堀场汇博隆SHMT流量计、流量控制器说明书 .pdf

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1、气体质量流量控制器（流量计）S48 300/HMT使用说明书 (Ver.2.0)北京堀场汇博隆精密仪器有限公司名师资料总结 - - -精品资料欢迎下载 - - - - - - - - - - - - - - - - - - 名师精心整理 - - - - - - - 第 1 页，共 37 页 - - - - - - - - - 目 录1、概述 . 12、术语符号 . 23、工作原理 . 54、技术指标 . 75、 产品安装 . 86、使用方法和操作步骤 . 167、数字通讯功能使用方法和操作 . 188、通讯协议编码格式 . 209、警告和注意 . 2510、故障判断和处理 . 28附录一：通信

2、指令集 . 31附录二：标定和不同气体的换算 . 34名师资料总结 - - -精品资料欢迎下载 - - - - - - - - - - - - - - - - - - 名师精心整理 - - - - - - - 第 2 页，共 37 页 - - - - - - - - - 1 1、概述本产品为热式质量流量控制器，利用气流流过毛细管， 改变毛细管温度分布，造成上下游温差方法，而测得气体质量流量。不同于容积式流量计，其流量精度不受气体压力、环境温度影响。由于上下游温差总是实时反应气流瞬时流量，所以特别适用于过程控制中的气体流量的精密测量和控制。1.1 使用范围质量流量控制器广泛应用于半导体制造、真空

3、镀膜、分析、化工、环境等行业的气流测量与控制。1.2 质量流量控制器和质量流量计质量流量控制器 (Mass Flow Controller 缩写为MFC) ，具备流量测量和流量控制两种功能。质量流量计 (Mass Flow Meter 缩写为 MFM) ，只有流量测量功能，不具备气流控制功能。1.3 S48 300/HMT 质量流量控制器的特点 S48 300/HMT 型质量流量控制器是在引进HORIBA STEC 技术基础上，结合国内需要而研制的一种数字式质量流量控制器产品，采用当今先进的 32位ARM 系列处理器做数字控制 。具有流量 精度高、线性好、零漂小、气流响应速度快、过冲小等特点。

4、 RS232/485串口， Modbus（RTU ）开放协议。协议简单可靠，兼容性强，易于组网。配合上位机，可进行各种复杂的计量、控制操作及组态。名师资料总结 - - -精品资料欢迎下载 - - - - - - - - - - - - - - - - - - 名师精心整理 - - - - - - - 第 3 页，共 37 页 - - - - - - - - - 2 耐压高及适用于真空条件下工作。气体流量不因温度、 压力的变化而变化。气阻较小，工作压力范围宽。主体采用不锈钢（ 316L）结构，气密材料采用 PTFE 、氟橡胶等。耐腐蚀性强。可任意角度安装。兼容数字和模拟控制及显示，使用方便。易于

5、与电气或自动控制系统配合。配合MT-50 或51系列流量显示仪，可对气流的瞬时流量进行精确测量和计量。型式批准证书： 2011F215-11执行 Q/CYHMT001-2011企业标准许可证编号：京制01050063号2、术语 符号2.1 质量流量以单位时间内流过某截面的流体质量表示的流量。气体质量流量一般将换算成标准状态下的体积/ 分钟 来表示。例如：毫升/ 分钟即 mL/min （SCCM 行业标准）, 升/ 分钟即 L/min （SLM 行业标准）。标准状态：气体温度 273.15K (0 ) ，气压 101325Pa(1atm) 。2.2 F.S.(Full Scale) 表示满量程值

6、2.3 准确度名师资料总结 - - -精品资料欢迎下载 - - - - - - - - - - - - - - - - - - 名师精心整理 - - - - - - - 第 4 页，共 37 页 - - - - - - - - - 3 满量程精度：控制器示值与标准器测量的实际值之差与满量程（F.S. ）实际值相比的百分比值。如：0.3% F.S.( 带后缀 F.S.) 。2.4 标定条件标准状态下，氮气 N2标定。如果某质量流量计标定为其它种类气体，则是经过换算，而成为所标定的气体在标准状态下用体积/ 分种 表示的质量流量。2.5 响应时间当设定值发生阶跃变化（例：0100% ），气体流量将跟

7、随改变，经过一段时间将达到相对最终稳态值的误差范围之内，经过的这段时间就叫响应时间。T98是规定离最终稳定值相差2% F.S. 的时刻。2.6 工作压力范围与耐压工作压力范围是指能保证控制器在全量程范围内正常稳定工作的最小到最大的入口与出口压力差。耐压是指控制器管路内压力相对安装环境（大气压）的安全不泄露的极限耐受压力。2.7 流动方向气流流过流量控制器或流量计的方向。由于热式流量计产品结构特点，决定了气流流动方向只能是阀体上箭头所示方向，不能装反，否则将无法使用或损坏。2.8 模式切换上电后自动切换到模拟控制模式。通过上位机发送设定指令，能自动将控制器切换到数字控制模式。名师资料总结 - -

8、 -精品资料欢迎下载 - - - - - - - - - - - - - - - - - - 名师精心整理 - - - - - - - 第 5 页，共 37 页 - - - - - - - - - 4 通过上位机串口的“模拟数字切换”指令可在数字控制模式和模拟控制模式之间切换。2.9 阀控选择阀状态分为三种，分别是：清洗状态、关闭状态和阀控状态。既可用模拟控制方式进行切换，也可用数字控制方式进行切换。2.9.1 模拟切换在控制器插头“阀控”引出脚加+15Vdc，阀将处于清洗状态，即阀开度最大；若“阀控”引出脚悬空，阀将进入阀控状态，由设定值来控制阀开度。若“阀控”引出脚加 -15Vdc，阀将处

9、于关闭状态。S48 300/HMT MFC 在“阀控”引出脚加入的“清洗”和“关闭”命令，优先于“设定输入”执行，即不管设定输入为何值。2.9.2 数字切换“阀控”引出脚悬空，通过上位机串口的“阀控状态”指令可将阀设定为清洗状态、关闭状态或阀控状态。S48 300/HMT MFC 输入的“清洗”和“关闭”指令，优先于“设定输入”执行，即不管设定输入为何值。2.9.3 阀控制状态优先级模拟清洗状态、模拟关闭状态 数字清洗状态、数字关闭状态 设定输入2.10 自动关闭设定值小于满量程1% 时， 阀将自动关闭。 控制器的控制范围为满量程的2% 100% 。名师资料总结 - - -精品资料欢迎下载 -

10、 - - - - - - - - - - - - - - - - - 名师精心整理 - - - - - - - 第 6 页，共 37 页 - - - - - - - - - 5 2.11 自动调零质量流量控制器 ( 流量计 ) 由于环境的变化和长时间的使用，可能出现零点漂移的情况。为了得到更高的流量控制精度，需要对零点进行修正。S48 300/HMT 质量流量控制器 ( 流量计) 具备自动调零功能。 当零点偏移时， 控制器可自动调整零点。S48 300/HMT MFC 在设定输入为 0% 或者关闭状态且保持 5分以上时，自动调零模块会对零点进行自动调整。3、工作原理数字式质量流量控制器由分流器

11、通道，质量流量传感器，信号放大调理，信号采集，流量控制调节阀，驱动电路，CPU 等部件组成。本流量控制器利用流动流体传递热量改变测量毛细管壁温度分布的热传导分布效应而制成，即热分布式流量计（Thermal Profile Flowmeter）。采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量，可以不受温度压力的影响。将模拟电压设定值送入 CPU 或者将上位机发来的数字设定值从串口送入CPU ，作为设定值，将传感器测得的流量信号放大送入CPU ，作为 CPU 控制调节阀的反馈值。CPU 实时将设定值和流量信号反馈值进行数字化处理，生成控制量，驱动调节阀逐步开启到相应的开度，直至流量值达到设定值。分

12、流器用于在主通道和毛细管间产生层流，使流过毛细管流量检测通道和流过主通道的气流成比例。控制调节阀为比例电磁阀，随所加在电磁线圈上的电流大小而相应改变阀门开度。名师资料总结 - - -精品资料欢迎下载 - - - - - - - - - - - - - - - - - - 名师精心整理 - - - - - - - 第 7 页，共 37 页 - - - - - - - - - 6 S48-300/HMT MFC 可直接与计算机实现 RS232/485 连接, 采用Modbus RTU 协议通讯。只需要用户提供15V直流供电，无需 A/D,D/A 转换卡等。S48 300/HMT MFC 同时兼容模

13、拟设定输入 , 模拟流量信号输出，其均为 (05)V电压形式，与之配套的 MT-51、50 系列流量显示仪备有 15V直流电源供电， 3 位半数字流量值显示，设定电位器，外设、内设转换和三位阀控开关等。与MT-50流量显示仪连接后的工作原理如图一所示。图一 数字热式质量流量控制器的工作原理名师资料总结 - - -精品资料欢迎下载 - - - - - - - - - - - - - - - - - - 名师精心整理 - - - - - - - 第 8 页，共 37 页 - - - - - - - - - 7 4、技术指标4.1 S48 300/HMT MFC 技术指标表1 S48 300/HMT

14、数字流量控制器技术指标编号项目S48 300/HMT 1 流量规格(10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min (1,2,3,5,10,20,30,50)L/min 2 调节阀类型电磁调节阀3 调节阀静止状态常闭4 安装角度任意5 流量控制范围2%-100%F.S. 6 流量测量范围0%-100%F.S. 7 响应时间 1sec 8 工作环境温度5-509 精度保证温度15-3510 精度 1.0% S.P.( 30% F.S.) ; 0.30% F.S.( 30% F.S.)11 线性精度 0.5%F.S. 12 重复性 0.2%F.S. 13 工作压差10mL/m

15、in-5L/min (50-300)kPa(D) 10L/min-30L/min (100-300)kPa(D) 50L/min (150-300)kPa(D) 14 耐压3MPa(G) 15 泄漏率10k20 流量输出信号数字:RS485/RS232 模拟:0 - +5V,负载能力 3mA 21 通讯接口数字 RS232/RS485, 波特率 4800/9600/19200bps, Modbus RTU 协议从机 , 设备号可选范围 0-15 22 重量(kg) 0.9 4.2 订货规范在订货时应指明是质量流量控制器还是质量流量计，指明S48 300/HMT 产品型号，流量规格，使用气体种类

16、，管接头种类。例如： MFC( 或MFM)-S48 300/HMT( 产品型号 ) 500mL/min(流量规格 ) N2( 气体种类) 6(管路接头 ) 在贮运过程中，不要打开产品包装，注意防雨、防尘、防磕碰。不能在极端严寒、高温、潮湿环境长时间存放。5、 产品安装5.1 安装环境本产品为室内使用产品，工作环境温度为(550)，相对湿度 40% 60% 。应注意安装环境远离振动、尘埃、电磁干扰等。名师资料总结 - - -精品资料欢迎下载 - - - - - - - - - - - - - - - - - - 名师精心整理 - - - - - - - 第 10 页，共 37 页 - - - -

17、 - - - - - 9 要求使用的气体洁净、无水汽及凝结可能，如果使用强腐蚀性气体需在订货时声明。5.2 外形及安装尺寸图二 S48 300/HMT 系列质量流量控制器外形及安装尺寸名师资料总结 - - -精品资料欢迎下载 - - - - - - - - - - - - - - - - - - 名师精心整理 - - - - - - - 第 11 页，共 37 页 - - - - - - - - - 10 可以根据用户的不同需求，选用两种类型：1. 双卡套（ Swagelok）；a.6mm; b. 10; c. 1/4;d. 或其他。2. VCR. a. 1/4 ;b. 3/8 .连接方法如图

18、三，图四所示: 图三 双卡套接头的连接方法图四 VCR 接头的连接方法S48 300/HMT 与气路的连接，可以根据不同的要求，选用不同的管件，如金属管，塑料管等等。 S48 300/HMT 系列质量流量计和流量控制器的默认连接形式为双卡套，接管尺寸为 6。名师资料总结 - - -精品资料欢迎下载 - - - - - - - - - - - - - - - - - - 名师精心整理 - - - - - - - 第 12 页，共 37 页 - - - - - - - - - 11 5.3 电路接线S48-300/HMT 系列质量流量控制器的接线插头，考虑到其兼容性，主要采用DB-15/M 针型插

19、座，其接线方法如图五所示。图五 DB15/M 针型 插座接口定义图管脚颜色注释1 黄信号公共端2 橙流量信号输出（ 0-5V OUT, 负载能力 3mA ）3 棕留用4 空5 红+15V电源（ 150mA ）6 绿-15V 电源（ 200mA ）7 空8 蓝设定信号输入（ 0-5V IN ，输入端阻抗 10k）9 黑电源公共端名师资料总结 - - -精品资料欢迎下载 - - - - - - - - - - - - - - - - - - 名师精心整理 - - - - - - - 第 13 页，共 37 页 - - - - - - - - - 12 管脚颜色注释10 紫信号公共端11 空12 灰

20、阀控（空阀控，15V清洗， 15V关闭）13 留用14 白外壳地 ( 大地) 15 空注：在电源处，信号公共端和电源公共端的3个管脚须连接，才能正常工作。图六 带隔离 RS485 接口插座定义图管脚注释1 2RS485信号 A+ 端；（ RS232信号 RxD端，特殊订制RS232协议用）3外壳地4RS485信号 B- 端；（ RS232信号 TxD端，特殊订制RS232协议用）5GND（数字地）名师资料总结 - - -精品资料欢迎下载 - - - - - - - - - - - - - - - - - - 名师精心整理 - - - - - - - 第 14 页，共 37 页 - - - -

21、- - - - - 13 5.4 数字质量流量控制器与计算机的连接需用设备：计算机；显示仪或高稳定性高抗干扰能力的15V 电源；抗干扰能力的屏蔽线。5.4.1 与计算机的连接方法图七 数字质量流量控制器 MFC 与计算机 RS232 连接图ComputerMFC15V电源15V15V电源15V信号公共端com电源公共端TxD(B-) RxD RxD(A+) TxDGND GND RS232接口+15V-15Vcom名师资料总结 - - -精品资料欢迎下载 - - - - - - - - - - - - - - - - - - 名师精心整理 - - - - - - - 第 15 页，共 37 页

22、 - - - - - - - - - 14 图八 2 台MFC 与计算机 RS485 连接图注意：1、MFC 连接采用 RS232 还是RS485 接口，只能选择其中一种，请客户订货时标明。采用 RS485 连接时，连接 A+、B-以及GND （默认连接）。2、RS232 连接有效距离为 10米。RS485 连接有效距离为 400米，距离较远时需匹配终端电阻。15V电源15V15V电源15V信号公共端com电源公共端AAABBBGNDGNDGND上位机RS485接口MFC-2MFC-1+15V-15Vcom+15V-15Vcom名师资料总结 - - -精品资料欢迎下载 - - - - - -

23、- - - - - - - - - - - - 名师精心整理 - - - - - - - 第 16 页，共 37 页 - - - - - - - - - 15 3、RS232 接口只能与上位机一对一连接，RS485 接口可以多台并联与上位机连接。普通计算机的 9针接口为 RS232 接口，一般没有 RS485 接口。所以，当决定采用RS485 连接时，应确定上位机带有RS485 扩展接口或加配 RS232/485转换器。5.4.2 通过流量显示仪与计算机的连接方法MFC-2MFC-1ComputerRS232/485接口MT-51/50 显示仪手动自动图九 通过MT-51 显示仪将 MFC 与

24、计算机 RS232/RS485 连接图5.5 零点的调节在使用的过程当中，有可能发生零点偏移，可进行零点偏移的调节. 调零步骤如下：名师资料总结 - - -精品资料欢迎下载 - - - - - - - - - - - - - - - - - - 名师精心整理 - - - - - - - 第 17 页，共 37 页 - - - - - - - - - 16 开机预热 15 分钟，以待流量计零点的稳定，然后将阀控开关切换到“关闭”位置或者设定为0% 。等待 5 分钟以上，则控制器会进行自动调零，调零完毕，即可正常使用。6、使用方法和操作步骤S48 300/HMT MFC 要与流量显示仪或计算机配合

25、使用，这里结合MT-50 系列流量显示仪，说明 S48-300/MT 质量流量控制器的使用方法和操作步骤：6.1 开机前的准备工作用我公司提供的电缆线和信号线将质量流量计与流量显示仪和电脑连接。选择模拟设定信号的来源。显示仪上信号的来源可选择内部和外部，选择设定信号来源的接口设在流量显示仪的后面板上。如果将设定端子与内设相连时，从流量显示仪上获得设定信号。如果从其他设备上得到设定信号，则需要将设定选择开关打至“外”，并将信号源与设定相连接。即从显示仪上的外控信号插座接入(0 - +5.00)V 和“0 电平”（信号地）上即可。注意，流量设定的输入阻抗应大于 100k。6.2 开机操作接通电源后

26、，先预热 15 分钟，再通气工作，以保证测量的准确度。比如：通电时，将阀控开关置于“关闭”位置并将设定电位器调到零，待零点稳定后，将阀控开关转到“阀控”位，然后再将设定流量调到您需要的值，实际流量将跟随设定值而改变。接通电源后， 控制器自动切换到模拟控制模式， 用户可根据“模拟 / 数字切换”开关或者“模拟 / 数字切换指令”切换到指定的控制模式。名师资料总结 - - -精品资料欢迎下载 - - - - - - - - - - - - - - - - - - 名师精心整理 - - - - - - - 第 18 页，共 37 页 - - - - - - - - - 17 注意：阀控开关必须切换到

27、“阀控”状态，才能使控制器切换到数字控制模式，否则无法进行数字模式控制。6.3 清洗与关闭功能欲用气体吹洗管路，可将阀开关置为“清洗”位，或者通过串口使用阀控状态清洗指令，清洗时的流量可达该控制器额定满量程流量的几倍至几十倍。如果不通气，也可根据需要抽真空以排除MFC 内部及其上游残存气体。然后必须将阀关闭，再开气，并转到“阀控”位工作。注意，清洗后不得直接转置“阀控”位，此操作可能导致控制不准确。6.4 阀控功能当阀开关置于阀控位时，用户可对控制器进行流量设定操作。如果此时控制模式切换到模拟控制模式，则通过显示仪上的设定旋钮，对控制器进行流量设定操作。如果此时控制模式切换到数字控制模式，则通

28、过上位机对控制器进行流量设定操作。如果直接通过上位机发送流量设定指令到控制器，则控制器自动切换到数字控制模式并响应用户的流量设定操作。当阀开关置于阀控位时，用户可通过上位机发送“清洗”，“关闭”指令，对控制器进行“清洗”，“关闭”的操作，效果如同阀开关置为“清洗”位和“关闭”位。6.5 输出显示流量输出信号同时以模拟和数字两种方式显示，模拟显示通过“信号输出（0+5V）”引脚输出（ 0+5V）的电压，其中 +5V对应MFC 满量程额定流量值。流量检测输出电流负载能力不得大于3mA 。数字显示通过串口发送到上位机，由上位机软件进行显示。名师资料总结 - - -精品资料欢迎下载 - - - - -

29、 - - - - - - - - - - - - - 名师精心整理 - - - - - - - 第 19 页，共 37 页 - - - - - - - - - 18 6.6 参数修改通过串口通信可对控制器进行参数的配置，可配置的参数包括： 开启/ 关闭自动调零、修改串口波特率、改写气体系数等。详见“通信指令集“。6.7 关机断电源后，气流自动截止。推荐先关气，后断电源。7、数字通讯功能使用方法和操作按【5、产品安装】所述进行电源、通讯线路、气路连接。须确保MFC 的15V供电正常、通讯接口与上位机连接正确。预热约15分钟后，即可使用。旋转MFC 机身侧面的设备号选择钮，至需要的设备号，重新启动

30、电源，该MFC即为所设定的某号设备，如1号。如多台设备并网，须注意设备号不得重复。在PC 机上安装我公司提供的 MFC 测试界面， 并运行。软件会自动搜索并连接控制器。当连接成功后，会在软件界面的左侧显示已连接上的控制器编号，选择已连接的控制器，即可在软件右侧界面按说明进行操作控制MFC 。如气路正常，即可设定某流量值，如 50% ，随之相应的流量值会显示出来。设定0，MFC 将关断，流量值显示也为 0。可选择第三方兼容 modbus RTU 协议的软件产品，如组态软件，来实现系统组态要求。组态软件一般兼容 modbus RTU 协议，可由它来实现与 MFC 的通讯。本例为某组态软件为实现与M

31、FC 通讯的设置：1）设备通讯可用计算机的 COM 口，名师资料总结 - - -精品资料欢迎下载 - - - - - - - - - - - - - - - - - - 名师精心整理 - - - - - - - 第 20 页，共 37 页 - - - - - - - - - 19 波特率： 9600，奇偶校验：无，数据位：8，停止位： 2 根据设备实际通讯所采用的选择 RS232或RS485. 2）设备设置选择 : PLC 莫迪康 modbus RTU 协议 *每一流量控制器回路，为一个设备，如命名为MFC1 分配一个设备号（ 015），不可重复。3）数据变量设置：流量设定、输出等，均为I/O

32、 整型模拟量选择连接设备，如： MFC1 在8项所述，命令详细格式为modbus RTU 16 进制，如“读流量测量值”命令为：01 03 00 10 00 01 85 CF其03为读命令，对应某组态软件寄存器可设为 4 （只读）其地址 0010，对应某组态软件寄存器地址为 17 （16+1）数据类型为 SHORT 所以，某组态软件的 MFC1 寄存器 417 对应的是 MFC1 的流量输出地址。又如“写流量设定值”命令为：01 06 00 11 02 00 D8 AF 06为写命令，对应某组态软件寄存器可设为 7 （只写或读写）其地址 0011，对应某组态软件寄存器地址为 18 （17+1）

33、所以，某组态软件的 MFC1 寄存器 718 对应的是 MFC1 的流量设定地址。也可利用带 RS232/485串口的 PC、PLC 或触摸屏等上位机进行编程，实现直接与MFC 通讯。名师资料总结 - - -精品资料欢迎下载 - - - - - - - - - - - - - - - - - - 名师精心整理 - - - - - - - 第 21 页，共 37 页 - - - - - - - - - 20 对串口的设置为：波特率：9600（默认）（波特率可通过软件设置选择4800960019200 ），奇偶校验：无，数据位：8，停止位： 2。利用上位机的串口通讯编程，实现通讯数据帧的收发程序。

34、根据Modbus RTU 协议的编码格式（参见下面第8项），使用 VB 或PLC 、触摸屏等的编程，解释及操纵数据帧。从而实现与MFC 通讯。8、通讯协议编码格式符合Modbus RTU 开放协议 ( 数据格式为十六进制，校验方式：CRC16) （流量设定值和输出值数据范围00FFFhex ）8.1 命令格式读流量测量值命令帧：请求帧机器号读命令流量地址数据长度CRC 校验码? 03 0010 0001(1Byte) ? 1Byte 1Byte 2Byte 2Byte 2Byte 应答帧机器号读命令数据长度数据CRC 校验码? 03 02（2Byte）dddd ? 1Byte 1Byte 1B

35、yte 2Byte 2Byte 名师资料总结 - - -精品资料欢迎下载 - - - - - - - - - - - - - - - - - - 名师精心整理 - - - - - - - 第 22 页，共 37 页 - - - - - - - - - 21 写流量设定值命令：请求帧机器号写命令设定地址数据CRC 校验码? 06 0011 dddd ? 1Byte 1Byte 2Byte 2Byte 2Byte 应答帧机器号写命令设定地址数据CRC 校验码? 06 0011 dddd ? 1Byte 1Byte 2Byte 2Byte 2Byte 读流量设定值命令：请求帧机器号读命令设定值地址数

36、据长度CRC 校验码? 03 0011 0001(1Byte) ? 1Byte 1Byte 2Byte 2Byte 2Byte 应答帧机器号读命令数据长度数据CRC 校验码? 03 02（2Byte）dddd ? 1Byte 1Byte 1Byte 2Byte 2Byte 名师资料总结 - - -精品资料欢迎下载 - - - - - - - - - - - - - - - - - - 名师精心整理 - - - - - - - 第 23 页，共 37 页 - - - - - - - - - 22 读机器号命令请求帧机器号读命令设定值地址数据长度CRC 校验码? 03 0033 0001(1Byt

37、e) ? 1Byte 1Byte 2Byte 2Byte 2Byte 应答帧机器号读命令数据长度数据CRC 校验码? 03 02（2Byte）00dd ? 1Byte 1Byte 1Byte 2Byte 2Byte 读开关量命令请求帧机器号读开关量开关量首址开关量个数CRC 校验码? 01 0000 0008 ? 1Byte 1Byte 2Byte 2Byte 2Byte 应答帧机器号读开关量字节数开关量状态CRC 校验码? 01 01 dd* ? 1Byte 1Byte 1Byte 1Byte 2Byte * 见开关量对照表名师资料总结 - - -精品资料欢迎下载 - - - - - - -

38、 - - - - - - - - - - - 名师精心整理 - - - - - - - 第 24 页，共 37 页 - - - - - - - - - 23 写开关量命令请求帧机器号写开关量开关量首址数据CRC 校验码? 05 0003 dddd ? 1Byte 1Byte 2Byte 2Byte 2Byte 应答帧机器号写开关量开关量首址数据CRC 校验码? 05 0011 dddd ? 1Byte 1Byte 2Byte 2Byte 2Byte * 见开关量对照表8.2 开关量对照表十六进制二进制dd* b7 b6 b5 b4 b3 b2 b1 b0 读/ 写R R/W R R/W R/W

39、 R/W R/W R/ W 报警单位关自动调零* 设定切换* 清洗阀控关闭1：报警1:L/min 0:mL/min 1：关闭0: 打开1：通讯设定0：模拟设定1：有效。每次只能1个为1。默认值：0 0 0 0 名师资料总结 - - -精品资料欢迎下载 - - - - - - - - - - - - - - - - - - 名师精心整理 - - - - - - - 第 25 页，共 37 页 - - - - - - - - - 24 如：切换到模拟设定的命令为：01 05 00 03 00 00 XX XX 关闭自动调零的命令为：01 05 00 04 FF 00 XX XX*置位此“关自动调零

40、”位，“自动调零”将立刻关闭。清除此“关自动调零”位，在设定为零，约5分钟后，将执行自动调零。* 上电时， MFC 总是处于模拟设定状态，当有通讯设定时，MFC 自动切换到通讯设定状态。8.3 CRC16 校验码算法Modbus RTU 协议规定，主机或从机用CRC16 校验码算法来验证接收信息帧的正确与否。该CRC16 校验码为 2字节16进制数。发送设备将要发送的初始数据计算成CRC码，添加在发送帧尾部，形成带CRC 码的完整发送帧发送。接收设备可将接收到的完整帧（含发送方添加在尾部的 CRC 码）数据按同样方法重新计算 CRC 码，可以此来验证接收信息帧的正确与否，如果为0，表示接收信息

41、正确。CRC 校验不是底层的启、 停、奇偶校验控制， 所以其并不包括起始位、 停止位、奇偶校验位等，而是指 8位数据位。CRC16 算法流程是：1）预置 1个16进制数 FFFF 到寄存器，称此寄存器为CRC 寄存器；2）将通讯帧第 1字节与 CRC 寄存器的低 8位相异或，结果存于 CRC 寄存器；3）把CRC 寄存器右移 1位（即朝低位），最高位补0，并检查移出位；4）若移出位为 0，直接重复第 3步；名师资料总结 - - -精品资料欢迎下载 - - - - - - - - - - - - - - - - - - 名师精心整理 - - - - - - - 第 26 页，共 37 页 - -

42、 - - - - - - - 25 若移出位为 1， CRC 寄存器与 A001(1010 0000 0000 0001) 进行异或，然后重复第 3步；5）按3）4）步骤，右移 8次；使 8位数据都得到处理后，进入下一步。6) 按2）到5）的同样方法，处理通讯帧的下一字节；7）所有要处理的通讯帧字节都得到处理后，将得到的CRC 寄存器高、低字节进行交换；8）最后得到的 CRC 寄存器内容即为 CRC 码。8.4 通讯帧间隔协议规定， 每通讯帧前 （不是“每字节前” ），停歇3.5 个字节长以上的时长，作为帧起始的识别， 亦即不同的通讯帧停歇间隔应在3.5 个字节以上时长， 而同一帧内的前后不同

43、字节的发送应是不停歇、连续的。所以，如果前后相继的不同的通讯帧间隔停歇时间（比如请求帧和应答帧的停顿间隔）少于上述规定，或者同一帧内不同字节停歇间隔大于3.5 个字节时长，就无法准确分别为不同的通讯帧了，而发生通讯帧识别错误。9、警告和注意9.1 气流方向气流流动方向，必须是按产品外壳气流方向箭头所示方向，不能装反。不然将无法使用或损坏。9.2 工作介质名师资料总结 - - -精品资料欢迎下载 - - - - - - - - - - - - - - - - - - 名师精心整理 - - - - - - - 第 27 页，共 37 页 - - - - - - - - - 26 本产品切忌液体和油

44、污，不能使用在液体介质中工作。只能使用在气体工作介质中。气体必须是洁净、干燥的，没有微粒和潮气。否则，须在气路中加装过滤器、干燥器等，使之符合要求。要注意保持控制器的气路洁净，一旦被污染，将严重影响产品的准确度。使用的气体种类须是控制器铭牌上所规定的，若更换气体种类可能会带来腐蚀、不准确以及工作不正常等问题。9.3 耐压和工作压差超出控制器指标规定的过高的压力，会导致泄漏乃至爆裂的严重后果！须保持控制器进出气口两端的工作压差，保持在指标范围之内，否则，可能会导致控制测量不准确，乃至失灵。在过高的气压差下，可能会导致实际气流偏大或阀无法关闭。在过低的气压差下，可能会导致实际气流偏小。要注意管路和

45、气源内阻对工作压差的影响，在使用大流量的质量流量控制器尤其注意管路粗细是否合适以及保证气源。管路连接时，注意不要导致气路污染及不通畅，连接应密实，无漏气。管口紧固件须用工具紧固，防止迸出、泄漏。9.4 安装位置问题本控制器安装时最好保持安装面水平，但对位置并不特别敏感，可以任意位置安装，非水平位安装时若发现零点偏移，可调整零点后再工作。如果用户订货时注明安装位置，我厂也可根据用户的安装位置进行标定后出厂。9.5 阀的截止密封名师资料总结 - - -精品资料欢迎下载 - - - - - - - - - - - - - - - - - - 名师精心整理 - - - - - - - 第 28 页，共

46、 37 页 - - - - - - - - - 27 本产品的控制阀为电磁调节阀，不能当作截止阀使用。因为不能保证达到截止阀的截止密封作用。若用户有截止密封的要求，应另行配置截止阀。9.6 使用腐蚀性气体和有机溶剂气体本控制器可用于控制一般的腐蚀性气体，但要求用户保证系统低泄漏、不发生凝结反应、无微粒、无水汽，及时清洗，使用得当等。控制器通道材料为： 316L（022Cr17Ni12Mo2）耐蚀不锈钢，密封材料为 PTFE 、氟橡胶等耐蚀材料。若用户有在强腐蚀性气体和有机溶剂气体使用要求时，应在定货时声明。以便更改相应耐蚀密封材料。9.7 清洗时流量在“清洗”时，实际气流将超过满量程几倍至几十

47、倍，此时流量显示值不准确，还可能出现流量增大显示反而减小的现象，这是由热式质量流量计的特性决定，属于正常现象。 对不希望出现大气流“清洗”的场合，用户应自行限制。不推荐长时间置“清洗”位，而利用流量控制器长期做流量计或开启阀使用。因为此时阀门开度最大，电磁阀、线路等将会流过很大的电流，因而加速其热老化损坏。9.8 流量控制不能用切断 / 接通 15V供电电源的办法来控制流量的开闭。须先通电预热 15分钟，入口先给气，然后用“设定输入控制信号”来控制流量。在这种操作条件下，才能保证所控制的流量精度及流量响应特性。名师资料总结 - - -精品资料欢迎下载 - - - - - - - - - - -

48、 - - - - - - - 名师精心整理 - - - - - - - 第 29 页，共 37 页 - - - - - - - - - 28 9.9 专业维修若控制器内部故障，应由专业维修人员修理，或送回本厂修理。不允许带电插拔连接线，以免出现意外损坏。10、故障判断和处理10.1 一般检查：在控制器新安装或发生故障时，应进行一般检查。1）检查气源压力，检查气路是否通畅，检查工作气压差是否能够保证。2）通电前检查，接线是否正确，包括所有地线是否连接好。注意：15V电源接错，可能会烧毁控制器。3）通电检查，打开插头盖，检查各点电位：15V电源电压、设定电压、输出信号电压、外调零电压、阀控电压、所

49、有地电平。10.2 典型故障判断和处理表2 故障判断和处理一览表序号故障现象故障可能原因处理方法1 开机后，无气流流过1.1 气源未开， 气路不通接通气源，开通气路1.2 阀控开关关闭或上位机设定关闭将阀开关置于“阀控”位或“清洗”位1.3 无设定信号检查设定电位器和“内外”设定开关的状态等1.4 过滤器堵塞*更换过滤器1.5 调节阀故障检查阀线包是否断，*清洗调节名师资料总结 - - -精品资料欢迎下载 - - - - - - - - - - - - - - - - - - 名师精心整理 - - - - - - - 第 30 页，共 37 页 - - - - - - - - - 29 序号故

50、障现象故障可能原因处理方法阀1.6 电路故障*维修电路2 开机通气的情况下，流量检测不正常2.1 零点偏差进行自动调零或调节调零电位器2.2 电源故障*检查 15V 电源等2.3 传感器故障*更换传感器2.4 运放或其他电路故障*更换运放，维修电路3 在阀门关闭的情况下，仍有较大的流量流过3.1 入口气压过高，进出气口之间的压差超过额定值适当降低输入气压，减小气压差3.2 阀门污染清洗阀门，更换密封件3.3 调节阀故障重新调整调节阀4 流量显示不能达到满量程度4.1 气压降低于额定值提高入口气压4.2 通道堵塞*清洗 FMC 通道4.3 模拟设定电压低于5.00V 检查模拟设定电压4.4 其它