集成电路期末考试知识点答案.docx
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1、-1-1、 哪一年在哪儿创建了晶体管?创建人哪一年获得了诺贝尔奖?1947贝尔试验室 肖克来 波拉坦 巴丁 创建了晶体管 1956获诺贝尔奖2、 世界上第一片集成电路是哪一年在哪儿制造出来的?创建人哪一年为此获得诺贝尔奖?Jack kilby 德州仪器公司1958年创建 2000获诺贝尔奖3、 什么是晶圆?晶圆的材料是什么?晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片,材料是硅4, 目前主流集成电路设计特征尺寸已经到达多少?预料2021 年能实现量产的特征尺寸是多少?主流0.18um 22nm5、 晶圆的度量单位是什么?当前主流晶圆的尺寸是多少?英寸12英寸6、 摩尔是哪个公司的创始人?什么是摩尔
2、定律?英特尔芯片上晶体管数每隔18个月增加一倍7, 什么是SoC?英文全拼是什么?片上系统 System On Chip8, 说出Foundry, Fabless 和Chipless 的中文含义。代工 无生产线 无芯片9, 一套掩模一般只能生产多少个晶圆?1000个晶圆10, 什么是有生产线集成电路设计?电路设计在工艺制造单位内部的设计部门进展11, 什么是集成电路的一体化(IDM)实现模式?设计制造和封装都集中在半导体生产厂家内进展12, 什么是集成电路的无生产线(Fabless)设计模式?只设计电路而没有生产线13, 一个工艺设计文件(PDK)包含哪些内容?器件的SPICE参数, 幅员设计
3、用的层次定义, 设计规那么和晶体管电阻电容等器件以及通孔焊盘等根本构造幅员,及设计工具关联的设计规那么检查, 参数提取, 幅员电路图比照用的文件。14, 设计单位拿到PDK 文件后要做什么工作?利用CAD/EDA工具进展电路设计仿真等一系列操作最终生成以GDS-II格式保存的幅员文件,然后发给代工单位。15、 什么叫“流片?像流水线一样通过一系列工艺步骤制造芯片。16, 给出几个国内集成电路代工或转向代工的厂家。上海中芯国际 上海宏力半导体 上海华虹NEC 上海贝岭 无锡华润华晶 杭州士兰 常州柏玛微电子17, 什么叫多工程晶圆(MPW) ?MPW 英文全拼是什么?将多个运用一样工艺的集成电路
4、设计放在同一晶圆片上流片,完成后每个设计可以得到数十片芯片样品Multi-Project-Wafer18, 集成电路设计须要哪些学问范围?系统学问,电路学问,工具学问,工艺学问19, 对于通信和信息学科,所包括的系统有哪些?程控 系统,无线通信系统,光纤通信系统等;信息学科:有各种信息处理系统。20, RFIC, MMIC 和M3IC 是何含义?射频电路 微波单片集成电路 毫米波单片集成电路21, 闻名的集成电路分析程序是什么?有哪些闻名公司开发了集成电路设计工具?SPICE程序 Cadence, Synopsis和Mentor Graphics等公司22, 从事逻辑电路级设计和晶体管级电路设
5、计须要驾驭哪些工具?逻辑:驾驭VHDL或Verilog HDl等硬件语言描述及相应的分析和综合工具 晶体管:驾驭SPICE或类似的电路分析工具。23, 为了使得IC 设计胜利率高,设计者应当驾驭哪些主要工艺特征?从芯片外延和掩膜制作,光刻,材料淀积和刻蚀,杂质扩散或注入,到滑片封装的全过程。24, SSI, MSI, LSI, VLSI, ULSI 的中文含义是什么?英文全拼是什么?SSIsmall-scale integration小规模集成电路;MSI(Middle-scale integration)中规模集成电路;LSIlarge-scale integration大规模集成电路;VL
6、SIvery-large-scale integration甚大规模集成电路ULSIUltra-large-scale integration超大规模集成电路。-2-1, 电子系统特殊是微电子系统应用的材料有哪几类?导体 半导体 绝缘体2, 集成电路制造常用的半导体材料有哪些?硅, 砷化镓, 磷化铟3, 为什么说半导体材料在集成电路制造中起着根本性的作用?集成电路通常制作在半导体衬底材料上,集成电路的根本元件是依据半导体特性构成。4.半导体材料得到广泛应用的缘由是什么?参杂, 温度, 光照都可以变更半导体导电实力,以及多种由半导体形成构造中,注入电流会放射光发光二极管5, Si, GaAs,
7、InP 三种根本半导体材料中,电子迁移率最高的是哪种?最低的是哪种?GaAs Si6, 在过去40 年中,基于硅材料的多种成熟工艺技术有哪些?双极性晶体管BJT, 结型场效应管J-FET, P型场效应管PMOS, N型场效应管NMOS, 互补型金属-氧化物-半导体场效应管CMOS和双极性管CMOSBiCMOS等7, 硅基最先进的工艺线晶圆直径已到达多少?0.13umCMOS 工艺制成的CPU 运行速度已达多少?12英寸 2Ghz8, 为什么市场上90%的IC 产品都是基于Si 工艺的?原料丰富, 技术成熟, 价格低9, 及Si 材料相比,GaAs 具有哪些优点?1.GaAs中非平衡少子饱和漂移
8、速率大约是Si的4倍, 2.在GaAs中,电子和空穴可干脆复合,而Si不行。3. GaAs中价带及导带之间的禁带为,大于Si的10, GaAs 晶体管最高工作频率fT 可达多少?而最快的Si 晶体管能到达多少?150Ghz 几十GHz11, 基于GaAs 的集成电路中有哪几种有源器件?MESFET, HEMT和HBT三种有源器件。12, 为什么说InP 适合做发光器件和OEIC?InP中电子及空穴的复合是干脆进展的13, IC 系统中常用的几种绝缘材料是什么?SiO2, SiON, Si3N414, 什么是欧姆接触和肖特基接触?在半导体外表制作金属层后,假如参杂浓度较高,隧道效应抵消势垒的影响
9、形成欧姆接触:假如参杂浓度较低,金属和半导体结合面就形成肖特基接触。15, 多晶硅的特点?多晶硅是单质硅的一种形态, 特性随结晶度及杂质原子而变更, 应用广泛16, 在MOS 及双极型器件中,多晶硅可用来做什么?栅极, 源极及漏极或双极器件的基区及放射区的欧姆接触, 根本连线, 薄PN结的扩散源, 高值电阻等17, 什么是材料系统?由一些根本材料,如在Si, GaAs或InP制成的衬底上或衬底内,用其它物质再生成一层或几层材料。18, 半导体材料系统?是指不同质的几种半导体(GaAs及AlGaAs,Si及SiGe等)组成的层构造19, 异质半导体材料的主要应用有哪些?制作异质结双极性晶体管HB
10、T, 高电子迁移率晶体管HEMT, 高性能的LED及LD。20, 什么是半导体/绝缘体材料系统?半导体及绝缘体相结合的材料系统21, 晶体和非晶体的区分?晶体具有肯定几何外形如硅和锗,非晶体无固定形态如玻璃, 橡胶22, 什么是共价键构造?.最外层的价电子不仅受到自身原子核的作用,还要受到相邻原子核的作用,这样每个价电子就不局限于单个原子,可以转移到相邻的原子上去,这种价电子共有化的运动就形成了晶体中的共价键构造。23, 什么是本征半导体和杂质半导体?征半导体是一种纯净的, 构造完整的半导体晶体。在本征导体中参入微量的杂质,就形成了杂质半导体N, P24, 本征半导体有何特点?电子浓度及空穴浓
11、度一样,热力学零度没有自由电子,载流子少, 导电性差, 温度稳定性差25, 杂质半导体中,多子和少子是如何形成的?在本征半导体中掺入少量的3价元素,如硼, 铝或铟,有3个价电子,形成共价键时,缺少1个电子,产生1个空位。空穴为多数载流子,电子为少数载流子。在本征半导体中掺入少量的5价元素,如磷, 砷或锑,有5个价电子,形成共价键时,多余1个电子。电子为多数载流子,空穴为少数载流子。26, 什么是扩散运动?什么是漂移运动?扩散运动:由于PN结交界面两边的载流子浓度有很大的差异,载流子就要从浓度大的区域向浓度小的区域扩散。漂移运动:进入空间电荷区的空穴在内建电场作用下向P区漂移,自由电子向N区漂移
12、。27, PN 结的主要特点是什么?单向导电性28, 双极型三极管三个区有什么不同?放射区的掺杂浓度远远高于基区和集电区,基区做的很薄,集电结的面积大于放射结的面积。29, 双极型三极管有几种工作状态?每个状态PN 结偏置状况如何?放射结正偏集电结反偏时为放大工作状态, 放射结正偏集电结也正偏时为饱和工作状态, 放射结反偏集电结也反偏时截止工作状态, 放射结反偏集电结正偏为反向工作状态。30, 在放大状态下,三极管内部载流子传输过程是怎样进展的?放射结的注入, 基区中的输运及复合和集电区的收集31, 为什么晶体管的反向工作状态一般不用,尤其是在集成电路中更是如此?由于晶体管的实际构造不对称,特
13、殊是在集成电路中,放射区嵌套在基区内,基区嵌套在集电区内,放射结比集电结小很多反向电流放大倍数R比 F小很多32, MOS 管的核心构造是什么?导体, 绝缘体及衬底的掺杂半导体这三层材料叠在一起构成33, 依据形成导电沟道载流子类型的不同,MOS 管有几种类型?NMOS和PMOS34, 简述PMOS 管的详细构造。半导体局部的构造包含由两个P型硅的扩散区隔开的N型硅区域,这层型硅区域之上覆盖了由一个绝缘层和一个栅极的导电电极构成的夹层构造,两个P型硅的扩散区分别通过及金属导体的欧姆接触,形成源极和漏极。35, 简述MOS 管的导电沟道是如何形成的? N反型层及源漏两端的N型扩散层连通36, 什
14、么叫阈值电压?阈值电压是否可变?阈值电压为负时称为什么电压?引起沟道区产生强外表反型的最小栅电压,称为阈值电压V T 。往往用离子注入技术变更沟道区的掺杂浓度,从而变更阈值电压。夹断电压。37, 对NMOS 晶体管,注入何种杂质使阈值电压增加或降低?P型杂质增加, N型杂质降低。38, 依据阈值电压不同,常把MOS 器件分为几种?增加型和耗尽型39, 在CMOS 电路里,MOS 管一般采纳何种类型?增加型40, 为什么说MOS 晶体管是一种电压限制器件?当栅源电压VGS等于开启电压VT时,器件开场导通,当源漏间加电压VDS且VGS=VT时,由于源漏电压和栅-衬底电压而分别产生的电场水平和垂直重
15、量的作用,沿着沟道就出现了导电。源漏电压VDS0所产生的电场水平重量起着使电子沟道向漏极运动的作用。随着源漏电压的增大,沿沟道电阻的压降会变更沟道的形态。41, MOS 管的IDS 大小除及源漏电压和栅极电压有关外,还及哪些因素有关?源漏之间的距离, 沟道宽度, 开启电压, 栅绝缘氧化层的厚度, 栅绝缘层的介电常数, 载流子的迁移率42、 一个MOS 管的正常导电特性可分为几个区域?夹断, 线性, 饱和43, 说明MOS 管“线性区沟道及漏极电流特点。弱反型区漏极电流随栅压的增大而线性增大44, 说明MOS 管“饱和区沟道及漏极电流特点。沟道强反型,漏极电流及漏极电压无关45, 用什么参数衡量
16、MOS 器件的增益?用gm衡量 MOS 器件的增益-3-1、 外延生长的目的是什么?外延生长的方法有哪几种?用同质材料形成具有不同的掺杂种类及浓度而具有不同性能的晶体层。液态生长, 气相外延生长, 金属有机物气相外延生长, 分子束外延生长。2、 什么是卤素传递生长法?它属于4 种生长方法中的哪一种?把至少一种外延层组成元素以卤化物形式通过衬底并发生卤素析出反响从而形成外延层的过程,它属于气相外延生长法。3、 液态生长有什么优缺点?最简洁最廉价但其外延层的质量不高4, 金属有机物气相外延生长和一般的气相外延生长的最大区分是什么?它是一种冷壁工艺,只要将衬底限制到肯定温度就行了5, 分子束外延生长
17、有什么特点?只能在超真空中进展且量产较低, 在GaAs基片上生长无限多外延层, 可以限制参杂的深度和精度到纳米级6.什么是掩模?掩模及集成电路制造有什么关系?制做掩模的数据从哪儿来?掩膜是涂有特定图案的铬薄层6080nm的匀称平坦的石英玻璃薄片, 一层掩膜对应一块 IC 的一层材料的加工, 幅员。7、 掩模制作方法有哪些? 图案发生器方法, X 射线制版, 电子束扫描法8, 什么是整版接触式曝光?掩模尺寸和晶圆尺寸一样,并干脆及光刻胶胶层接触进展曝光。9, 什么是光刻?光刻的作用是什么?光刻的主要流程有哪些? 光刻就是通过一系列生产步骤,将晶圆薄膜的特定局部去除的工艺。作用是把掩膜上的图型转换
18、成晶圆上的器件构造。流程有晶圆涂光刻胶, 曝光, 显影, 烘干。10, 负性和正性光刻胶有什么区分和特点?特点:光刻胶都对大局部可见光灵敏,对黄光不灵敏。 区分:负性光刻胶运用时,未感光局部被适当的溶剂刻蚀,而感光局部留下,所得图形及掩膜幅员形相反;正性光刻胶所得图形及掩膜板图案一样。11, 光刻的曝光方式有几种?各有何特点?接触和非接触两种,非接触分为接近式和投影式 接触式:精确度高,但掩膜易磨损,消耗大 非接触式: 接近式:解决了磨损问题,但辨别率下降。 投影式:辨别率高,不存在掩膜磨损问题,但生产量不高12, 接触曝光方式的关键技术有哪些?它的主要优缺点是什么?须要一股很粗的光束, 一个
19、很大的透镜,以及一套良好的光学系统;精确度较高但非志向接触导致LSI 芯片合格率不高,掩膜和晶圆每次接触都会产生磨损,掩膜消耗大.13, 什么是非接触曝光方式?掩膜及晶圆不接触的光刻方式,分为接近式和投影式两种14, 氧化的目的是什么?利用硅独有的特性制造薄到几十埃只有几个原子层的栅氧化层15, 为什么说栅氧化层的生长是特别重要的一道工序?氧化层的厚度确定了晶体管的电流驱动实力和牢靠性,其精度必需限制在几个百分点以内。16, 淀积的主要作用是什么?生成器件制造所需的材料17, 什么是刻蚀?什么是湿法刻蚀?湿法刻蚀有什么缺点?刻蚀即光刻腐蚀,就是通过光刻将光刻胶进展光刻曝光处理,然后通过其他方式
20、实现腐蚀以处理掉所需除去的局部; 湿法刻蚀首先要用含有可以分解外表薄层的反响物的溶液浸润刻蚀面;抗蚀剂中的小窗口会由于毛细作用而使得接触孔不能被有效浸润, 被分解的材料不能被有效从反响区中去除。18, 什么是干法刻蚀?干法有几种刻蚀方法?用等离子体对薄膜线条进展刻蚀的一种新技术。分为等离子体刻蚀, 反响离子刻蚀RIE, 磁增加反响离子刻蚀, 高密度等离子刻蚀等类型19, 掺杂的目的是什么?掺杂在何时进展?惨杂方法有哪几种?变更半导体的导电类型,形成N型层或P型层,以形成双极型晶体管及各种二极管的PN结,或变更材料电导率;掺杂可及外延生长同时或者其后进展;热扩散掺杂和离子注入法两种20, 离子注
21、入法有哪些优点?掺杂的过程可通过调整杂质剂量及能量来精确限制杂质分布,可进展小剂量和微小深度的掺杂较低的工艺温度,故光刻胶可用作掩膜可供掺杂的离子种类较多,离子注入法也可用于制作隔离岛-4-1、 说明用硅材料采纳 CMOS 工艺可形成哪些元件, 电路形式以及可到达的电路规模?可形成D, N/P-MOS, R, C, L元件, 可以形成CMOS或SCL电路形式, 可到达ULSI和GSI的电路规模2、 集成电路特殊是逻辑集成电路技术的类型有哪些?以双极性硅为根底的ECL技术, PMOS技术, NMOS技术,双极性硅或硅锗异质结晶体管加CMOS的BiCMOS技术和GaAs技术3、 为什么说速度和功耗
22、是每一种工艺两个最重要的特性?功耗越低越省钱,速度越快越省时4, 在各种工艺中,哪种工艺的速度最高?哪种工艺的功耗最小?GaAs速度高 CMOS功耗小5, 双极型硅工艺的特点是什么?有哪些主要应用?高速度, 高跨导, 低噪声及阈值易限制 低噪声高灵敏度放大器, 微分电路, 复接器, 振荡器6, 典型双极型硅工艺中的硅晶体管存在哪些问题?由于B-E结及基极接触孔之间的P型区域而形成较大的基区体电阻;集电极接触孔下N区域导致较大的集电极串联电阻;因PN结隔离而形成较大的集电极寄生电容。7、 双极型晶体管的最高速度取决于哪些因素?通过基区到集电极耗尽层的少数载流子的传输速度, 主要器件电容, 向寄生
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