最新半导体物理课件73480精品课件.ppt

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1、半导体物理课件半导体物理课件73480教材及参考书目n半导体物理学刘恩科、朱秉升、罗晋生等编著，电子工业出版社n半导体器件物理与工艺(美)A.S.格罗夫著，齐建译n半导体物理基础黄昆、韩汝琦著 n半导体器件 物理与工艺(美)施敏(S.M.Sze)著，王阳元等译 n 半 导 体 物 理 与 器 件 基 本 原 理 ( 第 3版)(美)DonaldA.Neamen著晶格（lattice）n周期性结构：如简立方、面心立方、体心立方等。晶胞（cell）n周期性重复单元n固体物理学原胞：最小重复单元n结晶学原胞：为反映对称性选取的最小重复单元的几倍1.金刚石结构和共价键n硅、锗：共价半导体n硅、锗晶体结

2、构：金刚石结构金刚石结构n每个原子周围有四个最邻近的原子，这四个原子处于正四面体的顶角上，任一顶角上的原子和中心原子各贡献一个价电子为该两个原子所共有，并形成稳定的共价键结构。n共价键夹角：10928金刚石结构结晶学原胞n两个面心立方沿立方体空间对角线互相位移了四分之一的空间对角线长度套构而成。金刚石结构固体物理学原胞n中心有原子的正四面体结构（相同双原子复式晶格）金刚石结构原子在晶胞内的排列情况n顶角八个，贡献1个原子；n面心六个，贡献3个原子；n晶胞内部4个；n共计8个原子。硅、锗基本物理参数晶格常数n硅：0.543089nmn锗：0.565754nm原子密度n硅：5.001022n锗：4

3、.421022共价半径n硅：0.117nmn锗：0.122nm2.闪锌矿型结构和混合键-族化合物半导体材料结晶学原胞结构特点n两类原子各自组成的面心立方晶格，沿空间对角线方向彼此位移四分之一空间对角线长度套构而成。与金刚石结构的区别n共价键具有一定的极性（两类原子的电负性不同），因此晶体不同晶面的性质不同。n不同双原子复式晶格。常见闪锌矿结构半导体材料n-族化合物n部分-族化合物，如硒化汞，碲化汞等半金属材料。3.纤锌矿型结构与闪锌矿型结构相比相同点n以正四面体结构为基础构成区别n具有六方对称性，而非立方对称性n共价键的离子性更强n硫化锌、硒化锌、硫化镉、硒化镉等材料均可以闪锌矿型和纤锌矿型两

4、种结构结晶n某些重要的半导体材料以氯化钠型结构结晶n如-族化合物硫化铅、硒化铅、碲化铅等1.2半导体中的电子状态和能带1.2.1原子的能级和晶体的能带孤立原子与晶体的区别n单势场中的运动；周期性势场中的公有化运动n孤立能级；准连续能带能带成因n当N个原子彼此靠近时，根据不相容原理，原来分属于N个原子的相同的价电子能级必然分裂成属于整个晶体的N个能量稍有差别的能带。能带特点n分裂的每一个能带称为允带，允带间的能量范围称为禁带n内层原子受到的束缚强，共有化运动弱，能级分裂小，能带窄；外层原子受束缚弱，共有化运动强，能级分裂明显，能带宽。以金刚石结构单晶硅材料为例n能级sp3杂化后，硅原子最外层有四

5、个能量状态；若晶体中有N个原子，能级分裂后形成两个能带，各包含2N各状态。n能量高的能带有2N个状态，全空，称为导带；能量低的能带有2N个状态，全满，成为满带或价带。1.2.2半导体中的电子状态和能带n电子在周期性势场中运动的基本特点和自由电子（处于零势场中）的运动十分相似自由电子运动规律n基本方程np = m0v （动量方程）nE = |p|2/m0 （能量方程）n(r,t) = Aei2(kr - vt) （波方程） 其中k 为波矢，大小等于波长倒数1/ ，方向与波面法线平行，即波的传播方向。n自由电子能量和动量与平面波频率和波矢的关系nE = hnp = hkn考虑一维情况，根据波函数和

6、薛定谔方程，可以求得：nv = hk /m0nE = h2k2/2m0 根据上述方程可以看出：对于自由电子能量和运动状态之间呈抛物线变化关系；即自由电子的能量可以是0至无限大间的任何值。1.晶体中的薛定谔方程及其解的形式n晶体中电子遵守的薛定谔方程n布洛赫定理及布洛赫波对于一维情况nuk(x) = uk(x+na) n式中n为整数n与自由电子相比，晶体中的电子在周期性的势场中运动的波函数与自由电子波函数形式相似，不过这个波的振幅uk(x)随x作周期性的变化，且变化周期与晶格周期相同。被调幅的平面波n对于自由电子在空间各点找到电子的几率相同；而晶体中各点找到电子的几率具有周期性的变化规律。电子不

7、再完全局限在某个原子上，而是进行共有化运动。外层电子共有化运动强，成为准自由电子。n布洛赫波函数中的波矢k与自由电子波函数中的一样，描述晶体中电子的共有化运动状态。2.布里渊区与能带n求解晶体中电子的薛定谔方程，可得如图1-10(a)所示的E(k)k关系。nK = n/2a (n = 0, 1, 2, )时能量出现不连续。n简约布里渊区（图1-10(c)）n对于有限的晶体，根据周期性边界条件，波矢k只能取分立数值。n对于边长为L的立方晶体nkx = nx/L (nx = 0, 1, 2, )nky = ny/L (ny = 0, 1, 2, )nkz = nz/L (nz = 0, 1, 2,

8、 )n由上式可以证明每个布里渊区中有N个k状态（N为晶体的固体物理学原胞数）。n由于k是分立的，所以布里渊区中的能级是准连续的。n每个能带最多可以容纳2N个电子。n三维晶格布里渊区的做法（略）n参见教材P15-P161.2.3导体、半导体、绝缘体的能带三者的主要区别：n禁带宽度和导带填充程度n金属导带半满n半导体禁带宽度在1eV左右n绝缘体禁带宽且导带空n本征激发常用禁带宽度硅：1.12eV锗：0.67eV砷化镓：1.43eV1.3半导体中电子的运动有效质量1.3.1半导体中的E(k)与k的关系n设能带底位于波数k，将E(k)在k=0处安泰勒级数展开，取至k2项，可得200)(21)()0()

9、(kdkdEkdkdEEkEkkn由于k=0时能量极小，所以一阶导数为0，有2022)(21)0()(kdkEdEkEkn式中的 称为能带底电子有效质量，为正值；n若能带顶也位于k=0处，则按照与上述相同的方法可得能带顶电子有效质量， 为负值。*nm*nmn由于E(0)为导带底能量，对于给定半导体二阶导数为恒定值，令n所以有*02221)(1nkmdkEdh*222)0()(nmkhEkE1.3.2半导体中电子的平均速度n自由电子速度nv = hk /m0n根据E = |p|2/m0，可得dE/dk=h2k/m0n所以自由电子速度v = (1/h)dE/dkn半导体中电子的速度n根据量子力学，

10、电子的运动可以看作波包的运动，波包的群速就是电子运动的平均速度（波包中心的运动速度）。n设波包有许多频率相近的波组成，则波包的群速为：n根据波粒二象性，频率为的波，其粒子的能量为h ，所以dkdvdkdEhv1n将 代入上式，可得n由于不同位置有效质量正负的不同，速度的方向也不同*222)0()(nmkhEkE*nmhkv 1.3.3半导体中电子的加速度当外加电场时，半导体中电子的运动规律。n当有强度为|E|的外电场时，电子受力nf=-q |E|n外力对电子做功fvdtfdsdEn由于n所以n而dkdEhv1dtdkdEhfdE dkdkdEdE n代入上式，可得n上式说明，在外力作用下，波矢

11、变化与外力成正比。dtdkhf n电子的加速度n利用电子有效质量定义222221)(1dkEdhfdtdkdkEdhdkdEdtdhdtdva222*dkEdhmnn可得上式与牛顿第二定律类似*nmfa 1.3.4有效质量的意义n有效质量概括了半导体内部势场的作用。n有效质量可以通过实验直接测得。有效质量的特点n有效质量的正负与位置有关。 能带顶部附近，有效质量为负；能带顶部附近，有效质量为正。n有效质量的大小由共有化运动的强弱有关。 能带越窄，二次微商越小，有效质量越大（内层电子的有效质量大）；能带越宽，二次微商越大；有效质量越小（外层电子的有效质量小）。1.4本征半导体的导电机构空穴n导电

12、机理：电子填充能带的情况n室温下，半导体中的电子与空穴n绝对零度时，半导体中的情况两种情况下的能带图n空穴的特点n带正电荷+q电流密度J=价带(k状态空出）电子总电流若以电子电荷-q填充空的k状态，则总电流为0J + (-q)v(k) = 0J = (+q)v(k) n空穴具有正的有效质量在电场作用下，电子与空穴有相同的运动速率价带顶部附近电子的加速度hEqdtdk/*)(nnmEqmfdtkdva若令则空穴的加速度可表示为*npmm*)(pmEqdtkdvan引入空穴的意义n把价带中大量电子对电流的贡献用少量的空穴表达出来。n半导体中有电子和空穴两种载流子，而金属中只有电子一种载流子。1.5

13、回旋共振n晶体各向异性，不同方向晶体性质不同，E(k)k关系不同。1.5.1 k空间等能面 若设一维情况下能带极值在k=0处，导带底附近*222)0()(nmkhEkEn价带顶附近n对于实际三维晶体*222)0()(pmkhEkE2222zyxkkkkn设导带底位于波数k=0，导带底附近n根据晶体各向异性的性质，用泰勒级数在极值k0附近展开。略去高次项，得)(2)0()(222*2zyxnkkkmhEkE000)(11)(11)(11)()()(2)()(222*222*222*20*20*2020 .kzzkyykxxzzzyyyxxxkEhmkEhmkEhmmkkmkkmkkhkEkEn上

14、式可改写为nK空间等能面是环绕k0的一系列椭球面1)(2)()(2)()(2)(2*202*202*20hEEmkkhEEmkkhEEmkkczzzcyyycxxx1.5.2回旋共振n将一块半导体样品至于均匀恒定的磁场中，设磁感应强度为B，如半导体中电子初速度为v，v与B间夹角为，则电子收到的磁场力f为n力的大小为BqvfBqvqvBfsinn在垂直于磁场的平面内作匀速圆周运动，速度n沿磁场方向做匀速运动，速度n运动轨迹为一螺旋线。若回旋频率为c，则sinvvcos|vv n若等能面为球面，根据 ，可得crvrva/2*ncmqB*nmfa n测出所测得的共振吸收时电磁波频率和测感应强度，即可以求出有效质量。n若等能面为椭球面，则有效质量为各向异性的，沿 轴方向分别为n设B沿 的方向余弦分别是zyxkkk,*,zyxmmmzyxkkk,n可求得*2*2*2*1zyxzyxnmmmmmmm