半导体FAB里基本的常识概述-精华版.doc

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1、,CVD Process1. 晶圆制造厂非常昂贵的原因之一，是需要一个无尘室，为何需要无尘室答：由于微小的粒子就能引起电子组件与电路的缺陷2. 何谓半导体? 答：半导体材料的电传特性介于良导体如金属(铜、铝，以及钨等)和绝缘和橡胶、塑料与干木头之间。最常用的半导体材料是硅及锗。半导体最重要的性质之一就是能够藉由一种叫做掺杂的步骤刻意加入某种杂质并应用电场来控制其之导电性。3. 常用的半导体材料为何？答：硅(Si)、锗(Ge)和砷化镓(AsGa)4. 何谓VLSI？答：VLSI(Very Large Scale Integration)超大规模集成电路5. 在半导体工业中，作为绝缘层材料通常称什

2、么？答：介电质(Dielectric). 6. 薄膜区机台主要的功能为何？答：沉积介电质层及金属层7. 何谓CVD(Chemical Vapor Dep.)答：CVD是一种利用气态的化学源材料在晶圆表面产生化学沉积的制程8. CVD分那几种?答：PE-CVD(电浆增强型)及Thermal-CVD(热耦式)9. 为什么要用铝铜(Al-Cu)合金作导线?答：良好的导体仅次于铜10. 介电材料的作用为何? 答：做为金属层之间的隔离11. 何谓PMD(Pre-Metal Dielectric) 答：称为金属沉积前的介电质层，其界于多晶硅与第一个金属层的介电质12. 何谓IMD(Inter-Metal

3、Dielectric) 答：金属层间介电质层。13. 何谓USG? 答：未掺杂的硅玻璃(Undoped Silicate Glass)14. 何谓FSG? 答：掺杂氟的硅玻璃(Fluorinated Silicate Glass)15. 何谓BPSG? 答：掺杂硼磷的硅玻璃(Boro phospho silicate glass) 16. 何谓TEOS? 答：Tetra-ethoxy-silane四乙氧基硅烷, 正硅酸四乙酯, 用途为沉积二氧化硅 17. TEOS在常温时是以何种形态存在? 答：液体 18. 二氧化硅其K值为3.9表示何义 答：表示二氧化硅的介电质常数为真空的3.9倍 19.

4、氟在CVD的工艺上，有何应用答：作为清洁反应室(Chamber)用之化学气体20. 简述Endpoint detector之作用原理答：clean制程时,利用生成物或反应物浓度的变化,因其特定波长光线被 detector 侦测到强度变强或变弱,当超过某一设定强度时,即定义制程结束而该点为endpoint. 21. 机台使用的管件材料主要有那些?答：有不锈钢制(Stainless Steal),黄铜制(Brass),塑胶制(PVC),特氟隆制(Teflon)四种.22. 机器维修时要放置停机维修告示牌目的为何?答：告知所有的人勿操作机台，避免危险23. 机台维修至少两人配合，有何目的? 答：帮忙

5、拆卸重物，并随时警戒可能的意外发生24. 更换过任何气体管路上的零件之后，一定要做何动作?答：用氦气测漏机来做测漏.25. 维修尚未降至室温之反应室(Chamber)，应配带何种手套答：石棉材质之防热手套并宜在80摄式度下始可动作26. 何为真空(Vacuum)?半导体业常用真空单位是什么? 答：半导体业通常用Torr作为真空的压力单位,一大气压相当760Torr,低于760Torr压力的环境称为真空.27. 真空Pump的作用？答：降低反应室(Chamber)内的气体密度和压力28. 何谓内部连锁(Interlock)答：机台上interlock有些属于保护操作人员的安全,有些属于水电气等规

6、格讯号,用以保护机台.29. 机台设定许多interlock有何作用?答：机台上interlock主要避免人员操作错误及防止不相关人员动作.30. Wafer Scrubber的功能为何?答：移除芯片表面的污染粒子,Scrubber(Wafer clean)机台是水清洗wafer表面，去除wafer表面外来的微尘颗粒(particle).ETCH31. 何谓蚀刻(Etch)? 答：将形成在晶圆表面上的薄膜全部，或特定处所去除至必要厚度的制程。32. 蚀刻种类:答：(1) 干蚀刻; (2) 湿蚀刻33. 蚀刻对象依薄膜种类可分为:答：poly, oxide, metal34. 半导体中一般金属导

7、线材质为何?答：钨线(W)/铝线(Al)/铜线(Cu)35. 何谓 dielectric 蚀刻(介电质蚀刻)? 答：Oxide etch and nitride etch（Si3N4）SiO2(k=3.9),Si3N4膜介电常数高达6-7单晶硅的相对介电常数是11.70.2， 多晶硅导电性不如金属，限制了讯号传递的速度。虽然可以利用掺杂的方式改善其导电性，但成效仍然有限。有些熔点比较高的金属材料如：钨（Tungsten）、钛（Titanium）、钴（Cobalt）或是镍（Nickel）被用来和多晶硅制成合金。这类混合材料通常称为金属硅化物（silicide）。加上了金属硅化物的多晶硅栅极有比较

8、好的导电特性，而且又能够耐受高温制程。此外因为金属硅化物的位置是在栅极表面，离通道区较远，所以也不会对MOSFET的临界电压造成太大影响。在栅极、源极与漏极都镀上金属硅化物的制程称为“自我对准金属硅化物制程”（Self-AlignedSilicide），通常简称salicide制程36. 半导体中一般介电质材质为何? 答：氧化硅/氮化硅37. 何谓湿式蚀刻答：利用液相的酸液或溶剂;将不要的薄膜去除38. 何谓电浆 Plasma? 答：电浆是物质的第四状态.带有正,负电荷及中性粒子之总和;其中包含电子,正离子,负离子,中性分子,活性基及发散光子等,产生电浆的方法可使用高温或高电压39. 何谓干式

9、蚀刻?答：利用plasma将不要的薄膜去除40. 何谓Under-etching(蚀刻不足)? 答：系指被蚀刻材料，在被蚀刻途中停止造成应被去除的薄膜仍有残留41. 何谓Over-etching(过蚀刻)答：蚀刻过多造成底层被破坏)42. 何谓Etch rate(蚀刻速率)答：单位时间内可去除的蚀刻材料厚度或深度43. 何谓Seasoning(陈化处理建议用活化词较好)44. 答：是在蚀刻室的清净或更换零件后，为要稳定制程条件，使用仿真（dummy）晶圆进行数次的蚀刻循环。45. Ashe灰化r的主要用途: 答：光阻去除46. Wet bench dryer 功用为何? 答：将晶圆表面的水份去

10、除47. 列举目前Wet bench dry方法答：(1) Spin Dryer(2) Marangoni dry (3) IPA Vapor Dry48. 何谓 Spin Dryer答：利用离心力将晶圆表面的水份去除49. 何谓 Maragoni Dryer 答：利用表面张力将晶圆表面的水份去除 50. 何谓 IPA Vapor Dryer答：利用IPA(异丙醇)和水共溶原理将晶圆表面的水份去除51. 测Particle时,使用何种测量仪器? 答：Tencor Surfscan52. 测蚀刻速率时,使用何者量测仪器? 答：膜厚计,测量膜厚差值53. 何谓 AEI 答：After Etchin

11、g Inspection 蚀刻后的检查54. AEI目检Wafer须检查哪些项目:答：(1) 正面颜色是否异常及刮伤 (2) 有无缺角及Particle (3)刻号是否正确55. 金属蚀刻机台转非金属蚀刻机台时应如何处理?答：清机防止金属污染问题56. 金属蚀刻机台Asher的功用为何?答：去光阻及防止腐蚀57. 金属蚀刻后为何不可使用一般硫酸槽进行清洗?答：因为金属线会溶于硫酸中58. Hot Plate机台是什么用途?答：烘烤59. Hot Plate 烘烤温度为何?答：9012060. 何种气体为Poly ETCH主要使用气体? 答：Cl2, HBr, HCl61. 用于Al金属蚀刻的主

12、要气体为：答：Cl2, BCl3 62. 用于W金属蚀刻的主要气体为答：SF663. 何种气体为oxide vai/contact ETCH主要使用气体? 答：C4F8, C5F8, C4F664. 硫酸槽的化学成份为:答：H2SO4/H2O2.65. AMP槽的化学成份为: 答：NH4OH/H2O2/H2O66. UV curing 是什么用途?答：利用UV光对光阻进行预处理以加强光阻的强度UV curing用于何种层次? 答：金属层, 67. 何谓EMO?答：机台紧急开关68. EMO作用为何? 答：当机台有危险发生之顾虑或已不可控制,可紧急按下69. 湿式蚀刻门上贴有那些警示标示?答：(

13、1) 警告.内部有严重危险.严禁打开此门 (2) 机械手臂危险. 严禁打开此门 (3) 化学药剂危险. 严禁打开此门70. 遇化学溶液泄漏时应如何处置?答：严禁以手去测试漏出之液体. 应以酸碱试纸测试. 并寻找泄漏管路.71. 遇 IPA 槽着火时应如何处置?答：立即关闭IPA 输送管路并以机台之灭火器灭火及通知紧急应变小组72. BOE槽之主成份为何?答：HF(氢氟酸)与NH4F(氟化铵).73. BOE为那三个英文字缩写 ?答：Buffered Oxide Etcher 。74. 有毒气体之阀柜(VMB)功用为何?答：当有毒气体外泄时可利用抽气装置抽走,并防止有毒气体漏出75. 电浆的频率

14、一般13.56 MHz,为何不用其它频率?答：为避免影响通讯品质,目前只开放特定频率,作为产生电浆之用,如380420KHz ,13.56MHz,2.54GHz等76. 何谓ESC(electrical static chuck)答：利用静电吸附的原理, 将 Wafer 固定在极板 (Substrate)77. Asher主要气体为答：O278. Asher机台进行蚀刻最关键之参数为何?答：温度79. 简述TURBO PUMP 原理答：利用涡轮原理,可将压力抽至10-6TORR 80. 热交换器(HEAT EXCHANGER)之功用为何？ 答：将热能经由介媒传输,以达到温度控制之目地 81.

15、简述BACKSIDE HELIUM COOLING之原理？ 答：藉由氦气之良好之热传导特性,能将芯片上之温度均匀化82. ORIENTER 之用途为何？ 答：搜寻notch边,使芯片进反应腔的位置都固定,可追踪问题83. 简述EPD之功用答：侦测蚀刻终点;End point detector利用波长侦测蚀刻终点84. 何谓MFC？答：mass flow controler气体流量控制器;用于控制 反应气体的流量85. GDP 为何? 答：气体分配盘(gas distribution plate)86. GDP 有何作用？答：均匀地将气体分布于芯片上方87. 何谓 isotropic etch?

16、 答：等向性蚀刻;侧壁侧向蚀刻的机率均等88. 何谓 anisotropic etch? 答：非等向性蚀刻;侧壁侧向蚀刻的机率少89. 何谓 etch 选择比? 答：不同材质之蚀刻率比值90. 何谓AEI CD?答：蚀刻后特定图形尺寸之大小,特征尺寸(Critical Dimension) 91. 何谓CD bias?答：蚀刻CD减蚀刻前黄光CD 92. 简述何谓田口式实验计划法?答：利用混合变因安排辅以统计归纳分析93. 何谓反射功率? 答：蚀刻过程中,所施予之功率并不会完全地被反应腔内接收端所接受,会有部份值反射掉,此反射之量,称为反射功率94. Load Lock 之功能为何?答：Waf

17、ers经由loadlock后再进出反应腔,确保反应腔维持在真空下不受粉尘及湿度的影响.95. 厂务供气系统中何谓 Bulk Gas ?答：Bulk Gas 为大气中普遍存在之制程气体, 如 N2, O2, Ar 等96. 厂务供气系统中何谓Inert Gas?答：Inert Gas 为一些特殊无强烈毒性的气体, 如 NH3, CF4, CHF3, SF6 等. 97. 厂务供气系统中何谓Toxic Gas ? 答：Toxic Gas 为具有强烈危害人体的毒性气体, 如 SiH4, Cl2, BCl3 等.98. 机台维修时,异常告示排及机台控制权应如何处理?答：将告示牌切至异常且将机台控制权移

18、至维修区以防有人误动作99. 冷却器的冷却液为何功用 ?答：传导热100. Etch之废气有经何种方式处理 ?答：利用水循环将废气溶解之后排放至废酸槽101. 何谓RPM?答：即Remote Power Module,系统总电源箱.102. 火灾异常处理程序答：(1) 立即警告周围人员. (2) 尝试3秒钟灭火.(3)按下EMO停止机台. (4)关闭 VMB Valve并通知厂务. (5) 撤离103. 一氧化碳(CO)侦测器警报异常处理程序答：(1) 警告周围人员.(2)按Pause 键,暂止Run货. (3) 立即关闭VMB阀,并通知厂务. (4) 进行测漏.104. 高压电击异常处理程序

19、答：(1) 确认安全无虑下,按 EMO键(2) 确认受伤原因(误触电源,漏水等)(3) 处理受伤人员105. T/C (传送Transfer Chamber) 之功能为何 ?答：提供一个真空环境, 以利机器手臂在反应腔与晶舟间传送 Wafer,节省时间.106. 机台PM时需佩带面具否答：是,防毒面具107. 机台停滞时间过久run货前需做何动作答：Seasoning(陈化处理);108. 何谓日常测机答：机台日常检点项目, 以确认机台状况正常109. 何谓WAC (Waferless Auto Clean)答：无wafer自动干蚀刻清机110. 何谓Dry Clean 答：干蚀刻清机111.

20、 日常测机量测etch rate之目的何在?答：因为要蚀刻到多少厚度的film,其中一个重要参数就是蚀刻率112. 操作酸碱溶液时,应如何做好安全措施?答：(1) 穿戴防酸碱手套围裙安全眼镜或护目镜(2) 操作区备有清水与水管以备不时之需(3) 操作区备有吸酸棉及隔离带113. 如何让chamber达到设定的温度?答：使用heater和chiller114. Chiller之功能为何? 答：用以帮助稳定chamber温度115. 如何在chamber建立真空? 答：(1) 首先确立chamber parts组装完整(2) 以dry pump作第一阶段的真空建立(3) 当圧力到达100mT时再以

21、turbo pump 抽真空至1mT以下116. 真空计的功能为何?答：侦测chamber的压力,确保wafer在一定的压力下 117. process Transfer module 之robot 功用为何?答：将wafer 传进chamber与传出chamber之用118. 何谓MTBC? (mean time between clean) 答：上一次wet clean 到这次wet clean 所经过的时间)119. RF Generator 是否需要定期检验? 答：是需要定期校验；若未校正功率有可能会变化;如此将影响电浆的组成120. 为何需要对etch chamber温度做监控?答：

22、因为温度会影响制程条件；如etching rate/均匀度121. 为何需要注意dry pump exhaust pressure (pump 出口端的气压)? 答：因为气压若太大会造成pump 负荷过大,造成pump跳掉，影响chamber的压力,直接影响到run货品质122. 为何要做漏率测试? (Leak rate ) 答：(1) 在PM后PUMP Down 12小时后;为确保chamber Run 货时,无大气进入chamble 影响chamber GAS 成份(2) 在日常测试时，为确保chamber 内来自大气的泄漏源,故需测漏。123. 机台发生Alarm时应如何处理?答：(1)

23、 若为火警,立即圧下EMO(紧急按钮),并灭火且通知相关人员与主管(2) 若是一般异常,请先检查alarm讯息再判定异常原因,进而解决问题,若未能处理应立即通知主要负责人124. 蚀刻机台废气排放分为那几类?答：一般无毒性废气/有毒酸性废气排放125. 蚀刻机台使用的电源为多少伏特(v)? 答：208V 三相 126. 干式蚀刻机台分为那几个部份?答：(1) Load/Unload 端 (2) transfer module (3) Chamber process module (4) 真空系统 (5) GAS system (6) RF system)PHOTO127. PHOTO 流程?答

24、：上光阻曝光显影显影后检查CD量测Overlay量测128. 何为光阻？其功能为何？其分为哪两种？ 答：Photoresist(光阻)是一种感光的物质，其作用是将Pattern从光罩(Reticle)上传递到Wafer上的一种介质。其分为正光阻和负光阻。129. 何为正光阻?答：正光阻，是光阻的一种，这种光阻的特性是将其曝光之后，感光部分的性质会改变，并在之后的显影过程中被曝光的部分被去除。130. 何为负光阻?答：负光阻也是光阻的一种类型，将其曝光之后，感光部分的性质被改变，但是这种光阻的特性与正光阻的特性刚好相反，其感光部分在将来的显影过程中会被留下，而没有被感光的部分则被显影过程去除。1

25、31. 什么是曝光？什么是显影？答：曝光就是通过光照射光阻，使其感光；显影就是将曝光完成后的图形处理，以将图形清晰的显现出来的过程。132. 何谓 Photo? 答：Photo=Photolithgraphy,光刻，将图形从光罩上成象到光阻上的过程。133. Photo主要流程为何? 答：Photo的流程分为前处理，上光阻，Soft Bake, 曝光，PEB，显影，Hard Bake134. 何谓PHOTO区之前处理?答：在Wafer上涂布光阻之前，需要先对Wafer表面进行一系列的处理工作，以使光阻能在后面的涂布过程中能够被更可靠的涂布。前处理主要包括Bake，HDMS等过程。其中通过Bak

26、e将Wafer表面吸收的水分去除，然后进行HDMS工作，以使Wafer表面更容易与光阻结合。Note: HMDS是增粘剂，是硅烷偶联剂的一种，恰恰不是做亲水处理的。主要是增强硅片和有机物尤其是高分子树脂（光刻胶）之间的黏附性。HMDS的处理方式是用真空烘箱或者特殊热板对硅片进行熏蒸进行的。135. 何谓上光阻?答：上光阻是为了在Wafer表面得到厚度均匀的光阻薄膜。光阻通过喷嘴（Nozzle）被喷涂在高速旋转的Wafer表面，并在离心力的作用下被均匀的涂布在Wafer的表面。136. 何谓Soft Bake?答：上完光阻之后，要进行Soft Bake，其主要目的是通过Soft Bake将光阻中

27、的溶剂蒸发，并控制光阻的敏感度和将来的线宽，同时也将光阻中的残余内应力释放。137. 何谓曝光?答：曝光是将涂布在Wafer表面的光阻感光的过程，同时将光罩上的图形传递到Wafer上的过程。138. 何谓PEB(Post Exposure Bake)? 答：PEB是在曝光结束后对光阻进行控制精密的Bake的过程。其目的在于使被曝光的光阻进行充分的化学反应，以使被曝光的图形均匀化。139. 何谓显影?答：显影类似于洗照片，是将曝光完成的Wafer进行成象的过程，通过这个过程，成象在光阻上的图形被显现出来。140. 何谓Hard Bake?答：Hard Bake是通过烘烤使显影完成后残留在Wafe

28、r上的显影液蒸发，并且固化显影完成之后的光阻的图形的过程。141. 何为BARC?何为TARC?它们分别的作用是什么？ 答：BARC=Bottom Anti Reflective Coating, TARC=Top Anti Reflective Coating. BARC是被涂布在光阻下面的一层减少光的反射的物质，TARC则是被涂布在光阻上表面的一层减少光的反射的物质。他们的作用分别是减少曝光过程中光在光阻的上下表面的反射，以使曝光的大部分能量都被光阻吸收。142. 何谓I-line？答：曝光过程中用到的光，由Mercury Lamp(汞灯)产生，其波长为365nm，其波长较长，因此曝光完成

29、后图形的分辨率较差，可应用在次重要的层次。143. 何谓 DUV？答：曝光过程中用到的光，其波长为248nm，其波长较短，因此曝光完成后的图形分辨率较好，用于较为重要的制程中，深紫外光(deep ultraviolet)。EUV（Extreme Ultraviolet）为极紫外光，常称作EUV光刻，它以波长为10-14纳米的极紫外光作为光源的光刻技术。具体为采用波长为13.4nm 的紫外线X-ray: 0.001nm 10nmUV: 10nm400nm144. I-line与DUV主要不同处为何?答：光源不同，波长不同，因此应用的场合也不同。I-Line主要用在较落后的制程（0.35微米以上）

30、或者较先进制程（0.35微米以下）的Non-Critical layer。DUV则用在先进制程的Critical layer上。145. 何为Exposure Field? 答：曝光区域，一次曝光所能覆盖的区域146. 何谓 Stepper? 其功能为何?答：一种曝光机，其曝光动作为Step by step形式,一次曝整個exposure field,一個一個曝過去147. 何谓 Scanner? 其功能为何? 答：一种曝光机，其曝光动作为Scanning and step形式, 在一個exposure field曝光時, 先Scan完整個field, Scan完後再移到下一個field.14

31、8. 何为象差？答：代表透镜成象的能力,越小越好. 149. Scanner比Stepper优点为何？答：Exposure Field大，象差较小150. 曝光最重要的两个参数是什么？答：Energy(曝光量), Focus(焦距)。如果能量和焦距调整的不好，就不能得到要求的分辨率和要求大小的图形，主要表现在图形的CD值超出要求的范围。因此要求在生产时要时刻维持最佳的能量和焦距，这两个参数对于不同的产品会有不同。151. 何为Reticle?答：Reticle也称为Mask，翻译做光掩模板或者光罩，曝光过程中的原始图形的载体，通过曝光过程，这些图形的信息将被传递到芯片上。152. 何为Pell

32、icle?答：Pellicle是Reticle上为了防止灰尘(dust)或者微尘粒子(Particle)落在光罩的图形面上的一层保护膜。Pellicle: 膜剂；薄皮；护膜；菌醭；光罩护膜。153. 何为OPC光罩？ 答：OPC (Optical Proximity Correction)为了增加曝光图案的真实性，做了一些修正的光罩，例如，0.18微米以下的Poly, Metal layer就是OPC光罩。154. 何为PSM光罩？ 答：PSM (Phase Shift Mask)不同于Cr mask, 利用相位干涉原理成象，目前大都应用在contact layer以及较小CD的Critica

33、l layer（如AA，POLY，METAL1）以增加图形的分辨率。155. 何為CR Mask？ 答：传统的铬膜光罩,只是利用光讯0与1干涉成像,主要应用在较不Critical 的layer156. 光罩编号各位代码都代表什么？ 答：例如003700-156AA-1DA, 0037代表产品号，00代表Special code,156代表layer,A代表客户版本，后一个A代表SMIC版本，1代表FAB1，D代表DUV(如果是J,则代表I-line),A代表ASML机台（如果是C，则代表Canon机台）157. 光罩室同时不能超过多少人在其中？ 答：2人，为了避免产生更多的Particle和静

34、电而损坏光罩。158. 存取光罩的基本原则是什么？答：(1) 光罩盒打开的情况下，不准进出Mask Room,最多只准保持2个人(2) 戴上手套(3) 轻拿轻放159. 如何避免静电破坏Mask？ 答：光罩夹子上连一导线到金属桌面，可以将产生的静电导出。160. 光罩POD和FOUP能放在一起吗？它们之间至少应该保持多远距离？ 答：不能放在一起，之间至少要有30公分的距离，防止搬动FOUP时碰撞光罩Pod而损坏光罩。161. 何谓 Track? 答：Photo制程中一系列步骤的组合，其包括：Wafer的前、后处理，Coating(上光阻)，和Develop(显影)等过程。关键没曝光机scann

35、er, scanner需要另外设立。162. In-line Track机台有几个Coater槽，几个Developer槽？答：均为4个163. 机台上亮红灯的处理流程？ 答：机台上红灯亮起的时候表明机台处于异常状态，此时已经不能RUN货，因此应该及时Call EE进行处理。若EE现在无法立即解决，则将机台挂DOWN。164. 何谓 WEE? 其功能为何? 答：Wafer Edge Exposure。由于Wafer边缘的光阻通常会涂布的不均匀，因此一般不能得到较好的图形，而且有时还会因此造成光阻peeling而影响其它部分的图形，因此将Wafer Edge的光阻曝光，进而在显影的时候将其去除，

36、这样便可以消除影响。165. 何为PEB？其功能为何？答：Post Exposure Bake，其功能在于可以得到质量较好的图形。（消除standing waves166. PHOTO POLYIMIDE所用的光阻是正光阻还是负光阻答：目前正负光阻都有，SMIC FAB内用的为负光阻。167. RUN货结束后如何判断是否有wafer被reject？ 答：查看RUN之前lot里有多少Wafer,再看Run之后lot里的WAFER是否有少掉，如果有少，则进一步查看机台是否有Reject记录。168. 何谓 Overlay? 其功能为何? 答：叠对测量仪。由于集成电路是由很多层电路重迭组成的，因此必

37、须保证每一层与前面或者后面的层的对准精度，如果对准精度超出要求范围内，则可能造成整个电路不能完成设计的工作。因此在每一层的制作的过程中，要对其与前层的对准精度进行测量，如果测量值超出要求，则必须采取相应措施调整process condition.169. 何谓 ADI CD? 答：Critical Dimension，光罩图案中最小的线宽。曝光过后，它的图形也被复制在Wafer上，通常如果这些最小的线宽能够成功的成象，同时曝光的其它的图形也能够成功的成象。因此通常测量CD的值来确定process的条件是否合适。170. 何谓 CD-SEM? 其功能为何?答：扫描电子显微镜。是一种测量用的仪器，

38、通常可以用于测量CD以及观察图案。171. PRS的制程目的为何？ 答：PRS (Process Release Standard)通过选择不同的条件（能量和焦距）对Wafer曝光，以选择最佳的process condition。172. 何为ADI？ADI需检查的项目有哪些？ 答：After Develop Inspection，曝光和显影完成之后，通过ADI机台对所产生的图形的定性检查，看其是否正常，其检查项目包括：Layer ID,Locking Corner,Vernier,Photo Macro Defect 173. 何为OOC, OOS，OCAP？ 答：OOC=out of co

39、ntrol,OOS=Out of Spec,OCAP=out of control action plan174. 当需要追货的时候，是否需要将ETCH没有下机台的货追回来？答：需要。因为通常是process出现了异常，而且影响到了一些货，因此为了减少损失，必须把还没有ETCH的货追回来，否则ETCH之后就无法挽回损失。175. PHOTO ADI检查的SITE是每片几个点？ 答：5点，Wafer中间一点，周围四点。176. PHOTO OVERLAY检查的SITE是每片几个点？ 答：20177. PHOTO ADI检查的片数一般是哪几片？ 答：#1，#6，#15，#24; 统计随机的考量;

40、178. 何谓RTMS，其主要功能是什么？答：RTMS (Reticle Management System) 光罩管理系统用于trace光罩的History,Status,Location,and Information以便于光罩管理179. PHOTO区的主机台进行PM的周期？答：一周一次180. PHOTO区的控片主要有几种类型答：(1) Particle:作为Particle monitor用的芯片，使用前测前需小于10颗(2) Chuck Particle:作为Scanner测试Chuck平坦度的专用芯片，其平坦度要求非常高(3) Focus :作为Scanner Daily mon

41、itor best 的wafer(4) CD :做为photo区daily monitor CD稳定度的wafer(5) PR thickness:做为光阻厚度测量的wafer(6) PDM:做为photo defect monitor的wafer181. 当TRACK刚显示光阻用完时，其实机台中还有光阻吗？答：有少量光阻182. WAFER SORTER有读WAFER刻号的功能吗？答：有183. 光刻部的主要机台是什么? 它们的作用是什么?答：光刻部的主要机台是: TRACK(涂胶显影机), Sanner(扫描曝光机)184. 为什么说光刻技术最象日常生活中的照相技术？答：Track 把光刻

42、胶涂附到芯片上就等同于底片,而曝光机就是一台最高级的照相机. 光罩上的电路图形就是人物. 通过对准,对焦,打开快门, 让一定量的光照过光罩, 其图像呈现在芯片的光刻胶上, 曝光后的芯片被送回Track 的显影槽, 被显影液浸泡, 曝光的光刻胶被洗掉, 图形就显现出来了.185. 光刻技术的英文是什么答：Photo Lithography186. 常听说的.18 或点.13 技术是指什么? 答：它是指某个产品,它的最小CD 的大小为0.18um or 0.13um. 越小集成度可以越高, 每个芯片上可做的芯片数量越多, 难度也越大.它是代表工艺水平的重要参数. 187. 从点18工艺到点13 工

43、艺到点零9. 难度在哪里?答：难度在光刻部, 因为图形越来越小, 曝光机分辨率有限. 188. 曝光机的NA 是什么?答：NA是曝光机的透镜的数值孔径;是光罩对透镜张开的角度的正玹值. 最大是1; 先进的曝光机的NA 在0.5 -0.85之间. 189. 曝光机分辨率是由哪些参数决定的? 答：分辨率=k1*Lamda/NA. Lamda是用于曝光的光波长;NA是曝光机的透镜的数值孔径; k1是标志工艺水准的参数, 通常在0.4-0.7之间. 190. 如何提高曝光机的分辨率呢? 答：减短曝光的光波长, 选择新的光源; 把透镜做大,提高NA.191. 现在的生产线上, 曝光机的光源有几种, 波长

44、多少?答：有三种: 高压汞灯光谱中的365nm 谱线, 我们也称其为I-line; KrF 激光器, 产生248 nm 的光; ArF 激光器, 产生193 nm 的光; Kr: 氪Ar: 氩192. 下一代曝光机光源是什么?答：F2 激光器. 波长157nm193. 我们可否一直把波长缩短,以提高分辨率? 困难在哪里?答：困难在透镜材料. 能透过157nm 的材料是CaF2, 其晶体很难生长. 194. 为什么光刻区采用黄光照明？答：因为白光中包含365nm成份会使光阻曝光,所以采用黄光; 就象洗像的暗房采用暗红光照明. 195. 什么是SEM答：扫描电子显微镜(Scan Electroni

45、c Microscope)光刻部常用的也称道CD SEM. 用它来测量CD196. 如何做Overlay 测量呢? 答：芯片(Wafer)被送进Overlay 机台中. 先确定Wafer的位置从而找到Overlay MARK. 这个MARK 是一个方块 IN 方块的结构.大方块是前层, 小方块是当层;通过小方块是否在大方块中心来确定Overlay的好坏.197. 生产线上最贵的机器是什么？答：曝光机;5-15 百万美金/台198. 曝光机贵在哪里?答：曝光机贵在它的光学成像系统 (它的成像系统由15 到20 个直径在200 300MM 的透镜组成.波面相位差只有最好相机的5%. 它有精密的定位

46、系统(使用激光工作台)199. 激光工作台的定位精度有多高?答：现用的曝光机的激光工作台定位的重复精度小于10nm200. 曝光机是如何保证Overlay50nm. 答：曝光机要保证每层的图形之间对准精度50nm. 它首先要有一个精准的激光工作台, 它把wafer移动到准确的位置. 再就是成像系统,它带来的图像变形35nm.201. 在WAFER 上, 什么叫一个Field?答：光罩上图形成象在WAFER上, 最大只有26 x 33 mm一块(这一块就叫一个Field),激光工作台把WAFER移动一个Field的位置，再曝一次光，再移动再曝光。直到覆盖整片WAFER。所以，一片WAFER上有约100左右Field.202. 什么叫一个Die? 答：一个Die也叫一个Chip;它是一个功能完整的芯片。一个Field可包含多个Die;203. 为什么曝光机的绰号是“印钞机”答：曝光机很贵；一天的折旧有3万-9万人民币之多;所以必须充份利用它的产能,它一天可产出1600片WAFER。204. Track和Scanner内主要使用什么手段传递Wafer 答：机器人手臂(robot), Scanner 的ROBOT 有真空(VACCUM)来吸住WAFER. TRACK的ROBOT 设计独特, 用边缘HOLD WAFER.205. 可否用肉眼直接观察测量Scanner曝光光源输出的