技术规格响应偏离表格式.doc

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1、,格式IV-5. 技术规格响应/偏离表格式技术规格响应/偏离表投标人名称： 招标编号：0730-154011020075/03 包号：03 序号货物名称招标文件条目号招标规格投标规格响应/偏离说明1.设备控制装置1标书编号：0730-154011020075/03响应2.2设备名称：设备控制装置设备控制装置响应3.3数 量：1 套1套响应4.4报价币种：美元或日元（对国内供货商为人民币）报价方式：FOB卖方主要港口（对国内供货商为买方工厂价（包含一切税费）人民币响应5.*5交 货 期：采购合同生效后6个月，超过6个月其投标将被否决。办理出口许可证不得影响交货期。交货期：合同生效后5个月内响应R

2、eference toSOW 1.2 (P8)6.6系统用途及基本要求：计算机集成制造（CIM)是用于工厂生产制造全自动化的系统，所有制程功能由计算机控制并实现数据自动传输。要求该系统设计合理，采用先进成熟技术，保证系统具有良好的动态品质，控制系统采用的执行元件应具备高精度、高可靠性和反应迅速的特点。系统使用、操作、维修方便，造型美观，结构紧凑，整机运行稳定可靠，售后服务优良。计算机集成制造（CIM)是用于工厂生产制造全自动化的系统，所有制程功能由计算机控制并实现数据自动传输。 该系统设计合理，采用先进成熟技术，保证系统具有良好的动态品质，控制系统采用的执行元件具备高精度、高可靠性和反应迅速的

3、特点。系统使用、操作、维修方便，造型美观，结构紧凑，整机运行稳定可靠，售后服务优良。响应Reference toSOW 1.2 (P8)7.7设备技术要求及主要规格参数8.7.1设备设计制造应符合相关标准设备设计制造符合相关标准响应9.7.2设备所有零部件和各种仪表的计量单位应全部采用国际单位（SI）标准设备所有零部件和各种仪表的计量单位全部采用国际单位（SI）标准响应10.7.3总体要求与规格11.7.3.1设备的规格要求12.*7.3.1.1每套系统包含1套BC，169个机柜，一套网络布线工程包含1套BC，169个机柜，一套网络布线工程响应Reference toSOW1.4.1& 1.4

4、.2(P9)13.7.3.1.2该系统要求满足如下的项目目标：-. 完全自动化的制程控制和品质改进-. 生产量率提高-. 产能提高-. 缩短生产周期-. 不间断和无纸化操作-. 无故障和用户友好的界面-. 保证生产数据准确性和及时性-. 易于优化生产计划该系统满足如下的项目目标：-. 完全自动化的制程控制和品质改进-. 生产量率提高-. 产能提高-. 缩短生产周期-. 不间断和无纸化操作-. 无故障和用户友好的界面-. 保证生产数据准确性和及时性-. 易于优化生产计划响应Reference toSOW1.3(P9)14.7.3.1.3该系统的建立要求满足附件2(XMTM CIM Project

5、 Information)中Factory Master Data的内容该系统的建立满足附件2(XMTM CIM Project Information)中Factory Master Data的内容响应Reference toSOW1.4.1(P9)SOW1.5 & 1.6(P11)15.7.3.1.4卖方应满足附件4(XMTM G6 BC Requirement for Proposal)中Project Schedule的内容满足附件4(XMTM G6 BC Requirement for Proposal)中Project Schedule的内容响应Reference toSOW1.5

6、 (P11)& SOW3(P27)16.7.3.1.5前段和C/F厂要求全自动化操作，后段要求全自动化操作，半自动化操作和手动操作。前段和C/F厂全自动化操作，后段全自动化操作，半自动化操作和手动操作。响应Reference toSOW1.6 (P11)17.7.3.1.6设备操作由3种模式组成：- 手动模式- 半自动模式（半自动1/半自动2）- 全自动模式设备操作由3种模式组成：- 手动模式- 半自动模式（半自动1/半自动2）- 全自动模式响应Reference toSOW1.6 (P11)18.7.3.1.7设备操作模式的定义如附件2(XMTM CIM Project Informatio

7、n)中Equipment Operation Mode设备操作模式的定义符合附件2(XMTM CIM Project Information)中Equipment Operation Mod响应Reference toSOW1.6 (P11)19.7.3.2工作范围20.7.3.2.1BC SW有1套系统：- BC 系统BC HW包含两部分：- Rack- CablingBC SW有1套系统：- BC 系统BC HW包含两部分：- Rack- Cabling响应Reference toSOW1.4.1& 1.4.2(P9)21.7.3.2.2BC系统范畴22.7.3.2.2.1涵盖附件3(XM

8、TM G6 Host Online EQP List)中所有BC架构的设备- Array和C/F适用全自动操作- Front-Cell（切割裂片前）适用全自动化操作和半自动化操作- End-Cell适用全自动化和半自动化操作- Slim适用全自动化- Module适用半自动化操作和手动模式涵盖附件3(XMTM G6 Host Online EQP List)中所有BC架构的设备- Array和C/F适用全自动操作- Front-Cell（切割裂片前）适用全自动化操作和半自动化操作- End-Cell适用全自动化和半自动化操作- Slim适用全自动化- Module适用半自动化操作和手动模式响应

9、Reference toSOW1.1 & 1.2(P8)23.7.3.2.2.2BC自动化要求与如下设备或系统建立接口：-. 制程设备-. 检测设备-. 测量设备-. 测试设备-. Indexer-. StockerBC自动化与如下设备或系统建立接口：-. 制程设备-. 检测设备-. 测量设备-. 测试设备-. Indexer-. Stocker响应Reference toSOW1.4.3(P10)24.7.3.2.2.3设备通讯接口（EIP）规格要求可以支持设备性能追踪（EPT），包括设备综合效能（OEE）及缺陷检测和分类（FDC）以便今后扩展。设备通讯接口（EIP）规格可以支持设备性能追踪

10、（EPT），包括设备综合效能（OEE）及缺陷检测和分类（FDC）以便今后扩展。响应Reference toSOW1.4.3(P10)25.7.3.2.2.4要求提供设备通讯接口规格。提供设备通讯接口规格。响应Reference toSOW1.4.3(P10)26.7.3.2.2.5要求提供检测/测量/测试设备集成规格。提供检测/测量/测试设备集成规格响应Reference toSOW1.4.3(P10)27.7.3.2.2.6要求BC厂商至少有3次完整地在Array，C/F，Cell和Module厂实施接口的实绩。有3次以上完整地在Array，C/F，Cell和Module厂实施接口的实绩。

11、响应Reference toSOW8.3(P62)28.*7.3.2.2.7至设备供应商处进行EIP接口测试的差旅费和食宿费用要求包括在总价中，各地供应商数量需满足附件2(XMTM CIM Project Information)要求。至设备供应商处进行EIP接口测试的差旅费和食宿费用包括在总价中，各地供应商数量满足附件2(XMTM CIM Project Information)要求。响应Reference toSOW 4. 1. 4. 2(P39)29.7.3.2.5.8设备通讯（EIP）规格要求支持生产配方管理系统（RMS）。设备通讯（EIP）规格支持生产配方管理系统（RMS）响应Ref

12、erence toSOW1.4.3(P10)30.7.3.2.6系统间接口31.7.3.2.6.1子系统间接口的规格和实施要求当前最合适的，优化的，并且是最佳选择的技术。子系统间接口的规格和实施是当前最合适的，优化的，并且是最佳选择的技术响应Reference toSOW1.4.3(P10)32.7.3.2.6.2提供MES，BC系统间的BC接口规格和实施。提供MES，BC系统间的BC接口规格和实施响应Reference toSOW1.4.3(P10)33.7.3.3项目管理34.7.3.3.1项目管理方法论35.7.3.3.1.1供应商主要厂商要求在投标书中提交项目管理方法论和项目开发方法论

13、。在投标书中提交了项目管理方法论和项目开发方法论响应Reference toSOW 8.1(P46)36.7.3.3.1.2供应商主要厂商要求在项目中使用投标书中提交的项目管理方法论和项目开发方法论。在项目中使用投标书中提交的项目管理方法论和项目开发方法论。响应Reference toSOW 8.1(P46)37.*7.3.3.1.3要求以书面形式列出所有技术人员并事先提交给买方的CIM项目经理认可。技术人员一旦被指派至该项目，若未事先经买方CIM项目经理许可，不得更换。已经以书面形式列出所有技术人员并事先提交给买方的CIM项目经理认可。技术人员一旦被指派至该项目，若未事先经买方CIM项目经理

14、许可，不会更换响应Reference toSOW 3.1.1(P28)38.*7.3.3.1.4要求提供项目中和项目后的风险管理系统。提供项目中和项目后的风险管理系统响应Reference toSOW 4. 3 (P41)39.7.3.3.2项目交付使用40.*7.3.3.2.1所有英文文档要求提供软拷贝和纸质文档。技术文档作者要求在CIM领域有5年以上经验，并负责文档质量管控。所有英文文档提供软拷贝和纸质文档。技术文档作者在CIM领域有5年以上经验，并负责文档质量管控。响应Reference toSOW3.1.1 (P28)SOW3.1.2 (P32)41.7.3.3.2.2所有文档要求以两

15、种介质提供：-. CD软拷贝1份-. 纸质拷贝3份所有文档以两种介质提供：-. CD软拷贝1份-. 纸质拷贝3份响应Reference toSOW3.4 (P34)42.7.3.3.2.3所有文档应提供两种语言：英文和中文所有文档提供两种语言：英文和中文响应Reference toSOW3.4 (P34)43.*7.3.3.2.4以下是要求供应商在项目期间和/或项目完成后提交的文档列表：-. 外部设计文档-. 内部设计文档-. 系统设计规格（包括需求/功能文档）-. 数据库设计规格（包括实体关系图）-. 页面配置（包括与DB/Message关系的详细项目）-. 设备接口规格-. 外部接口规格如

16、FDC-. 安装配置文档-. 操作文档-. 维护和故障处理文档所有文档要求以统一建模语言（UML）制作。以下是供应商在项目期间和/或项目完成后提交的文档列表：-. 外部设计文档-. 内部设计文档-. 系统设计规格（包括需求/功能文档）-. 数据库设计规格（包括实体关系图）-. 页面配置（包括与DB/Message关系的详细项目）-. 设备接口规格-. 外部接口规格如FDC-. 安装配置文档-. 操作文档-. 维护和故障处理文档所有文档以统一建模语言（UML）制作。响应Reference toSOW 3. 3 (P33)44.7.3.3.3测试计划45.7.3.3.3.1卖方应在项目产品上线之前

17、提供如下测试计划：-. 测试计划-. 测试报告 (测试之后)所有子系统需进行上述测试并提供相关文档。卖方在项目产品上线之前提供如下测试计划：-. 测试计划-. 测试报告 (测试之后)所有子系统进行上述测试并提供相关文档。响应Reference toSOW 3 (P27)SOW 3. 3 (P33)46.7.3.3.3.2卖方在项目实施期间应提供验收测试。-. 验收测试计划-. 验收测试报告（验收测试之后）-. 系统负载和压力测试报告所有子系统需进行上述测试并提供相关文档。卖方在项目实施期间提供验收测试。-. 验收测试计划-. 验收测试报告（验收测试之后）-. 系统负载和压力测试报告所有子系统需

18、进行上述测试并提供相关文档。响应Reference toSOW 3 (P27)SOW 3. 3 (P33)47.7.3.3.4项目实施进度48.*7.3.3.4.1基于整体项目进度和本文件中提及的CIM项目进度，要求在方案书中阐述项目实施进度。包括：-. 概括性的项目里程碑-. 基于工作分解结构（WBS）的项目里程碑在方案书中阐述项目实施进度。包括：-. 概括性的项目里程碑-. 基于工作分解结构（WBS）的项目里程碑响应Reference toSOW 3. 6 (P36)49.*7.3.3.4.2投标书中基于WBS的项目进度要求使用微软 Project工具。主要进度有：-. 总体项目里程碑-.

19、 BC项目计划投标书中基于WBS的项目进度使用微软 Project工具。主要进度有：-. 总体项目里程碑-. BC项目计划响应Reference toSOW 3. 6 (P36)50.7.3.3.5品质保证51.7.3.3.5.1新版本发布至买方之前，卖方应根据测试情节进行可靠的新功能测试。买方保留审核发布状态和进度的权利。每次发布卖方必须提供发布记录，安装程序和QA报告。新版本发布至买方之前，卖方根据测试情节进行可靠的新功能测试。买方保留审核发布状态和进度的权利。每次发布卖方提供发布记录，安装程序和QA报告响应Reference toSOW 4.1 (P38)52.*7.3.3.5.2每次发

20、布应有至少一周连续运行（7天不间断）的可靠性测试。若有需要，故障切换测试和故障恢复测试也应包括在该测试中。买方只接收满足上述条件的发布。每次发布有至少一周连续运行（7天不间断）的可靠性测试。若有需要，故障切换测试和故障恢复测试也应包括在该测试中。买方只接收满足上述条件的发布。响应Reference toSOW 4. 1. 4. 2(P39)53.*7.3.3.5.3在实际投片试产开始之前，买方要求第一版系统不间断运行一个月以上。卖方应驻厂支持。所有发生的问题都应在当天提交。在实际投片试产开始之前，买方要求第一版系统不间断运行一个月以上。卖方驻厂支持。所有发生的问题都在当天提交响应Referen

21、ce toSOW 4. 2 & 4.3(P40)54.7.3.3.5.4必须将负载和压力测试作为每次发布的一部分。卖方应针对单个隔离级别,增量导入环境报告所有关键交易的响应时间，网络流量和系统利用率。性能压力测试期间的数据收集将被用于容量规划的基线和验收标准。负载和压力测试作为每次发布的一部分。卖方针对单个隔离级别,增量导入环境报告所有关键交易的响应时间，网络流量和系统利用率。性能压力测试期间的数据收集将被用于容量规划的基线和验收标准。响应Reference toSOW 4. 1. 5(P40)55.7.3.3.5.5设备自动化应包括实验室测试和工厂测试。设备自动化包括实验室测试和工厂测试响应

22、Reference toSOW 4.1.4(P39)56.7.3.3.6方案中的资源计划（在投标书中）57.*7.3.3.6.1资源计划应包括项目团队组织架构，每个团队成员的背景。所有合作者的合作关系也应详细描述，包括工作范畴，角色和职责，和权限。资源计划包括项目团队组织架构，每个团队成员的背景。所有合作者的合作关系也详细描述，包括工作范畴，角色和职责，和权限。响应Reference toSOW 3. 1 (P28)58.*7.3.3.6.2卖方应在投标书提交月度资源计划。允许使用卖方提供的文档格式。卖方在投标书提交月度资源计划响应Reference toSOW 3. 2 (P33)59.*7

23、.3.3.6.3项目经理，方案设计师，品质担保经理及每个子系统的团队领导应在项目组织架构上标注姓名（英文和韩文/中文/日文姓名）并附专业项目经历。项目经理，方案设计师，品质担保经理及每个子系统的团队领导在项目组织架构上已标注姓名（英文和韩文/中文/日文姓名）并附专业项目经历响应Reference toSOW 3. 1 (P28)60.*7.3.3.6.4所有关键项目领导和所有被指派至该项目的工程师从项目开始至完成阶段的指定时间必须驻厂。所有关键项目领导和所有被指派至该项目的工程师从项目开始至完成阶段的指定时间驻厂响应Reference toSOW 3.1.1 (P28)61.*7.3.3.6.

24、5来自原产国（拥有执照和开发产品的系统供应商所在国家）的系统实施人力资源应占据该系统总人力的70%以上，如系统原产国是中国，则来自中国的人员不应超过该系统总人员50%。符合对人员的相关要求响应Reference toSOW 3.1.1 (P28)62.*7.3.3.6.6每个方案的项目领导必须从始至终服务于该项目。每个方案的项目领导从始至终服务于该项目响应Reference toSOW 3. 2 (P33)63.*7.3.3.6.7仅驻厂的人力资源以人/月计算。仅驻厂的人力资源以人/月计算响应Reference toSOW 3. 2 (P33)64.*7.3.3.6.8客户化，开发和维护的资源

25、分配要求大于135人/月。客户化，开发和维护的资源分配大于135人/月响应Reference toSOW 3. 2 (P33)65.*7.3.3.6.9从项目开始至完成阶段的指定时间，需指派一个从事TFT-LCD行业10年以上的专业人员及6个以上从事TFT-LCD行业7年以上的专业人员至BC项目。该人员需被立即指派到买方工厂一经卖方在标书中选定，不管其之前是否有其他合约。项目开始至完成阶段的指定时间内指派一个从事TFT-LCD行业10年以上的专业人员及6个以上从事TFT-LCD行业7年以上的专业人员至BC项目。该人员被立即指派到买方工厂一经卖方在标书中选定，唯一对应本次项目响应Referenc

26、e toSOW 3.1.1 (P28)66.7.3.3.6.10项目PM要求10年以上TFT-LCD行业从业经验，并负责过3个以上的项目含一个全厂范围导入。项目PM具有12年TFT-LCD行业经验以及10个以上实际项目经验（含全厂范围导入）响应Reference toSOW 3.1.1 (P28)67.7.3.3.6.11规格设计人员要求7年以上TFT-LCD行业从业经验，并至少参与过3个以上Array/CF/Cell/Module BC项目。规格设计人员具备10年以上TFT-LCD行业从业经验；10个以上Array/CF/Cell/Module BC项目经验响应Reference toSOW

27、 3.1.1 (P28)68.7.3.3.7培训和技能传授69.*7.3.3.7.1卖方必须向买方提供技能传授。技能传授和培训计划需含在投标书中。卖方向买方提供技能传授。技能传授和培训计划均含在投标书中响应Reference toSOW3.5 (P34)70.7.3.3.7.2技能传授和培训应包括操作系统，数据库，应用环境，编程环境，源代码交付和卖方在该项目中所使用的软件包。技能传授和培训包括操作系统，数据库，应用环境，编程环境，源代码交付和卖方在该项目中所使用的软件包响应Reference toSOW3.5.1 (P34)71.7.3.3.7.3在项目完成时，卖方应向买方提供高层次的培训和技

28、能传授，使买方的CIM成员有能力开发和改善系统功能。项目完成时，卖方会向买方提供高层次的培训和技能传授，使买方的CIM成员有能力开发和改善系统功能响应Reference toSOW3.5.2 (P34)72.7.3.3.8项目或保养期间，培训和技能传授计划的最小值73.7.3.3.8.1各方案项目相关的培训和技能传授计划需满足附件2(XMTM CIM Project Information)中Training的内容针对CIM开发人员的培训一半为在职培训。各方案项目相关的培训和技能传授计划满足附件2(XMTM CIM Project Information)中Training的内容针对CIM开发

29、人员的培训一半为在职培训响应Reference toSOW3.6 (P36)74.7.3.3.9保养和售后75.*7.3.3.9.1要求2年保固期。包含操作系统，中间件，DBMS，第三方组件等在内的层次型产品的保养期从最终验收证明（FAC）批准开始生效。服务应包括补丁，新版本发布，远程呼叫。提供2年保固期。包含操作系统，中间件，DBMS，第三方组件等在内的层次型产品的保养期从最终验收证明（FAC）批准开始生效。服务应包括补丁，新版本发布，远程呼叫。响应Reference toSOW4.4 (P42)76.7.3.3.9.2强烈要求本地服务，并应涵盖非工作时段。提供本地服务，涵盖非工作时段响应R

30、eference toSOW4.2 (P40)77.*7.3.3.9.3项目期间要求7*24小时服务。项目期间提供7*24小时服务响应Reference toSOW4.2 (P40)78.7.3.3.9.4保养应包括软件产品支持和客户化程序缺陷修复。保养包括软件产品支持和客户化程序缺陷修复。响应Reference toSOW4.2 (P40)79.7.3.3.9.5项目中产生的所有客户化都应是符合买方规则的买方知识产权。项目中产生的所有客户化都符合买方规则的买方知识产权响应Reference toSOW3.7 (P37)80.7.3.3.9.6未经买方同意，卖方不得将客户化代码或CIM观念泄露

31、给FPD竞争制造商。未经买方同意，卖方不会将客户化代码或CIM观念泄露给FPD竞争制造商响应Reference toSOW7 (P45)81.7.3.3.10违约82.7.3.3.10.1买方保留所有今后因项目延期造成争议而要求卖方支付违约金的权利，违约金为总采购价的0.1%每天。买方保留所有今后因项目延期造成争议而要求卖方支付违约金的权利，违约金为总采购价的0.1%每天响应83.7.3.3.11设备在线通讯规格84.*7.3.3.11.1卖方应提供如下全部规格。该规格会不做任何修改而被发布至买方的设备厂商。因此在提交方案时需包含以MS-Word格式编辑的完整文档，文档需包含买方的标识，卖方的

32、标识为可选。-. 设备在线通讯接口规格（EIP规格）-. 检测/测量/测试设备的缺陷文件传输服务器接口规格卖方提供如下全部规格。该规格会不做任何修改而被发布至买方的设备厂商。因此在提交方案时包含以MS-Word格式编辑的完整文档，文档需包含买方的标识，卖方的标识为可选。-. 设备在线通讯接口规格（EIP规格）-. 检测/测量/测试设备的缺陷文件传输服务器接口规格响应Reference toSOW3.3 (P33)85.7.3.3.11.2上述规格应免受知识产权约束。上述规格免受知识产权约束响应Reference toSOW3.3 (P33)86.7.3.3.12安装87.7.3.3.12.1要

33、求卖方负责在买方安装硬件和软件的所有费用。如果需要由买方提供额外的必要项目，卖方应列出其所需的所有物件。否则买方不予支付额外的费用。卖方负责在买方安装硬件和软件的所有费用。如果需要由买方提供额外的必要项目，卖方会列出其所需的所有物件。否则买方不予支付额外的费用响应Reference toSOW1.4.4 (P10)88.7.3.3.13驻厂开发驻厂开发89.*7.3.3.13.1所有项目内的卖方人力资源，要求驻厂开发和实施项目。否则不被接受为是人/月的人力资源分配。所有项目内的卖方人力资源，驻厂开发和实施项目。否则不被接受为是人/月的人力资源分配响应Reference toSOW3.1.1 (

34、P28)90.7.3.3.14软件授权91.*7.3.3.14.1在项目期间或项目完成阶段，应向买方提交所有软件授权的认证书原件。在项目期间或项目完成阶段，向买方提交所有软件授权的认证书原件响应Reference toSOW2.1 (P12)92.*7.3.3.14.2以下是软件授权的类别：-. 开发工具-. 运行时库-. 层次型产品-. 包含选项和服务包/补丁的操作系统-. 每个系统的微软Windows授权以下是软件授权的类别：-. 开发工具-. 运行时库-. 层次型产品-. 包含选项和服务包/补丁的操作系统-. 每个系统的微软Windows授权响应Reference toSOW2.1.3

35、(P13)93.7.3.3.15病毒防护94.7.3.3.15.1所有系统应免受所有病毒。由卖方决定防病毒程式并安装至每个系统。所有系统免受所有病毒。由卖方决定防病毒程式并安装至每个系统响应Reference toSOW2.1.3 (P13)95.7.3.3.16其他96.7.3.3.16.1要求提供新版本自动更新程序。提供新版本自动更新程序响应Reference toSOW 2.2.9.5(P23)97.*7.3.3.16.2要求卖方在投标书中提交所有针对本文档中项目管理需求和技术需求的详细方案书和材料。卖方在投标书中提交所有针对本文档中项目管理需求和技术需求的详细方案书和材料。响应Refe

36、rence toSOW 2.2 (P14)SOW 3 (P27)SOW 8.1 (P46)98.*7.3.3.16.3要求卖方对IT基础设施接口负最终责任，并保证提供可靠的BC应用。卖方对IT基础设施接口负最终责任，并保证提供可靠的BC应用响应Reference toSOW 2.2 P1499.7.4技术需求100.A部分 Block Control（BC）101.A7.4BC技术需求102.A7.4.1Function of BC103.*A7.4.1.11. Equipment Status ReportEquipment Status Report响应Reference toSOW 2.

37、2.1 P14104.*A7.4.1.1.1Tool Status / Chamber, Unit StatusTool Status / Chamber, Unit Status响应Reference toSOW 2.2.1.1 P14105.*A7.4.1.1.2Mode ReportMode Report响应Reference toSOW 2.2.1.2 P14106.*A7.4.1.1.3Internal Unit Status ReportInternal Unit Status Report响应Reference toSOW 2.2.1.3 P14107.*A7.4.1.1.4Po

38、rt Status ReportPort Status Report响应Reference toSOW 2.2.1.4 P15108.*A7.4.1.1.5Error / Alarm ReportError / Alarm Report响应Reference toSOW 2.2.1.5 P15109.*A7.4.1.1.6Line / Equipment / Internal unit / port status monitor Line / Equipment / Internal unit / port status monitor 响应Reference toSOW 2.2.1.6 P1

39、6110.*A7.4.1.1.7Tool alarm/warning history Tool alarm/warning history 响应Reference toSOW 2.2.1.7 P16111.A7.4.1.2Port Management112.*A7.4.1.2.1Port Mode managementPort Mode management响应Reference toSOW2.2.2.1 P16113.*A7.4.1.2.2Port Status managementPort Status management响应Reference toSOW2.2.2.2 P16114.

40、*A7.4.1.2.3Cassette data managementCassette data management响应Reference toSOW2.2.2.3 P18115.*A7.4.1.2.4Start/Cancel/Abort/Force complete controlStart/Cancel/Abort/Force complete control响应Reference to P18SOW2.2.2.4 116.*A7.4.1.2.5Buffer mode managementBuffer mode management响应Reference to P18SOW2.2.2.5

41、 117.*A7.4.1.2.6Inline SortingInline Sorting响应Reference to P18SOW2.2.2.6118.*A7.4.1.2.7Dynamic Port JudgeDynamic Port Judge响应Reference to P18SOW2.2.2.7119.*A7.4.1.2.8Partial RunPartial Run响应Reference to P18SOW2.2.2.8120.*A7.4.1.2.9Unloader Partial CassetteUnloader Partial Cassette响应Reference to P18SOW2.2.2.9121.*A7.4.1.2.10Cassette Remove OutCassette Remove Out响应Reference to P18SOW2.2.2.10122.*A7.4.1.2.11Cassette Re-clampCassette Re-clamp响应Reference to P18SOW2.2.2.11