压电式传感器电子工艺幻灯片.ppt

《压电式传感器电子工艺幻灯片.ppt》由会员分享，可在线阅读，更多相关《压电式传感器电子工艺幻灯片.ppt（30页珍藏版）》请在淘文阁 - 分享文档赚钱的网站上搜索。

1、压电式传感器电子工艺第1页，共30页，编辑于2022年，星期五一.压电式传感器是以某些电介质的压电效应为基础，在外力作用下，在是以某些电介质的压电效应为基础，在外力作用下，在电介质的表面上产生电荷，从而实现非电量测量。是一电介质的表面上产生电荷，从而实现非电量测量。是一种典型的有源传感器种典型的有源传感器*特点特点:工作频带宽，灵敏度高，结构简单，体积小，重量工作频带宽，灵敏度高，结构简单，体积小，重量轻，工作可靠。轻，工作可靠。*应用范围：应用范围：各种动态力、机械冲击、振动测量、生物医学、各种动态力、机械冲击、振动测量、生物医学、超声、通信、宇航等领域。超声、通信、宇航等领域。第2页，共3

2、0页，编辑于2022年，星期五1.1、压电式传感器的应用、压电式传感器的应用1压电式脚踏报警器压电式脚踏报警器第3页，共30页，编辑于2022年，星期五 2.玻璃打碎报警装置玻璃打碎报警装置粘贴粘贴位置位置将压电测振薄膜粘将压电测振薄膜粘贴在玻璃上，可以贴在玻璃上，可以感受到玻璃破碎时感受到玻璃破碎时会发出的振动，并会发出的振动，并将电压信号传送给将电压信号传送给集中报警系统。集中报警系统。第4页，共30页，编辑于2022年，星期五3.3.交通监测交通监测将高分子压电电缆埋在公路上，可以获取车型分类信息（包括轴数、轴将高分子压电电缆埋在公路上，可以获取车型分类信息（包括轴数、轴距、轮距、单双轮

3、胎）、车速监测、收费站地磅、闯红灯拍照、停车区域监距、轮距、单双轮胎）、车速监测、收费站地磅、闯红灯拍照、停车区域监控、交通数据信息采集（道路监控）及机场滑行道等。控、交通数据信息采集（道路监控）及机场滑行道等。第5页，共30页，编辑于2022年，星期五4.4.压电式动态力传感器以及在压电式动态力传感器以及在车床中用于动态切削力的测量车床中用于动态切削力的测量第6页，共30页，编辑于2022年，星期五5.5.压电式动态力传感器在体育动态测量中的应用压电式动态力传感器在体育动态测量中的应用压电式步态分压电式步态分析跑台析跑台压电式纵跳压电式纵跳训训练分析装置练分析装置压电传感器测量双压电传感器测

4、量双腿跳的动态力腿跳的动态力第7页，共30页，编辑于2022年，星期五1.2.1.2.总结分析、总结分析、压电传感器的工作原理压电传感器的工作原理热电偶的原理：热电偶的原理：热电效应热电效应热能热能电能电能压电式传感器的原理：压电式传感器的原理：正压电效应正压电效应机械能机械能电能电能第8页，共30页，编辑于2022年，星期五二二.压电效应压电效应正压电效应：正压电效应：当压电材料受到一定方向作用当压电材料受到一定方向作用力时而发生机械变形，相应的在一定表面上力时而发生机械变形，相应的在一定表面上产生电荷，电荷量产生电荷，电荷量Q与所施加的力与所施加的力F成正比成正比，这种现象称为压电效应，这

5、种现象称为压电效应。（压电式传感。（压电式传感器）器）逆压电效应：当压电材料处于变化的电场逆压电效应：当压电材料处于变化的电场中时，压电材料的体积将产生伸长或缩短中时，压电材料的体积将产生伸长或缩短的变化，称作逆压电效应的变化，称作逆压电效应(压电式喇叭）压电式喇叭）第9页，共30页，编辑于2022年，星期五压电效应演示压电效应演示当力的方向改变时，电荷的极性随之改变，输出电压的频率与当力的方向改变时，电荷的极性随之改变，输出电压的频率与动态力的频率相同；当动态力变为静态力时，电荷将由于表面漏电动态力的频率相同；当动态力变为静态力时，电荷将由于表面漏电而很快泄漏、消失。而很快泄漏、消失。第10

6、页，共30页，编辑于2022年，星期五2.1、常用的压电材料及压电材料的压电效应、常用的压电材料及压电材料的压电效应压电材料压电材料压电陶瓷：钛酸钡、锆钛酸压电陶瓷：钛酸钡、锆钛酸铅铅天然：石英晶体天然：石英晶体人造压人造压电材料：电材料：高分子压电材料高分子压电材料:聚偏二氟乙聚偏二氟乙烯、聚氟乙烯、改性聚氯乙烯、聚氟乙烯、改性聚氯乙烯等烯等第11页，共30页，编辑于2022年，星期五天然形成的石英晶体外形天然形成的石英晶体外形天然形成的石英晶体外形天然形成的石英晶体外形第12页，共30页，编辑于2022年，星期五天然形成的石英晶体外形（续）天然形成的石英晶体外形（续）第13页，共30页，编

7、辑于2022年，星期五二二.压电效应压电效应2.2石英晶体的压电效应石英晶体的压电效应天然结构石英晶体的理想外形是一个正六面体天然结构石英晶体的理想外形是一个正六面体ZXY(a)(b)石英晶体石英晶体(a)理想石英晶体的外形理想石英晶体的外形(b)坐标系坐标系ZYX在晶体学中它可用三在晶体学中它可用三根互相垂直的轴表示，根互相垂直的轴表示，Z轴称为轴称为光轴光轴；X轴称为轴称为电轴电轴；Y轴称为轴称为机械轴机械轴。纵向压电效应纵向压电效应：X轴轴横向压电效应横向压电效应：Y轴轴沿光轴沿光轴ZZ方向受力方向受力则不产生压电效应。则不产生压电效应。第14页，共30页，编辑于2022年，星期五石英晶

8、体切片及封装石英晶体切片及封装石英晶体薄片石英晶体薄片双面镀银并封装双面镀银并封装第15页，共30页，编辑于2022年，星期五2.2石英晶体的压电效应石英晶体的压电效应n（1）.定性分析定性分析图图3-13垂直垂直x轴的石英切片及其压电效应轴的石英切片及其压电效应第16页，共30页，编辑于2022年，星期五 从晶体上沿轴线切下的薄片称为从晶体上沿轴线切下的薄片称为“晶体切片晶体切片”。图。图3-13所示是垂直于电轴切割的石英片，在与轴垂直的所示是垂直于电轴切割的石英片，在与轴垂直的两面覆以金属。两面覆以金属。沿方向施加作用力沿方向施加作用力x时，在与电轴时，在与电轴X垂直的表面垂直的表面上产生

9、电荷上产生电荷xx为：为：式中式中d11石英晶体的纵向压电系数石英晶体的纵向压电系数在覆以金属极面间产生的电压为：在覆以金属极面间产生的电压为：定量计算：定量计算：第17页，共30页，编辑于2022年，星期五 如果在同一切片上，沿机械轴如果在同一切片上，沿机械轴Y方向施加作用力方向施加作用力Fy时，则在与时，则在与X轴垂直的平面上产生电荷为：轴垂直的平面上产生电荷为：式中式中d12石英晶体的横向压电系数。根据石英晶体的轴对称条件可石英晶体的横向压电系数。根据石英晶体的轴对称条件可得得d12=-d11,所以所以 产生电压为：产生电压为：第18页，共30页，编辑于2022年，星期五2.32.3 压

10、电陶瓷的压电效应压电陶瓷的压电效应 压压电电陶陶瓷瓷属属于于铁铁电电体体一一类类的的物物质质，是是人人工工制制造造的的多多晶晶压压电电材材料，它具有类似铁磁材料磁畴结构的电畴结构。料，它具有类似铁磁材料磁畴结构的电畴结构。直流电场直流电场E剩余极化强度剩余极化强度剩余伸长剩余伸长电场作用下的伸长电场作用下的伸长(a)极化处理前极化处理前(b)极化处理中极化处理中(c)极化处理后极化处理后经极化处理的压电陶瓷具有非常高的压电系数，经极化处理的压电陶瓷具有非常高的压电系数，约为石英晶体的几百倍，但机械强度较石英晶约为石英晶体的几百倍，但机械强度较石英晶体差。体差。第19页，共30页，编辑于2022

11、年，星期五 aZ向施力；向施力；bX向施力向施力图图3-14压电陶瓷的压电效应压电陶瓷的压电效应2.3压电陶瓷的压电效应压电陶瓷的压电效应第20页，共30页，编辑于2022年，星期五则在两个镀银（或金）的极化面则在两个镀银（或金）的极化面上分别出现正负电荷，电荷量上分别出现正负电荷，电荷量Qzz与力与力Fz成比例，即成比例，即:式中式中dzz压电陶瓷的纵向压电系数。压电陶瓷的纵向压电系数。输出电压为输出电压为:2.3压电陶瓷的压电效应压电陶瓷的压电效应第21页，共30页，编辑于2022年，星期五当沿当沿X轴方向施加作用力轴方向施加作用力Fx时，时，如图所示，在镀银极化面上产生如图所示，在镀银极

12、化面上产生电荷电荷Qzx为为:同理 2.3压电陶瓷的压电效应压电陶瓷的压电效应式中的式中的dz1、dz2是压电陶瓷在横向力作用时是压电陶瓷在横向力作用时的压电系数，且均为负值；的压电系数，且均为负值；且且dz1=dz2电荷除以压电陶瓷片电容电荷除以压电陶瓷片电容Cz可得电压输出。可得电压输出。第22页，共30页，编辑于2022年，星期五三、压电元件的等效电路三、压电元件的等效电路当压电传感器中的压电晶体承受被测机械应力的作用时，在它的两当压电传感器中的压电晶体承受被测机械应力的作用时，在它的两个极面上出现极性相反但电量相等的电荷。可把压电传感器看成一个极面上出现极性相反但电量相等的电荷。可把压

13、电传感器看成一个个电荷发生器即电荷源电荷发生器即电荷源电荷源等效电路：电荷源等效电路：可等效为一个电荷源可等效为一个电荷源q和一个电容器和一个电容器Ca的的并联并联电路，如图（电路，如图（a）电压源等效电路电压源等效电路：压电传感器也可等效为电压源：压电传感器也可等效为电压源Ua和一个电容和一个电容器器Ca的的串联串联电路，如图电路，如图(b)；qq UaCaCa（a）电荷源等效电路）电荷源等效电路CaUaUaq/Ca（b）电压源等效电路）电压源等效电路第23页，共30页，编辑于2022年，星期五如果用导线将压电传感器和测量仪器连接时如果用导线将压电传感器和测量仪器连接时,则应考虑连则应考虑连

14、线的等效电容线的等效电容,前置放大器的输入电阻、输入电容。前置放大器的输入电阻、输入电容。CaRaCcRiCiq压电传感器的完整等效电路压电传感器的完整等效电路Ca传感器的固有电容传感器的固有电容Ci前置放大器输入电容前置放大器输入电容Cc连线电容连线电容Ra传感器的漏电阻传感器的漏电阻Ri前置放大器输入电阻前置放大器输入电阻三、压电元件的等效电路三、压电元件的等效电路实际等效电路实际等效电路第24页，共30页，编辑于2022年，星期五补充：电容的串并联补充：电容的串并联以两个电容串并联为例，考察串并联后，总的电容以两个电容串并联为例，考察串并联后，总的电容容抗、总电压、总电荷容量容抗、总电压

15、、总电荷容量总容抗：总容抗：C=C1+C2总电量：总电量：Q=Q1+Q2总电压：总电压：U=U1=U2并联：并联：串联：串联：总容抗：总容抗：总电量：总电量：Q=Q1=Q2总电压：总电压：U=U1+U2因此为了增大输出，在使用过程中压电元件通因此为了增大输出，在使用过程中压电元件通常用多个元件串联或者是并联使用。常用多个元件串联或者是并联使用。三、压电元件的等效电路三、压电元件的等效电路第25页，共30页，编辑于2022年，星期五思考：压电晶体是否适合于静态测量。为什么？思考：压电晶体是否适合于静态测量。为什么？当当传传感感器器内内部部信信号号电电荷荷无无“漏漏损损”，外外电电路路负负载载无无

16、穷穷大大时时，压压电电传传感感器器受受力力后后产产生生的的电电压压或或电电荷荷才才能能长长期期保保存存，否否则则电电路路将将以以某某时时间间常常数数按按指指数数规规律律放放电电。这这对对于于静静态态标标定定以以及及低低频频准准静静态态测测量量极极为为不不利利，必必然然带带来来误误差差。事事实实上上，传传感感器器内内部部不不可可能能没没有有泄泄漏漏，外外电电路路负负载载也也不不可可能能无无穷穷大大，只只有有外外力力以以较较高高频频率率不不断断地地作作用，传感器的电荷才能得以补充，因此，压电晶体不适合于静态测量用，传感器的电荷才能得以补充，因此，压电晶体不适合于静态测量。第26页，共30页，编辑于

17、2022年，星期五四、四、压电传感器测量电路压电传感器测量电路压电传感器本身的内阻抗很高，而输出能量较小，因此它压电传感器本身的内阻抗很高，而输出能量较小，因此它的测量电路通常需要接入一个高输入阻抗的前置放大器的测量电路通常需要接入一个高输入阻抗的前置放大器。压电式传感器的前置放大器有两个作用：压电式传感器的前置放大器有两个作用：u把压电式传感器的高输出阻抗变换成低阻抗输出；把压电式传感器的高输出阻抗变换成低阻抗输出；u放大压电式传感器输出的弱信号。放大压电式传感器输出的弱信号。前置放大器形式：前置放大器形式：u电电压压放放大大器器，其其输输出出电电压压与与输输入入电电压压（传传感感器器的的输

18、输出出电电压压）成正比；成正比；u电荷放大器电荷放大器，其输出电压与输入电荷成正比。，其输出电压与输入电荷成正比。第27页，共30页，编辑于2022年，星期五四四.压电传感器测量电路压电传感器测量电路 (a)放大器电路；放大器电路；(b)输入端简化等效电路输入端简化等效电路 图图3-18电压放大器电路原理及其等效电路图电压放大器电路原理及其等效电路图电压放大器（阻抗变换器）电压放大器（阻抗变换器）第28页，共30页，编辑于2022年，星期五注意：电荷放大器能将压电传感器输出的电荷转换为电压（注意：电荷放大器能将压电传感器输出的电荷转换为电压（Q/U转转换器），但并无放大电荷的作用，只是一种习惯

19、叫法。换器），但并无放大电荷的作用，只是一种习惯叫法。四四.压电传感器测量电路压电传感器测量电路电荷放大器电荷放大器电荷放大器是一种输出电压与输入电荷量成正比的放大器。电荷放大器是一种输出电压与输入电荷量成正比的放大器。考虑到考虑到Ra、Ri阻值极大，等效电路如图所示。阻值极大，等效电路如图所示。电荷放大器的输出电压电荷放大器的输出电压仅与输入电荷和反馈电容仅与输入电荷和反馈电容有关，电缆长度等因素的有关，电缆长度等因素的影响很小：影响很小：第29页，共30页，编辑于2022年，星期五总结1.压电效应2.压电材料3.压电元件的等效电路4压电式传感器的测量电路预习：电容式传感器第30页，共30页，编辑于2022年，星期五