洁净技术基础培训教材.docx

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1、洁净技术基础培训教材张利群二OO八年四月 目 录一. 空气调节和空气净化的基础知识（一）空气调节的基本概念 1. 空气调节及其分类2. 湿空气的焓湿图及其应用 湿空气的焓湿图 焓湿图中的名词定义 焓湿图的应用 焓湿图应用的举例 3. 空调送回风的气流组织（二）空气净化的基础知识1. 空气净化技术的重要性2. 洁净室的应用及其分类（1）. 洁净室及其及其应用（2）. 洁净室的四大要素（3）. 洁净室的洁净度等级（4）. 洁净室的分类3. 洁净室与一般空调的差别4. 工业洁净室与生物洁净室的差别二洁净室的建造特点（一） 建造的洁净室必须保证生产工艺所要求的各项参数（二） 建造的洁净室要具有一定的灵

2、活性（三） 建造洁净室需要较大的投资（四） 洁净室运行耗电量大运行费用高三洁净室的竣工验收调试，性能测试和洁净室的综合评价（一）调试前的准备工作（二）单机试车（三）联动调试（四）洁净室的性能测试和综合评价四洁净室的性能测试（一）洁净室性能测试的目的（二）洁净室性能测试的内容（三）洁净室性能测试的主要仪器和仪表（四）洁净室性能测试的方法五洁净室维护管理的一问题（一） 过滤器的基本知识及其维护管理（二） 洁净室的发尘源和洁净室的清埽（三） 洁净室的空气品质（四） 洁净工作服及其清洗（五） 洁净区厕所的设置（六） 值班风机的设置（七） 吹淋室的设置及吹淋效果（八） 洁净室的正压维持（九） 洁净室的消

3、毒和灭菌（十） 洁净室的颜色处理（十一）洁净室的静电和静电的消除 （十二）洁净室的防火和防爆 （十三）洁净室的能耗和节能 （十四）洁净室的竣工验收调试和在线测试 （十五）净化空调系统的加湿问题 （十六）净化空调系统的管道保温和防结露问题 （十七）净化空调系统的加热问题洁净室工程师培训教材一. 空气调节和空气净化的基础知识（一）空气调节的基本概念1、空气调节及其分类 空气调节就是使房间或封闭空间的温度，相对湿度，洁净度，和气流速度等参 数均达到给定要求的技术。也就是说，在人们的生活和工作以及生产和科研的某一个特定的空间内其环境空气的温度，湿度，洁净度，和气流速度等构成了该空间的空气环境。采取必要

4、的技术手段来创造和保持该空间内要求的空气环境就是空气调节的任务。在空气调节系统中，空气处理设备即空调器是实现空气热，湿交换和空气过滤净化的核心部分。一个房间或一个空间，在一般情况下除了有来自该房间内部的围护结构，人员，照明灯具及设备产生的热，湿，粒子，微生物或其他有害物的干扰外，同时还有来自房间外部的大气，太阳辐射等的干扰。为了消除上述来自室内外的干扰，就必须采取必要的技术手段，用在空气处理设备中经热，湿和过滤处理过的空气来转移，置换，稀释和冲淡来自方方面面对房间空气的干扰，来保证房间内一定要求的空气环境。空气调节的原例图见图一和图二。图一 空气调节原理图图二 净化空调原理图空气调节按使用对象

5、的不同又可划分为舒适性空气调节和工艺性空气调节。 舒适性空气调节就是为了满足人们的舒适要求而设置的空气调节。 工艺性空气调节就是为了满足生产工艺对环境空气参数的要求而设置的空气调节。环境空气的温湿度等参数均由生产工艺来决定。不同的生产工艺对环境空气参数的要求也不相同。2、湿空气焓湿图及其应用 湿空气的焓湿湿空气就是我们生活和工作的环境空气，就是生产和科学研究的环境空气。其主要成份是干空气和水蒸汽。所谓干空气就是不含水蒸汽的空气，其中有78%的氮气，21%的氧气和不足1%的氩气，氖气等惰性气体和少量的二氧化碳。在湿空气中虽然水蒸汽的含量非常少，但是它的作用却非常大。从某种意义上说调节湿空气中水蒸

6、汽的含量就是空气调节的重要任务之一。湿空气的焓湿图是用来表示湿空气的温度、相对湿度、含湿量和焓值等空气状态参数及其相互关系的线算图。是在一定的大气压力的条件下，以焓值为纵坐标含湿量为横坐标，其夹角为1350的线算图。图中有等温度线、等相对湿度线、等含湿量线和等焓值线。利用焓湿图可以表示空气调节处理过程中所发生的混合、加热、冷却、加湿、去湿等所有空气处理过程，并且利用焓湿图可以计算出空气处理过程中所需要的冷量、加热量、加湿量等各种用量。焓湿图见图三。图三 湿空气的焓湿图 焓湿图中的名词定义：a. 干球温度：就是用干球温度计测出的空气温度。b. 湿球温度：就是用湿球温度计测出的空气温度。也就是说将

7、温度计的水银球用浸水的纱布包裹起来，所测得的稳定的空气温度。从理论来说，湿球温度就是室内放置一盆水，水吸收空气中的热量后部分水蒸发成水蒸汽释放到空气中，增加空气的潜热，而空气失去了热量，温度降低失去了空气的显热。当这一热湿交换达到平衡以后，空气所得的潜热（水蒸汽）和所失的显热（温度降低）达到平衡后，其空气的总热量（焓值）不变时，此时的水面空气的温度就是空气的湿球温度。湿球温度也就是相对湿度100%时的饱和温度。c. 相对湿度：空气中实际的水蒸汽的分压力与同温度下饱和状态空气的水蒸汽的分压力之比。饱和水蒸汽的分压力为100%。d. 饱和水蒸汽的分压力：空气中的水蒸汽不断增加达到饱和时，空气中的水

8、蒸汽就会凝结成水由空气中分离出来，此时的温度为饱和温度，其相对湿度达到100%。e. 露点温度：是在一定大气压力的条件下，某含湿量下的未饱和空气因温度不断地降低，相对湿度不断增加，达到饱和状态空气中的水蒸汽凝结成水珠，从空气中分离出来时的温度叫露点温度。也就是空气中的水蒸汽分压力随空气温度降低不断升高，达到饱和状态（100%）时的温度叫露点温度。f.含湿量：即环境空气中1公斤干空气所含有水蒸汽的质量（g）。g. 热湿比线：空调房间内的全热负荷与全湿负荷之比。在电子工业产热量大、产湿量小的洁净厂房一般的热湿比800010000大卡/kg趋近正无穷大。对于医院的洁净手术部的洁净手术室的热湿比大约在

9、18002400大卡/kg。因为人多，人的产湿量大，但热负荷较小。 焓湿图的应用在焓湿图上可以划出空气调节系统中各种空气处理的过程线，并且可以在线算图上查出各种空气处理过程的空气参数和各种所需用量。a. 等湿加热：空气含湿量不变条件下的加热。环境空气的干球温度升高，相对湿度降低。如：空气处理中用热水和蒸汽为热源的热交换器加热、电加热器的加热。为正的无穷大过程图线。见图四。b. 等湿降温：空气含湿量不变条件下的降温。环境空气的干球温度降低，相对湿度增加但并未到露点，没有水凝结出来。如：空气处理中的干表冷。即送入表冷器中的冷冻水的初温高于空气露点。此时为负无穷大的过程线。见图五。图四 等湿加热过程

10、 图五 等湿降温过程c. 等焓加湿：空气的焓值不变条件下的加湿。即空气和水直接并充分地进行热交换的过程。水吸收空气中的热量后部分水被蒸发成水蒸汽进入空气，空气失去热量温度下降。最终达到空气失去的热量等于空气中增加的水蒸汽的含热量。其空气的总热量（焓值）不变。过程线是135线，= 0，过程线见图六。空气处理过程中淋水室（淋循环水）湿膜加湿、高压喷雾加湿、超声波加湿等加湿的过程线。d. 生温去湿：空气的温度不断升高含湿量不断降低的过程。固体化学去湿的过程就是生温去湿的过程。即：固体吸湿剂吸收空气中的水分发生化学反应放热使空气温度升高，绝对含湿量降低，相对湿度也降低。过程线近似等焓线。常见的分子筛、

11、氯化锂、硅胶等固体吸湿就是生温去湿过程。过程线见图七。 图六 等焓加湿过程 图七 升温去湿过程e. 等温加湿：空气干球温度不变条件下的加湿。向空气中喷入水蒸汽的过程就是等温加湿过程。空气的温度维持不变，直接将水蒸汽喷入空气变成空气中的水蒸汽。空气处理中常用的喷蒸汽、喷干蒸汽电极式、电热式的加湿器。过程线见图八。f. 降温去湿（降温干燥）：空气的温度降低同时含湿量也减低的空气处理过程。向空气中喷淋低于空气露点的冷冻水，或将低于空气露点的冷冻水（冷媒）通入表面冷却器，与空气接触后，使空气温度降低而且还使空气中的水蒸汽遇冷凝结成水滴从空气中分离出来，使空气的温度降低,绝对含湿量减少。这是空气处理中最

12、常用的降温去湿的方法，也是冷冻去湿的方法。过程线见图九。向空气中喷淋液体吸湿剂的处理过程也是降温去湿减焓过程，但工程中很少应用。图八 等温加湿过程 图九 降温去湿过程g. 升温加湿：向空气中喷热水的处理过程，是升温加湿的过程。在工程中很少应用。过程线见图十。h.空气的混合过程：两种不同状态的空气混合时，其空气的混合状态点在两种空气状态点的连线上。线段长度之比则为两空气质量之比。其过程线见图十一。图十 升温加湿过程 图十一 混合过程焓湿图上几种典型的空气处理过程见图十二。湿空气状态的各种参数，如：干球温度，湿球温度，露点温度，相对湿度，含湿量和焓值等之间都是相互关连的，只要知道其中的两，三个参数

13、在焓湿图上就可以确定湿空气的状态点。见图十三。图十二 典型的空气处理过程 图十三 空气状态点参数的确定焓湿图的应用举例一个洁净室的室内参数为N，送风参数为S，热湿比为，送风温差为。全新风系统。夏季室外计算参数为Ws，冬季室外计算参数为Wd。现需将室外空气处理到送风参数点S后，用风管送到洁净室内就能满足洁净室的温、湿度要求。可以采取下面多种方法，对空气进行热，湿处理都能达到同一个目的。见图十四。 图十四 焓湿图上的空气处理过程如：夏季空调空气处理过程可以有如下途径来实现：a. WSLS 用表冷器或淋水室将室外空气降温去湿减焓处理后再等湿再热。b. WSaS 用固体化学去湿将室外空气生温去湿再干冷

14、降温。c. WSS 用喷淋液体吸湿剂做降温、去湿、减焓处理。又如：冬季空调空气处理过程可以有如下途径来实现：a. WdbLS 先用加热器对室外空气预热再等温加湿（喷蒸汽）然后用加热器再热。b. WdcLS 先用加热器对室外空气预热再等焓加湿（湿膜等）然后用加热器再热。c. WddS 先用加热器对室外空气加热再等温加湿（喷蒸汽）。d. WdLS 先用喷热水对室外空气升温加湿然后再热。S 用加热器加热+部分空气进行等焓加湿（用湿膜等方法）+再与未加湿部分空气混合e. WdeL1 e3、空气调节的气流组织空气调节气流组织设计的任务就是要合理地组织室内空气的气流流动，使工作区的温度，湿度，气流速度和洁

15、净度能很好地满足生产和科学研究以及人们舒适感的要求。气流组织不合理不仅直接影响空调房间的空调参数和空调效果，而且还要空调系统的能耗。空调系统送风口射出空气射流是影响室内气流组织的主要因素，而空调回风口，从流体力学角度是空气的汇流，起回风速度衰减很快，与其距离的平方成反比。因此回风口的位置对室内气流组织的影响比较小。空气调节系统的气流组织形式主要有：上送下回，上送下侧回，上送上回，侧上送侧下回等形式。见图十五。图十五 空气调节的气流组织（二） 空气净化的基础知识1、空气净化技术的重要性：空气净化和洁净室技术是二十世纪五十年代逐渐形成和发展起来的一门综合性和系统性的新兴技术。它是研究产品工艺和科学

16、实验与其环境的关系，防止产品的生产以及科研的成果受其环境因素的干扰和影响，保护被加工的产品和科研的成果不受有害的污染物质（气体，液体，固体等粒子以及有生命和无生命的粒子）污染的专门技术。对于生物洁净技术而言,不仅仅是保护被加工的产品和科研成果，还要保护操作人员的安全和周围环境的安全。 随着科学技术，现代工业特别是电子工业（微电子，光电子等），制药工业，食品工业，机械工业，化工工业，光学、遥感技术、纳米技术、激光技术、国防工业，航天事业，医疗事业以及生物工程技术等行业的飞速发展，空气净化和洁净室特殊环境的控制技术在国民经济各行各业的生产和科研中的重要作用和重要地位正日益突出，各行各业的生产和科研

17、对其洁净室及其受控环境的要求也日趋严格，对其环境的依赖性也日逐增强。特种洁净的受控环境已成为现代科学技术和现代工业的发展不可忽视，不可缺少的重要条件。 本章就是对空气净化和洁净室技术的发展和应用以及洁净室的设计进行阐述。2、洁净室的应用及其分类（1）洁净室及其应用什么是洁净室。根据“洁净厂房设计规范”GB 50073-2002中名词解释，洁净室就是“室内空气中的悬浮粒子（灰尘、微生物）浓度受控的房间。它的建造和使用应减少室内诱入、产生和滞留粒子。同时，还要根据不同生产工艺的要求对室内的温度、湿度、压力、静电、振动、噪声等各种参数也要进行控制的房间。”洁净室已广泛地应用在电子（微电子、光电子等）

18、、航天、机械、化工、农业、制药、医疗、食品、实验动物饲养、生物安全和生物工程等各行各业。并且，随着科学技术和国民经济的迅猛发展，洁净室和洁净技术的应用将越来越广泛、越深入、越重要。.（2）洁净室四大技术要素从洁净室的建立和维护而言，洁净室有四大技术要素：A、洁净室的净化空调系统至少应有粗效、中效和高效过滤器三级过滤措施。尤其是在终端应有高效过滤器（HEPA）或超高效过滤器（ULPA）。B、洁净室送风应有足够的净化送风量。其送风量不仅能消除室内的余热和余湿，保证室内的温度和相对湿度，同时还能消除或稀释室内的粒子污染，保证室内的洁净度要求。C、洁净室必须建立和维持必要的相对压差（正压或负压）。D、

19、洁净室应有合理的气流流型，以保证其室内的洁净度和温、湿度等参数。（3）洁净室的洁净度等级A、洁净室洁净度等级的划分在我国“洁净厂房设计规范”GB 50073-2002中对洁净室洁净度等级已做出了规定（见下表），这一规定是采用了国际标准ISO 14644中的洁净度等级。目前，我国、欧盟、日本、俄罗斯等国的洁净度等级均采用或参照上述国际标准来制订本国或本地区的洁净室洁净度的等级标准。美国也将本国的FS 209E中洁净度等级标准修改为ISO 14644标准。洁净室及洁净区空气中悬浮粒子的洁净度等级（ISO 14644）空气洁净度等级（N）表中粒径的最大浓度限值（个/m3）0.1m0.2m0.3m0.

20、5m1m5m1102/210024104/31000237102358/410,0002370102035283/5100,0002370010,2003,5208322961,000,000237000102,00035,20083202937/352,00083,2002,9308/3,520,000832,00029,3009/35,200,0008,320,000293,000注： 每点至少采样3次。 本标准不适用表征悬浮粒子的物理、化学、放射及生命性。 根据工艺要求可确定12个粒径。 根据要求粒径D的粒子最大允许浓度由下式确定（粒径0.1m5m）式中: N 为洁净度等级可在19级中间

21、以0.1为最小单位递增量插入。 CN 大于或等于要求粒径的粒子最大允许浓度（PC/m3），以四舍五入至近似的整数，有效位数不超过三位数。 D 要求的粒径（m）。 0.1常数（m）。B、各国洁净度等级标准和国际标准的比较各国洁净度等级标准与国际标准ISO 14644的比较国家国际标准ISO 14644中国标准GB 50073美国标准FS 209E俄国标准 P 50766日本标准TIS 9920德国标准VDI 2083英国标准BS 5295法国标准AFN 4410韩国标准IS澳大利亚AS 1386洁净度等级(N)/P0/11/P11/M1/22/P221C/M10/33M1.5P332D/M100

22、0.03544M2.5P4 43E或F4000M10000.3555M3.5P554G或H/M10,000 3.566M4.5P665I400,000M100,0003577M5.5P776J4,000,000M1,000,00035088M6.5P887K/M10,000,000350099/P9/L/年限20021992199519891990198919911989（4）洁净室的分类洁净室的分类一般按气流流型来分，还可按使用用途和主要控制对象来分。A、洁净室按气流流型分类洁净室按气流流型来分类可分为单向流洁净室、非单向流洁净室、混合流洁净室和矢流洁净室。a、单向流洁净室单向流洁净室的净化

23、原理是活塞挤压原理，是洁净气流将室内产生的粒子由一端向另一端以活塞型式挤压出去，用洁净气流充满洁净室。单向流洁净室又可分为垂直单向流洁净室和水平单向流洁净室。 垂直单向流洁净室是在其吊顶上满布（80%）高效空气过滤器，经其过滤的洁净气流从吊顶用活塞型式以一定的速度，把室内的污染粒子向地面挤压，被挤压的污染空气通过地板格栅排出洁净室，这样不断地进行循环运行来实现洁净室的高洁净度。垂直单向流洁净室可创造最高的洁净度（1级5级）但是，它的初投资最高、运行费最高。 水平单向流洁净室是在其一面墙上满布（80%）高效空气过滤器，被其过滤的洁净空气以一定的速度用活塞型式将污染粒子挤压到对面的回风墙，由回风墙

24、排出洁净室，这样不断循环来实现高的洁净度等级。水平单向流可创造5级的洁净度等级。其初投资与运行费用也低于垂直单向流洁净室。水平单向流洁净室与垂直单向流洁净室比较，其最大的区别是垂直单向流气流是由吊顶天花流向地面，所有工作面全部被洁净的气流覆盖。而水平单向流洁净室的气流是由送风墙流向回风墙，因此，气流在第一工作面洁净度最高，后面的工作面的洁净度会越来越差。(a)垂直单向流 (b)水平单向流 图一 单向流气流流型b、非单向流洁净室非单向流洁净室的净化原理是稀释原理。是用一定量的洁净空气来充淡稀释室内产生的污染粒子。洁净空气量越多稀释后的洁净度就越高。因此洁净的送风量（换气次数）不同，室内空气的洁净

25、度等级也不相同。在“规范”中规定：6级洁净室的换气次数为5060次/时；7级洁净室的换气次数为1525次/时；8级和9级洁净室的换气次数为1015次/时。洁净度级别不同其初投资和运行费也不相同。最常用的非单向流洁净室的气流流型主要有顶送下回、顶送下侧回和顶送顶回。 (a)顶送下回 (b)顶送下侧回 (c)顶送顶回图二 非单向流气流流型c、混合流洁净室混合流洁净室是将垂直单向流和非单向流两种型式的气流组合在一个洁净室中。混合流洁净室可大大压缩垂直单向流的面积，只将其应用在必要的关键工序和关键部位中，用大面积的非单向流来替代垂直单向流。这样不仅大大地节省建造投资而且也大大地节省了运行费用。这种混合

26、流洁净室目前广泛地应用在微电子（超大规模集成电路）的光电子（液晶显示器LCD、等离子PDP、发光二极管LED和薄膜晶体管有源矩阵液晶显示器TFT-LCD）等大面积高洁净度等级的电子工业洁净厂房中。图三 混合流气流流型d、矢流洁净室矢流洁净室是用圆弧形高效空气过滤器构成的圆弧形送风装置，经圆弧形高效过滤器送出的气流是放射形的洁净气流，流线不产生交叉，灰尘粒子也是被放射形气流带到回风口，回风口设在对面墙的下侧。矢流洁净室可用较少量的洁净送风来实现较高洁净度级别（5级）的洁净室。这种气流流型在美国和日本较多（在日本称为对角流），而我国在工程中应用较少。图四 矢流气流流型B、洁净室按用途和主要控制对象

27、来分类按使用用途和主要控制对象洁净室又可分为工业洁净室、生物洁净室和生物安全实验室。a、工业洁净室工业洁净室的主要控制对象是灰尘粒子。它广泛应用于电子工业、光电子工业、机械化工工业、光学工业、航天事业等。在电子工业中微电子（集成电路）工业对洁净室的洁净度级别要求最高。而且，随着微电子技术的不断发展，集成度的不断提高，光刻线宽的不断变小对洁净室洁净度等级的要求也越来越高。根据国际半导体工业协会（SIA）对未来集成电路发展趋势，以及对洁净生产环境中尘粒控制的趋势预测可以看到微电子工业对洁净室洁净度的要求。SIA对集成电路发展和对洁净生产环境控制趋势的预测 年代项目19951998200120042

28、0072010集成度64M256M1G4G16G64G线宽（m）0.350.250.180.130.100.07控制粒径（m）0.0350.0250.0180.0130.010.007空气中含尘浓度（个/m3 0.1m）114643520128洁净度等级（推荐）21.51.5110.5微电子工业用洁净室洁净度级别的实例洁净度等级气流流型平均风速（m/s）换气次数（次/时）应用实例2单向流0.30.5/光刻、严格密封的半导体加工区3单向流0.30.5/工作区、半导体加工区4单向流0.30.5/工作区、多层掩膜加工区、高密度磁盘制造区、半导体服务区、公共设施区5单向流0.20.5/6混合流0.10

29、.3/公共设施区、多层加工区、半导体服务区非单向流/701607非单向流/3070服务区、表面处理区8非单向流/1020服务区电子、光电子产品生产对生产环境的要求产品工序空气洁净度等级（级）温度（）相对湿度（%）相对低级别洁净室的正压（Pa）半导体材料拉单晶45（0.3m）2324555切、磨、抛57（0.3m）2324555清洗47（0.3m）2324555外延35（0.3m）2324555芯片制造（前工序）氧化、扩散、清洗、刻蚀、薄膜，离子注入25（0.10.3m）2314555光刻14（0.10.3）220.12314555检测36（0.10.3）2324555设备区68（0.10.3）

30、23545105封装（后工序）划片，键合57（0.3）2115055封装68（0.3）2315055TFT LCD薄膜光刻、刻蚀、剥离23（0.1）2314555涂复13（0.1）2314555模块45（0.3）23245105组装67（0.3）2324555STN-LCD67（0.3）（局部5级）2324555HDD制造区34（0.1）2314555其他区67（0.3）23145105PDP核心区5（0.3）2314555支持区67（0.3）23245605锂电池干工艺区67（0.5）23225其他区78（0.5）232155彩色显象管涂屏电子枪装配荧光粉7（0.5）2324555锥子墨涂复

31、荫罩8（0.5）2324555电子仪器微型计算机装配8（0.5）20232/5印制线路板照像、制版，干膜78（0.5）22240605光导纤维预制棒67（0.3）2425055拉丝57（0.3）2215055光盘制造68（0.3）23150105高密度磁带制造68（0.5）（局部5级）23150105磁头生产核心区5（0.3）2326055清洗区6（0.3）212 ISO 8级18 2850 65洁净室（区）空气洁净度等级洁净度等级（级）尘粒最大允许浓度数/m3微生物最大允许数0.5m5.0m浮游菌/ m3沉降菌/皿100350005110000350000200010031000003500

32、00020000500103000001050000060000/15注：此表摘自药品生产质量管理规范。洁净室（区）空气洁净度等级洁净度等级（级）尘粒最大允许浓度数/m3微生物最大允许数0.5m5.0m浮游菌/ m3沉降菌/皿1003500050.5100003500002000501.5100000350000020000150330000010500000600002005注：此表摘自兽药生产质量管理规范。代表欧洲多数国家的比利时JANSSEN制药国际公司指南（911001）中规定了药品生产洁净厂房中的温度和相对湿度：车间名称温度（T）相对湿度（%）固体制剂车间20 2535 65非固体制

33、剂车间20 25/包装车间20 2535 55车间内仓库20 2535 55车间外仓库16 30/辅助用房，办公20 25/（b）实验动物饲养实验动物繁殖，生产设施以及动物实验设施（设备）的环境要求如下：实验动物繁殖，生产设施环境指标（静态）参 数指 标小鼠、大鼠、豚鼠、地鼠犬、猴、猫、兔、小型猪鸡普通环境屏障环境隔离环境普通环境屏障环境隔离环境隔离环境温度（）1829202620261628202620261628日温差（）/44/444相对湿度（）4070407040704070407040704070气流速度（m/s）0.10.20.10.20.10.20.10.20.10.20.10.

34、20.10.2压力梯度（Pa）/2050100150/20501001502050洁净度（级）/10000100/1000010010000落下菌（个/皿）303无检出303无检出3氨浓度（mg/m3）14141414141414噪声，dB(A)60606060606060照度工作照度150300150300150300150300150300150300150300动物照度152015201520100200100200100200510昼夜明暗交替时间（h）12/1210/1412/1210/1412/1210/1412/1210/1412/1210/1412/1210/1412/1210

35、/14换气次数（次/h）81010202050810102020501020注： 氨浓度为动态浓度。 全新风保证有足够的新鲜空气量。如事先除去污染粒子和有毒有害气体，在同一单元内再循环空气不超过50%；并保应有的温、湿度。 单廊时必须保证饲育室和实验室的压力最高。动物实验设施（设备）环境指标（静态）参 数指 标小鼠、大鼠、豚鼠、地鼠犬、猴、猫、兔、小型猪鸡普通环境屏障环境隔离环境普通环境屏障环境隔离环境隔离环境温度（）1926202520251626182218221626日温差（）4334333相对湿度（）4070407040704070407040704070气流速度（m/s）0.10.2

36、0.10.20.10.20.10.20.10.20.10.20.10.2压力梯度（Pa）/2050100150/2050100150100150洁净度（级）/10000100/10000100100落下菌（个/皿）303无检出303无检出无检出氨浓度（mg/m3）14141414141414噪声，dB(A)60606060606060照度工作照度150300150300150300150300150300150300150300动物照度152015201520100200100200100200510昼夜明暗交替时间（h）12/1210/1412/1210/1412/1210/1412/1210/1412/1210/1412/1210/1412/1210/14换气次数（次/h）81010202050810102020502050注： 氨浓度为动态浓度。 全新风保证有足够的新鲜空气量。如事先除去污染粒子和