)受激吸收(简称吸收) l自发辐射自发辐射l受激辐射、激光受激辐射、激光 1. 激光产生的原理激光产生的原理原子核原子核原子核原子核激激励励激激励状態励状態当原子获得高能量时当原子获得高能量时其结构处于其结构处于不不稳定稳定状態状態还原还原光不不稳定的原子放出激光后,稳定的原子放出激光后,还原到原来的稳定状态还原到原来的稳定状态。放電一一. .激光加工原理激光加工原理一一.激光加工(激光加工(LBM)的原理和特点)的原理和特点粒子数反转粒子数反
6、转 (2)激光的产生)激光的产生 当频率一定的光射入工作物质时,受激辐射和受激当频率一定的光射入工作物质时,受激辐射和受激吸收两过程吸收两过程同时存在同时存在,受激辐射使光子数增加,受激吸,受激辐射使光子数增加,受激吸收却使光子数减小。物质处于热平衡态时,粒子在各能收却使光子数减小。物质处于热平衡态时,粒子在各能级上的分布,遵循平衡态下粒子的统计分布律。按统计级上的分布,遵循平衡态下粒子的统计分布律。按统计分布规律,处在较分布规律,处在较低能级低能级E1的粒子数的粒子数大于大于处在较处在较高能级高能级E2的粒子数。这样光穿过工作物质时,光的能量只会减的粒子数。这样光穿过工作物质时,光的能量只会
7、减弱不会加强。弱不会加强。 这种分布正好与平衡态时的粒子分布相反,称为这种分布正好与平衡态时的粒子分布相反,称为粒子数反转分布,简称粒子数反转。粒子数反转分布,简称粒子数反转。 如何从技术上实现粒子数反转是产生激光的必要如何从技术上实现粒子数反转是产生激光的必要条件。条件。 1. 激光产生的原理激光产生的原理一一.激光加工(激光加工(LBM)的原理和特点)的原理和特点(2)激光的产生)激光的产生粒子数反转必须具备的条件:粒子数反转必须具备的条件: 能量的供应过程激励(光泵)能量的供应过程激励(光泵) 1. 激光产生的原理激光产生的原理 低能级的粒子通过比高能级还要高一些的低能级的粒子通过比高能
8、级还要高一些的泵泵能级抽能级抽运到高能级。运到高能级。 一般可以用一般可以用气体放电气体放电的办法来利用具有动能的的办法来利用具有动能的电子电子去激发去激发激光材料激光材料,称为电激励;,称为电激励; 也可用脉冲光源来照射也可用脉冲光源来照射光学谐振腔光学谐振腔内的介质原子,内的介质原子,称为光激励;称为光激励; 为了使激光持续输出,必须不断地为了使激光持续输出,必须不断地“泵泵”以补充高以补充高能级的粒子向下跃迁的消耗量。能级的粒子向下跃迁的消耗量。 一一.激光加工(激光加工(LBM)的原理和特点)的原理和特点(2)激光的产生)激光的产生粒子数反转必须具备的条件:粒子数反转必须具备的条件:
9、工作物质内必须存在亚稳态能级工作物质内必须存在亚稳态能级 亚稳态不如基态稳定,但比激发态稳定。亚稳态不如基态稳定,但比激发态稳定。He,Ne,Ar,Ru,CO2等具有亚稳态,可实现粒等具有亚稳态,可实现粒子数反转。子数反转。 1. 激光产生的原理激光产生的原理光学谐振腔光学谐振腔使某一方向、某一频率的辐射不断得到加强,其它方向、使某一方向、某一频率的辐射不断得到加强,其它方向、其它频率的辐射受到抑制的装置其它频率的辐射受到抑制的装置全反射镜全反射镜M1部分反射镜部分反射镜M2激光激光工作物质工作物质作用作用选择激光的方向选择激光的方向选择激光的频率选择激光的频率激励能源激励能源1. 激光的产生
10、激光的产生一一. .激光加工原理激光加工原理激光的产生如图所示原子核原子核原子结构放電稳定稳定状態状態当外加能量为零当外加能量为零时,分子处于稳时,分子处于稳定状态。定状态。一一. .激光加工原理激光加工原理原子核原子核原子核原子核激激励励激激励状態励状態当原子获得高能量时当原子获得高能量时其结构处于其结构处于不不稳定稳定状態状態还原还原光不不稳定的原子放出激光后,稳定的原子放出激光后,还原到原来的稳定状态还原到原来的稳定状态。放電一一. .激光加工原理激光加工原理C.H.TownesA.M.Prokhorov N.G.Basov 汤斯汤斯19541954年在量子电子学研究中实现了氨分子的粒子
11、数反转,研制了年在量子电子学研究中实现了氨分子的粒子数反转,研制了微波激射器和激光器;普罗霍洛夫和微波激射器和激光器;普罗霍洛夫和巴索夫巴索夫1958年几乎同时年几乎同时在量子电子学在量子电子学的基础研究中,根据微波激射器和激光器原理研制了振荡器和放大器。以的基础研究中,根据微波激射器和激光器原理研制了振荡器和放大器。以上工作导致了激光器的发明。上工作导致了激光器的发明。The Nobel Prize in Physics 1964朱棣文等发明了用激光冷却原子的方法,并因此获得朱棣文等发明了用激光冷却原子的方法,并因此获得1997年诺年诺贝尔物理学奖贝尔物理学奖The Nobel Prize
12、in Physics 1997核聚变实验的六路真空靶室核聚变实验的六路真空靶室实验中采用大功率实验中采用大功率(1014KW)钕玻璃激光器钕玻璃激光器 2.激光的主要特性激光的主要特性 1)方向性好)方向性好-激光的发散角小。激光的发散角小。激光器激光器LaserHe-Ne激光经纬仪激光经纬仪测月红宝石激光器测月红宝石激光器 =0.031mrad =4 10-5mradD=1.6km=25mrad(毫弧度)(毫弧度)rlrl(1km时光斑直径时光斑直径10m)一一. .激光加工原理激光加工原理光源光源StEI太阳太阳123102srWcmI1mW He-Ne激光器激光器1231088srWcm
13、I大功率激光器大功率激光器121791010srWcmI SE光源亮度光源亮度-单位面积、单位时间在垂直于光源单位面积、单位时间在垂直于光源表面的单位立体角内发射的能量。表面的单位立体角内发射的能量。立体角定义:立体角定义: = S /r2Sr P=1mWP=1mW的氦的氦- -氖激光器的亮度约是太阳光的氖激光器的亮度约是太阳光的100100倍倍 2.激光的主要特性激光的主要特性 2)光源亮度大)光源亮度大一一. .激光加工原理激光加工原理可使一切金属熔化可使一切金属熔化可使一切非金属化为一缕青烟可使一切非金属化为一缕青烟激光所包含的波长或频率范围极小激光所包含的波长或频率范围极小一束普通的红
14、光一束普通的红光频率范围:频率范围:Hz1414107 . 4109 . 3Hz14108 . 0Laser6328埃的埃的He-Ne激光激光Hz4102(理论值,实际几赫兹)(理论值,实际几赫兹) 2.激光的主要特性激光的主要特性 3)单色性好)单色性好一一. .激光加工原理激光加工原理4)相干性好)相干性好相干性是指光波场中光振动之间的相关程度。相干性是指光波场中光振动之间的相关程度。相干性越好则光场中各点光振动在频率、振动方向的相干性越好则光场中各点光振动在频率、振动方向的一致性越好,相位的关联性也越好。一致性越好,相位的关联性也越好。相干性越好则光场中任取两点作光源所产生的干涉相干性越
15、好则光场中任取两点作光源所产生的干涉和衍射的条纹越清晰。和衍射的条纹越清晰。 2.激光的主要特性激光的主要特性 一一. .激光加工原理激光加工原理激光的特性激光的特性 普通光源 激光光源亮度电灯:约470sb太阳:约1.65X105 sb 红宝石激光器,约1.65X1015sb功率1000MW/cm2方向无确定方向、发散角大、难会聚 发散角小到0.1mrad(近似平行光),光束会聚其焦点处光斑10um单色性氪灯的光源谱线宽为0.0047 激光的谱线宽度为10-7相干性氪灯光源的相干长度78cm激光的相干长度可达几十公里 激光加工是一种重的高能束加工方法,它是利激光加工是一种重的高能束加工方法,
16、它是利用激光高强度、高亮度、方向性好、单色性好的特用激光高强度、高亮度、方向性好、单色性好的特性,通过一系列的光学系统聚焦成平行度很高的微性,通过一系列的光学系统聚焦成平行度很高的微细光束(直径几微米至几十微米),获得极高的能细光束(直径几微米至几十微米),获得极高的能量密度(量密度(10108 8 10101010W/cmW/cm2 2)照射到材料上,使材料在)照射到材料上,使材料在极短的时间内(千分之几秒甚至更短)熔化甚至气极短的时间内(千分之几秒甚至更短)熔化甚至气化,以达到加热和去除材料的目的。化,以达到加热和去除材料的目的。 3.激光加工的基本原理激光加工的基本原理 一一. .激光加
17、工原理激光加工原理 固体激光器加工简图固体激光器加工简图1-全反射镜全反射镜 2-激光工作物质激光工作物质 3-激励能源激励能源4-部分反射镜部分反射镜 5-透镜透镜 6-工件工件 3.激光加工的基本原理激光加工的基本原理 一一. .激光加工原理激光加工原理一一. .激光加工原理激光加工原理全反射全反射镜镜工作物工作物质质部分反射部分反射镜镜激光束激光束镀镀金反射金反射镜镜透透镜镜工件工件高高压压充充电电源源触发电触发电路路电电容容光光泵泵激光束激光束可以认为,激光加工是以激光为热源对工件材料进行热加可以认为,激光加工是以激光为热源对工件材料进行热加工。其加工过程大体分为如下几个阶段:工。其加
18、工过程大体分为如下几个阶段:激光束照射工件材料、工件材料吸收光能;激光束照射工件材料、工件材料吸收光能; 光能转变为热能使工件材料无损加热;光能转变为热能使工件材料无损加热; 工件材料被熔化、蒸发、气化并溅出去除;工件材料被熔化、蒸发、气化并溅出去除; 作用结束与加工区冷凝。作用结束与加工区冷凝。二二. .激光加工过程激光加工过程激光加工阶段激光加工阶段光能吸收及转化二二. .激光加工过程激光加工过程激光加工阶段光能吸收及转化二二. .激光加工过程激光加工过程激光加工阶段工件材料的加热二二. .激光加工过程激光加工过程激光加工阶段材料熔化气化及溅出二二. .激光加工过程激光加工过程激光加工阶段
19、材料熔化气化及溅出二二. .激光加工过程激光加工过程激光加工特点三三.激光加工特点激光加工特点激光加工特点三三.激光加工特点激光加工特点激光加工特点三三.激光加工特点激光加工特点激光加工特点三三.激光加工特点激光加工特点激光加工的基本设备三三.激光加工特点激光加工特点激光加工的基本设备三三.激光加工特点激光加工特点固体激光器结构示意图固体激光器结构示意图1全反射镜全反射镜 2工作物质工作物质 3玻璃套管玻璃套管 4部分反射镜部分反射镜 5聚光镜聚光镜 6氙灯氙灯 7电源电源激光加工的基本设备三三.激光加工特点激光加工特点激光加工的基本设备三三.激光加工特点激光加工特点He-Ne激光器的工作原理
20、激光器的工作原理反射镜反射镜反射镜反射镜阳极阳极阴极阴极布儒斯特窗布儒斯特窗毛细管毛细管工作物质:氦气工作物质:氦气辅助物质:氖气辅助物质:氖气激励方式:直流气体放电激励方式:直流气体放电激光加工的基本设备三三.激光加工特点激光加工特点激光加工的基本设备三三.激光加工特点激光加工特点激光加工的基本设备三三.激光加工特点激光加工特点激光加工应用 激光打孔;4. 激光打标;3. 激光切割;2. 激光焊接;5. 激光热处理四四.激光加工的应用激光加工的应用激光打孔四四.激光加工的应用激光加工的应用一、激光打孔原理一、激光打孔原理 激光打孔机的基本结构包括激光器、加工头、冷却系统、数控装置和操作面盘。
21、激光打孔机的基本结构包括激光器、加工头、冷却系统、数控装置和操作面盘。 二、激光打孔工艺参数的影响二、激光打孔工艺参数的影响 脉冲宽度对打孔的影响脉冲宽度对打孔的影响 :脉冲宽度对打孔深度、孔径、孔形的影响较大。窄脉冲宽度对打孔深度、孔径、孔形的影响较大。窄脉冲能够得到较深而且较大的孔;宽脉冲不仅使孔深度、孔径变小,而且使孔脉冲能够得到较深而且较大的孔;宽脉冲不仅使孔深度、孔径变小,而且使孔的表面粗糙度变大,尺寸精度下降。的表面粗糙度变大,尺寸精度下降。激光打孔机的基本结构示意图激光打孔机的基本结构示意图激光打孔四四.激光加工的应用激光加工的应用二、激光打孔工艺参数的影响二、激光打孔工艺参数的
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- 先进制造技术 先进 制造 技术 第七 特种 加工 系列 激光
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