最新多晶硅锭制备—铸锭多晶硅工艺ppt课件.ppt

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1、 一、多晶硅锭产业背景 二、多晶硅锭的组织结构 三、定向凝固时硅中杂质的分凝 四、多晶硅锭定向凝固生长方法 五、热交换炉型 六、热交换法现行工艺讨论 七、结晶炉结构类型的选择 多晶硅锭的柱状晶结构 太阳能电池硅锭的生长也是一个硅的提纯过程，是基于杂质的分凝效应进行的。如下图所示，一杂质浓度为C0的组分，当温度下降至T时，其固液界面处固相侧的杂质浓度为C*S。 对一个杂质浓度非常小的平衡固液相系统 ，在液固界面处固相中的成分与在液相中的成分比值为一定，可表达为平衡分配系数 K=C*S/C*L 其中， C*L液固界面处液相侧溶质浓度 C*S液固界面处固相侧溶质浓度 金属杂质在硅中平衡分配系数在10

2、-410-8之间，B为0.8，P为0.35。 实际生产中固液界面还存在一个溶质富集层，杂质的分配系数还与该富集层的厚度、杂质的扩散速度、硅液的对流强度及晶体生长速度均有关，引入有效分配系数K来表示： K =K/K+(1-K)exp(-R/DL) 式中:K 有效分配系数, K 平衡分配系数, R 生长速度cm/s, 溶质富集层厚度（固液界面的扩散层）cm （0.005-0.05）, DL 扩散系数cm2/s。 R或趋近于0，K趋近于K时，最大程度提纯。 R趋近于，K趋近于1时，无提纯作用。固液界面处的扩散层 杂质在硅中的分凝系数11123451.少子寿命分布2.金属元素（Fe）分布3.缺陷（沉淀

3、、位错）应力分布4.氧分布5.碳分布金属杂质含量沿硅锭生长方向分布图05101520963126162199210硅锭高度/生长方向(mm)杂质含量(ppm)FeAl 由于纯度较高的硅的分凝系数低于杂质含量较多的多晶硅的分凝系数，所以在石英坩埚中的多晶硅凝固时，杂质含量较多的多晶硅将呈现在硅锭的顶部。实现多晶硅定向凝固生长的四种方法： 布里曼法 热交换法 电磁铸锭法 浇铸法1、布里曼法（Bridgeman Method）这是一种经典的较早的定向凝固方法。特点： 坩埚和热源在凝固开始时作相对位移，分液相区和凝固区，液相区和凝固区用隔热板隔开。 液固界面交界处的温度梯度必须0，即dT/dx0，温度

4、梯度接近于常数。 坩埚 热源 硅液 隔热板 热开关 工作台 冷却水 液相 固液界面 固相 布里曼法示意图 长晶速度受工作台下移速度及冷却水流量控制，长晶速度接近于常数，长晶速度可以调节。 硅锭高度主要受设备及坩埚高度限制。 生长速度约0.8-1.0mm/分。缺点：炉子结构比热交换法复杂，坩埚需升 降且下降速度必须平稳，其次坩埚底 部需水冷。2、热交换法是目前国内生产厂家主要使用的一种炉型。特点： 坩埚和热源在熔化及凝固整个过程中均无相对位移。一般在坩埚底部置一热开关，熔化时热开关关闭，起隔热作用；凝固开始时热开关打开，以增强坩埚底部散热强度。长晶速度受坩埚底部散热强度控制，如用水冷，则受冷却水

5、流量（及进出水温差）所控制。 热源 坩埚 液固界面 散热装置 热交换法法示意图 固相液相 由于定向凝固只能是单方向热流（散热），径向（即坩埚侧向）不能散热，也即径向温度梯度趋于 0，而坩埚和热源又静止不动，因此随着凝固的进行，热源也即热场温度（大于熔点温度）会逐步向上推移，同时又必须保证无径向热流，所以温场的控制与调节难度要大。 如简图所示，液固界面逐步向上推移，液固界面处温度梯度必须是正值，即大于0。但随着界面逐步向上推移，温度梯度逐步降低直至趋于0。从以上分析可知热交换法的长晶速度及温度梯度为变数。而且锭子高度受限制，要扩大容量只能是增加硅锭截面积。 最大优点是炉子结构简单。3、电磁铸锭法

6、特点：1、无坩埚（石英陶瓷坩埚） 2、氧、碳含量低，晶粒比热交换法小 3、利用电磁力保持硅熔体的位置，避免熔体与坩埚壁接触，提纯效果稳定。 4、锭子截面没有热交换法大,但锭子高度可达1米以上。 5、硅锭应力大，错位严重。 图十二 电磁铸造法示意图4、浇铸法 浇铸法将熔炼及凝固分开，熔炼在一个石英砂炉衬的感应炉中进行，熔清的硅液浇入一石墨模型中，石墨模型置于一升降台上，周围用电阻加热，然后以每分钟1mm的速度下降（其凝固过程实质也是采用的布里曼法）。 特点是熔化和结晶在两个不同的坩埚中进行，从图中可以看出，这种生产方法可以实现半连续化生产，其熔化、结晶、冷却分别位于不同的地方，可以有效提高生产效

7、率，降低能源消耗。 缺点是因为熔融和结晶使用不同的坩埚，会导致二次污染，此外因为有坩埚翻转机构及引锭机构，使得其结构相对较复杂。 图八 铸造法硅锭炉示意图 1硅原料装入口 2. 感应炉 3. 凝固炉 4. 硅锭搬运机 5. 冷却机 6. 铸型升降 7. 感应炉翻转机构 8. 电极图九 凝固炉结构及凝固法示意图 通常，铸锭多晶硅锭的成品几何尺寸为840 x840 x840（长x宽x高），重量为460公斤。可以用线锯或线切割机加工出25块尺寸为156x156x220的多晶硅方棒。原生多晶硅利用率大约在65%70%之间。而采用熔体直拉法制备单晶硅棒，原生多晶硅的利用率大约只有40%60%。 另一方面

8、，铸锭多晶硅的生产周期大约460公斤每60小时，5.17公斤每小时，是单晶方棒1.30公斤每小时的4倍。 可见采用多晶铸锭法制备多晶硅锭，进而加工硅片，制造成本的优势是显而易见的。炉型1： 下页图为目前国内应用较多的一种热交换法炉型示意图，采用石墨电阻在四周加热。凝固开始时通过提升保温框（0.12-0.2mm/分）以增大石墨块的散热强度。长晶速度为变数，平均为0.28mm/分。 这种炉 型最大优点是结构简单，坩埚底部无需水冷。其次是侧面加热，底部温度较表层温度高，形成较强烈对流，有利于提纯。 缺点是热效率不高，每公斤硅锭耗电约13度-15度。此外循环周期较长，约为50-52小时。 保温框 热源

9、 坩埚 液固界面 石墨块 隔热板 （防止不锈钢炉底过热） 炉型1示意图炉型2：这种炉型由于生产容量大，目前正为国内很多厂家引进。特点： 采用石墨棒顶底加热。 顶装料，装料时炉盖平推移出。 凝固时底部加热器断开，同时打开热开关，通过冷却板，提高散热强度（也即长晶速度）。 由于是顶部 加热，在液相中形成正温度梯度，改善了晶粒取向，长晶速度也比第一种炉型快。 结构较复杂，用悬臂吊车顶装料，厂房高度增加。 热效率较高（有热开关，周期缩短，为46-50小时）。 顶加热，抑制了对流，提纯效果可能低于第一种炉型。 炉盖 顶部加热器 坩埚 支持板 底部加热器 热开关 冷却板 炉体 炉型2示意图 5个主要阶段。

10、加热/抽真空/通入氩气。熔化。炉温保持在1540度，同时通入流动的氩气。结晶。在这阶段开始时底部加热器停止供电并将热阀打开以保持适当的热量散出。退火。这阶段主要是消除结晶时在硅锭中形成的残留应力。冷却。停止供电。 有两个重要特征性时刻点： * 硅料的温度开始迅速增高时，所有的硅料都已熔化，输入的电能全部用于加热硅熔液，此时第3阶段结晶开始。 * 当底部加热器功率增高，预示结晶完成，无结晶放热后用以维持温度水平。1、长晶速度。 第一种热交换法炉型长晶速度为0.15-0.28mm/分，第二种炉型有待进一步测定，而布里曼法为0.8-1.0mm/分，单晶则大于1mm/分。从节能角度及缩短周期提高生产率

11、考虑，可否通过增大散热强度提高长晶速度，当然热场要予以配合。2、退火工艺。 12000C高温退火会导致杂质在固相中的反扩散。高温退火主要是为了消除硅锭内部由于温度不均匀而产生的应力，进而降低位错密度。但从第一种炉型实测数据来看，坩埚底部中心及边角处温度差仅30C，而且凝固速度仅0.15-0.28mm/分，凝固过程中硅锭温降小，通过高温退火，温降为20C/分。可否考虑对退火工艺进行调整。3、能耗问题 每公斤硅锭平均耗电1315度，如何更高的提高热效率 ，在保证质量的同时缩短生产周期，可以进行进一步的探讨和工艺改进。 1生产效率：容积（硅锭的大小尺寸）和熔融-结晶周期决定产能； 2硅锭质量和硅料利用效率：杂质和缺陷的分布和数量、反污染的可能、温度场均匀可控、结晶速度可调控 、晶粒尺寸和分布、硅液对流强度等决定硅锭/硅片的质量； 3能耗和成本：主要考虑热效率或热损失的水平； 4操作维修简易：考虑装料和出锭操作、炉体和附属设备的结构和安置、自动控制水平、加热部件等消耗品备件的寿命和加工的难易程度； 5售后的信息和技术服务，包括安装调试和人员培训等； 6价格和交货期； 7现有用户的评价。 Thank you for your attention.