蚀刻线岗位操作指引规范.doc

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1、XXXXXX电子科技有限公司 文件编号： 版本A：版次： 生效日期： 制 定审 核批 准日 期日 期日 期文件更改履历表修订版次更改性质、内容、摘要 修订页次修订日期文件会签：拟案单位于 内“”以示回签部门总经理 管理者代表市场部 工程部 制造部品保部 物控部 设备部管理部 财务部 采购部 研发部此文件为江西华浩源电子科技有限公司之机密文件，未经许可，不得复印。发行管制章 XXXXXX电子科技有限公司蚀刻线岗位操作规范制作单位： 文件编号： 生效日期： 版本号： 总页数：第1页 共6页1.0目的：规范员工操作,提高员工的操作技能。2.0适用范围：本规程只适用本公司蚀刻工序的D.E.S线。3.0

2、工艺流程3.1显影段： 撕聚酯膜入板显影1#/2#高压水洗1#2#3#4#市水洗1#冷风干热风干收板自检3.2 蚀刻段：入板蚀刻1#2#3#高压水洗5#6#7#市水洗2#检查3.3 去膜段：入板去膜1#2#高压水洗8#9#10#市水洗3#钝化1#2#3#高压水洗11#12#市水洗4#冷风干热风干出板4.0工艺参数曝光能量与显影参数对照表类别曝光能量显影温度显影速度药水浓度备注线路5级281.2-1.5m/minPH值10.4-11301.3-1.6m/minCO32- 8-15g/L321.5-1.8m/min线路6级281.3-1.5m/minPH值10.4-11301.4-1.6m/min

3、CO32- 8-15g/L321.6-1.8m/min线路7级281.3-1.5m/minPH值10.4-11301.5-1.7m/minCO32- 8-15g/L321.6-1.8m/min油墨7级28*m/minPH值10.4-11不准生产300.9-1.1m/minCO32- 8-15g/L只限于BGA产品321.0-1.2m/min油墨8级280.8-1.0m/minPH值10.4-11只限于BGA产品300.8-1.0m/minCO32- 8-15g/L只限于BGA产品321.0-1.2m/min油墨9级28*m/minPH值10.4-11不准生产300.7-0.9m/minCO32

4、- 8-15g/L只限于BGA产品320.8-1.0m/min油墨10级28*m/minPH值10.4-11不准生产300.7-0.9m/minCO32- 8-15g/L320.8-1.0m/min油墨11级28*m/minPH值10.4-11 不准生产300.6-0.8m/minCO32- 8-15g/L320.8-1.0m/min油墨12级300.8-1.0m/minPH值10.4-11带阻焊桥的产品320.9-1.1m/minCO32- 8-15g/L蚀刻线岗位操作规范制作单位： 文件编号： 生效日期： 版本号： 总页数：第2页 共6页缸名项目控制范围最佳值配槽量更换标准分析频率显 影（

5、800L）碳酸钾8-15 g/l10 g/l8kg每班或PH10.4时更换2次/班PH值10.4-1110.8上压力0.8-1.6 kg/cm21.2 kg/cm2下压力1.0-1.8 kg/cm21.5 kg/cm2温 度28-3230速 度干 膜：1. 2 - 1 . 8 m / m i n 此参数仅供参考，具体的参数由首件来确定，超出此范围的为异常现象，必须得到工程师的确认方可生产。感 光 线 路 油 墨 ： 0 . 6 - 1 .2 m / m i n阻 焊 油 墨 ： 0. . 6 - 1 . 2 m / m i n1HZ 等 于 0 . 0 3 6 米 每 分 钟 此 公式 只 限

6、于 显 影 速 度 调 试压力水洗压 力0.8-1.2 kg/cm21. .0 kg/cm2 1次/班热风吹干温 度50-7065蚀刻（1200L）铜离子120-150 g/L130 g/L1次/班盐 酸1.5-2.5 N2.0 N1次/班上压力1.2-2.0 kg/cm21.6 kg/cm238.8HZ频率显示1次/班下压力1.4-2.0 kg/cm21.8 kg/cm238.8HZ温 度49-5452单面板：0.5 OZ1.9-2.5 m/min2. 2 m/min注：此参数只供做首板参考,每批生产板必须先做首板,待首板OK后,再批量生产，批量生产时必须有专人检验板。单面板：1.0 OZ1

7、.1-1.4 m/min1.3 m/min双面板：0.5 OZ1.1-1.4m/min1.3 m/min双面板：1.0OZ1.0-1.3 m/min1.2 m/min双面板：2.0OZ0.2-0.5m/min0. 3 m / m i n 蚀 刻（1200L）1.0OZ（已加厚10-20um）0.6-0.9 m/min0.8 m/min注：速度计算公式：1hz等于0.036米每分钟此工式只限于 蚀刻 脱 膜计算方法0.5OZ（已加厚10-20um）0.9-1.2 m/min1.0 m/min0.15mm厚的钢片0.9-1.2 m/min1.0 m/min注：此参数只供做首板参考,每批生产板必须先

8、做首板,待首板OK后,再批量生产，量产时，每30pnl测试1次。0.2mm厚的钢片0.4-0.7 m/min0.5 m/min压力水洗压 力0.8-1.2 kg/cm21.0 kg/cm21次/班去 膜（600+600）L氢氧化钠3-5%4%25kg1次/4天1次/班上压力0.8-1.4 kg/cm21.1 kg/cm2下压力1.0-1.6 kg/cm21.3 kg/cm2消泡剂0.05-0.2%0.1%温 度50-6055速 度1.0-2.2 m/min1.6 m/min压力水洗压 力1.0-1.4 kg/cm21.2 kg/cm21次/班钝 化H2SO41-3%2%60L1次/3天1次/班

9、压 力1.0-1.4 kg/cm21.2 kg/cm2压力水洗压 力1.0-1.4 kg/cm21.2 kg/cm21次/班热风干温度75-10085D.E.S全线棉 芯20/5-10um20”/10um1次/周蚀刻线岗位操作规范制作单位： 文件编号： 生效日期： 版本号： 总页数：第3页 共6页5.0操作内容5.1蚀刻线开机前准备5.1.1检查药水槽，水洗槽液位是否正常，并使之正常。5.1.2检查各盖板是否盖好，没盖好必须盖好。5.1.3检查各输送轮是否清洁，不清洁必须清洗干净。5.1.4检查烘干段加热系统是否正常，不正常使之修复。5.1.5检查设备有否在维修保养中,如在维修保养中必需挂上标

10、识牌,待维修OK后再开机。5.1.6检查连接部位是否需加润滑油。 5.1.7检查急停开关是否复位。 5.2开机5.2.1开启主电源,机器电源。5.2.2轻触触摸屏,进入机器运行操作系统。5.2.3查看各段的温度是否正常，不正常的使之正常(各段的温度都由工程师设定好,严禁随意更改,若要更改,必须由工艺部专职工程师更改)。 5.2.4开喷淋前领班或储干检查输送轮、轴转动是否正常，如有跳动或不转等异常应做好记号，并通知设备组维修，待维修完毕后才能开机。 5.2.5显影开机：（依次打开）显影1#2#、摆动1#2#、水洗1#2#3#4#、冷风1#、热风1#。5.2.6蚀刻开机：轻触“下一页”按扭（依次打

11、开）蚀刻1#2#3#、摆动1#2#3#、水洗5#6#7#。5.2.7脱膜开机：（依次打开）脱膜1#2#、滚筒1#2#、吹膜1#2#、水洗8#9#10#、钝化1#2#3#、水洗11/12、冷风2、热风2、冷却风扇。5.2.8 三段喷淋开起后检查喷淋摇摆、喷淋喷嘴，无异常后再开传动。5.2.9轻触“传动速度”按扭，进入速度设定界面，轻触设定栏，输入所需的速度值，轻触“确定”按扭，确认速度。5.2.10轻触“控制”按扭，进入界面，轻触传动1#2#3#。5.2.11手动打开显影、蚀刻、脱膜、钝化后面的市水洗1#2#3#4#，并调至适当的流量（400L/h）。5.2.12打开控制柜的总电源开关。（里面所

12、有的设定参数，除了本工序的工程师外，其他人不准作任何修改设定）。5.3放板5.3.1将已曝光好的板撕掉聚酯膜后按操作示意图片平稳地放在转轮上，板与板之间的间隔为10cm以上，放板宽度不得超过530mm5.3.2如果铜厚0.5OZ以下的单面板必须带回形框或载板过机。5.3.3每放完一批板后面要放上一张绿板或引导板作标记。5.3.4显影后产品必须有专人自检，自检合格后方可放入蚀刻机。5.3.5蚀刻后必须抽检，控制欠蚀刻的板进入脱膜段。 5.3.6显影、蚀刻、首件前，必须先核对首件上的产品型号、版本号与流转单上的是否一致，梳对无误后再进行生产。开始生产批量前，必须先核对产品型号、版本号与流转单是否一

13、致，领代班或负责人每1小时抽查一次产品型号、版本号与流转单是否一致。 蚀刻线岗位操作规范制作单位： 文件编号： 生效日期： 版本号： 总页数：第4页 共6页5.4接板5.4.1戴棉手套或指套双手对角拿板,将板平整的放绿板上，注意拿板位置尽量拿板边缘。 5.4.2将生产板与绿胶片摆放整齐。5.4.3连续生产时，一旦发现出板不连续必须立即查看蚀刻机是否在卡板。如果出现卡板，立即按下红色的急停按扭，由领班或储干轻轻取出所卡之板，如取出所卡之板需拿出输送轮、轴时，要由领班或储干拿出，并做好记号，按原位装回，不得调乱位置。5.5关机 5.5.1将各水洗槽的进水阀门关闭，最后关闭总水阀。5.5.2按开机相

14、反顺序关机。6.0注意事项6.1添加物料时必须戴胶手套及防护眼罩、防酸围裙和水鞋(如图1)。6.2机器卡板时必须立即按下红色的急停按扭使机器停下后再开盖取板(如在药水缸处卡必须戴好防护用具再开盖取板，取出后即刻将板清洗干净)。6.3入料时应尽量使板位于机器中间位置,以保证受喷洒位置最好。6.4入料时板与板间距应在10cm以上, 宽度应在530mm以内，防止出现卡板（特别是单面板）。6.5铜厚0.5OZ以下的单面板必须带回形框或载板过机。6.6蚀刻钢片时必须在显影后转丝印用110烘烤12min,然后再蚀刻。6.7接板人员必须戴绵手套或指套作业,并将板放整齐。6.8每批板批量生产前必须先做首板,首

15、板张数等于菲林数(曝光、显影、蚀刻时每批每次只蚀刻2PNL)，待首板OK后，再量产。6.9在每班生产前必须通知化验室分析药水及测量各药水缸温度。6.10蚀刻线生产时显影必须自检，蚀刻后必须抽检。6.11生产线药水添加时必须有领代班、主管或工程师在场确认，避免意外事件发生。6.12如发生药水泄漏、火灾等异常时,请按紧急应变措施办法(QCW091)处理。6.13显影换缸时，先加水到液位再加碳酸钾，保养时先加水开启循环后再加氢氧化钠并手动搅拌，以免氢氧化钠结成块。7.0维护保养 7.1.1每班对机身及机台清洁一次。 7.1.2每2小时检查各压力,温度液及喷嘴是否正常,并使之正常。 7.1.3每2小时

16、检查显影,去膜段消泡是正常，每次补加消泡剂300ml稀释成1000ml后加入。7.1.4每2小时用清水（DI水）清洗吸水棉辘一次。 7.1.5每班检查传送链条及输送轮转动,仪表是否正常,是否需加润滑油。 7.1.6每班清洁蚀刻药水箱过滤袋一次。 7.1.7每班清洁去膜的干膜渣一次。 7.1.8每三天更换显影段的水洗缸一次，换水时用碎布擦洗缸壁。 7.1.9每三天对蚀刻、去膜、钝化的水缸更换水洗一次。 7.1.10每三天对全线的棉芯及水泵过滤网清洁一次。7.1.11每周全线的棉过滤芯更换一次。7.1.12每周烘干段风机空气滤棉反吹清洁一次(需设备组配合,如太脏需更换）蚀刻线岗位操作规范制作单位：

17、 文件编号： 生效日期： 版本号： 总页数：第5页 共6页7.2设备的保养 7.2.1显影段保养（半个月一次） 7.2.1.1排掉缸内的药水和水。7.2.1.2用清水清洗缸壁，必须清除污物、沉淀及结晶体，清洗废水排入废水站综合废水池净化排放处理。7.2.1.3加水至液位，加1桶（25kg）氢氧化钠（NaOH），喷淋循环1-2小时后排掉。 7.2.1.4加清水，开启喷淋30分钟后排掉。 7.2.1.5加水至液位，加2桶硫酸，喷淋循环1-2小时后排掉。7.2.1.6加水喷淋30min排掉，拆下喷嘴清洗，安装（保证喷嘴成“一”型）调整摆架7.2.1.7所有废液和清洗废水排入废水站综合废水池净化排放处

18、理7.2.1.8加水至液位，加8kgK2CO3，循环升温。 7.2.1.9各水洗缸排掉原水后按7.2.1.27.2.1.6流程保养，但是氢氧化钠及硫酸都是用5%，具体添加量由各缸的体积来决定，而无喷嘴段的滚轮要用高压水枪冲洗。7.2.1.10风干段的滚轮要取出清洗（需设备组协助，取出时做好顺序标记，按原位装回）。风刀用压缩空气进行清洁。 7.2.1.11保养好后，要检查各滚轮运行是否正常，确保无误后方可进行生产。 （显影缸体上的油墨残渣，在用碱进行循环前先用洗网水擦干净）。7.2.2蚀刻段保养（每2个月一次） 7.2.2.1将蚀刻液用桶装起来。7.2.2.2用水清洗缸体内的杂质及沉淀后排掉，清

19、洗废水排入废水站综合废水池净化排放处理。7.2.2.3用5%的氢氧化钠（NaOH）循环1-2小时后排掉，再加清水循环15分钟后排掉，氢氧化钠清洗液和清洗废水排入废水站综合废水池净化排放处理。 7.2.2.4用5%的盐酸循环30分钟后排掉，再加清水循环15分钟后排掉，盐酸清洗液和清洗废水排入废水站综合废水池净化排放处理。 7.2.2.5拆下喷嘴清洗疏通，安装喷嘴调整为“一”字型。 7.2.2.6将药水抽回缸里循环升温。 7.2.2.7对于水洗缸排掉原水后按7.2.2.2-7.2.2.5进行保养，而喷洒不到的滚轮要用高压水枪冲洗干净。7.2.2.8保养好后，要检查各滚轮运行是否正常，确保无误后方可

20、进行生产。7.2.3去膜段保养（1个月一次）7.2.3.1排掉原液，加清水循环20分钟排掉，。7.2.3.2去膜缸及其水洗缸：用5%的硫酸循环1-2小时后排掉，再加清水循环半小时后排掉。7.2.3.3钝化缸及其水洗缸：用5%的氢氧化钠（NaOH）循环1-2小时后排掉，再用5%的硫酸循环半小时后排掉。7.2.3.4所有废液和清洗废水排入废水站综合废水池净化排放处理7.2.3.5风干段的滚轮要取出清洗（需设备组协助，取出时做好顺序标记，按原位装回）7.2.3.6保养好后，要检查各传送轮运行是否正常，有无不转或跳动，确保无误后方可进行生产。蚀刻线岗位操作规范制作单位：工艺部文件编号： 生效日期： 版

21、本号： 总页数：第6页 共6页8.0异常问题与对策显影不净1.温度过低。 2.速度过快。3.喷嘴堵塞。 4.预烘时间过长。5.药液浓度过低。 6.曝光能量过高。7.压力过低。 8.油墨过厚。9.菲林擦花或粘有油墨。1.检查加热管是否正常，提高温度。2.调慢速度。 3.清洗喷嘴。4.减少预烘时间 。5. 分析调整或换缸。6.降低曝光能量。 7.调整压力。8.减慢显影速度。 9.检查菲林。显影过度1.温度过高。 2.速度太慢。3.药水浓度偏高。4.压力过大。5. 预烘时间短。 6.曝光能量低。7.油墨太薄。1.调整温度。 2.调快速度。3.加水调整浓度。4.减小压力。5.加长预烘时间。6.增加曝光

22、能量。7.加快显影速度。欠蚀刻1. 温度过低。 2. 蚀刻速度过快。3. 药液浓度过低。4. 喷嘴堵塞。5. 压力过低。 6.板面有铜粒/胶。7.显影不净。 8.铜后度不均。1. 调整温度。 2. 调慢速度。3.按药水最佳值添加。4.清洗疏通喷嘴。5. 调整压力。 6.贴膜前处理铜面。7.调整显影参数。8.镀铜控制其厚度。过蚀刻1. 温度过高。 2.蚀刻速度过慢。3.药水浓度偏高。4.压力过大。1.调整温度。 2. 调快速度。3.控制药水的浓度。4.减小压力。去膜不干净1. 温度过低。 2.去膜速度过快。3.药水浓度过低。1. 调整温度。 2. 调快速度。3.分析，补加氢氧化钠。9.0环境9.1每班将机身用抹布擦干净。9.2将所有物料及引导板/引导板按相应标识处摆放整齐。9.3地面要经常打扫，保证无积水。9.4每班下班前把垃圾分类处理。10.0附表10.1蚀刻线生产及加药记录表。10.2蚀刻线自检表。10.3设备日常维护保养记录。