光栅传感器工作基本知识.ppt
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1、光栅测量系统,数字信号检测系统的组成,数字信号检测系统的组成,光栅数字式传感器,光栅是由很多等节距的透光的缝隙或不透光的刻线均匀、相间排列而成的光电器件。,透射式,反射式,为光栅常数,也称光栅栅距。,数字信号检测系统的组成,光栅的分类,按用途分,利用光的衍射现象,主要用于光谱分析、光波长测量。,利用莫尔条纹现象,主要用于长度、角度、速度、加速度、振动等物理量的测量。,计量光栅,用于长度测量,用于角度测量,按光的走向,按栅线的形式,长光栅 - 直线位移 圆光栅 - 角位移,构成: 主光栅 - 标尺光栅,定光栅 指示光栅 - 动光栅,长度 - 测量范围; 刻线密度 - 测量精度 ( 10、25、5
2、0、100、125线/mm ),光栅传感器的结构和工作原理,光栅传感器的结构,光栅传感器的结构和工作原理,光 路,光栅传感器的结构,按运动形式分: 直线型-主光栅为直尺形直线移动 旋转型-主光栅为圆盘形旋转运动,按光学形式分: 透射式-光源与光电元件在两侧透射光 反射式-光源与光电元件同一侧反射光,光栅传感器的结构和工作原理,光栅传感器的结构,光栅传感器的结构和工作原理,光栅传感器的工作原理,条纹宽度:,W-栅距, a-线宽, b-缝宽,W=a+b ,a=b=W/2,特例:当 =0, w1=w2 B= 光闸莫尔条纹 当 =0, w1w2 纵向莫尔条纹,莫尔条纹(Moire),方向性:垂直于角平
3、分线,当夹角很小时 与光栅移动方向垂直 同步性:光栅移动一个栅距 莫尔条纹移动一个间距 方向对应 放大性:夹角很小 BW 光学放大 提高灵敏度 可调性:夹角 条纹间距B 灵活 准确性:大量刻线 误差平均效应 克服个别/局部误差 提高精度,莫尔条纹(Moire)的特性,光栅传感器的结构和工作原理,光栅传感器的工作原理,故 被测物体位移栅距脉冲数,光栅传感器的结构和工作原理,光栅传感器的工作原理,光栅传感器特点,精度高: 测长(0.2+210-6L)m, 测角0.1 量程大: 透射式-光栅尺长(米), 反射式-几十米 响应快: 可用于动态测量 增量式: 增量码测量 计数 断电数据消失 要求高: 对
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