第五讲 等离子制备技术PPT讲稿.ppt
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1、第五讲 等离子制备技术第1页,共46页,编辑于2022年,星期三等离子体的基本概念等离子体的基本概念等离子体由美国物理学家郞等离子体由美国物理学家郞谬尔谬尔(Irving(Irving Langmuir)Langmuir)首次首次命名命名,被称为物质的第四态被称为物质的第四态等离子体的组分等离子体的组分:电子电子,正离正离子子,中性粒子中性粒子印度物理学家沙哈印度物理学家沙哈(M.Saha)(M.Saha)计算计算:宇宙中宇宙中99.9%99.9%的物质是的物质是等离子体状态等离子体状态第2页,共46页,编辑于2022年,星期三等离子体的基本概念等离子体的基本概念等离子体与气体的区别等离子体与
2、气体的区别 等离子体是导电流体而又整体上保持电中性组成中带电粒子间存在库仑力等离子体的运动行为受到电磁场的影响和制约并非任何电离气体都是等离子体并非任何电离气体都是等离子体。只要当。只要当电离度大到电离度大到一定程度,使带电粒子密度达到所产生的空间电荷足一定程度,使带电粒子密度达到所产生的空间电荷足以限制其自身运动时以限制其自身运动时,这样的,这样的“电离气体电离气体”才算转变才算转变成等离子体成等离子体。否则,体系中虽有少数粒子电离,仍不。否则,体系中虽有少数粒子电离,仍不过是互不相关的各部分的简单加和,而不具备作为物过是互不相关的各部分的简单加和,而不具备作为物质的第四态的典型性和特征,仍
3、属于气态。质的第四态的典型性和特征,仍属于气态。第3页,共46页,编辑于2022年,星期三等离子体的基本概念等离子体的基本概念等离子体分类等离子体分类高温等离子体(热等离子体):压力大于1.33104Pa时,气体密度大,电子撞击气体分子,能量转移,电子温度和气体温度几乎相等低温等离子体(冷等离子体):压力小于1.33104Pa时,气体密度小,电子撞击气体概率小,气体吸收电子的能量少,气体温度与电子温度分离,电子温度104K,气体温度102103K气体压力越小,电子和气体的温差就越大第4页,共46页,编辑于2022年,星期三等离子体的基本概念等离子体的基本概念等离子体产生的方法等离子体产生的方法
4、:光照光照,燃烧燃烧,电场激发电场激发,放放射线,与高温介质接触等射线,与高温介质接触等分子 原子 电子+带电的离子等离子体的电离度等离子体的电离度,假定电子假定电子,离子和中性粒子离子和中性粒子的密度分别外的密度分别外n ne e,n,ni i及及n na aneni=ne/(ni+na)1%,高温等离子体温度是原子、分温度是原子、分子或离子热运动子或离子热运动的剧烈程度的剧烈程度第5页,共46页,编辑于2022年,星期三等离子体的基本概念等离子体的基本概念等离子体的表征方法等离子体的表征方法等离子体的密度ni或ne等离子体的温度等离子体中的粒子等离子体中的粒子碰撞问题碰撞问题原子-原子弹性
5、碰撞原子电离原子-电子:原子电离离子-电子:中性原子离子-原子:电荷转移离子-离子:弹性碰撞,改变方向和速度电子-电子第6页,共46页,编辑于2022年,星期三等离子放电烧结等离子放电烧结等离子体烧结技术等离子体烧结技术SPS(Spark Plasma Sintering):):在粉末间直接通入脉冲电流进行加热烧结在粉末间直接通入脉冲电流进行加热烧结,也被称为,也被称为等离子活化烧结或等离子体辅助烧结等离子活化烧结或等离子体辅助烧结等离子体烧结发展始:等离子体烧结发展始:1930年,美国科学家提出利用等离子体脉冲烧结原理1965年,脉冲电流烧结技术在美国和日本等国得到应用1988年,日本研制出
6、第一台工业型等离子体烧结装置1996年,日本组织了等离子体烧结研讨会,每年召开一次1998年,瑞典购进等离子体烧结系统,对碳化物、氧化物及生物陶瓷等进行较多研究工作2006年6月武汉理工大学购置了国内首台等离子体烧结装置,此后国内多所高校及研究所相继引进该装置,成为材料制备的全新技术第7页,共46页,编辑于2022年,星期三等离子放电烧结等离子放电烧结等离子体放电烧结原理:机理尚无统一认识等离子体放电烧结原理:机理尚无统一认识SPS的制造商Sumitomo公司的M.Tokita最早提出放电等离子烧结的观点:粉末颗粒微区存在电场诱导的正负极,在脉冲电流作用下颗粒间发生放电,激发等离子体,由放电产
7、生的高能粒子撞击颗粒间的接触部分,使物质产生蒸发作用而起到净化和活化作用,电能贮存在颗粒团的介电层中,介电层发生间歇式快速放电 第8页,共46页,编辑于2022年,星期三等离子放电烧结等离子放电烧结SPSSPS等离子烧结机理示意图等离子烧结机理示意图第9页,共46页,编辑于2022年,星期三等离子放电烧结等离子放电烧结施加直流开关脉冲电流作用施加直流开关脉冲电流作用第10页,共46页,编辑于2022年,星期三等离子放电烧结等离子放电烧结由于脉冲放电产生的放电冲击波以及电子、离子在电场中反方向的高速流动,可使粉末吸附的气体逸散,粉末表面的起始氧化膜在一定程度上被击穿,使粉末得以净化、活化;由于脉
8、冲是瞬间、断续、高频率发生,在粉末颗粒未接触部位产生的放电热,以及粉末颗粒接触部位产生的焦耳热,都大大促进了粉末颗粒原子的扩散,其扩散系数比通常热压条件下的要大得多,从而达到粉末烧结的快速化;ON-OFF快速脉冲的加入,使粉末内的放电部位及焦耳发热部件,都会快速移动,使粉末的烧结能够均匀化。使脉冲集中在晶粒结合处是SPS过程的一个特点。第11页,共46页,编辑于2022年,星期三等离子放电烧结等离子放电烧结特点:特点:非导电粉中难以有电流通过,因此SPS难以对非导电粉体的进行烧结SPS过程中,颗粒之间放电时,会瞬时产生高达几千度至上万度的局部高温,在颗粒表面引起蒸发和熔化,在颗粒接触点形成颈部
9、,由于热量立即从发热中心传递到颗粒表面和向四周扩散,颈部快速冷却而使蒸汽压低于其他部位。气相物质凝聚在颈部形成高于普通烧结方法的蒸发-凝固传递是SPS过程的另一个重要特点。晶粒受脉冲电流加热和垂直单向压力的作用,体扩散、晶界扩散都得到加强,加速了烧结致密化过程,因此用较低的温度和比较短的时间可得到高质量的烧结体。SPS过程可以看作是颗粒放电、导电加热和加压综合作用的结果。第12页,共46页,编辑于2022年,星期三等离子放电烧结等离子放电烧结放电等离子烧结的放电等离子烧结的中间过程中间过程和和现象现象十分复杂,科学家十分复杂,科学家们对们对SPSSPS的烧结过程建立了模型的烧结过程建立了模型
10、非导电材料非导电材料(Al(Al2 2O O3 3)SPS)SPS烧结时计算的温度分布和热流分布烧结时计算的温度分布和热流分布 温度分布温度分布热流分布热流分布第13页,共46页,编辑于2022年,星期三等离子放电烧结等离子放电烧结导电粉体与非导电粉体粉末接触点的计算温度导电粉体与非导电粉体粉末接触点的计算温度非导电(非导电(AlAl2 2O O3 3)和导电()和导电(CuCu)材料计算的径向温度分布)材料计算的径向温度分布 第14页,共46页,编辑于2022年,星期三等离子放电烧结等离子放电烧结等离子体烧结技术的适用范围:等离子体烧结技术的适用范围:纳米材料:传统的热压烧结、热等静压等方法
11、制备纳米材料,很难保证晶粒的纳米尺寸,又达到完全致密的要求。利用SPS技术,因其加热迅速,合成时间短,可明显抑制晶粒粗化。利用SPS技术,因其加热迅速,合成时间短,可明显抑制晶粒粗化。利用SPS能快速降温这一特点来控制烧结过程的反应历程,避免一些不必要的反应发生,这就可能使粉末中的缺陷和亚结构在烧结后的块体材料中得以保留,在更广泛的意义上说,这一点有利于合成介稳材料,特别有利于制备纳米材料。第15页,共46页,编辑于2022年,星期三等离子放电烧结等离子放电烧结梯度功能材料:梯度功能材料是一种组成在某个方向上梯度分布的复合材料,各层的烧结温度不同,利用传统的烧结方法难以一次烧成。利用CVD,P
12、VD等方法制备梯度材料,成本很高,也很难实现工业化生产。通过SPS技术可以很好地克服这一难点。SPS可以制造陶瓷/金属、聚合物/金属以及其他耐热梯度、耐磨梯度、硬度梯度、导电梯度、孔隙度梯度等材料。梯度层可到10多层,实现烧结温度的梯度分布。电磁材料:采用SPS技术还可以制作SiGe,PbTe,BiTe,FeSi,CoSb3等体系的热电转化元件,以及广泛用于电子领域的各种功能材料,如超导材料、磁性材料、靶材、介电材料、贮氢材料、形状记忆材料、固体电池材料、光学材料等。第16页,共46页,编辑于2022年,星期三等离子放电烧结等离子放电烧结金属间化合物:金属间化合物具有常温脆性和高熔点,因此制备
13、或生产需要特殊的过程。利用熔化法(电火花熔化、电阻熔化、感应熔化等)制备金属间化合物往往需要高能量、真空系统,而且需要进行对其二次加工(锻造)。利用SPS技术准备金属间化合物,因为有效利用了颗粒间的自发热作用和表面活化作用,可实现低温、快速烧结,所以SPS技术为制备金属间化合物的一种有效方法。目前,利用SPS技术已制备的金属间化合物体系有:Ti-Al体系、Mo-Si体系、Ni-Al体系等。高致密度、细晶粒陶瓷和金属陶瓷:在SPS过程中,样品中每一个粉末颗粒及其相互间的空隙本身都可能是发热源。用通常方法烧结时所必需的传热过程在SPS过程中可以忽略不计。因此烧结时间可以大为缩短,烧结温度也明显降低
14、。对于制备高密度、细晶粒陶瓷,SPS是一种很有优势的烧结手段。第17页,共46页,编辑于2022年,星期三等离子放电烧结等离子放电烧结其他材料:SPS技术也已成功地应用于金属基复合材料、非晶合金、生物材料、超导材料和多孔材料等各种新材料的制备,并获得了较为优异的性能。同时,SPS在硬质合金的烧结,多层金属粉末的同步连接(bonding)、陶瓷粉末和金属粉末的连接以及固体-粉末-固体的连接方面也已有了广泛的应用。第18页,共46页,编辑于2022年,星期三等离子放电烧结等离子放电烧结等离子体放电烧结工艺等离子体放电烧结工艺 产生单轴向压力产生单轴向压力的加压系统的加压系统等离子体烧结设备一般组成
15、等离子体烧结设备一般组成脉冲电流发生器脉冲电流发生器电阻加热系统电阻加热系统第19页,共46页,编辑于2022年,星期三等离子放电烧结等离子放电烧结放电等离子烧结系统示意图1.1.上电极上电极 2.2.上压头上压头 3.3.粉末粉末 4.4.下压头下压头 5.5.下电极下电极 6.6.模具模具第20页,共46页,编辑于2022年,星期三等离子放电烧结等离子放电烧结特点:SPS利用直流脉冲电流直接通电烧结的加压烧结方法,通过调节脉冲直流电的大小控制升温速率和烧结温度。整个烧结过程可在真空环境下进行,也可在保护气氛中进行。烧结过程中,脉冲电流直接通过上下压头和烧结粉体或石墨模具,因此加热系统的热容
16、很小,升温和传热速度快,从而使快速升温烧结成为可能可用于短时间、低温、高压(500MPa1000MPa)可用于低压(20MPa30MPa)、高温(10000C20000C)致密度可以达到90%以上第21页,共46页,编辑于2022年,星期三等离子放电烧结等离子放电烧结等离子体烧结技术的工艺流程:在进行具体的试验操作时,将等离子体烧结技术的工艺流程:在进行具体的试验操作时,将试样装入石墨模具试样装入石墨模具中,中,模具置于上下电极之间模具置于上下电极之间,通过油压系统加压,然后对腔体抽真空,达到,通过油压系统加压,然后对腔体抽真空,达到要求的真空度后通入脉冲电流。要求的真空度后通入脉冲电流。脉冲
17、电流直接施加于导电模具和样品上脉冲电流直接施加于导电模具和样品上,通过样品及间隙的部分电流激活晶粒表面,在通过样品及间隙的部分电流激活晶粒表面,在孔隙间局部放电孔隙间局部放电,产生,产生等离子体,等离子体,粉末颗粒表面被活化、发热粉末颗粒表面被活化、发热,同时,同时,通过模具的部分电流加热通过模具的部分电流加热模具模具,使模具开始对试样传热,使模具开始对试样传热,试样温度升高,开始收缩,产生一定的密度,试样温度升高,开始收缩,产生一定的密度,并随着温度的升高而增大并随着温度的升高而增大,直至达到烧结温度后收缩结束,致密度达到最大。,直至达到烧结温度后收缩结束,致密度达到最大。第22页,共46页
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