2022年半导体生产过程控制程序 .pdf

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1、半导体生产二部过程控制程序兼职广告任务网 分发部门总经办管代行政部人力资源部生产一部生产二部生产三部品检部研发部市场营销部采购部财务部项目部动力保障部文控中心档案室分发范围分发份数名师资料总结 - - -精品资料欢迎下载 - - - - - - - - - - - - - - - - - - 名师精心整理 - - - - - - - 第 1 页，共 9 页 - - - - - - - - - 文件代码SNS-QP-S2-02 生产二部过程控制程序页次1/9 版本版次A0制定日期2010-12-01 制定部门生产二部生效日期2011-02-01 1. 目 的使生产二部生产各阶段处于受控状态，确保

2、生产过程及其结果满足要求。2. 适用范围本程序文件适用于生产二部生产所有过程的控制。3. 引用文件3.1 生产二部生产过程控制程序3.2 采购部及供应商开发管理控制程序3.3 仓库物料控制程序3.4 品质控制程序3.5 不合格控制程序4. 职责4.1 生产经理全面负责本部门工艺、生产、设备、动力等正常运转及产能有效匹配，工艺改善生产控制，以及所有异常情况处理或协调处理；本部门人事组织安排及管理，主持日常会议及其它日常管理工作，协调内部各方面关系，注重效益和团队作用；实时跟踪所有物料使用情况信息及初步成本核算，有效进行物料控制，包括供应商信息、申购、运输、贮存、使用、规格及有效期控制等；分析工艺

3、、生产、设备、动力数据信息，分析解决问题，向公司总经理定期汇总上报本部门人事、工艺、生产、设备、动力、物料、供应商、客户等信息月报；对内与市场部、采购部、行政人事部、财务部等部门沟通相关事宜，协调部门间关系，对外与供应商沟通以处理设备、物料质量、期限、维修保养等信息，以及与客户沟通产品质量、规格、生产进展情况等；负责督促、检查及考核生产主管、生产文员、生产领班、生产站长、技术主管、工艺工程师、工艺技术员、设备主管、设备工程师、设备技术员的工作。4.2 生产主管负责制定相关生产操作规范及相关制度、表格；组织管理人员的管理培训，新员工的制度培训；能组织相关人员技术攻关和工艺改进, 提高产品质量和劳

4、动生产率 , 改善劳动条件 , 降低消耗；组织解决生产现场出现的问题，分析庇病因素，制定对策并组织实施，保证生产正常进行；对生产进度进行统计和调控，组织生产，安排加班、延点及人员调配，确保生产任务的完成；统计记录生产数据、品质异常及改善处理方法。4.3 生产文员负责定期和不定期向各站长了解物料使用情况，进行领料领片投料投片名师资料总结 - - -精品资料欢迎下载 - - - - - - - - - - - - - - - - - - 名师精心整理 - - - - - - - 第 2 页，共 9 页 - - - - - - - - - 文件代码SNS-QP-S2-02 生产二部过程控制程序页次2

5、/9 版本版次A0制定日期2010-12-01 制定部门生产二部生效日期2011-02-01 工作，详细掌握各物料使用信息（包括数量、规格、有效期等）；每周五上午收集各报表（生产、绩效、会议PPT等）及整理汇总上报；其它与市场部和采购部相关沟通工作或文字处理（制定相关表格）工作等。4.4 生产领班负责上班工作交接，提出注意事项；负责组织每班上班前约十分钟会议，会议内容包括工作任务、纪律、注意事项、分析解决问题；及时向相关工程师或经理上报异常情况，协调相关工程师分析处理问题；协调整个生产线正常生产、突发事件的处理（包括工艺、生产、设备、工程、人员、安全等）；整班出勤记录、纪律记录、异常情况记录、

6、异常处理情况记录等。4.5 生产站长负责协调本站操作人员工作安排、倒班安排等；本站工作的培训，包括设备操作、工艺注意点、工作记录；负责本站物料控制（包括数量、有效期、库存、供应商联系等），定期向本部文员反映；负责每天检查本站设备、水电气、环境等状态，如有异常及时向领班或相关工程师报告；负责工艺、生产、设备使用情况、物料使用情况记录，以及以上异常情况记录及如何处理。4.6 技术主管制定相关工艺生产规范及相关制度、表格，编写生产作业指导书；组织新进员工培训，包括制度规范培训、技术技能培训；工艺改善，工艺纠正预防措施，品质质量保证，工艺生产流程安排；协助研发部进行工艺开发及工艺改善、工艺实验；能不断

7、提出高业务水平和组织技术、工艺攻关；能深入生产现场，协同质量部门对不合格品的审理，及时、有效地处理有关技术问题、技术难点，并通过技改等措施提高生产效率；统计记录工艺实验数据、工艺异常及改善处理方法。4.7 设备主管制定相关设备制度，包括设备使用维修制度、维护保养制度（点检、周检、月检、季检、年检计划等） 、备件库建立（包括数量、规格、供应商信息、价格等） 、操作规范等；负责整个生产线设备维修维护保养、定期或不定期进行设备和水电气检查并记录信息；善于发现异常前兆防患于未然、立即处理站长领班报告的设备水电气相关问题、制定设备维修维护时间表、及时与供应商沟通处理相关问题；与工艺生产工工程充分沟通、协

8、调工艺生产正常进行；统计记录设备使用情况、异常情况及处理措施。4.8 仓库库管员根据领料单负责原材料的发料，根据入库单负责成品或半成品的收料，要求单、物、数相符。名师资料总结 - - -精品资料欢迎下载 - - - - - - - - - - - - - - - - - - 名师精心整理 - - - - - - - 第 3 页，共 9 页 - - - - - - - - - 文件代码SNS-QP-S2-02 生产二部过程控制程序页次3/9 版本版次A0制定日期2010-12-01 制定部门生产二部生效日期2011-02-01 5.PPS制造环境要求及控制流程5.1 工作（生产环境）要求如下：5

9、.1.1 温度要求： 2215.1.2 湿度要求： 45% 5% 5.1.3 洁净度要求：黄光室1000级，ICP、清洗间、检测等为10000 级。5.2 PSS 制造( 控制) 流程程序如下图6. 生产过程的控制流程6.1COA 作业控制6.1.1 作业要求6.1.1.1Track20分钟未进行 COA 作业时，需空排光刻胶 3秒以上，然后作业；6.1.1.2 严格按照 coating 作业指导书选择所需 COA 程式进行作业。6.1.2 检测及作业内容6.1.2.1 作业时机台无异常声音，要求每周对匀胶Chuck进行转速测量及校正；6.1.2.2 光刻胶无过期；6.1.2.3 匀胶后目测晶

10、片外观色泽均匀完整、无其他异常；要求抽检3片/ 每盒（按顺序第 1、10、20片） ；6.1.2.4 显微镜下检查晶片表面无刮痕或挂横1mm ；要求抽检 3片/ 每盒6.1.2.5 目测晶片表面无光刻胶脱落或脱落面积2m ；要求抽检 3片/ 每盒（按顺名师资料总结 - - -精品资料欢迎下载 - - - - - - - - - - - - - - - - - - 名师精心整理 - - - - - - - 第 4 页，共 9 页 - - - - - - - - - 文件代码SNS-QP-S2-02 生产二部过程控制程序页次4/9 版本版次A0制定日期2010-12-01 制定部门生产二部生效日期

11、2011-02-01 序第1、10、22片） ；6.1.2.6 用膜厚仪对光刻胶进程厚度测量，要求每8小时抽测 3批，每片测量 5个点，分别为上、中、下、左、右；光刻胶要求厚度为：3.000.05um；6.1.2.7 计算光刻胶均匀性；测量公式(max-min)/(max+ min) ，要求 wafer to wafer 2%;。6.2 EXP作业控制6.2.1 作业要求6.2.1.1 不同曝光机选择正确合适的cassette 及曝光时间进行曝光；曝光时，wafer正面朝上；6.2.1.2作业过程中注意机台运行情况。6.2.2 检测及作业内容6.2.2.1 曝光后观察光刻胶外观及色泽，要求外观

12、完整，色泽均匀；每批抽检1片；有异常则返工并对整批进行检查；6.2.2.2 光刻胶无刮痕，或刮痕 1mm ；6.2.2.3 晶片表面无污染；6.2.2.4 未显影的晶片严禁带出黄光室或用显微镜对其检测。6.3DEV 作业控制6.3.1 、作业要求6.3.1.1 作业前先确保 DI水压正常；6.3.1.2 严格按照作业要求选择所需程式进行作业；6.3.1.3 查看显影液回收桶有无装满。6.3.2 检测及作业内容6.3.2.1 用共聚焦显微镜对光刻胶显影后尺寸进行测量；要求：Height:1.31.7um Bottom:2.3 2.6um，每批抽检 2片；6.3.2.2 目测显影后光刻胶边宽要求圆

13、边2mm, 平边 4mm ，3片/ 每盒（按顺序第 1、10、20片） ，不合格即返工；6.3.2.3 目检/ 显微镜检查光刻胶表面无刮痕，或刮痕1mm 3片/ 每盒, 不合格即返工；名师资料总结 - - -精品资料欢迎下载 - - - - - - - - - - - - - - - - - - 名师精心整理 - - - - - - - 第 5 页，共 9 页 - - - - - - - - - 文件代码SNS-QP-S2-02 生产二部过程控制程序页次5/9 版本版次A0制定日期2010-12-01 制定部门生产二部生效日期2011-02-01 6.3.2.4 显影后无局部脱胶，或脱胶2m

14、；6.3.2.5 显微镜下观察无明显过显影或显影不足现象；6.3.2.6 显微镜 100倍下观察曝光场与场之间有无叠加、错位、分离、色差明显等现象。6.4 BAKE作业控制6.4.1 作业要求6.4.1.1 作业前先确保 oven温度为 1305度，并已稳定；6.4.1.2 片子流出黄光室应从传递箱流出；6.4.1.3 计时器应带闹钟功能，避免忘记。6.4.2 检测及作业内容6.4.2.1每批抽检 1 片，检查光刻胶表面有无异常。6.5 ICP 作业控制6.5.1 作业要求6.5.1.1 使橡皮圈均匀分布在底盘的各个小槽上；6.5.1.2 把盖子用螺丝力度均匀（用扭力螺丝刀拧紧）地固定在托盘上

15、；6.5.1.3 按要求选择合适程序进行 ICP制程；6.5.1.4 注意三氯化硼流量、腔体压力，氦气流量，RF1 功率， RF2 功率的设置于变化，异常情况要及时解决；6.5.1.5 每三个 RUN 做一次腔体清洁；6.5.1.6 作业过程中，工作人员不得离开岗位。6.5.2 检测及作业内容6.5.2.1 用共聚焦显微镜9点检查法，检测图形规格；B5C ：Depth:1.85 0.1，Bottom:2.90 0.2 ， Uniformity: 5%； BOA： Depth:1.3 1.7um ，Bottom:2.3 2.6um，Uniformity:5% ，要求每 7片抽检 1片，不合格即通

16、知工艺工程师；6.5.2.2 用共聚焦显微镜检查 5点图形的深度，要求均匀性5% ；6.5.2.3 用显微镜或共聚焦显微镜检查图形有无过蚀刻或蚀刻不足现象；6.5.2.4 用显微镜检查晶片表面有无凸丘、凹坑、残胶或其他异物；名师资料总结 - - -精品资料欢迎下载 - - - - - - - - - - - - - - - - - - 名师精心整理 - - - - - - - 第 6 页，共 9 页 - - - - - - - - - 文件代码SNS-QP-S2-02 生产二部过程控制程序页次6/9 版本版次A0制定日期2010-12-01 制定部门生产二部生效日期2011-02-01 6.5

17、.2.5 任何异常均需详细记录。6.6 BATH及SRD 作业控制6.6.1 作业要求6.6.1.1 要区分有机清洗、无机清洗和有机+无机清洗；6.6.1.2 查看溶液是否需要更新；6.6.1.3 选择适当的程序进行甩干作业。6.6.2 检测及作业内容6.6.2.1 清洗溶液温度是否达标；6.6.2.2 冲水时间是否足够；6.6.2.3 冲水后放入 SRD 旋干机中甩干，详细操作见: SNS-WI-S2-501 A0 甩干机操作规范6.6.2.4晶片表面是否有顽固性（残胶）污渍难以去除，如果有，可采取棉签拭擦方式将其清除。6.7 PACKING 作业控制6.7.1 任何产品必须经过检验员确认检

18、验合格才能包装；6.7.2 产品包装前先对前道工序进行复检；6.7.3 包装时必须做到产品表面、接缝等隐蔽处无灰尘、无油渍；6.7.4 包装时如发现工件有质量问题需返工返修时，应及时补齐；不能补齐时应及时做出反馈，以免耽误出货；6.7.5 包装过程中要保证在产品正常搬运过程中撞击、严重倾斜的现象；6.7.6 包装完后，贴上料号标签入库。7. 生产考核7.1 生产部负责对生产班组的计划完成率、工序一次交验合格率、 产品出厂合格率考核。7.2 生产班组负责对生产员工的工时定额完成情况考核，劳动纪律和工艺纪律考核。8. 批次管理8.1 各工序的加工作业都必须按PSS作业记录单规定的品种、批次号、批次

19、数量进行。8.2 每批产品均有相对应的 PSS作业记录单。名师资料总结 - - -精品资料欢迎下载 - - - - - - - - - - - - - - - - - - 名师精心整理 - - - - - - - 第 7 页，共 9 页 - - - - - - - - - 文件代码SNS-QP-S2-02 生产二部过程控制程序页次7/9 版本版次A0制定日期2010-12-01 制定部门生产二部生效日期2011-02-01 8.3 每天的加工完成情况须如实反映在生产二部生产报表上。9. 特殊过程的质量控制9.1 本公司的特殊过程包括：9.1.1 黄光工站。9.1.2 ICP工站。9.2 特殊过

20、程要实行三定：定工艺，定设备，定人员。9.3 特殊过程的质量保证主要是通过工艺参数的监控及测试仪的检测来保证，各相关人员要做好相关记录和设备上的仪器、仪表的监控。当发现问题时应立即报告生产主管及工程师来解决。10. 支持文件10.1 coating 作业指导书 SNS-WI-S2-101-A0 10.2 TRACK 换液（丙酮、 PR 、显液）规范 SNS-WI-S2-001-A0 10.3 stepper 作业指导书 SNS-WI-S2-201-A0 10.4 Develop 作业指导书 SNS-WI-S2-301-A0 10.5 Corial ICP作业指导书 SNS-WI-S2-401-

21、A0 10.6 Corial ICP零部件清洗作业规范 SNS-WI-S2-402-A0 10.7 ELEDE ICP作业指导书 SNS-WI-S2-403-A0 10.8 ELEDE ICP零部件清洗作业规范 SNS-WI-S2-404-A0 10.9 SLR 作业指导书 SNS-WI-S2-405-A0 10.10 SLR 零部件清洗作业规范 SNS-WI-S2-406-A0 10.11 甩干机操作规范 SNS-WI-S2-501-A0 10.12 清洗间操作规范 SNS-WI-S2-601 10.13 去胶作业规范 SNS-WI-S2-602 10.14 硫酸溶液安全使用规范 SNS-W

22、I-S2-603 10.15 成品包装机作业规范 SNS-WI-S2-701 10.16 光学膜厚仪操作规范 SNS-WI-S2-801 10.17 晶片夹取及倒片操作规范 SNS-WI-S2-901 10.18 生产二部岗位职务说明书 SNS-WI-S2-902 名师资料总结 - - -精品资料欢迎下载 - - - - - - - - - - - - - - - - - - 名师精心整理 - - - - - - - 第 8 页，共 9 页 - - - - - - - - - 文件代码SNS-QP-S2-02 生产二部过程控制程序页次8/9 版本版次A0制定日期2010-12-01 制定部门生

23、产二部生效日期2011-02-01 10.19烤箱操作规范指导书 SNS-WI-S2-802 11. 质量记录11.1 投片记录单 SNS-QR-S2-051 11.2 黄光室工艺记录单 SNS-QR-S2-052 11.3 黄光室出片记录单 SNS-QR-S2-053 11.4 蚀刻记录表 SNS-QR-S2-054 11.5 ICP 参数记录 SNS-QR-S2-055 11.6 蚀刻工艺记录单 SNS-QR-S2-056 11.7 清洗交接记录表 SNS-QR-S2-057 11.8 化学品使用登记表 SNS-QR-S2-058 11.9 生产月报表 SNS-QR-S2-059 11.10 PSS作业记录单 SNS-QR-S2-086 11.11 入库单 SNS-QR-KG-008011 11.12 领料单 SNS-QR-KG-001005 名师资料总结 - - -精品资料欢迎下载 - - - - - - - - - - - - - - - - - - 名师精心整理 - - - - - - - 第 9 页，共 9 页 - - - - - - - - -