光谱仪基础知识概要.docx
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1、第1章 衍射光栅:刻划型和全息型 衍射光栅由以下两种方法制成:一种是用带钻石刀头的刻划机刻出沟槽的经典方法,另一种是用两束激光形成干预条纹的全息方法。(更多信息详见 & ). 经典刻划方法制成的光栅可以是平面的或者是凹面的,每道沟槽相互平行。全息光栅的沟槽可以是匀称平行的或者为优化性能而特殊设计的不匀称分布。全息光栅可在平面, 球面, 超环面以及很多其他类型外表生成。 本书提到的规律, 方法等对各类不同外表形态的经典刻划光栅和全息光栅均适用,如需区分,本书会特殊给出说明。1.1 根底公式 在介绍根底公式前,有必要简要说明单色光和连续谱。 提示:单色光其光谱宽度无限窄。常见良好的单色光源包括单模
2、激光器和超低压低温光谱校正灯。这些即为大家所熟知的“线光源或者“离散线光源。 提示:连续谱光谱宽度有限,如“白光。理论上连续谱应包括全部的波长,但是实际中它往往是全光谱的一段。有时候一段连续谱可能仅仅是几条线宽为1的谱线组成的线状谱。 本书中的公式适用于空气中的状况,即m0=1。因此,0=空气中的波长。定义单位 - () 入射角度 - () 衍射角度k - 衍射阶数整数n - 刻线密度刻线数每毫米 - 别离角度0 - 折射率无单位 - 真空波长纳米0 - 折射率为 0介质中的波长其中0 = /01 = 10-6 ; 1 = 10-3 ; 1 A = 10-7 最根底的光栅方程如下: (1-1)
3、 在大多数单色仪中,入口狭缝和出口狭缝位置固定,光栅绕其中心旋转。因此,别离角成为常数,由下式确定, (1-2) 对于一个给定的波长l ,如需求得a和b ,光栅方程(1-1)可改写为: (1-3) 假定值,那么a和b可通过式(1-2), (1-3)求出,参看图1.1, 1.2和第2.6节。 图 1.1 单色仪构造示意 图 1.2 摄谱仪构造示意 = 入射臂长度 = 波特长出射臂长度 =光谱面法线和光栅面法线的夹角 =光栅中心到光谱面的垂直距离 表1.1给出了a和b 如何随别离角变更,是以图1.1中单色仪为例,在光栅刻线数1200的,衍射波长500的条件下计算得到的。表1.1 1200光栅的一阶
4、衍射波长500处入射角, 衍射角随别离角的变更017.458 ()1020243040501.2 角色散 (1-4) d = 两个不同波长衍射后角度的差值弧度 d = 两个波长的差值1.3 线色散 线色散定义为聚焦平面上沿光谱绽开方向单位长度对应的光谱宽度,单位是,1。以两台线色散不同的光谱仪为例,其中一台将一段0.1宽的光谱衍射绽开为1,而另一台那么将10宽的光谱衍射绽开为1。 很简洁想象,精细的光谱信息更简洁通过第一台光谱仪得到,而非第二台。相比于第一台的高色散,第二台光谱仪只能被称为低色散仪器。线色散指标反映了光谱仪辨别精细光谱细微环节的实力。 中心波长l在垂直衍射光束方向的线色散可表示
5、为: (1-5) 式中为等效出射焦距长度,单位,而是单位间隔,单位。参见图1.1。 单色仪中,为聚焦镜到出口狭缝的距离,或者当光栅为凹面型时间栅到出口狭缝的距离。因此,线色散与成正比,而与出射焦长, 衍射级数k以及刻线密度n这些参数成反比。 对于摄谱仪而言,任一波长的线色散可通过衍射方向垂直光谱面的波长其色散值经倾斜角(g)的余弦修正得到。图1.2给出了“平场摄谱仪的构造,通常它同线阵二极管协作运用。 线色散: (1-6) (1-7) (1-8)1.4 波长和衍射阶次 图1.3给出了摄谱仪中聚焦光谱面上光谱范围从200到1000的一级衍射谱。 当光栅刻槽密度n, a 以及b均的状况下,依据式1
6、-1得到: k=常数 (1-9) 即当衍射级数k值变为两倍原值时, l减半。依此类推。 图1.3 色散和衍射级数 以一台可产生波长范围从20到1000的连续谱光源为例,这一连续谱进入光谱仪分光后,在光谱面上波长800的一阶衍射位置上参看图1.3,其他三个波长400, 266.6, 200也会出现,从而能够被探测器测得。为了仅仅对波长800进展测量,必需采纳滤色片来消退高阶衍射。 波长范围从200到380的一阶衍射测量通常不须要滤色片,缘由在于波长数值小于190的光均被空气汲取。但是假如光谱仪内部为真空或者填充氮气,这种状况下高阶滤色片又必不行少。1.5 辨别“实力 辨别实力是一个理论概念,由下
7、式给出 (无单位) (1-10) 式中,为两个强度相等的光谱线之间的波长间距。因此,辨别率指标代表光谱仪甄别相邻谱线的实力。假如两条谱线谱峰之间的距离满意其中一条谱线谱峰位于另一条谱线谱峰的最近微小值处,即认为两个谱峰被很好的辨别出来,这一规那么被称为瑞利判据“ 。 R可进一步表示为: (1-11) = 待检测谱线的中心波长 = 光栅上光照耀区域的宽度 N = 为光栅的刻槽总数 不要将辨别实力“R这一数值量与光谱仪的辨别率或者光谱带宽这些参数混淆参看第2章。 理论上讲,一片刻线密度为1200, 宽度110的光栅,当采纳它的一级衍射光时,辨别实力的数值通过计算得到1200110=132,000。
8、因此,在波长为500处,光谱带宽等于 然而,实际状况中仪器的几何尺寸由式1-1确定。改写为k的表达 (1-12) 光栅上刻线的总宽度为 ,因此, (1-13) 式中,(1-14) 将式(1-12)和(1-13)代入式(1-11)中,得到辨别实力亦可以表示为: (1-15) 因此,光栅的辨别实力取决于: 光栅上刻线区域的总宽度 所关注的中心波长 工作时的几何值入射角, 衍射角 由于光谱带宽还取决于光谱仪的狭缝宽度以及系统的校正,因此上述状况是100%的理论状况,即系统的衍射极限 (更深化的探讨请参看 第2章 )。1.6 闪烁光栅 闪烁定义为将一段光谱的衍射最大转移到其他衍射阶次而非零阶。通过特殊
9、设计,闪烁光栅能够实现在特定波长的最大衍射效率。因此,一片光栅的闪烁波长可以是250或者1等等,这取决于刻槽几何尺寸的选择。 闪烁光栅其刻槽断面为直角三角形,其中一个锐角为闪烁角w,如图1.4所示。然而,110的顶角在闪烁全息光栅中同样可能出现。选择不同的顶角大小能够优化光栅的整个效率曲线。 1.6.1 条件 闪烁光栅的几何尺寸可以通过满意条件的状况下计算得到。条件是指入射光和衍射光处于自准直状态如,即入射光线和出射光线沿同一路径。在这一条件下,假定“闪烁波长为B.(1-16) 比方, 1200光栅闪烁波长为250且衍射阶次为一阶时,闪烁角w等于8.63。 图1.4 闪烁光栅的刻槽断面示意图,
10、“条件1.6.2 效率曲线 除非特殊声明,衍射光栅的效率在条件下某一波特长测得。 肯定效率(%)=输出能量/输出能量*100%(1-17) 相对效率(%)=光栅效率/反射效率*100%(1-18) 相对效率测量须要将反射镜外表镀膜膜层材料与光栅外表反射膜层材料一样,并且采纳与光栅一样的角度设置。 图5a和5b分别给出了闪烁刻线光栅和非闪烁全息光栅的典型效率曲线。 一般而言,闪烁光栅的效率在2/3闪烁波特长和1.8倍闪烁波特长减小为最大值的一半。 a刻线闪烁光栅的典型效率曲线 b非闪烁全息光栅的典型效率曲线1.6.3 效率和阶次 一片闪烁光栅不仅有一阶闪烁角,而且也有高阶闪烁角。比方,一片一阶闪
11、烁波长为600的光栅,同样也有二阶闪烁波长300,以此类推更高阶次。 高阶衍射效率通常与一阶衍射效率趋势一样。对一片一阶闪烁的光栅而言,每个阶次的最大效率值随着阶次k的增加而减小。 衍射效率也随着光栅运用时偏离条件ab程度的增加而渐渐减小。 全息光栅能够通过设计刻槽的形态来消退高阶衍射的影响。依据这一性质,通过离子刻蚀工艺制作的浅槽光栅其效率曲线在紫外和可见波段能够显著改善。 提示:光栅是非闪烁的并不意味着它的效率较低。参见图1.5b,图中给出了一片1800正弦型刻槽全息光栅的衍射效率曲线。1.7 衍射光栅的杂散光 除被测波长外探测器接收到的其他波长通常包括一种或者多种“杂散光统称为杂散光。1
12、.7.1 散射光散射光可能由于以下缘由造成: 由于光学元件外表的缺陷造成的随机散射光 由于刻划光栅刻槽时的非周期失误造成的聚焦散射光1.7.2 鬼线 假如衍射光栅上存在周期性刻划失误,那么鬼线并非散射光将聚焦在衍射平面上。鬼线强度由下式给出: (1-19) 其中, = 鬼线强度 = 母光强度 n = 刻线强度 k = 阶次 e = 刻槽中失误的位置 鬼线在单色仪的色散平面上聚焦并成像。 全息光栅的杂散光水平一般比经典刻线光栅的1/10还要小。杂散光通常是非聚焦的,并且出现在2p 全角度各个方向。 全息光栅没有鬼线,因为它不行能出现周期性的刻划失误。因此,它是克制鬼线问题最好的解决方案。1.8
13、光栅的选择1.8.1 什么时候选择全息光栅1. 当光栅是凹面的。2. 当用到激光时,比方拉曼光谱, 激光激发荧光光谱等。3. 刻线密度必需不小于1200(最高可到6000,尺寸可达120140而且光谱范围为近紫外, 可见和近红外的任何时候。4. 当光谱工作范围在紫外波段,波长小于200甚至到3时。5. 实现高辨别率的方法中,高刻线密度光栅优于高衍射阶次的低刻线密度光栅。6. 离子刻蚀全息光栅能够适用的任何场合。1.8.2 什么时候选择刻线光栅1. 工作波长高于1.2的红外波段,且无法选用离子刻蚀全息光栅。2. 须要低刻槽密度的场合,如刻槽密度小于600。 请记住,鬼线及相应的杂散光强度正比于阶
14、次和刻槽密度乘积的平方式(1-19)中的n2和k2。尽量防止运用高刻线密度或者高衍射阶次的刻线光栅。第2章 单色仪和摄谱仪2.1 根本组成 在光源的全部波长上,单色仪和摄谱仪系统在出口平面上形成入口狭缝的像。实现这一功能有很多种配置设计,在这里仅仅探讨最常见包含平面光栅系统和像差修正全息光栅系统。 定义 入射臂的长度 出射臂的长度 h 入射狭缝的高度 h 入射狭缝的像高度 a 入射角 b 衍射角 w 入射狭缝的宽度 w 入射狭缝的像宽度 圆形光栅的半径 矩形光栅的宽度 矩形光栅的高度 2.2 型配置 型仪器主要由一片面积很大的球面反射镜和一片衍射光栅组成参看图2.1。 首先,反射镜的一局部收集
15、并准直将要入射到平面光栅上的光。然后,反射镜的另一局部将衍射分光后的光线聚焦并使之在出射平面上成入口狭缝的像。 这是一类造价低廉, 非经常见的设计,但是由于系统偏差如球面偏差 , 彗差, 散光偏差以及非平面焦平面等,它在离轴光线的成像质量方面实力有限。 图2.1 型配置2.3 型配置 ()型单色仪由两片凹面反射镜和一片平面衍射光栅组成参看图2.2。 虽然这两片反射镜各自的功能与型配置中的单片球面反射镜的功能一样,如首先准直入射光线反射镜1,然后聚焦从光栅反射的色散别离光线反射镜2,但是型配置中反射镜的尺寸却可以依据须要变更。 采纳非对称几何学,型配置能够设计实现平面光谱面以及在特定波长上良好的
16、彗差修正。但球面偏差和散光偏差在全部波长上依旧存在。 采纳配置,也能够设计与大通量光学相匹配的系统。 图2.2 型配置2.4 型的偏差 摄谱仪存在某些偏差,降低了光谱辨别率, 空间辨别率以及信噪比等指标。最突出的偏差有散光偏差, 彗差, 球面偏差以及散焦。仪器经常离轴运用,因此偏差在每个平面上都有所不同。本书并不准备具体回忆这些偏差的概念和细微环节1,但是在考虑这些偏差产生的效应时,理解光路差的概念是很有扶植的。 本质上,光路差是实际产生的波前和没有偏差的条件下应当得到的“参考波前之间的差异。这一参考波前是以像为中心的球面或者成像在无穷远处时的平面。比方: 散焦是指光线在探测器外表外的另一个平
17、面上聚焦,从而造成不清晰成像,降低了光谱带宽, 空间辨别率和光信号的信噪比等参数。最常见的一个实例就是球面波前入射到图2.2中的反射镜M1上。当单色仪采纳一套单出口狭缝和一支光电倍增管探测器时,散焦不会造成影响。然而,未修正的仪器其聚焦面为曲面,从而采纳平面线性二极管阵列时在探测器的两端会受到散焦的影响。如图2.2所示的几何修正配置几乎消退了这一问题。散焦带来的随数值孔径的平方变更。 彗差是仪器的离轴特性导致的结果,如图2.3所示由于光线在色散平面上扭曲从而表现为谱线的扩张变形。彗差是造成光学带宽和光信号信噪比这些参数降低的缘由。彗差带来的随数值孔径的立方变更。在配置中如图2.2所示,可以通过
18、计算一个相宜的几何尺寸从而在波长上修正彗差的影响。图2.3 彗差效应 球面偏差是指非光学平面中心出射的光线聚焦在光学平面中心出射光线的焦点上这一状况参看图2.4。球面偏差导致的随数值孔径的4次方变更,而且不运用非球面光学是无法修正的。图2.4 球面偏差效应 散光偏差是离轴几何的特性。在这种状况下,平面波以肯定的入射角照耀在球面反射镜上如图2.2中的反射镜M2,这时反射镜出现两个焦点:切面焦点和矢面焦点。散光偏差带来的效应是入口狭缝处的点光源在出口处成垂直于色散平面的线型像参看图2.5,从而阻挡了空间辨别率的提高并且由于狭缝高度的增加而降低了光信号的信噪比。散光偏差导致的随数值孔径的平方和离轴角
19、度的平方变更,并且不运用非球面光学是无法修正的。图2.5 “离轴运用凹面反射镜时的散光偏差效应2.4.1 像差校正平面光栅 全息光栅的最新进展使得球面反射镜型光谱仪中特定波长上的全部偏差能够被完全修正,并且在一个较宽的波长范围内能够最大程度地缓解偏差的影响。2.5 凹面像差校正全息光栅 这一类型的单色仪和摄谱仪都仅仅运用一单片全息光栅,而没有其他协助光路。 在这一类仪器中,光栅不仅别离不同波长的光,而且对入射光进展聚焦。 由于设计中仅仅采纳了一个光学元件,这类仪器造价低廉, 而且外形紧凑。图2.6a给出了单色仪的构造,而图2.6b给出了摄谱仪的构造。其中,焦平面的位置由以下参数来确定: H -
20、 垂直光谱面方向和光栅法线方向的夹角 - 从光栅中心到光谱面的垂直距离 (a) 单色仪 (b) 摄谱仪2.6 单色仪配置中计算和b 从式(1-2)得到,(为常数) 依据此式和式 (1-3), (2-1) 依据式(2-1)和(1-2)能够分别确定a和b。参看表2.2中的实例。 提示:实际中,可实现的最大波长受光栅的机械旋转范围确定。这意味着光栅的刻线密度增加一倍时,相应的光谱仪光谱范围减小一半。().2.7 单色仪的光学局部 要理解如何评价整套单色仪系统,有必要从传输光学局部开场,从光源到出射狭缝见图2.7。这里我们给出“不折叠的系统示意图,以直线光路的形式展示。图2.7 典型单色仪系统 - 光
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