以长江存储为例国内存储芯片的设备供应链格局解析.docx

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1、目录1 .为何以长江存储为例？31.1. 长江存储是国内投资规模、规划产能最高的工程之一31.2. 回顾2018年，长江存储对国产设备支持力度较大4分析前提：公开数据与真实情况有差异，但不影响整体格局 41.2.1. 长江存储的整体设备国产化率较高51.2.2. 与下游设备、材料商合资成立研发中心，支撑产业开展61.3. 展望2019年，长江存储进入设备采购与搬入的高峰期71.3.1. 据产业调研，长江存储已进入第二阶段20K产能爬坡期.71.3.2. 近期招投标数据可对产业调研结论做充分验证7.北方华创、中微公司等厂商加速实现供应81.4. 刻蚀设备：中微市占率提升，北方硅刻蚀进入供应链81

2、.5. 成膜设备：北方的PVD、拓荆的PECVD有较大提升空间.923清洗设备：盛美在单片清洗领域保持较大优势92.4. 氧化/退火设备：北方的炉、Mattson的RTP有明显优势.1025量测设备：中科飞测、睿励科仪实现突破102.6. 研磨抛设备：华海清科实现多家供应11其他国产设备厂商：北京京仪、沈阳科仪123 .结论及投资建议12.风险因素143.1. 技术开发风险14受行业景气影响的风险14维形貌量测设备。根据我们的了解，目前中科飞测是国内唯一一家在 Metrology （量测）和Inspection （缺陷检测）两大领域均在国内TOP的 芯片厂商取得批量订单并安装使用的半导体光学检

3、测设备供应商；而睿励 科仪的TFX3000薄膜测量设备取得三星的重复订单。除了这两家公司，包 括上市公司精测电子在内的国产设备厂商也在积极布局前道量测设备， 并且有相关产品进入了前期验证阶段。7：中科飞测的外表形貌测量和睿励科仪的薄膜测量设备进入了长江存储的供应链数据来源：中科飞测、睿励科仪26研磨抛设备：华海清科实现多家供应总体来看，长江存储在第一阶段共采购了 16台化学机械抛光机CMP,均 为应用材料供应；第二阶段至今（2019年4月6日），已经采购了 26台 研磨抛设备，包括16台化学机械抛光机CMP和10台研磨/修边机。我们刨除DISCO的研磨/修边机，只讨论CMP设备。在第一阶段招标

4、中， 国产设备厂商没有实现供应；在第二阶段招标中，国产设备厂商华海清 科中标了 4台CMP设备。根据我们的了解，华海清科的抛光机已在中芯 国际、华力的生产线上使用，是国内CMP设备的领头企业，未来有望持 续拓展。除此之外，包括上市公司天通股份在内的国产设备厂商也在积 极布局CMP设备。图8 ：华海清科的CMP设备进入了长江存储、中芯国际等的供应链2.7.其他国产设备厂商：北京京仪.沈阳科仪除了以上分析的设备，还有干泵和温控/气体设备两大类设备值得关注。 在第一阶段招标中，温控/气体设备的国产化率约35%,主要供应厂商为 北京京仪；泵的国产化率也约35%,主要供应厂商为沈阳科仪；在第二 阶段招标

5、中，温控/气体设备、泵同样保持了较高的国产化率。根据我们的了解，北京京仪目前的主要产品包括半导体温控装置系列、 机器人系列（Wafer Sorter/AMR） 废气处置系列（Local Scrubber） 等专用设备，现已广泛应用于半导体、LED、LCD等领域。沈阳科仪目前的 主要产品包括各类真空获得设备、LED衬底及窗口片设备、PVD镀膜设备、 CVD镀膜设备等，主要用于薄膜材料制备设、纳米材料制备、真空冶金、 太阳能光伏、集成电路等领域。表6:沈阳科仪,北京京仪在各自领域实现成熟供应公司具体设备分类台数沈阳科仪（第二阶段）干泵泵160北京京仪（第一阶段）蚀刻ChiHerl温控设备266燃烧

6、式除害设备气体设备44沈阳科仪（第一阶段）干泵泵196蚀刻湿法燃烧式除害设备气体设备4北京京仪（第一阶段）蚀刻-Chiller 1温控设备126蚀刻-Chi Iler27数据来源：设备交易平台、3 .结论及投资建议图9 ：长江存储各类核心设备的主要供应商市场份额加12攵成膜设备CVD（61%）ALD（22%）PVD（5%）Lam53.3%58.1%应用材料40.4%19.8%75.0%83.3%中微公司AL 15.0%16.1%Lam25.8%23.5%12.1%4.0%TEL13.1%4.8%TEL20.2%40.7%27.3%O4.o%应用材料10.3%8.1%日立国际12.4%9.9%6

7、0.6%72.0%Screen6.5%沈阳拓荆1.1%3.7%Mattson0.9%ASM2.5%北方华创04.8%北方华创|-25.0%16.7%注：红色为第一阶段（0-5K）采购，蓝色为第二阶段（520K）采购清洗设备退火设备氧化/退火设备 氧化设备ScreenLam 盛美TELULVAC 北方华创.29.5%f 22.7%18.2%11.4%4.5%4.5%23.1%L 23.1%23.1%北方华创 日立国际应用材料TELMattson37.5%72.7%27.3%38.9%37.5%27.3%12.5%12.5%18.2%22.2%50.0%38.9%4.5%63.2%77.0%沈阳科

8、仪136.8% |Edwards23.0%研磨抛设备应用材料100.0%华海清科量测设备膜厚/CD（38%）外表/缺陷（32%）75.0% KLA21.5%65.6%21.1%25.0% Nanometrics40.0%58.8%应用材料13.8%8.8%| 9.4%| 15.8%日立高新7.7%20-6%Rudolph _3.1%5.9%9.4%26.3%睿励科仪A3.1%中科飞测01M 10.5%DAS北京京仪温控/气体设备33.3%13.3%35.8%48.6%数据来源:以长江存储的设备供应数据来分析国内存储芯片的设备供应格局，具有 较强代表意义：长江存储是目前国内投资规模、规划产能最高

9、的存储 器工程，处于稳步爬坡过程中；回顾2018年，该工程对国产设备支持 力度较大；展望2019年，根据产业调研，工程已进入第二阶段20K产能 爬坡期，处于设备采购与搬入的高峰阶段。而我们从近期的招投标数据中, 也可对这一结论做充分验证；因此，我们采用了长江存储的高频公示 数据，并充分考虑了意向订单、真实合同与设备进场三者之间存在的时 间差，对设备供应链进行分析。我们认为，尽管存在demo机和框架合同 等因素的扰动，我们仍然可以从公开的招投标数据中找到设备供应链的 格局变化及供应规律。北方华创.中微公司等设备厂商加速实现供应：刻蚀设备：中微公司在第二阶段采购中，机台市占率到达16% ,略有 提

10、升，主要为硅通孔TSV及介质刻蚀CCP设备，后续有望持续放量；而 北方华创的硅槽刻蚀设备开始进入供应链，后续有望贡献较大增量； 成膜设备：整体国产化率较低，为2%左右。但其中北方华创的Al Pad PVD有较强优势，后续重点关注铜互连PVD的验证进程；而沈阳拓荆的 PECVD竞争力较强，在第二阶段占有率略有提升；清洗设备：第一阶段采购中，盛美半导体市占率约18%、北方华创市 占率约5% ；进入第二阶段，盛美保持20%以上的机台市占率，在单片清 洗领域保持较大优势。盛美的新品Ultro C-Tahoe高温硫酸清洗设备已 于19年1月份出货，判断其未来在清洗设备上的市占率有望持续提升； 氧化/退火

11、设备：目前北方华创的炉管设备已成为国内主流厂商扩散氧 化炉的首选，机台市占率30%以上。而Mattson的快速热退火设备市场 份额全球领先，具有明显的竞争优势，未来二者将直接受益订单放量； 量测设备：品类众多且国产化较难突破，但睿励科仪实现了 1台薄膜 测量系统的供应，中科飞测实现了 1台外表三维形貌量测设备的供应； CMP设备：华海清科的抛光机已在长江存储、中芯国际、华力的生产 线上使用，是国内CMP设备的领头企业，未来有望持续拓展。投费建议：我们认为，包括长江存储在内的存储器/代工厂将于2019-20 年陆续进入设备采购与搬入的高峰阶段，而国内设备厂商已经在多个核心 设备细分领域实现拓展。

12、重点推荐：北方华创、精测电子、长川科技、至纯科 技；受益标的：中微公司（科创板）、盛美半导体（纳斯达克）。表1 ：重点推荐及受益标的公司盈利预测及估值数据来源：WIND.（其中精测电子.长川科技、至纯科技19-20年EPS来自国君机械团队预测，北方华创19-20年EPS代购股价(2019.04.10 )每股收益市盈率（X）评级20182019E2020E20182019E2020E002371.SZ北方华创66. 680.510.911.41130.773.347.3增持300567. SZ精测电子80.901.82. 563. 6344.931.622.3增持300604. SZ长川科技38

13、. 580. 250. 881.30154.343.829.7增持603690. SH至纯科技21. 100. 630.87一33.524.3增持来自国君电子团队预测）4 .风险因素4.1. 技术开发风险集成电路专用设备行业属于技术密集型行业，具有较高技术门槛。虽然 各个公司拥有相关核心技术的自主知识产权，但与集成电路各细分设备领 域国际知名企业相比仍存在一定差距，需要持续进行技术开发和创新。如 果相关公司不能紧跟国内外技术开展趋势，或后续研发投入缺乏，将面临 因无法保持持续创新能力而导致市场竞争力降低的风险。4.2. 受行业景气影响的风险集成电路专用设备行业与半导体行业开展密切相关。虽然随着

14、近年来全球半导体产业逐渐步入成熟开展阶段，但整个行业开展过程中的波动，使相关公司面临一定程度的行业经营风 欢迎关注公众号一险。7k微信搜一搜Q冷眼看A股|报告存在问题或需求其他报告加微信文档出现排版、乱码等问题，可加上面微信，凭 下载记录，获取PDF版本L为何以长江存储为例？1.1. 长江存储是国内投资规模、规划产能最高的工程之一长江存储是国内三大存储器工程之一（另外二者为福建晋华、合肥长鑫）， 是国内实现存储芯片国产化率提升的重点支持工程。“长江存储”的实施主 体长江存储科技有限责任公司于2016年7月在中国武汉成立，是一家专 注于3D NAND闪存芯片设计、生产和销售的IDM存储器公司。长

15、江存储 为全球工商业客户提供存储器产品，广泛应用于移动设备、计算机、数据中 心和消费电子产品等领域。图1 :长江存储工程于2016年启动，2018年实现试投片32层3D NAND闪存芯 片T/O设计完成32层3D NAND闪存芯 片T/O设计完成国家存储器基地奠基正式开工建设32层3D NAND闪存芯 片完成首次验证32层3D NAND闪存 芯片试产2017.09.282017.112018.04.112018 年底2019 年底厂房主体提前封顶一生产机台正式进场安装64层3D NAND闪存量产数据来源：长江存储官网、相比于另外两个工程，长江存储的投资规模、规划产能更高。按照规划， 长江存储一

16、期主要产品为3D NAND,预计投入240亿美元（1612亿人民 币），到2020年形成月产能30万片的生产规模（分三期，每期10万片 /月），到2030年建成每月100万片的产能；而合肥长鑫工程主要产品 为DRAM,预计投资额72亿美元（484亿人民币），规划到2019年底一厂 实现产能2万片/月，2020年开始规划二厂建设；福建晋华工程主要产 品为DRAM, 一期总投资370亿人民币（55亿美元），到2019年底一厂一 期工程实现月产6万片产能，到2020年底一厂二期同样达产6万片。表1：长江存储的投资规模、规划产能最高数据来源：各公司官网、公司地点生产项 目技术节点投资金额 （亿美元）月

17、产能 （万片）生产状态签订/启 动时间开工时间封顶/搬 入设备投产 时间量产时间长江存储武汉3D NAND Flash4050nm24030 （ 2020年）投产2016/3/282016/12 /302018 年 4 月2018 年底2020 年合肥长鑫合肥DRAM19nm722（2019 年 一厂）投产2016 年5月2017 年5月2018 年 1 月2018 年底2019 年底福建晋华泉州DRAM32-20nm556 （2019年一厂）暂停2016 年5月2016/7/162018 年 7 月2019 年底图2 :长江存储的投资规模、规划产能最高4数据来源：各公司官网、因此，考虑到：1

18、）长江存储的中期及长期投资规模较大；2）长江存储 目前处于稳步推进的过程中，投产、量产等时点相比照拟确定；3）长江 存储背靠的紫光集团后续在南京、成都等地依旧有较长期、较大规模的 投资规划。我们认为，以长江存储的设备供应链来分析整个存储芯片的 供应链格局，具有较强的代表意义。1.2.顾2018年，长江存储对国产设备支持力度较大分析直提:公开数据与真实情况有差异，但不影响整体格局2018年第一季度，合肥长鑫率先移入机台设备；2018年4月11日，长 江存储武汉基地芯片生产机台正式进场安装，标志着这两大存储器基地纷 纷从厂房建设阶段进入量产准备阶段。而根据一,设备的采购与意向订单下发6-12个 月

19、，而黝居的公示又往往滞后于意向订单签订。这其中存在三类例外：1）局部free demo设备（主要是想要新进入供应链的设备商）与厂商的 接触可能更早，并且这些设备最终不会出现在公开的采购信息中。但我 们认为，free demo的目的是为了实现最终的批量化供应，在设备成熟 且正式进入供应链后，依旧会出现在后续的重复采购公示中；2）局部价值量较低，未到达公示要求的设备（主要是批量重复性采购的 设备与配件耗材等）与厂商接触比拟频繁，这些订单也不会准确的出现 在公开的采购信息中，但由于这类设备价值量较低，不影响我们对整体 供应链格局的分析；3）局部设备商会在年初提前与下游厂商签订全年合作意向框架。但一般

20、 来说，年初的意向框架在年内仍会落实到具体合同上，并且在公开的数 据中反映出来。图3 :新的设备厂进入供应链需要多个步骤、较长时期，因此可能会对公开数据的完整性产生影响由于意向订单签订、真实合同公示、设备进场这三者之间存在的以上关 系，导致了我们在分析过程中需要注意两点时间差：D从规划投产到到达流片的阶段，合同公示与设备进场之间的时差更大, 一般合同公示领先于真实设备进场6个月以上；2）从投产流片到爬坡量产的阶段，合同公示与设备进场之间的时差缩短, 一般时间差在6个月以内。我们充分的考虑到了以上说的几点差异，并且认为，即使是排除掉以上 说的三点例外和两点时间差，我们仍然可以从公开的招投标数据中

21、找到 设备供应链的格局变化及供应规律。以下分析中我们会尽可能的依据真 实调研情况进行数据调整，以力求反映出真实采购情况，也欢迎大家与 我们一同讨论并改进。1.1.1. 长江存储的整体设备国产化率较高自2017年初开工至2018年底投产，长江存储工程花费了 2年时间实现 了 “质变”的过程。在这两年期间，长江存储共采购了 17批设备，共计 约2000台左右设备。我们通过对历史数据的综合计算，发现长江存储是目 前所有产线中对于国产设备最为友好的产线之一。具体来说，在前17批设备采购中，长江存储的刻蚀设备国产化率接近 15%,主要的国产供应商是中微公司；清洗设备国产化率到达23%,主要 的国产供应商

22、是盛美和北方华创；而氧化/退火设备的国产化率到达30% 以上，主要的国产供应商为北方华创和Mattson；泵的国产化率到达35% 主要的干泵国产供应商为沈阳科仪；温控设备的国产化率到达65%,主 要的国产供应商为北京京仪；去胶设备、热处理设备的国产化率到达 100%,主要的国产供应商为Mattsono但相对来说，工程初期的成膜设 备的国产化率较低，约为2-3% ，主要的国产供应商是北方华创+沈阳拓荆；量测设备的国产化率也较低，约为-2% ,主要的国产供应商是睿励 科仪；而光刻机、涂胶显影设备、测试设备、研磨抛设备的国产率最低，几 乎为0。图4 ：长江存储前17批采购设备中的整体国产化率较高北方

23、华创北方华创98%数据来源：长江存储科技有限责任公司、以上是前17批采购设备的总体国产化率总结，我们在此前也有过深入 分析，在此不再赘述。下文我们将针对19年以来几个批次（18-24批） 的采购设备，在第二章进行各类设备的具体供应格局分析。1.1.2. 与下游设备,材料商合资成立研发中心，支撑产业开展除直接采购外，我们在股权合作、研发合作、投资合作等领域也发现了 长江存储对国产设备、材料厂商的支持。2018年12月26日，长江先进 存储产业创新中心有限责任公司成立。其中长江存储认缴出资额1.5亿 元，出资比例34. 48%；武汉新芯认缴出资0. 75亿元，出资比例17. 24%。 根据天眼查资

24、料，公司其他股东有包含院校背景的投资机构中科微投资 （中科院微电子所）、华科大产业集团（华科大）、复旦资产（复旦）等； 包含地方政府背景的投资机构武汉光谷创投等；设备厂商北方华创（刻 蚀、成膜、清洗、氧化等设备）、精测电子（测试、量测设备）、至纯科 技（高纯工艺系统及清洗设备）、华海清科（CMP设备）等；材料厂商晶 瑞股份、上海新阳、江丰电子等。我们认为，通过建立国家先进存储产业创新中心，长江存储能够联合行业 内创新资源，通过企业主导、院校协作、多元投资、成果提供的新模式， 培育存储芯片新兴产业集群，构建全国先进存储自主创新的设备、材料供 应链。图5 ：长江存储与下游设备.材料商合资成立研发中

25、心数据来源：天眼查、1.3. 展望2019年，长江存储进入设备采购与搬入的高峰期1.3.1. 据产业调研，长江存储已进入第二阶段20K产能爬坡期 我们在此前的半导体设备专题报告中说过，长江存储至18年底已公示 设备主要是对应公司第一阶段5-8K/月产能。按照具体节奏来看，第一 阶段5-8K/月产能对应设备从17年Q3、Q4开始招标，2018年5-7月设 备陆续进场。根据我们对于产业链的调研，公司已经进入产能爬坡阶段， 预计将在2018年12月份到2019年1月左右招标第二阶段新增 20K/月产能对应设备，该阶段设备计划在2019年5-6月份进场。考虑 到按照规划，长江存储到2020年将形成月产

26、能30万片（分三期，每期 10万片/月）的生产规模，19-20年将成为国产设备获取订单的最重要 时间节点。1.3.2. 近期招投标数据可对产业调研结论做充分验证从招标批次的密度和招标设备的数量来看，2017年Q4为第一次设备招 标高峰，与第一阶段5-8K产能对应；2019年Q1开始，以第18批采购 为关键分割点，设备招标迎来了第二次高峰，与第二阶段20K产能爬坡 对应。我们认为，对于第。劭东购中的设备供应格局分析尤为垂。一方面， 设备经过第一阶段（1-17批次采购）的使用检验，再次进入第二阶段（18 批次开始）采购列表，证明了设备本身的竞争优势；另一方面，排除新的 国产设备仍在加速实现进口替代

27、这一因素，进入第二阶段的国产设备供应 商大概率可以在第三阶段实现放量，伴随下游产线实现从“质变”到“量变”的过程。因此，下文我们将分具体设备品类对设备的供应格局做 具体分析。图6 :招投标数据与产业调研结论互为印证设备台数招标批次量第二阶段采购，对应20K/月爬坡阶段数据来源：设备交易平台、注：本数据中剔除泵、气体设备、温控设备，这三类设备单批次采购量非常高，容易影响分析结果2.北方华创、中微公司等厂商加速实现供应2.1. 刻蚀设备：中微市占率提升，北方硅刻蚀进入供应链 总体来看，长江存储在第一阶段共采购了 107台各类刻蚀设备；第二阶 段至今（2019年4月6日），已经采购了 62台刻蚀设备

28、。以机台占有率 统计，第一阶段中微公司在刻蚀设备中的占有率约为15%；进入第二阶 段，中微公司的机台市占率到达16%,略有提升。具体来说，第二阶段 至今中标的10台设备包含3台硅通孔（TSV） /接触孔刻蚀设备及7台 介质刻蚀设备。表2:中微半导体的硅通孔、介质刻蚀具有较强优势数据来源：设备交易平台、公司具体设备分类台数北方华创（第二批）硅槽刻蚀设备硅刻蚀3接触孔刻蚀设备硅通孔/接2通孔（via）刻蚀设备触孔刻蚀1中微公司介质等离子孔洞蚀刻设备2（第二批）介质等离子掩膜蚀刻设备介质刻蚀2介质等离子氧化层蚀刻设备2氧化硅刻蚀1接触孔刻蚀硅通孔/接4通孔（via）刻蚀设备触孔刻蚀7中微公司介质等离

29、子蚀刻设备3（第一批）等离子蚀刻机介质刻蚀4氧化硅刻蚀1值得关注的是，北方华创的硅槽刻蚀设备首次进入供应链，约为3台。在硅槽刻蚀设备细分领域，到达了 3/8的占有率。总体来说，在国产设备 中，我们认为中微公司在硅通孔TSV/接触孔刻蚀、CCP介质刻蚀方面具有 较强优势，后续有望持续放量；而北方华创的硅刻蚀设备开始进入产线， 后续有望贡献较大增量。22成膜设备：北方的PVD.拓荆的PECVD有较大提升空间 总体来看，长江存储在第一阶段共采购了 147台各类成膜设备，包括33 台ALD、89台CVD、8台PVD；第二阶段至今（2019年4月6日），已经 采购了 154台成膜设备，包括50台ALD、

30、81台CVD、6台PVD。以机台 占有率统计，第一阶段北方华创、沈阳拓荆在成膜设备中的占有率约为 2%；进入第二阶段，北方华创同样供应了 1台Al Pad PVD,而拓荆供 应了 3台PECVD,占有率略有提升。根据我们的了解，在半导体器件制造过程中，Al Pad PVD用于后道金属 互联，为芯片中各器件提供电子信号、微连线等作用。而北方华创的A1 Pad PVD已经成为中芯国际的baseline机台，具有较强优势。展望长期， 我们认为北方华创的铜互连PVD理论上已经进入产线验证阶段，未来有望 贡献较大增量。表3:北方华创的Al Pad PVD、沈阳拓荆的PECVD具有较强优势公司具体设备分类

31、 台数北方华创（第二批）铝垫物理气相沉积机台Al Pad PVD 1前端等离子体增强方式氮化硅薄膜化学气相沉积设备1后端等离子体增强方式氮氧化硅薄膜化学气相沉积设备1决阳油剂（弟一亚JCVD后端等离子体增强方式以硅酸四乙酯作反响物的二氧化硅薄膜化学气相沉积设备北方华创（第一批）铝垫物理气相沉积机台Al Pad PVD 2沈阳拓荆（第一批）后端等离子体增强方式氮化硅薄膜化学气相沉积设备PECVD 1数据来源：设备交易平台、23清洗设备：盛美在单片清洗领域保持较大优势总体来看，长江存储在第一阶段共采购了 44台清洗设备；第二阶段至今 （2019年4月6日），已经采购了 13台清洗设备。以机台占有率

32、统计，第一阶段盛美半导体的市占率约18%、北方华创的清洗设备市占率约5%； 进入第二阶段，盛美半导体保持了 20%以上的市占率，而北方华创暂时 还没有供应，主要是目前还没大规模招标的原因。目前国内在清洗设备中有所布局的包括盛美、北方华创、至纯科技三家 公司。总体而言，目前盛美在单片清洗领域具有较强优势。在近期的 SEMIC0N展上，公司展示了三款最新产品，分别是多阳极局部电镀铜设 备 Ultra ECP map Tool 先进封装抛铜设备 Ultra SFP-Advanced Packaging以及Ultro C-Tahoe高温硫酸清洗设备。根据了解，这三款 新产品都已收获订单，其中清洗设备已

33、经于19年1月份出货，抛光设 备未来2-3月将交付客户。判断盛美未来在清洗等设备上的市占率有望 持续提升。曲美半导修（弟二那）单片清洗机12寸晶圆单片式轻聚合物化学清洗机单片清抗12北方华创（第一批）制程挡控片蚀刻回收清洗机挡控片清洗212寸晶圆单片式晶背清洗机112寸晶圆单片式硅晶延前&无定型碳后清洗机1盛美半导体（第一批）单片清洗机单片清洗1单片式铝制程化学清洗机2数据来源；设备交易平台,制程控片回收清洗机挡控片清洗3表4;盛美半导体在清洗设备领域具有那么瞭分类台数2.4.氧化/退火设备：北方的炉.Mattson的RTP有明显优势总体来看，长江存储在第一阶段共采购了 8台氧化设备和22台退

34、火设备；第二阶段至今（2019年4月6日），已经采购了 11台氧化设备和18台退火设备。以机台占有率统计，第一阶段北方华创在氧化退火设备领域的市占率约30%、Mattson在快速热退火领域市占率约20%；进入第二 阶段，北方华创将近50%的市占率，而Mattson暂时还没有供应，主要 是目前还没大规模招标的原因。总体来说，目前北方华创的立式炉、卧式炉设备到达目前处于国内半导 体设备的领先水平，已经成为主流厂商扩散氧化炉设备的首选。而 Mattson的快速热退火RTP设备目前市场份额占全球第二，同时进入了 台积电5nm逻辑制程，具有较明显的竞争优势，未来二者将直接受益订 单放量。表5:北方华创的

35、立式炉.Mattson的RTP具有较强优势数据来源：设备交易平台、公司具体设备分类台数立式高温退火设备退火炉5北方华创（第二批）气体3旗及源极退火设备2立式常压氧化设备氧化炉8北方华创（第一批）立式高温退火设备退火炉6立式常压氧化设备氧化炉3Mattson （第一批）高温快速热退火设备RTP125量测设备：中科飞测.睿励科仪实现突破总体来看，量测设备品类众多且国产化较难突破。长江存储在第一阶段 共采购了 173台量测设备，但其中最核心的外表/缺陷检测共32台、膜 厚/CD测量共56台；第二阶段至今（2019年4月6日），已经采购了 62 台量测设备，其中最核心的外表/缺陷检测共18台、膜厚/CD测量共34 台。整体来说，量测设备国产化目前进展较慢，统计机台占有率没有太大意 义。在第一阶段招标中，国产设备厂商睿励科仪中标了 1台薄膜测量系 统；在第二阶段招标中，国产设备厂商中科飞测中标了 1台光学外表三