2022年XPSPeak软件拟合数据的简单步骤 .pdf

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1、XPS Peak 软件拟合数据的简单步骤XPS Peak软件拟合数据 的简单 步骤 : 1. Excel 中的 数据 转换成 TXT 格式从 Excel 中的数据只选择要进行拟合 的数据点， copy 至 txt 文本中，即ABC 三列数据 (其中B 列为空的 ,只包含两列数据) 2.XPS Peak41中导入数据打开 xps peak 41分峰 软件 ,在 XPS Peak Fit 窗口中 ,从 Data 菜单中选择Import (ASCII), 即可将转换好的txt 文本导入 ,出现谱线名师资料总结 - - -精品资料欢迎下载 - - - - - - - - - - - - - - - -

2、 - - 名师精心整理 - - - - - - - 第 1 页，共 5 页 - - - - - - - - - 3.扣背底在打开的Region 1窗口中，点击Backgrond，选择 Boundary 的默认值，即不改变High BE和 Low BE 的位置， Type 一般选择Shirley 类型扣背底，不过有时也选择Liner 类型扣除背景。4.加峰选择 Add Peak，选择合适的Peak Type(如 s,p,d,f),在 Position 处选择希望的峰位，需固定时点fix 前的小方框 ,同时还可选半峰宽（FWHM ） 、峰面积等。 各项中的constaints 可用来固定此峰与另一

3、峰的关系。如 W4f 中同一价态的W4f7/2 和 W4f5/2 的峰位间距可固定为2.15eV，峰面积比可固定为4:3等，对于 % Lorentzian-Gaussian 选项中的fix 先去掉对勾，点击Accept完成对该峰的设置。点Delete Peak 可去掉此峰。再选择Add Peak 可以增加新的峰，如此重复。注意： % Lorentzian-Gaussian 值最后固定为 20%左右。名师资料总结 - - -精品资料欢迎下载 - - - - - - - - - - - - - - - - - - 名师精心整理 - - - - - - - 第 2 页，共 5 页 - - - - -

4、 - - - - 加峰界面举例：对峰的限制constraints，峰 1的峰位 =峰0峰位 +1.5 5.拟合选好所需拟合峰的个数及大致参数后，点XPS Peak Processing 中的 Optimise All 进行拟合，观察拟合后总峰与原始峰的重合情况，如不好，可多次点Optimise All 名师资料总结 - - -精品资料欢迎下载 - - - - - - - - - - - - - - - - - - 名师精心整理 - - - - - - - 第 3 页，共 5 页 - - - - - - - - - 合适图谱6.参数查看拟合完成后，分别点XPS Peak Processing 窗

5、口总的 Region Peaks 下方的 0、1、2等，可查看每个峰的参数，此时XPS 峰中变红的曲线为被选中的峰。如对拟合结果不满意，可改变这些峰的参数，然后再点击Optimise All 7.XPS 存图点 Save XPS 可将谱图存为 .xps 格式的图，下回要打开时点Open XPS 可以打开这副图，并可对图进行编辑8.XPS 图的数据输出a.点击 Data 中的 Export（spetrum） ，可将拟合好的数据存为.dat 格式的 ASCII 文件（该文件可用记事本打开） ，然后再Origin 中导入该 ASCII 文件， 可得到一个包含多列的数据表，这里需要注意的是每列的抬头名

6、称出错（如 .dat 文件中的 Raw Intensity 分开到两列中作为两列的抬头， 即 Raw、Intensity ） ，这时需要根据做出的图与.xps 原始谱图比较， 更改每列的名称，即可得到正确的谱图b.点击 Data 中的 Export（Peak Parameters ） ，即将各峰参数导出为.par 格式的文件 （也可用记事本打开），通过峰面积可计算某元素在不同峰位的化学态的含量比c.点击 Data 中的 Export to clipboard ， 即将图和数据都复制到剪贴板上，打开文档（如 Word） ，点粘贴，即把图和数据粘贴过去，不过该图很不清晰d.点击 Data 中的 P

7、rint with peak parameters，即可打印带各峰参数的谱图峰拟合中的一些基本原则及参考资料: 元素结合能数据可参考http:/srdata.nist.gov/xps/selEnergyType.aspx谱峰的曲线拟合应考虑：合理的化学与物理意义；合理的半高宽 （一般不大于2.7eV，氧化物的半高宽应大于单质的半高宽）；合理的L/G 比 （XPS Peak 41分峰软件中的% Lorentzian-Gaussian）为20%左右；对双峰还应考虑两个峰的合理间距、强度比等（详见下面的 3，4项） 。名师资料总结 - - -精品资料欢迎下载 - - - - - - - - - -

8、- - - - - - - - 名师精心整理 - - - - - - - 第 4 页，共 5 页 - - - - - - - - - 对于 p、 d、f 等能级的次能级（如p3/2、p1/2，光电子能谱中一般省略/2，即为 p3、p1）强度比是一定的，p3:p1=2:1；d5:d3=3:2，f7:f5=4:3 。在峰拟合过程中要遵循该规则。如 W4f 中同一价态的W4f7 和 W4f5 峰面积比应为4:3。对于有能级分裂的能级（p、 d、f） ，分裂的两个轨道间的距离(doublet seperation)也基本上是固定的， 如同一价态的W4f7 和 W4f5 之间的距离为2.15eV 左右，

9、Si2p3和 Si2p1差 值 为 1.1eV左 右 。 各 元 素 能 级 分 裂 数 据 可 参 考 网 上 数 据 库http:/srdata.nist.gov/xps/selEnergyType.aspx 中 选择 Doublet Seperation 项全谱扫描 (即 Survey)中各峰对应的元素能级参考附件BE Lookup Table 各元素不同化学状态结合能可参考附件各元素化学状态表.pdf ，文件扫描自Phi公司出版的手册中的附录2，Handbook of X-ray Photoelectron Spectroscopy A Reference Book of Standa

10、rd Spectra for Identification and Interpretation of XPS Data，John F. Moulder, William F. Stickle, Peter E. Sobol, Kenneth D. Bomben, Physical Electronics, Inc. ,1992 有机聚合物中的C、O、N、F 等的化学位移值可参考附件有机聚合中C、O、N、F 等的化学位移(chemical shift) 值.pdf ，文件扫描自John Willey & Sons出版的有机聚合物高分辨XPS 谱图中的附录，High Resolution XPS

11、 of Organic Polymers-The Scienta ESCA300 Database, G. Beamson, D. Briggs,John Wiley &Sons, 1992 测试条件 : 仪器名称： X-射线光电子能谱仪（X-ray Photoelectron Spectroscopy/ESCA ）型号： ESCALAB 250 生产厂家： Thermo Fisher Scientific 分析室工作时的真空度：2 10-9 mbar（打开 X 射线源的情况下）使用 X 光源 : 单色化的Al K 源(Mono AlK )能量 :1486.6eV, 15kV 150W, 束斑大小 :500 m；扫描模式： CAE；透镜模式：Large Area XL 定性、定量分析采用Wagner (Al 靶) Library 全谱扫描：通能为70eV；窄谱扫描：通能为20 eV 荷电校正：以表面污染C1s（284.8eV）为标准进行能量校正中山大学测试中心光电子能谱仪器组名师资料总结 - - -精品资料欢迎下载 - - - - - - - - - - - - - - - - - - 名师精心整理 - - - - - - - 第 5 页，共 5 页 - - - - - - - - -