电阻应变式传感器 (2)PPT讲稿.ppt
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1、电阻应变式传感器第1页,共84页,编辑于2022年,星期一有一个电阻为有一个电阻为120,K=2的应变片,粘贴在弹性极限为的应变片,粘贴在弹性极限为400MN/m2,弹性模量为,弹性模量为200GN/m2的钢件上,的钢件上,1)当应力等于弹性范围的)当应力等于弹性范围的1/10时;时;2)如果应变片材料为康铜丝()如果应变片材料为康铜丝(=2010-6/,膨胀系数为,膨胀系数为1210-6m/m,钢膨胀系数为钢膨胀系数为1610-6m/m),温度变化),温度变化20;试分别计算此应变片的电阻变化。试分别计算此应变片的电阻变化。第2页,共84页,编辑于2022年,星期一1.1.电电阻阻应应变变式
2、式传传感感器器:利利用用电电阻阻应应变变片片将将应应变变转转换换为为电电阻阻变变化化的的传传感感器器,传传感感器器由由在在弹弹性性元元件件上上粘粘贴贴电电阻阻应应变变敏感元件构成。敏感元件构成。2.2.工工作作过过程程:被被测测物物理理量量弹弹性性元元件件弹弹性性元元件件变变形形敏敏感感元件元件阻值变化阻值变化测量电路测量电路电量输出电量输出3.3.应应用用:应应变变式式电电阻阻传传感感器器是是目目前前测测量量力力、力力矩矩、压压力力、加加速度、重量等参数应用最广泛的传感器。速度、重量等参数应用最广泛的传感器。电阻应变式传感器:电阻应变式传感器:3第3页,共84页,编辑于2022年,星期一5.
3、1 5.1 电阻应变片电阻应变片工作原理工作原理应变效应应变效应:电阻应变片的工作原理是基于:电阻应变片的工作原理是基于应变效应应变效应,即在导体或,即在导体或半导体材料在半导体材料在外力作用下外力作用下产生机械变形时,它的电阻值相应发生产生机械变形时,它的电阻值相应发生变化。变化。一根金属电阻丝,在其未受力时,原始电阻值为一根金属电阻丝,在其未受力时,原始电阻值为式中:式中:电阻丝的电阻率电阻丝的电阻率;L L 电阻丝的长度;电阻丝的长度;S S 电阻丝的截面积。电阻丝的截面积。一、一、应变效应(电阻应变效应(电阻应变特性)应变特性)4第4页,共84页,编辑于2022年,星期一金属电阻丝的应
4、变效应金属电阻丝的应变效应金属电阻丝的应变效应5第5页,共84页,编辑于2022年,星期一当当电电阻阻丝丝受受到到拉拉力力F作作用用时时,将将伸伸长长L,横横截截面面积积相相应应减减小小S,电电阻阻率率将将因因晶晶格格发发生生变变形形等等因因素素而而改改变变,故故引引起起电电阻阻值值相相对对变变化化量为量为式中:式中:dL/LdL/L长度相对变化量,用应变长度相对变化量,用应变表示:表示:dS/DdS/D圆形电阻丝的截面积相对变化量,即圆形电阻丝的截面积相对变化量,即应变效应应变效应:6第6页,共84页,编辑于2022年,星期一由由材材料料力力学学可可知知,在在弹弹性性范范围围内内,金金属属丝
5、丝受受拉拉力力时时,沿沿轴轴向向伸长,伸长,沿径向沿径向缩短,那么缩短,那么轴向轴向应变和应变和径向径向应变的关系可表示为:应变的关系可表示为:式中:式中:电阻丝材料的泊松比,负号表示应变方向相反。电阻丝材料的泊松比,负号表示应变方向相反。可得可得或或应变效应应变效应:7第7页,共84页,编辑于2022年,星期一电电阻阻丝丝的的灵灵敏敏系系数数:通通常常把把单单位位应应变变能能引引起起的的电电阻阻值值变变化化称称为为电电阻丝的灵敏系数。阻丝的灵敏系数。灵敏度系数受两个因素影响:灵敏度系数受两个因素影响:受力后材料几何尺寸的变化,即(受力后材料几何尺寸的变化,即(1+2););受力后材料的电阻率
6、发生的变化,即(受力后材料的电阻率发生的变化,即(d/)/。大量实验证明,在电阻丝拉伸极限内,电阻的相对变化与应大量实验证明,在电阻丝拉伸极限内,电阻的相对变化与应变成正比,即变成正比,即KS为常数。为常数。二、电阻丝的灵敏系数:二、电阻丝的灵敏系数:8第8页,共84页,编辑于2022年,星期一灵敏系数灵敏系数定义定义K=(dR/R)/K=(dR/R)/为应变片的灵敏系数。它表示安装在被测试件为应变片的灵敏系数。它表示安装在被测试件上的上的应变应变在其轴向受到单向应力时,引起的电阻在其轴向受到单向应力时,引起的电阻相对变化相对变化(dR/R)(dR/R)与其单向应力引起的试件表面轴向与其单向应
7、力引起的试件表面轴向应变应变()之比。之比。注注:应变片的灵敏系数并不等于其:应变片的灵敏系数并不等于其敏感栅整长应变丝敏感栅整长应变丝的灵敏的灵敏系数,这是因为在单向应力产生应变时,应变片的灵敏系数,这是因为在单向应力产生应变时,应变片的灵敏系数除受到敏感栅结构系数除受到敏感栅结构形状形状、成型、成型工艺工艺、粘结剂粘结剂和和基底基底性性能的影响外,尤其受到栅端圆弧部分能的影响外,尤其受到栅端圆弧部分横向效应横向效应的影响。的影响。9第9页,共84页,编辑于2022年,星期一当当测测得得应应变变片片电电阻阻值值变变化化量量R时时,便便可可得得到到被被测测对对象象的的应应变变值。根据值。根据应
8、力应力与与应变应变的关系,得到应力值的关系,得到应力值为为=E式中式中:试件的应力;试件的应力;试件的应变;试件的应变;EE试件材料的弹性模量。试件材料的弹性模量。应力值应力值应变应变电阻值的变化电阻值的变化R输出电量输出电量U这就是利用应变片这就是利用应变片测量应变测量应变的基本原理。的基本原理。三、应变片测量应变的基本原理三、应变片测量应变的基本原理10第10页,共84页,编辑于2022年,星期一电阻应变式传感器原理演示电阻应变式传感器原理演示电阻应变式传感器原理演示电阻应变式传感器原理演示11第11页,共84页,编辑于2022年,星期一5.2 5.2 电阻应变片的种类及参数电阻应变片的种
9、类及参数一、一、电阻应变片的种类电阻应变片的种类常用应变片分常用应变片分两两类:类:金属电阻金属电阻应变片和应变片和半导体电阻半导体电阻应变片。应变片。1.金属应变片组成金属应变片组成:敏感栅、基片、覆盖层和引线,如图。:敏感栅、基片、覆盖层和引线,如图。敏敏感感栅栅是是应应变变片片的的核核心心部部分分,它它粘粘贴贴在在绝绝缘缘的的基基片片上上,其其上再粘贴起保护作用的覆盖层,两端焊接引出导线。上再粘贴起保护作用的覆盖层,两端焊接引出导线。金属电阻应变片的敏感栅有金属电阻应变片的敏感栅有丝式、丝式、箔式箔式和和薄膜式薄膜式三种。三种。12第12页,共84页,编辑于2022年,星期一金属电阻应变
10、片的结构金属电阻应变片的结构2.2 2.2 电阻应变片的种类及特性电阻应变片的种类及特性1 1)基底:)基底:固定敏感栅及绝缘;固定敏感栅及绝缘;0.020.020.04mm0.04mm厚;纸质或胶质。厚;纸质或胶质。2 2)电阻丝:)电阻丝:金属丝绕成栅状,敏感栅。金属丝绕成栅状,敏感栅。d=0.015=0.0150.05mm0.05mm。作用:感应变的变化大小。作用:感应变的变化大小。3 3)覆盖层:)覆盖层:作用,防潮、防蚀、防损等。作用,防潮、防蚀、防损等。4 4)引线:)引线:通常取直径约为通常取直径约为0.10.10.15mm0.15mm的低阻镀锡铜线的低阻镀锡铜线13第13页,共
11、84页,编辑于2022年,星期一1.丝丝式式金金属属应应变变片片的的敏敏感感栅栅由由直直径径0.01mm0.05mm的的电电阻阻丝丝平平行行排列而成。排列而成。2.箔箔式式应应变变片片是是利利用用光光刻刻、腐腐蚀蚀等等工工艺艺制制成成的的一一种种很很薄薄的的金金属属箔箔栅栅,其其厚厚度度一一般般在在0.0030.01mm。其其优优点点是是散散热热条条件件好好,允允许许通通过过的的电流较大电流较大,可制成各种所需的形状,便于批量生产。,可制成各种所需的形状,便于批量生产。3.薄薄膜膜应应变变片片是是采采用用真真空空蒸蒸发发或或真真空空沉沉淀淀等等方方法法在在薄薄的的绝绝缘缘基基片片上上形形成成0
12、.1m以以下下的的金金属属电电阻阻薄薄膜膜的的敏敏感感栅栅,最最后后再再加加上上保保护护层层。它的它的优点是优点是应变灵敏度系数大,应变灵敏度系数大,工作温度范围较广工作温度范围较广。2.2 2.2 电阻应变片的种类及特性电阻应变片的种类及特性14第14页,共84页,编辑于2022年,星期一应变片的粘贴应变片的粘贴(1 1)准备:)准备:试件,打磨试件,打磨清洗净打磨面清洗净打磨面划线划线涂一薄层粘结剂作底;应变计,涂一薄层粘结剂作底;应变计,外表和阻值检查外表和阻值检查刻划轴向标记刻划轴向标记清洗。清洗。(2 2)涂胶:)涂胶:在准备好的试件表面和应变片基底上均匀涂一薄层粘结剂。在准备好的试
13、件表面和应变片基底上均匀涂一薄层粘结剂。(3 3)贴片:)贴片:按坐标线对准贴上按坐标线对准贴上用手指顺轴向滚压用手指顺轴向滚压固化处理。固化处理。(4 4)复查:)复查:贴片偏差、阻值变化、引线和试件间的绝缘电阻。贴片偏差、阻值变化、引线和试件间的绝缘电阻。(5 5)接线:)接线:通过中介接线片(柱)把应变片引线和导线焊接并加固。通过中介接线片(柱)把应变片引线和导线焊接并加固。(6 6)防防护护:涂涂以以中中性性凡凡士士林林油油,石石蜡蜡(短短期期防防潮潮);或或石石蜡蜡松松香香黄黄油油的的混混合合剂剂(长长期期防防潮潮);或环氧树脂,氯丁橡胶,清漆等(防机械划伤)。;或环氧树脂,氯丁橡胶
14、,清漆等(防机械划伤)。第15页,共84页,编辑于2022年,星期一(a)箔式应变片箔式应变片(b)电阻丝式应变片电阻丝式应变片(c)丝式应变片丝式应变片几种常用应变片的基本形式几种常用应变片的基本形式几种常用应变片的基本形式几种常用应变片的基本形式16第16页,共84页,编辑于2022年,星期一金属电阻应变片的材料金属电阻应变片的材料对电阻丝材料应有如下要求:对电阻丝材料应有如下要求:灵敏系数大,灵敏系数大,且在相当大的应变范围内保持常数;且在相当大的应变范围内保持常数;电电阻阻率率:值值大大,即即在在同同样样长长度度、同同样样横横截截面面积积的的电电阻阻丝丝中中具具有有较较大的电阻值;大的
15、电阻值;电阻温度系数小,否则因环境温度变化也会改变其阻值;电阻温度系数小,否则因环境温度变化也会改变其阻值;与铜线的焊接性能好,与铜线的焊接性能好,与其它金属的与其它金属的接触电势小接触电势小;机械强度高,机械强度高,具有优良的机械加工性能。具有优良的机械加工性能。17第17页,共84页,编辑于2022年,星期一表表5-1常用金属电阻丝材料的性能常用金属电阻丝材料的性能18第18页,共84页,编辑于2022年,星期一康铜康铜是目前应用最广泛的是目前应用最广泛的应变丝材料应变丝材料,这是由于它有很多优点:,这是由于它有很多优点:1.康康铜铜的的电电阻阻温温度度系系数数较较小小且且稳稳定定,当当采
16、采用用合合适适的的热热处处理理工工艺艺时时,可可使使电电阻阻温温度度系系数数在在2010-6/的范围内;的范围内;2.灵灵敏敏系系数数稳稳定定性性好好,不不但但在在弹弹性性变变形形范范围围内内能能保保持持为为常常数数,进进入入塑塑性性变变形形范范围围内内也也基基本上能保持为常数;本上能保持为常数;3.康铜的加工性能好康铜的加工性能好,易于焊接,易于焊接.因而国内外多以康铜作为应变丝材料。因而国内外多以康铜作为应变丝材料。19第19页,共84页,编辑于2022年,星期一20横横向向效效应应:应应变变片片粘粘贴贴在在被被测测试试件件上上时时,由由于于其其敏敏感感栅栅是是由由n条条长长度度为为L1的
17、的直直线线段段和和(n-1)个半径为)个半径为r的的半圆半圆组成。组成。若若该该应应变变片片承承受受轴轴向向应应力力而而产产生生应应变变x时时,则则各各直直线线段段的的电电阻阻将将增增加加,但但在在半半圆圆弧弧段段则则受受到到从从+x到到-x之之间间变变化化的的应应变变,圆圆弧弧段段电电阻阻的的变变化化将将小小于于沿沿轴轴向向安安放放的的同同样样长长度电阻丝电阻的变化。度电阻丝电阻的变化。综综上上所所述述,将将直直的的电电阻阻丝丝绕绕成成敏敏感感栅栅后后,虽虽然然长长度度不不变变,应应变变状状态态相相同同,但但由由于于应应变变片片敏敏感感栅栅的的电电阻阻变变化化较较小小,因因而而敏敏感感栅栅的
18、的灵灵敏敏系系数数K,较较电电阻阻丝丝的的灵灵敏敏系系数数K0小小,这这种种现现象象称为应变片的称为应变片的横向效应横向效应。横向效应横向效应第20页,共84页,编辑于2022年,星期一21(a)应变片及轴向受力图应变片及轴向受力图(b)应变片的横向效应图应变片的横向效应图应变片轴向受力及横向效应应变片轴向受力及横向效应应变片轴向受力及横向效应应变片轴向受力及横向效应第21页,共84页,编辑于2022年,星期一半导体应变片的工作原理是基于半导体材料的压阻效应而制半导体应变片的工作原理是基于半导体材料的压阻效应而制成的一种纯电阻性元件。当半导体材料某一轴向受外力作用成的一种纯电阻性元件。当半导体
19、材料某一轴向受外力作用时,其电阻率会发生变化时,其电阻率会发生变化 2.半导体应变片半导体应变片第22页,共84页,编辑于2022年,星期一第23页,共84页,编辑于2022年,星期一压阻效应压阻效应:是指半导体材料在是指半导体材料在某一轴向某一轴向受外力作用时,其受外力作用时,其电阻电阻率率发生变化的现象。发生变化的现象。半导体应变片受轴向力作用时,其电阻半导体应变片受轴向力作用时,其电阻相对变化相对变化为为式式中中,d/为为半半导导体体应应变变片片的的电电阻阻率率相相对对变变化化量量,其其值值与与半半导体敏感元件在导体敏感元件在轴向所受轴向所受的的应力应力关系为关系为2.半导体应变片半导体
20、应变片24第24页,共84页,编辑于2022年,星期一实实验验证证明明,E比比(1+2)大大上上百百倍倍,所所以以(1+2)可可以以忽忽略略,因而半导体应变片的灵敏系数为因而半导体应变片的灵敏系数为半半导导体体应应变变片片突突出出优优点点是是灵灵敏敏度度高高,比比金金属属丝丝式式高高5080倍倍,尺尺寸寸小小、横横向向效效应应小小、动动态态响响应应好好;但但它它有有温温度度系系数数大大、应应变变时时非线性非线性比较严重等缺点。比较严重等缺点。2.半导体应变片半导体应变片25第25页,共84页,编辑于2022年,星期一1.应变片的温度误差应变片的温度误差由由于于测测量量现现场场环环境境温温度度的
21、的改改变变而而给给测测量量带带来来的的附附加加误误差差,称称为为应应变变片片的的温温度度误差误差。产生应变片温度误差的。产生应变片温度误差的主要因素主要因素有两个方面有两个方面:(1)电阻温度系数电阻温度系数的影响的影响R Rt t=R=R0 0(1+1+0 0tt)式中式中:R:Rt t温度为温度为 t t 时的电阻值;时的电阻值;R R0 0温度为温度为t t0 0时的电阻值;时的电阻值;0 0金属丝的电阻金属丝的电阻温度系数温度系数;tt温度变化值,温度变化值,t=t-tt=t-t0 0。当当温度变化温度变化tt时,电阻丝电阻的变化值为:时,电阻丝电阻的变化值为:RR=R=Rt t-R-
22、R0 0=R=R0 00 0tt三、应变片的温度误差及补偿三、应变片的温度误差及补偿26第26页,共84页,编辑于2022年,星期一(2)试件材料和电阻丝材料的试件材料和电阻丝材料的线膨胀系数线膨胀系数的影响的影响当当试试件件与与电电阻阻丝丝材材料料的的线线膨膨胀胀系系数数相相同同时时,不不论论环环境境温温度度如如何何变变化化,电电阻阻丝丝的的变变形形仍仍和和自自由由状状态态一一样样,不不会会产产生生附附加加变变形形。当当试试件件和和电电阻阻丝丝线线膨膨胀胀系系数数不不同同时时,由由于于环环境境温温度度的的变变化化,电电阻阻丝丝会会产产生生附附加变形,从而产生加变形,从而产生附加电阻附加电阻。
23、设设电电阻阻丝丝和和试试件件在在温温度度为为0时时的的长长度度均均为为L0,它它们们的的线线膨膨胀胀系系数数分别为分别为s和和g,若两者不粘贴,则它们的长度分别为:,若两者不粘贴,则它们的长度分别为:电阻丝:电阻丝:Ls=L0(1+st)试件:试件:Lg=L0(1+gt)三、三、应变片的温度误差及补偿应变片的温度误差及补偿27第27页,共84页,编辑于2022年,星期一当当二二者者粘粘贴贴在在一一起起时时,电电阻阻丝丝产产生生的的附附加加变变形形L、附附加加应应变变和和附附加电阻变化加电阻变化R分别为:分别为:L=LL=Lg g-L-Ls s=(g g-s s)L L0 0t t =L/L=L
24、/L0 0=(g-sg-s)tt RR=K=K0 0 R R0 0=K=K0 0 R R0 0(g-sg-s)tt由由以以上上各各式式,可可得得由由于于温温度度变变化化而而引引起起应应变变片片总总电电阻阻相相对对变变化量化量为:为:三、三、应变片的温度误差及补偿应变片的温度误差及补偿28第28页,共84页,编辑于2022年,星期一折合成折合成附加应变量附加应变量t,有,有引起应变片的温度误差引起应变片的温度误差:1.因因环境温度变化环境温度变化而引起的附加电阻的相对变化量,除了与环境温度有关而引起的附加电阻的相对变化量,除了与环境温度有关外,还与外,还与应变片自身的性能参数(应变片自身的性能参
25、数(K0、0、s)以及以及被测试件线膨胀系数被测试件线膨胀系数g有关。有关。三、三、应变片的温度误差及补偿应变片的温度误差及补偿29第29页,共84页,编辑于2022年,星期一2.电阻应变片的温度补偿方法电阻应变片的温度补偿方法电阻应变片的温度补偿方法通常有电阻应变片的温度补偿方法通常有线路补偿法线路补偿法和和应变片自补偿应变片自补偿两大类。两大类。(1)线路补偿法线路补偿法电电桥桥补补偿偿是是最最常常用用的的,且且效效果果较较好好的的线线路路补补偿偿法法。电电桥桥输输出出电电压压U0与与桥桥臂臂参参数的关系为:数的关系为:U0=A(R1R4-RBR3)式中:式中:AA由桥臂电阻和电源电压决定
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