第十章波式传感器精选文档.ppt
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1、第十章波式传感器本讲稿第一页,共八十八页引言引言超声波技术是一门以物理、电子、机械及材料学为基础的,各行超声波技术是一门以物理、电子、机械及材料学为基础的,各行各业都使用的通用技术之一。它是通过超声波产生、传播以及接各业都使用的通用技术之一。它是通过超声波产生、传播以及接收这个物理过程来完成的。超声波在液体、固体中衰减很小,穿收这个物理过程来完成的。超声波在液体、固体中衰减很小,穿透能力强,特别是对不透光的固体,超声波能穿透几十米的厚度。透能力强,特别是对不透光的固体,超声波能穿透几十米的厚度。当超声波从一种介质入射到另一种介质时,由于在两种介质中的当超声波从一种介质入射到另一种介质时,由于在
2、两种介质中的传播速度不同,在介质面上会产生反射、折射和波型转换等现象。传播速度不同,在介质面上会产生反射、折射和波型转换等现象。超声波的这些特性使它在检测技术中获得了广泛的应用,如超声超声波的这些特性使它在检测技术中获得了广泛的应用,如超声波无损探伤、厚度测量、流速测量、超声显微镜及超声成像等。波无损探伤、厚度测量、流速测量、超声显微镜及超声成像等。本讲稿第二页,共八十八页超声波及其物理性质超声波及其物理性质1超声波传感器的原理超声波传感器的原理2超声波传感器应用超声波传感器应用3本讲稿第三页,共八十八页10.1超声波及其物理性质超声波及其物理性质1、超声波的概念和波形、超声波的概念和波形机械
3、振动在弹性介质内的传播称为波动,简称为波。人能机械振动在弹性介质内的传播称为波动,简称为波。人能听见声音的频率为听见声音的频率为20Hz20kHz,即为声波,超出此频,即为声波,超出此频率范围的声音,即率范围的声音,即20Hz以下的声音称为次声波,以下的声音称为次声波,20kHz以上的声音称为超声波,一般说话的频率范围为以上的声音称为超声波,一般说话的频率范围为100Hz8kHz。超声波为直线传播方式,频率越高,绕射能力越弱,超声波为直线传播方式,频率越高,绕射能力越弱,但反射能力越强但反射能力越强 10.1.1 超声波的基本概念超声波的基本概念 本讲稿第四页,共八十八页图10-1声波的频率界
4、限图 当当超超声声波波由由一一种种介介质质入入射射到到另另一一种种介介质质时时,由由于于在在两两种种介介质质中中传传播播速速度度不不同同,在在介介质质界界面面上上会会产产生生反反射射、折折射射和和波波型型转转换等现象。换等现象。本讲稿第五页,共八十八页超声波的波型及其传播速度超声波的波型及其传播速度声声源源在在介介质质中中施施力力方方向向与与波波在在介介质质中中传传播播方方向向的的不不同同,声声波波的的波波型型也也不不同。通常有:同。通常有:纵纵波波:质质点点振振动动方方向向与与波波的的传传播播方方向向一一致致的的波波,它它能能在在固固体体、液体和气体介质中传播;液体和气体介质中传播;横横波波
5、:质质点点振振动动方方向向垂垂直直于于传传播播方方向向的的波波,它它只只能能在在固固体体介介质质中中传传播;播;表表面面波波:质质点点的的振振动动介介于于横横波波与与纵纵波波之之间间,沿沿着着介介质质表表面面传传播播,其其振振幅幅随随深深度度增增加加而而迅迅速速衰衰减减的的波波,表表面面波波只只在在固固体体的的表表面面传传播。播。本讲稿第六页,共八十八页 超超声声波波的的传传播播速速度度与与介介质质密密度度和和弹弹性性特特性性有有关关。超超声声波波在在气气体体和和液液体体中中传传播播时时,由由于于不不存存在在剪剪切切应应力力,所所以以仅仅有有纵纵波波的的传传播播,其其传传播播速速度度c为为 式
6、中:式中:介质的密度;介质的密度;Ba绝对压缩系数。绝对压缩系数。上上述述的的、Ba都都是是温温度度的的函函数数,使使超超声声波波在在介介质质中中的的传传播播速速度度随随温温度的变化而变化。度的变化而变化。本讲稿第七页,共八十八页0100范围内蒸馏水声速随温度的变化范围内蒸馏水声速随温度的变化 本讲稿第八页,共八十八页 从从表表可可见见,蒸蒸馏馏水水温温度度在在0100范范围围内内,声声速速随随温温度度的的变变化化而而变变化化,在在74 时时达达到到最最大大值值,大大于于74 后后,声声速速随随温温度度的的增增加加而而减减小。此外,水质、压强也会引起声速的变化。小。此外,水质、压强也会引起声速
7、的变化。在在固固体体中中,纵纵波波、横横波波及及其其表表面面波波三三者者的的声声速速有有一一定定的的关关系系,通通常常可可认认为为横横波波声声速速为为纵纵波波的的一一半半,表表面面波波声声速速为为横横波波声声速速的的90%。气气体中纵波声速为体中纵波声速为344 m/s,液体中纵波声速在,液体中纵波声速在9001900m/s。本讲稿第九页,共八十八页超声波的反射和折射超声波的反射和折射 声声波波从从一一种种介介质质传传播播到到另另一一种种介介质质,在在两两个个介介质质的的分分界界面面上上一一部部分分声声波波被被反反射射,另另一一部部分分透透射射过过界界面面,在在另另一一种种介介质质内内部部继继
8、续续传传播播。这这样的两种情况称之为声波的反射和折射。样的两种情况称之为声波的反射和折射。本讲稿第十页,共八十八页 由由物物理理学学知知,当当波波在在界界面面上上产产生生反反射射时时,入入射射角角的的正正弦弦与与反反射射角角的的正正弦弦之之比比等等于于波波速速之之比比。当当波波在在界界面面处处产产生生折折射射时时,入入射射角角的的正正弦弦与与折折射射角角的的正正弦弦之之比比,等等于于入入射射波波在在第第一一介介质质中中的的波波速速c1与与折折射射波波在在第第二介质中的波速二介质中的波速c2之比,即之比,即 本讲稿第十一页,共八十八页声波的反射系数和透射系数可分别由如下两式求得:式中:I0,Ir
9、,It分别为入射波、反射波、透射波的声强;、分别为声波的入射角和折射角;z1、z2分别为两介质的声阻抗。本讲稿第十二页,共八十八页当超声波垂直入射界面,即=0时,则可知,若可知,若z2zc1,则反射系数,则反射系数R0,透射系数,透射系数T1,此,此时声波几乎没有反射,全部从第一介质透射入第二介质;时声波几乎没有反射,全部从第一介质透射入第二介质;若若z2z1,反射系数反射系数R1,则声波在界面上几乎全反射,则声波在界面上几乎全反射,透射极少。同理,当透射极少。同理,当z1 z2时,反射系数时,反射系数R1,声波在,声波在界面上几乎全反射。如:在界面上几乎全反射。如:在20 水温时,水的特性阻
10、抗为水温时,水的特性阻抗为z1=1.48106kg/(m2s),空气的特性阻抗为空气的特性阻抗为z2=0.000 429106 kg/(m2s),z1 z2,故超声波从水介质中传播至故超声波从水介质中传播至水气界面时,水气界面时,将发生全反射。将发生全反射。本讲稿第十三页,共八十八页超声波的声速和波长超声波的声速和波长(1)声速)声速 纵波、横波及表面波的传播速度取决于介质的弹性系数、介纵波、横波及表面波的传播速度取决于介质的弹性系数、介质的密度以及声阻抗质的密度以及声阻抗。介质的声阻抗介质的声阻抗Z等于介质的密度等于介质的密度和声速和声速c的乘积,即的乘积,即Z=c(2)波长)波长超声波的波
11、长超声波的波长与频率与频率f乘积恒等于声速乘积恒等于声速c,即,即 f=c 本讲稿第十四页,共八十八页常用材料的密度、声阻抗与声速(常用材料的密度、声阻抗与声速(0)材材 料料密度密度(103kgm-1)声阻抗声阻抗Z(103MPas-1)纵波声速纵波声速cL(km/s)横波声速横波声速cs(km/s)钢钢7.8465.93.23铝铝2.7176.323.08铜铜8.9424.72.05有机玻璃有机玻璃1.183.22.731.43甘油甘油1.262.41.92水(水(20)1.01.481.48油油0.91.281.4空气空气0.00130.00040.34本讲稿第十五页,共八十八页超声波的
12、指向性超声波的指向性 超超声声波波声声源源发发出出的的超超声声波波束束以以一一定定的的角角度度逐逐渐渐向向外外扩扩散散。在在声声束束横横截截面的中心轴线上,超声波最强,且随着扩散角度的增大而减小。面的中心轴线上,超声波最强,且随着扩散角度的增大而减小。1超声源超声源 2轴线轴线 3指向角指向角 4等强度线等强度线本讲稿第十六页,共八十八页指向角与超声源的直径D、以及波长之间的关系为sin=1.22/D设超声源的直径D=20mm,射入钢板的超声波(纵波)频率为5MHz,则根据式(可得=4o,可见该超声波的指向性是十分尖锐的。本讲稿第十七页,共八十八页 超声波的衰减超声波的衰减声声波波在在介介质质
13、中中传传播播时时,随随着着传传播播距距离离的的增增加加,能能量量逐逐渐渐衰衰减减,其其衰衰减减的的程程度度与与声声波波的的扩扩散散、散散射射及及吸吸收收等等因因素素有有关关。其其声声压压和和声声强强的的衰衰减减规律为规律为 式中:Px、Ix距声源x处的声压和声强;x声波与声源间的距离;衰减系数,单位为Np/cm(奈培/厘米)。本讲稿第十八页,共八十八页 声波在介质中传播时,能量的衰减决定于声波的扩散、散射和吸收。声波在介质中传播时,能量的衰减决定于声波的扩散、散射和吸收。在在理理想想介介质质中中,声声波波的的衰衰减减仅仅来来自自于于声声波波的的扩扩散散衰衰减减,即即随随声声波波传播距离增加而引
14、起声能的减弱。传播距离增加而引起声能的减弱。散散射射衰衰减减是是指指超超声声波波在在介介质质中中传传播播时时,固固体体介介质质中中的的颗颗粒粒界界面面或或流流体体介介质质中中的的悬悬浮浮粒粒子子使使声声波波产产生生散散射射,其其中中一一部部分分声声能能不不再再沿沿原原来来传传播播方方向向运运动动,而而形形成成散散射射。散散射射衰衰减减与与散散射射粒粒子子的的形形状状、尺尺寸寸、数数量量、介介质的性质和散射粒子的性质有关。质的性质和散射粒子的性质有关。吸吸收收衰衰减减是是由由于于介介质质粘粘滞滞性性,使使超超声声波波在在介介质质中中传传播播时时造造成成质质点点间间的的内内摩摩擦擦,从从而而使使一
15、一部部分分声声能能转转换换为为热热能能,通通过过热热传传导导进进行行热热交交换换,导导致声能的损耗。致声能的损耗。本讲稿第十九页,共八十八页10.2超声波传感器超声波传感器 利利用用超超声声波波在在超超声声场场中中的的物物理理特特性性和和各各种种效效应应而而研研制制的的装装置置可可称为超声波换能器、探测器或传感器。称为超声波换能器、探测器或传感器。超超声声波波探探头头按按其其工工作作原原理理可可分分为为压压电电式式、磁磁致致伸伸缩缩式式、电电磁磁式式等等,其其中中以以压压电电式式最最为为常常用用。压压电电式式超超声声波波探探头头常常用用的的材材料料是是压压电电晶晶体体和和压压电电陶陶瓷瓷,这这
16、种种传传感感器器统统称称为为压压电电式式超超声声波波探探头头。它它是是利利用用压压电电材材料料的的压压电电效效应应来来工工作作的的:逆逆压压电电效效应应将将高高频频电电振振动动转转换换成成高高频频机机械械振振动动,从从而而产产生生超超声声波波,可可作作为为发发射射探探头头;而而正正压压电电效效应应是是将将超声振动波转换成电信号,可作为接收探头。超声振动波转换成电信号,可作为接收探头。本讲稿第二十页,共八十八页 超超声声波波探探头头主主要要由由压压电电晶晶片片、吸吸收收块块(阻阻尼尼块块)、保保护护膜膜、引引线线等等组组成成。压压电电晶晶片片多多为为圆圆板板形形,厚厚度度为为。超超声声波波频频率
17、率f与与其其厚厚度度成成反反比比。压压电电晶晶片片的的两两面面镀镀有有银银层层,作作导导电电的的极极板板。阻阻尼尼块块的的作作用用是是降降低低晶晶片片的的机机械械品品质质,吸吸收收声声能能量量。如如果果没没有有阻阻尼尼块块,当当激激励励的的电电脉脉冲冲信信号号停停止止时时,晶晶片片将将会会继继续续振振荡荡,加加长长超超声声波波的的脉脉冲冲宽宽度,使分辨率变差。度,使分辨率变差。本讲稿第二十一页,共八十八页本讲稿第二十二页,共八十八页本讲稿第二十三页,共八十八页双晶直探头双晶直探头 由两个单晶探头组合而成,装配在同一壳体内。其中一片晶片发射超声由两个单晶探头组合而成,装配在同一壳体内。其中一片晶
18、片发射超声波,另一片晶片接收超声波。两晶片之间用一片吸声性能强、绝缘性能波,另一片晶片接收超声波。两晶片之间用一片吸声性能强、绝缘性能好的薄片加以隔离,使超声波的发射和接收互不干扰。略有倾斜的晶片好的薄片加以隔离,使超声波的发射和接收互不干扰。略有倾斜的晶片下方还设置延迟块,它用有机玻璃或环氧树脂制作,能使超声波延迟一下方还设置延迟块,它用有机玻璃或环氧树脂制作,能使超声波延迟一段时间后才入射到试件中,可减小试件接近表面处的盲区,提高分辨能段时间后才入射到试件中,可减小试件接近表面处的盲区,提高分辨能力。双晶探头的结构虽然复杂些,但检测精度比单晶直探头高,且超声力。双晶探头的结构虽然复杂些,但
19、检测精度比单晶直探头高,且超声波信号的反射和接收的控制电路较单晶直探头简单。波信号的反射和接收的控制电路较单晶直探头简单。本讲稿第二十四页,共八十八页斜探头斜探头 压电晶片粘贴在与底面成一定角度(如压电晶片粘贴在与底面成一定角度(如30、45等)的有机等)的有机玻璃斜楔块上,压电晶片的上方用吸声性强的阻尼吸收块覆玻璃斜楔块上,压电晶片的上方用吸声性强的阻尼吸收块覆盖。当斜楔块与不同材料的被测介质(试件)接触时,超声盖。当斜楔块与不同材料的被测介质(试件)接触时,超声波产生一定角度的折射,倾斜入射到试件中去,折射角可通波产生一定角度的折射,倾斜入射到试件中去,折射角可通过计算求得。过计算求得。本
20、讲稿第二十五页,共八十八页本讲稿第二十六页,共八十八页聚焦探头聚焦探头 分辨试件中细小的缺陷,这种探头称为聚焦探头,是一分辨试件中细小的缺陷,这种探头称为聚焦探头,是一种很有发展前途的新型探头。种很有发展前途的新型探头。聚焦探头采用曲面晶片来发出聚焦的超声波,也可聚焦探头采用曲面晶片来发出聚焦的超声波,也可以采用两种不同声速的塑料来制作声透镜,还可利以采用两种不同声速的塑料来制作声透镜,还可利用类似光学反射镜的原理制作声凹面镜来聚焦超声用类似光学反射镜的原理制作声凹面镜来聚焦超声波。如果将双晶直探头的延迟块按上述方法加工,波。如果将双晶直探头的延迟块按上述方法加工,也可具有聚焦功能。也可具有聚
21、焦功能。本讲稿第二十七页,共八十八页箔式探头箔式探头 利用压电材料聚偏二氟乙烯(利用压电材料聚偏二氟乙烯(PVDF)高分子)高分子薄膜,制作出的薄膜式探头称为箔式探头,可薄膜,制作出的薄膜式探头称为箔式探头,可以获得以获得0.2mm直径的超细声束,用在医用直径的超细声束,用在医用CT诊诊断仪器上可以获得很高清晰度的图像。断仪器上可以获得很高清晰度的图像。本讲稿第二十八页,共八十八页空气传导型探头空气传导型探头 超声探头的发射换能器和接收换能器一般是分开设置超声探头的发射换能器和接收换能器一般是分开设置的,两者结构也略有不同,的,两者结构也略有不同,发射器的压电片上粘贴了一只锥形共振盘,以提高发
22、射器的压电片上粘贴了一只锥形共振盘,以提高发射效率和方向性。接收器在共振盘上还增加了一发射效率和方向性。接收器在共振盘上还增加了一只阻抗匹配器,以滤除噪声,提高接收效率。空气只阻抗匹配器,以滤除噪声,提高接收效率。空气传导的超声发射器和接收器的有效工作范围可达几传导的超声发射器和接收器的有效工作范围可达几米至几十米。米至几十米。本讲稿第二十九页,共八十八页1外壳外壳 2金属丝网罩金属丝网罩 3锥形共振盘锥形共振盘 4压电晶体片压电晶体片5引脚引脚 6阻抗匹配器阻抗匹配器 7超声波束超声波束本讲稿第三十页,共八十八页本讲稿第三十一页,共八十八页超声波探头耦合剂超声波探头耦合剂 一般不能直接将其放
23、在被测介质表面来回移动,以防一般不能直接将其放在被测介质表面来回移动,以防磨损。磨损。空气的密度很小,将引起空气的密度很小,将引起3个界面间强烈的杂乱反射波,个界面间强烈的杂乱反射波,造成干扰,而且空气也将对超声波造成很大的衰减。造成干扰,而且空气也将对超声波造成很大的衰减。常用的耦合剂有水、机油、甘油、水玻璃、胶水、常用的耦合剂有水、机油、甘油、水玻璃、胶水、化学浆糊等。耦合剂的厚度应尽量薄一些,以减化学浆糊等。耦合剂的厚度应尽量薄一些,以减小耦合损耗。小耦合损耗。本讲稿第三十二页,共八十八页10.3 超声波传感器应用超声波传感器应用 超声波物位传感器超声波物位传感器 超超声声波波物物位位传
24、传感感器器是是利利用用超超声声波波在在两两种种介介质质的的分分界界面面上上的的反反射射特特性性而而制制成成的的。如如果果从从发发射射超超声声脉脉冲冲开开始始,到到接接收收换换能能器器接接收收到到反反射射波波为为止止的的这这个个时时间间间间隔隔为为已已知知,就就可可以以求求出出分分界界面面的的位位置置,利利用用这这种种方方法法可可以以对对物物位位进进行行测测量量。根根据据发发射射和和接接收收换换能能器器的的功功能能,传传感感器器又又可可分分为为单单换换能能器器和和双双换换能能器器。单单换换能能器器的的传传感感器器发发射射和和接接收收超超声声波波使使用用同同一一个个换换能能器器,而双换能器的传感器
25、发射和接收各由一个换能器担任。而双换能器的传感器发射和接收各由一个换能器担任。本讲稿第三十三页,共八十八页几种超声物位传感器的结构原理示意图(a)超声波在液体中传播;(b)超声波在空气中传播本讲稿第三十四页,共八十八页 对于单换能器来说,对于单换能器来说,超声波从发射器到液面,超声波从发射器到液面,又从液面反射到换又从液面反射到换能器的时间为能器的时间为 则则 式中:式中:h换能器距液面的距离;换能器距液面的距离;c超声波在介质中传播的速度。超声波在介质中传播的速度。本讲稿第三十五页,共八十八页 对于双换能器,超声波从发射到接收经过的路程为对于双换能器,超声波从发射到接收经过的路程为2s,而,
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