设备与预防保养的作业指导书.docx

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1、编号：时间：2021年x月x日书山有路勤为径，学海无涯苦作舟页码：第96页 共96页主题： 文件编号：WE005文件版本：A设备预防保养作业指导书页 次：01 本页版次：0 目 录 项 目 内 容 页 次 目 录 01 / 75 修 订 履 历 02 / 75 3 作 业 内 容 0375 / 75 制 订审 核核 准 本文件之著作权及营业秘密内容属于本公司，非经公司准许不得翻印 窗体编号：FQ001A主题：文件编号：WE005文件版本：A设备预防保养作业指导书页 次：02本页版次：4 修 订 履 历 文件版本修订记录：版本工程变更号生效日期变 更 要 旨A2003.06.18ISO 9001

2、2000体系改版后初次发行。页次修订状况：页次123456789101112131415版次4页次161718192021222324252627282930版次页次313233343536373839404142434445版次1111页次464748495051525354555657585960版次页次616263646566676869707172737475版次1页次版次工程变更号变 更 要 旨451EC-E030620303修改日点检喷墨压力。391EC-E030627320修改日点检2-6与2-7点检内容。751EC-E031101364增列自动超音波清洗机之预防保养作业指导。3

3、51EC-E031201383修改2-5气源气压参数。361EC-E031201383修改2-5气源气压参数。 本文件之著作权及营业秘密内容属于本公司，非经公司准许不得翻印 窗体编号：FQ002A主题：文件编号：WE005文件版本：A设备预防保养作业指导书页 次：03本页版次：0投料机预防保养作业指导书 1. 日保养 1 1 机台表面清洁 先用吸尘器去除杂物再以无尘纸沾酒精擦拭。 1 2 台车清洁 先用吸尘器去除杂物再以无尘纸沾酒精擦拭。 1 3 机台下面地板及周边清洁 先用吸尘器去除杂物再以无尘纸沾酒精擦拭。 (吸尘器为无尘等级1000 Class以上之吸尘器) 2. 日点检 2 1 马达有

4、无异响发热。 2 2 手臂运行平稳度。 2 - 3 各 Sensor 灵敏度。 2 4 传送导轮位置 (成一直线)。 2 5 C/V 平稳度跳动噪声。 2 6 紧急停止开关灵敏度检查。 3. 月保养 3 1 机台内部清洁 3-1-1 关掉总电源用吸尘器去除杂物然后用无尘纸沾酒精擦拭。 3-1-2 清洁完毕后需检查各气管有无脱落组件有无松动等待 5min 以后才可开机。 3 2 丝杆导轨润滑 3-2-1 加油脂之前需将旧油清除干净。 3-2-2 用高压油枪向运行滑块里加注无尘室专用油脂 (Krytox)。 3 3 真空过滤芯管路及真空阀体清洁。 3 4 C/V 传送皮带马达检查。 3 5 手臂前

5、后气缸缓冲检查调整。 4. 使用窗体 4 1 设备日保养记录单 4 2 设备日点检记录单 4 3 设备月保养记录单 本文件之著作权及营业秘密内容属于本公司，非经公司准许不得翻印 窗体编号：FQ003A主题：文件编号：WE005文件版本：A设备预防保养作业指导书页 次：04本页版次：0清洗机预防保养作业指导书 1. 日保养 1 1 清洗各槽及机台表面擦拭。 1 2 前后过渡段风刀室清洗并将风刀室用无尘纸擦干水。 1 3 机台周边地板清洁。 2. 日点检 2 1 导轮位置。 2 2 传动轴有无跳动。 2 3 喷咀角度堵塞检查。 2 4 轻刷有无异响。 2 5 风刀角度及吹净检查。 2 6 传动马达

6、泵浦有无噪声过热。 2 7 Sensor 灵敏度检查。 3. 月保养 3 1 药液槽以无泡清洁剂 (2.5%) 循环洗 30min 再用DI水循环洗 30min*2 次更换滤芯后再注 药液。 3 2 各水槽以 5% 无泡清洁剂洗 30min 再用 DI 水洗 30min*2。 3 3 喷咀检查。 3 4 毛刷原点检查校正轴承皮带检查异常者更换。 3 5 传动轴套C/V 轴套从动齿轮点检磨损者更换。 3 6 风刀风刀进气管 (油雾分离器后部分) 每月清洁一次。 3-6-1 将风刀进气管拆下并作标记放入 2.5% 无泡清洁剂槽中浸泡 45min管路接头用篮 具装好放入超声波槽振荡 30min。(超

7、声波槽为 2.5% 无泡清洁剂) 3-6-2 浸泡后将药液排除用 DI 水反复冲洗 4 次管路接头浸泡后用 DI 水振荡 20min 再用 DI 水冲洗 2 遍用氮气枪吹净。 3-6-3 风刀调压阀拆开后用无尘纸沾酒精擦拭。 3-6-4 将管路风刀调压阀按顺序装回并调整风刀至 GLASS 表面水能吹干。 4. 使用窗体 4 1 设备日保养记录单 4 2 设备日点检记录单 4 3 设备月保养记录单 本文件之著作权及营业秘密内容属于本公司，非经公司准许不得翻印 窗体编号：FQ003A主题：文件编号：WE005文件版本：A设备预防保养作业指导书页 次：05本页版次：0IR/UV 烤箱预防保养作业指导

8、书 1. 日保养 1 1 机台表面清洁 以无尘纸沾酒精擦拭。 1 2 机台周边地板清洁。 2. 日点检 2 1 C/V 传送速度检查。 2 2 O 型圈有无断开或老化。 2 3 UV 灯点灯检查。 2 4 加热板加热状况检查。 2 5 UV 灯工作时间检查。 3. 月保养 3 1 机台内部清洁。 3-1-1 关掉总电源待温度降至室温后以吸尘器吸除杂物再以无尘纸沾酒精擦拭。 3-1-2 电控部分用吸尘器清洁完毕后须检查气电组件是否有松脱。 3 2 O 型圈磨损者更换并保持传动轴上有 5 10 个备品。 3 3 C/V 传动校正。 4. 使用窗体 4 1 设备日保养记录单 4 2 设备日点检记录单

9、 4 3 设备月保养记录单 本文件之著作权及营业秘密内容属于本公司，非经公司准许不得翻印 窗体编号：FQ003A主题：文件编号：WE005文件版本：A设备预防保养作业指导书页 次：06本页版次：0冷却 C/V 预防保养作业指导书 1. 日保养 1 1 机台内部清洁。 1 2 风管清洁。 2. 日点检 2 1 传动导轮位置。 2 2 传动有无异响。 2 3 内部洁净度。 2 4 感应器是否正常。 3. 月保养 3 1 机台内部清洁。 3 2 传动导轮位置点检校正。 3 3 传动皮带点检有磨损严重则更换。 3 4 风管拆洗。 4. 使用窗体 4 1 设备日保养记录单 4 2 设备日点检记录单 4

10、3 设备月保养记录单 本文件之著作权及营业秘密内容属于本公司，非经公司准许不得翻印 窗体编号：FQ003A主题：文件编号：WE005文件版本：A设备预防保养作业指导书页 次：07本页版次：0上光阻机预防保养作业指导书 1. 日保养 1 1 机台表面清洁。 1 2 C/V 清洁。 1 3 Coating Roller 与 Doctor RollerBack UP Roller 清洁。 1 4 回收管废液管长时间待料须将管路里的光阻剂排除。 2. 日点检 2 1 传动导动位置。 2 2 传动部件有无异音。 2 3 机台内部洁净度。 2 4 各Sensor 灵敏度。3. 月保养 3 1 机台内部清洁

11、。 3 2 原点校正。 3 3 传动涡轮涡杆清洁。 3 4 滑轨清洁注油脂。 4. 使用窗体 4 1 设备日保养记录单 4 2 设备日点检记录单 4 3 设备月保养记录单 本文件之著作权及营业秘密内容属于本公司，非经公司准许不得翻印 窗体编号：FQ003A主题：文件编号：WE005文件版本：A设备预防保养作业指导书页 次：08本页版次：0IR 烤箱预防保养作业指导书 1. 日保养 1 1 机台外部清洁。 1 2 机台周边地板清洁。 2. 日点检 2 1 温度点检。 2 2 C/V 平稳度点检。 2 3 Sensor 点检。 3. 月保养 3 1 机台内部清洁。 3-1-1 待温度降至室温后用吸

12、尘器吸除杂物再用酒精擦拭传送轮用无尘纸沾丙酮擦拭直 至其上无光阻剂为止。 3 2 更换磨损 O 型圈。 3 3 C/V 传送点检。 4. 使用窗体 4 1 设备日保养记录单 4 2 设备日点检记录单 4 3 设备月保养记录单 本文件之著作权及营业秘密内容属于本公司，非经公司准许不得翻印 窗体编号：FQ003A主题：文件编号：WE005文件版本：A设备预防保养作业指导书页 次：09本页版次：0BUFFER 预防保养作业指导书 1. 日保养 1 1 机台表面清洁。 1 2 篮具清洁。 2. 日点检 2 1 平稳度噪声跳动检查。 2 2 传动皮带有无裂开及偏位。 2 3 机械手臂振动速度检查。 2

13、4 马达有无异响及过热。 2 5 篮具检查。 3. 月保养 3 1 机台内部清洁 (清除玻璃屑)。 3 2 LIFT 上升/下降丝杆机械手臂滑轨润滑。(润滑脂 Krytox )。 3 3 传送皮带清洁检查有必要则更换。 4. 使用窗体 4 1 设备日保养记录单 4 2 设备日点检记录单 4 3 设备月保养记录单 本文件之著作权及营业秘密内容属于本公司，非经公司准许不得翻印 窗体编号：FQ003A主题：文件编号：WE005文件版本：A设备预防保养作业指导书页 次：10本页版次：0曝光机预防保养作业指导书 1. 日保养 1 1 用无尘纸沾酒精擦拭机台周身外表。 1 2 曝光室平台框架清洁复眼球面镜

14、严禁擦拭。 2. 日点检 2 1 各气压参数及曝光灯电控箱电流电压。 2 2 PUSH-PIN 有无磨出沟槽破裂动作缓急。 2 3 入口中央出口 C/V 传送状况确认有无 O 型环严重磨损及断裂。 2 4 冷却气流量 70+10N/min 真空度 1400 mmHg。 2 3 Blower 真空度 -800 mmHg。 2 4 平台真空度 -500 mmHg。 2 5 各 Sensor 感光度是否良好。 2 6 平台移动是否平稳。 3. 月保养 3 1 机台内外清洁。 3 2 电气控制柜清洁碎玻璃的清除。 3 3 丝杠润滑。 3 4 平台与 Blower 盒间隙校正。 4. 使用窗体 4 1

15、设备日保养记录单 4 2 设备日点检记录单 4 3 设备月保养记录单 本文件之著作权及营业秘密内容属于本公司，非经公司准许不得翻印 窗体编号：FQ003A主题：文件编号：WE005文件版本：A设备预防保养作业指导书页 次：23本页版次：0定向机预防保养作业指导书 1. 日保养 1 1 测厚平台清洁。 1 2 定向平台清洁。 1 3 机台表面及定向室清洁。 2. 日点检 2 1 传送导轮位置。 2 2 Sensor 感应度检查。 2 3 真空度检查。 2 4 Roller 平台平稳度。 2 5 机台有无异响及振动。 3. 月保养 3 1 传送导轮校正。 3 2 毛轮与平台水平度校正 ( GAP

16、)。 3 3 机台内外整体清洁。 3 4 毛轮架毛轮装置检查调整。 4. 使用窗体 4 1 设备日保养记录单 4 2 设备日点检记录单 4 3 设备月保养记录单 本文件之著作权及营业秘密内容属于本公司，非经公司准许不得翻印 窗体编号：FQ003A主题：文件编号：WE005文件版本：A设备预防保养作业指导书页 次：24本页版次：0印框点机预防保养作业指导书 1. 日保养 1 1 机台内外清洁。 1 2 机台地面区域之清洁。 1 3 作业完毕必须彻底清洁刮刀及刮板。 2. 日点检 2 1 机台洁净度。 2 2 PIN 是否磨损气压是否合适。 2 3 真空气压是否符合制程要求。 2 4 操作面板是否

17、完好。 2 5 各感应器的灵敏度及位置。 2 6 刮刀有无缺损松动刮板有无毛刺。 3. 月保养 3 1 清洁传送皮带及导轮更换磨损皮带。 3 2 托架圆柱气缸润滑。 3 3 点检气动管路是否有漏气及堵塞更换破损气管清洁真空阀滤芯。 3 4 更换缺损刮刀调校刮刀水平度。 3 5 马达导杆清洁润滑。 3 6 PIN外壳检查并更换磨损严重者。 4. 使用窗体 4 1 设备日保养记录单 4 2 设备日点检记录单 4 3 设备月保养记录单 本文件之著作权及营业秘密内容属于本公司，非经公司准许不得翻印 窗体编号：FQ003A主题：文件编号：WE005文件版本：A设备预防保养作业指导书页 次：25本页版次：0湿撒布机预防保养作业指导书 1. 日保养 1 1 室内清洁 (其清洁方法参见作业规范)。 1 2 清洁机台地面区域机台周身清洁。 1 3 喷嘴及管道彻底清洁。 2. 日点检 2 1 喷嘴畅通性。 2 2 加热系统是否完好。 2 3 C/V 传送是否有松动异声