最新Centrotherm-扩散三级保养(新).doc

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1、Centrotherm扩散炉三级维修保养作业指导书目录第一章 设备的基础知识.31.1.1、紧急停机、主电源开关.31.1.2 、附属设施条件.31.1.3、设备结构特征及附图.3第二章 设备全员生产维.（TPM）.6第一节 TPM介绍.62.1.1、TPM 名词术语释义.62.1.2、TPM 的内容和特点.62.1.3、TPM 的5S 活动.82.1.4、TPM设备保养.82.1.5、设备点检.102.1.6、日常工具管理.10第二节 设备一级保养（日常维护项目）.112.2.1、设备卫生.112.2.2、设备运行情况12第三节 设备二级保养（定期维护和调整项目）.142.3.1、设备维护计

2、划.142.3.2、设备维护步骤.142.3.3、石英器件的维护.172.3.4、更换源瓶.19第四节 设备三级保养.202.4.1、安全事项.202.4.2、故障显示及处理.21 （一）CESAR控制计算机上的故障显示及排除.21 （二）设备部件的故障诊断.22 A、装载区故障22 B、毒性气体抽排装置中的故障.23 C、水平式炉体故障.23 D、气源柜中故障.24 E、炉体部件检测.24 F、调节TGA空闲传感器.262.4.3、CMI错误报警及排除.29第三章 POCL3性质和应急处理.343.1、三氯氧磷性质.343.2、三氯氧磷泄露应急处理预案.36附：设备缩写词含义.37 扩散炉二

3、级保养检查记录单38第一章 设备的基础知识 设备安全控件及辅助设施参数1.1.1、紧急停机主电源开关机身背部，停止所有动作，不受控制的工艺程序取消，使整个设备无电压。紧急停机按钮操作屏上方，停止所有动作，不受控制的工艺程序取消，使整个设备无电压。停止动作按钮停止所有机械动作，工艺程序不受影响。 1.1.2、冷却水：入口17-21度，最少65升/分钟，4-6bar，进出压差4bar压缩空气：干燥，无油，5-7bar氧气：1.2-2.5bar氮气：1.2-2.5 bar电源：3/N380/220V 50HZ 160KW排风量：2000m3/h 1.1.3、结构特征：扩散系统A气源柜：工艺气体控制系

4、统。外接氮气、氧气、压缩空气，内置磷源容器，为系统炉管提供工艺气体，顶部设有排风。B炉体：由保温材料岩棉炉腔，每个炉腔外围是加热丝，内部放置石英炉管。四个炉腔的下面是炉温控制系统。顶部是冷却系统。CENTROTHERM扩散系统的总电源从炉体背面中下部接入。C装载/卸载：用于卸载、装载硅片，各部分分别对应相应的炉管和炉腔。下侧内部是电路及控制部分。下方是各部分控制按钮。控制屏用于对整个系统的控制及监视。设备自带有净化系统。电阻率测试仪：由PC和四探针测试台组成。 图一： LOAD 装载区 图二： 主冷却系统图三：加热炉体第二章 设备的维护第一节 TPM介绍1.1.1、TPM 名词术语释义TPM（

5、Total productive maintenance 全面生产维护）：TPM是以设备综合效率和完全有效生产率为目标，以全系统的预防维修体系为载体，以员工的行为规范化为推进过程，以全体人员参与为基础的设备维护、保养、点检和维修体制。设备寿命周期费用（Life cycle cost,缩写为LCC)：是指设备在预期的寿命周期内，为其论证、研制、生产、使用、保障及报废处置和改造所支付的一切费用的总和。它表明一台设备一生要花多少钱，所以是设备的一个非常重要的经济参数量值。设备寿命周期费用因而也成为现代质量观念中的重要内涵与要素。设备的综合效率化：综合效率化就是使设备更有效地工作，使设备所产生的P、Q

6、、C、D、S、M(即产量、质量、成本、交货期、安全与劳动情绪）的最大输出达到最大限度。设备综合效率计算公式： 设备综合效率=时间开动率性能开动率合格品率100% 时间开动率= 开动时间/负荷时间 100% 负荷时间=理论负荷时间（理论节拍计划产量）+全部停机时间（停工记录单） 计划停机时间（仅限于设备保养时间+用餐时间） 开动时间=设备最后一次停机开始时间设备开始记录时间各种停机时间 性能开动率=理论节拍（CT） 生产数量/开动时间 100% 合格率=合格品数量/生产数量 100% 2.1.2、TPM 的内容和特点1、TPM 的内容1）TPM 以最大限度的发挥设备功能，以零故障、零缺陷为总目标

7、；2）TPM 是以重叠式的小组活动方式，在等级制度的组织之下加以推动的，力争从上至下的政策和自下而上的意见得到贯彻和沟通；3）TPM 以5S（SEIRI 整理、SEITON 整顿、SEISO 清扫、SEIKETSU 清洁、SHITSUKE素养）为基础，开展自主维修活动；4）TPM 以降低六大损失（设备故障、安装调整、空转短暂停机、速度降低、加工废品、初期未达产）来提高设备综合效率；5）TPM 的推动不仅局限于生产部门和维修部门，设计开发等其它业务、行政部门都要纳入其中。2、TPM 的特点日本的全员生产维修与原来的生产维修体制相比，主要突出一个“全”字，这个“全”字有三方面的含义，即全系统、全效

8、率和全员参加。所谓的全系统是指生产维修的各个侧面均包括在内，如预防维修、维修预防、必要的事后维修和改善维修。全效率是指设备寿命周期费用评价和设备综合效率；全员参加是指这一维修体制的群众性特征，从公司经理到相关科室，直到全体操作工人都要参加，尤其是操作工人的自主小组活动。三个“全”之间的关系为：全员为基础，全系统为载体，全效率为目标。TPM 的主要目标就落在“全效率”上，“全效率”在于限制和降低六大损失：1）设备停机时间损失；2）设置与调整停机损失；3）闲置、空转与短暂停机损失；4）速度降低损失；5）残、次、废品损失，边角料损失（缺陷损失）；6）产量损失（由启动到稳定生产间隔）。有了这三个“全”

9、字，使生产维修更加得到彻底地贯彻执行，使生产维修的目标得到更有力的保障。这也是日本全员生产维修的独特之处。2.1.3、TPM 的5S 活动5S 活动也是全员生产维修的特征之一。所谓的5S 是5 个日语词汇的拼音字头。这5 个词是：整理、整顿、清洁、清扫和素养。这些看起来有些重复繁琐的单词，恰恰是TPM 的基础和精华。整理：把要与不要的事、物分开，再将不需要的事、物处理掉。让生产现场或工作场所透明化，增大作业空间，减少碰撞事故、提高工作效率。整理的难点在于物品的分类以及处理物品的决策。没有果断、有效的处理，就使下一步的整顿难以进行。整顿：把留下来的有用物品加以定置、定位，按照使用频率和可视化准则

10、，合理布置、摆放、做到规范化、色彩标记化和定置化，便于快速找到和取用物品。整顿的要点在于事先的设计，先有设计方案，再付诸行动，可以事半功倍，避免整顿之中的返工。清扫：清除工作场所的灰尘、铁屑、垃圾、油污，创造整洁、明快的工作环境。把清扫和设备的点检、保养结合起来。因为清扫即是点检的过程，我们主张由操作员工自己清扫。清扫工作也要有一工作流程的管理，如划分清扫区域，明确设备、清扫责任人，确定清扫周期、清扫方法和清扫标准，并设计清扫的考核评估体系。只有这样，清扫才不至变成一次大扫除，而成为一项持久的工作。清洁：前3 个S 的坚持、深化和制度化，也是更高层次的清扫，即清除废水、粉尘和空气污染，创造一个

11、环保、健康的工作场所。素养：素养即为精神上“清洁”。一开始要以制度为推动力，最后达到“习惯”的目标，是形式化制度化习惯化性格化的过程。2.1.4、TPM设备保养1 设备的保养分为：一级保养，二级保养，三级保养。由于其具有三个等级的保养责任和内容，故称为三级保养。三级保养一般连续按周期完成。它是设备专业管理与群众管理相结合的有效保养制度之一。一级保养 又称日常保养，是操作者对所操作设备每日（班）必须进行的保养。其内容为班前加油、擦拭、调整、班中的检查、调节、班后的清扫、归位等工作。日常保养可以防止故障、推迟劣化，延长设备寿命，减少事故的发生。 二级保养 以跟班维修技术员为主，由操作工人辅助，按计

12、划对设备进行的定期维护。其内容为：对设备进行局部拆卸、检查、清洗；疏通油路，更换不合格的毡垫、油线；调整各配合间隙；紧固各部位。电气部分由维修电工负责。根据不同设备及运行条件定期进行。 三级保养 以常白班设备维修技术员为主、结合设备部技术员以及设备供应商技术人员参加的定期（半年检、年检）维修，其内容为：擦洗设备，调整精度，拆检、更换和修复少量易损件，并进行调整、紧固，刮研轻微磨损的部件。保持设备完好及正常运行。2 保养“十字”作业法根据设备保养内容及要求可简述为保养“十字”法。清洁，指设备外观及配电柜无灰垢、油泥；润滑，指设备各润滑部位的油质、油量满足要求；紧固，指各连接部位紧固；调整，指有关

13、间隙、油压、安全装置调整合理；防腐，指各导轨面、金属结构件及机体清除掉腐蚀介质的侵蚀及锈迹。 日常润滑检查 主要内容是：操作工人在班前检查加油试车时，察看润滑装置及润滑系统是否完善、畅通，发现缺陷应立即排除；维修工或润滑日常巡回检查时，有重点地查看主要润滑部位是否缺油，协助操作工排除润滑缺陷和故障。 润滑“五定” 五定：定人（定人加油）；定时（定时换油）；定点（定点给油）；定质（定质选油）；定量（定量用油）。2.1.5、设备点检为了维持设备所规定的性能，按照设备的规定部位，通过人的五官和监测仪器，判别有无异状或性能是否良好的检查，根据规定标准使设备异状和劣化能早期发现、早期预防、早期治疗。 点

14、检分日常点检和定期点检两种。日常点检是以人的五官为主进行检查，而定期点检则除了以人的五官检查外还要用仪器测定。此外，两者的检查标准和检查周期以及执行人员也不同。 日常点检由设备操作工人按规定标准，以五官感觉为主，对设备各部位进行技术状态检查，以便及时发现隐患，采取对策，尽量减少故障停机损失。 检查一般采用主观检查法： 听：设备运转过程中是否有异常声音 摸：轴承部位及其他部位的温度是否异常 查：设备及管路有无“跑、冒、滴、漏”和其他缺陷隐患 看：设备运行参数是否符合规定要求 闻：设备运行部位是否有异常气味 定期点检 为进行预防保全，在一定的时间间隔内所进行的设备点检。这种点检根据设备点检保全规程

15、进行，一般由设备保全部门承担。2.1.6、 日常工具管理 要点： 1、交接班的工具交接 2、工具的正常使用 3、工具的日常保养 4、以旧换新制度 5、工具台帐的管理设备使用部门及设备操作人员负有对所使用的设备维护和保养的责任，按照三级保养的一级进行日常工作中的维护，采取多种方式，提高操作人员的设备维护意识和水平。操作人员要认真学习设备各项操作技能，熟练掌握操作技术，掌握设备工作原理，了解设备基本性能、工作方式，熟知设备运转情况，操作人员平时要注意设备的保养及时登记设备操作记录表，有问题及时解决或反映给设备维护人员。按照谁使用、谁负责的管理原则，把设备的用和管紧密结合起来，共同做好设备维护、保养

16、、抢修，使设备能更好的服务于生产。第二节 设备一级保养（日常维护项目）设备日常的点检重点项：设备使用记录；设备卫生和设备的运行状况。2.2.1设备卫生1当生产结束后，日常对设备卫生的维护保养，用酒精和无尘布对设备主体进行擦拭。 2 用酒精和无尘布对石墨桨进行清洗，保证桨上无有害杂质，进而保障了生产的质量。 3用夹子或者是手将设备里的碎片都清理出来。2.2.2设备的运行情况一、设备外部设施的检查（特气、冷却水、三氯氧磷）1 检查氧气压力、氮气压力和压缩空气压力是否正常。如果不正常，用调压阀进行调节（顺时针拧动调压阀加大压力，逆时针拧动调压阀减小压力）压缩空气：干燥，无油，5-7bar氧气：1.2

17、-2.5bar氮气：1.2-2.5 bar2检查冷却水压力（进水压力在0.4Mpa，出水压力在0.1Mpa左右 ）3 检查装有三氯氧磷的源瓶进气口和出气口的阀门是否打开，通气是否顺畅二、设备硬件设施的检查1检查源温控制器显示源瓶的温度和源温控制器的状态，如果状态不正常，请点击RUN ACKN RESET SET 等按键进行设置或复位。2手动运行工艺检查炉门开启、关闭是否正常，红箭头指的方向为炉门开启的方向。如果不正常请检查炉门在操作界面上的状态以及其他控制电路。3检查控制石墨桨的电机是否能够带动桨前后、上下的运动。如果不正常请检查PADDLE在操作界面上的状态，用SERVICE里的HANDIN

18、G进行复位。4检查SLIDER的传输是否正常。如果不正常而导致报警请检查限位开关、位置传感器。5检查设备升降机能否上下运动，机械手爪子能否开或关。第三节 设备二级保养（维护和调整项目）2.3.1、设备维护周期、方法 扩散炉的维护周期为两周，具体维护日期根据PECVD或制绒机维护日期定制，或是影响到工艺的正常运行后也应及时做好维护工作。（1）、维护时间：早班对设备进行维护，维护时间3小时。（2）、维护的主要内容：尾气部分清理、设备内外卫生清洁、关键部件的检查、清洁和运动部件的润滑。 （3）维护所需的主要工具和物品：隔热手套、隔热面罩、PVC手套、无尘布、橡胶手套、泡沫垫、清理用的专用工具等。 （

19、4）每两月对尾气管进行更换和清洗。 2.3.2、设备维护步骤1. 打开炉管状态栏，观察需要维护的炉管是否在运行着工艺。如果正在运行着工艺，请工艺结束后再进行维护。如果没有运行着工艺，请返回到JOB界面,将炉管状态改变成封锁状态。封锁状态工艺结束2. 打开气源柜，先将三个夹子同时拿下，而后将残液罐、冷却罐和尾气管轻轻分开。3. 将分开的冷却罐上的废气管拧开，注意不要丢失里面的黑色O圈。注意O圈4. 将残液罐、冷却罐和尾气管轻轻取下，注意一手扶住罐子，一手托底。将其放在早已准备好的泡沫垫上，把尾气管稍微向外抽出点。抽出一点5. 清洗残液罐。戴上防酸手套，把残液倒尽后，将残液罐用清水反复冲洗干净，包

20、括罐口和皮垫也冲洗干净。冲洗当中要拿稳，不要让残液罐与其他物体发生碰撞。冲洗完毕后，将水倒干，然后将其放回泡沫垫上，擦拭干净。（注意：白色皮垫不要丢失）6. 清洗冷却罐。打开水管时，先不要开太大，当水进入冷却罐后会产生大量浓烟，这时应先远离浓烟。等烟雾消失后，将罐中水倒掉，注意轻拿轻放。如果戴防酸手套不方便，可以摘掉，再戴一副PVC手套。如果瓶内还有白色物质，再继续冲洗，直到干净为止。注意：瓶口和皮垫也要冲洗。在水槽中冲洗时一定要小心，避免石英器件与水槽发生碰撞。清洗时一手托底，一手半捂住罐口，慢慢将水倒出。将水开小点浓烈白烟 7、清洗尾气管。在清洗过程当中，有的尾气管可能已经堵死，在冲洗过程

21、当中，将水开小点。冲洗完毕后，注意废气管里面的O圈是否还在。 8、用无尘布擦拭尾气管；擦拭各个部件，用干净的无尘布，轻轻擦拭。一手抚着尾气管，轻轻擦拭。 9、 安装时各管上的部件不可混装。 10、在安装时首先将废气管安好，再将尾气管、残液罐和冷却罐连接在同一条直线上，以免紧固时损坏石英器件，而后将其用夹子夹紧（夹子的松紧程度掌握好，当顶丝顶到夹子后再拧半圈即可）。保持接口在同一条直线上 11、 尾气管安装完成后确保其密封性完好。 12、清理装载区时在打开窗户时必须小心谨慎，防止碰到舟和石英器件。13、在身体进入装载区清理碎片时禁止碰触石英件和桨等易碎品。2.3.3、石英器件的维护石英件的维护方

22、法： 石英器件清洗规范：禁止用酒精擦拭石英舟。一、操作过程参照安全操作规程，佩戴防护用品，注意安全。 二、主要是针对扩散工序石英制品的清洗： 1、清洗周期：所有的石英舟每3个月清洗一次，所有尾气管每2个月清洗一次，炉管 每1年清洗一次，热电偶套管每半年清洗一次。 2、石英炉管、尾气管、热电偶套管：使用10%浓度的HF溶液浸泡清洗，根据被清洗物的清洁程度浸泡4-6小时，内外壁附着物清洗干净为基准，然后至少用纯水冲洗2-3遍。炉管清洗完成后初次使用首先做饱和2小时。 3、石英舟：使用15%-20%浓度的HF溶液浸泡清洗，时间为2小时，再用纯水冲洗完成后用氮气吹干，在炉管中空载运行3个正常工艺循环，

23、或运行一次饱和工艺（prepocl工艺，通源时间120分钟）后，再投入生产使用。 三、尾气管的清理过程： 1图为给冲洗炉管清洗机的过程。2图为取出旧的尾气管准备清洗3图为将旧的尾气管准备放入炉管清洗机里进行清洗4图为将尾气管放入清洗槽按照10%的HF配比溶液将尾气管浸泡并冲洗干净后5图为将清洗好的尾气管放到桌子上的海绵垫上。（防止尾气管发生断裂）6图为将洗好的尾气管用氮气吹扫干净2.3.4、CENTROTHERM更换源瓶 注意事项： 1、三氯氧磷是高危险化学药品，在操作过程中，要将操作区域内的杂物清理干净，防止更换时滑倒，或对源瓶有所损伤。 2、更换后的空瓶请注明：更换时间，设备号，班组，空瓶

24、，并退库。 并详细记录在源 瓶更换记录中 。 3、当设备CMI界面上出现源瓶液位报警后就应更换磷源瓶，在源温控制器报警后各班组生产时一定要多观察相应源瓶的液位和硅片方块电阻情况，当液位低于0.5CM时或方块电阻出现偏差时也要及时更换。 4、各种项目都要完整详细记录。 5、源瓶的更换必须由两人协同完成，一人操作，一人监督辅助。在操作前必须先戴好口罩和手套，然后再进行更换。 操作过程： 1、将新源瓶开箱，取出顶部的海绵垫和一个海绵圈叠放在一起。 2、移出空瓶：先关进气口阀门，再关出气口阀门，关闭同时要一手扶着进气或出气口底部，将进出气口气管螺丝拧松，把气管拔下。将源温控制器盖子取下；最后将热电偶取

25、出；双手紧抱源瓶两侧将源瓶取出，放置到以预备好的海绵圈中。 3、安装新瓶：拆开密封袋，双手紧抱源瓶两侧，两人配合将其取出轻轻放于源温控制器里面；将热偶油滴入热电偶槽中三分之一处，使热偶油浸没于热电偶的金属探头，插入热电偶；将源温控制器盖子盖上； 4、将换下的空瓶装箱封好； 5、把新瓶进出气口气管螺丝拧松后再将进（出）气口塞子拔掉，然后一手扶着出气口，一手将出气管插到底，将螺丝紧固；一手扶着进气口底部，一手将进气管插到底，将螺丝紧固；然后一手扶着出气口底部，一手完全打开出气阀，再回旋半圈；之后一手扶着进气口底部，一手完全打开进气阀，再回旋半圈。 6、做安装完成后的检查确认。第四节 设备三级保养2

26、.4.1安全事项：危险！所有设备上的维护工作均只能由经培训的员工执行。经培训后的员工必须具备处理以下方面的工作能力：电压、高电压、真空技术、气动系统和自动控制科学与技术。重新启动系统前请确认遵守了所有公司和车间的安全要求，并且所有安全组件和功能监控系统均功能完好。警告高压！设备上的所有电气工作均只能由经培训后的员工执行。经培训的员工必须具备处理以下方面的工作能力：电压、高电压、真空技术、气动系统和自动控制科学与技术。确认遵守了所有公司和车间的安全要求。 警告毒性物质！源瓶中含有毒物质在源瓶第三层及更高层上工作时请使用一架带扶手的梯子。在源瓶上工作时，请始终佩戴供气式呼吸器、保护服和合适的安全手

27、套。请在打开前和预防性维护工作后用足够的惰性气体清洗管道。在打开和清洁介质气体管道时，请戴上合适的安全手套和安全眼镜以及一个带多范围过滤器的防毒面罩。 小心高温表面！ 如果工艺炉管是烫的，那么炉管密封门、桨和热电偶一定也很烫，因此在移去这些部件时应小心。 请戴上防烫手套以免烫伤。 请将热电偶放到一个无颗粒、不可燃的表面上。小心激光辐射! TGA空闲传感器是按照激光级2的要求制造的。请在进行预防性维护工作和维护工作期间不要直视激光光束。 预防性维护工作和维护工作期间的激光光束和可能的反射可能会造成视网膜损伤。 请在TGA空闲传感器上工作时始终佩戴防治激光辐射的眼镜。2.4.2 故障显示及处理（一

28、）CESAR控制计算机上的故障显示及排除加热区功率显示加热区温度显示一、 加热区显示0 水平炉的温度控制器坏了。更换温度控制器。二、 加热区显示3000 CAN总线地址未输入。1、 设定CAN总线地址2、 检查测量放大器上热电偶插头的位置是否正确。3、 检查测量放大器中的熔断器。三、 加热区显示3003 没有来自热电偶的信号1、 检查热电偶插头，如果坏了请更换。2、 检查热电偶，如果坏了请更换。四、 多个区域的显示值与设定值有区别1、 检查输入的上升值是否太高。检查水平炉为度控制器中的校准值。2、 检查加热箱中热电偶位置。3、 检查加热区的功率控制器。4、 检查加热区的功率、电流和电压。5、

29、检查加热箱端面的绝缘。五、 内和/或外参考点温度显示为0.0 检查热电偶插头中的PT100。如果坏了请更换。六、 工艺舟位置显示栏有？ 工艺舟不在预设置的位置上。1、 检查当前的工艺舟位置是否超出了正常的移动距离，如果是请重新调节位置。2、 检查绝对值编码器在工艺舟移动过程中是否无间隙同步旋转，如果是，请重新调整绝对值编码器的零位置。3、 检查设备配置中的校准值是否改变了，如果是，请纠正。七、 SLS显示保持未定义 EFM不执行装卸动作。1、 用CESAR控制计算机检查记录项。2、 检查是否有人按了停止动作按钮，如果是，请排除停止动作的原因。3、 检查装卸机是否碰到了限位开关，如果是，请重新调

30、整限位开关位置。八、 不正确的气体流速，实际值不足1、 检查压缩空气。2、 检查气体压力。3、 检查主关断阀和层关断阀位置。4、 检查从气体面板到工艺炉管的气体输出是否碰到太多阻力。九、 不正确的气体流速，实际值为0 1、检查压缩空气 2、检查气体压力。 3、检查主关断阀和层关断阀位置。 4、检查从气体面板到工艺炉管的气体输出是否碰到太多阻力。 5、检查电磁阀，如果坏了请更换。 6、检查气动阀，如果坏了请更换。 7、检查MFC，如果坏了请更换。 十、实际气体流量值显示不带设定值 检查MFC。如果坏了请更换。（二）设备部件的故障诊断：A、装载区的故障 一、无法打开照明 1、检查灯是否坏了。 2、

31、检查配电柜中的熔断器。 二、冷却箱关机了 1、检查CMI系统计算机的CMS显示器中是否显示了故障，如果是请排除。 2、检查熔断器。 三、装卸载（EFM）不工作 1、用CESAR控制计算机检查工艺舟位置和速度输入项。 2、检查LIFT是否准备好，如果没有，请排除原因。 3、检查气柜中的炉层PLC是否已发出了打开炉门的允许信号。如果没有，请排除联锁原 因。 4、检查是否有人按了停止动作按钮，如果是，排除停止动作原因，然后启动按钮。 5、检查装卸机上的限位开关是否调节不当或坏了。 6、检查离合器。 7、检查EFM是否动作缓慢。 四、装卸机运行速度不正常 1、用CESAR控制计算机检查工艺舟速度的设定

32、值项。 2、检查装卸机是否动作缓慢。 3、检查设备配置是否改变了。 五、不正确的装卸机定位 1、检查是否存在机械阻力。 2、检查齿轮带是否松了，齿轮是否正确啮合。张紧齿轮带。 3、检查装卸机是否碰到了一个限位开关，如果是，请重新调整限位开关或工艺舟路径。 六、装卸机上限位开关不工作 1、检查通往限位开关的电缆是否已连接。 2、检查装卸机上电机终端的电缆是否已正确连接。 3、检查限位开关，如果坏了请更换。 七、装卸机只朝一个方向运行 检查装卸机上的限位开关，如果坏了请更换。 八、软着陆系统（SLS）的抬升电机不工作 1、用CESAR控制计算机检查记录项。 2、检查是否有人按了停止动作按钮。 3、

33、检查装卸机是否碰到了限位开关，如果是请重新调整限位开关或工艺舟路径。 4、检查限位开关和限位开关连接。 5、检查装卸机的电机终端是否已接通电源。 6、工艺舟之前在另一个地方被下降，将工艺舟移到最大位置。工艺舟自动在正确位置停止，在此位置重复抬升。 B 毒性气体抽排装置中的故障 工艺炉管门打不开/不关闭 1、检查限位开关和限位开关连接。 2、检查压缩空气。 3、检查是否有人按了停止动作按钮。 4、检查工艺炉管门是否机械阻塞了。 5、用CESAR控制计算机的状态屏幕检查工艺舟实际位置和设定位置。 6、检查工艺舟是否确实在末端位置移出了，装卸机上的限位开关必须被遮住。C水平式炉体故障 一、加热箱外罩

34、过热 1、检查主风扇功能。 2、检查冷却水压力。 3、检查冷却水温度。 4、使用外部温度计来检查水入口的冷却水温度。 5、检查冷却水主关断阀和层关断阀是否已完全打开。 二、加热箱区域不工作 检查热电偶。如果坏了请更换。 三、整个加热箱不工作 1、检查CMI系统计算机的CMS显示器中是否显示了故障，如果是，请排除故障。 2、检查变压器熔断器。 3、检查加热电路中的熔断器。 4、通过配电柜中监视继电器的信号灯检查CMS与CMI的通讯。信号灯闪烁表示CMS与CMI之间通讯处于活动状态。 5、检查加热继电器是否已响应。 6、检查CMS中的超温保护是否已激活。 D气柜中的故障 一、气体管线中无气流 1、

35、用CESAR控制计算机检查气体管线是否已设定。 2、检查外部气体监视系统是否已触发。 3、检查主关断阀是否已打开。如果否，请查找关闭原因，是否应重新打开。 4、检查层关断阀是否已打开。如果否，请查找关闭原因，是否应重新打开。 5、检查压力计上是否显示了正确的气体压力，如果否，则表示压力计坏了，必须更换。 6、检查CESAR控制计算机上是否显示了此气体管线质量流量控制器的气体流速设定值。如果没有显示设定值： 检查24V电压供应是否工作 检查是否所有Y层分配器都正确与MFC连接了 检查是否所有连接插头都与CESAR正确连接了 在操作面板上检查CMI用户界面是否显示任何其它信息。 二、MFC不工作

36、1、检查此气体管线的气体流速设定值是否在CESAR控制计算机上显示。 2、检查是否可设定和显示不同的气体流速。如果否，说明MFC坏了，必须更换。 三、气动阀不工作 1、检查是否所有连接头均在CESAR控制计算机上正确插入了。 2、检查电磁阀与气动阀之间的压缩空气及氮软管。 3、在气柜上检查PLC输入是否工作。 四、气体流速比不正确 检查显示的当前气体流速是否与CESAR控制计算机上设定的气体流速不同，如果是，检查关断阀是否完全打开，气动阀是否已流通。 五、气柜内部过热 检查是否所有的风扇都在运行，如果否，检查配电柜中的熔断器。如果必要请更换坏了的风扇。在配电 柜端子上测量供应电压。E炉体部件检

37、测 一、检查加热区超温的安全关闭装置 在检查过程中，请确认需检查的加热区与CMI上错误信息所指示的加热区相符。 1、检查一个加热区外部热电偶的安全关闭装置。 去除气体区外部热电偶上的电源线。 以下警报信息必须显示在CMI用户界面上：超温 加热区G层n。 去除配电柜中的加热继电器开关盖。 相应层的加热继电器开关必须关闭，进行目检。 检测完后请重新连接外部热电偶的电源线。 2、按第一条中所述检查所有其它加热区的安全关闭装置。 二、检查加热箱超温的安全关闭装置 1、在温度测量模块TMM6上拔出超温监视器的一根电缆。 2、以下警报信息必须显示在CMI用户界面上：超温 加热区G层n。 3、去除配电柜中的加热继电器开关盖。 4、相应层的加热继电器开关必须关闭，进行目检。 5、检测完后，重新连接温度测量模块TMM6上超温监视器的电源线。 6、用力拉动超温监视器的电源线，以确认其已牢固连接。 三、检查温度