第六章感光性高分子精选文档.ppt
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1、第六章感光性高分子1本讲稿第一页,共一百六十页 其中开发比较成熟并有实用价值的感光性高分其中开发比较成熟并有实用价值的感光性高分子材料主要是指子材料主要是指光致抗蚀材料和光致诱蚀材料光致抗蚀材料和光致诱蚀材料,产,产品包括品包括光刻胶、光固化粘合剂、感光油墨、感光涂光刻胶、光固化粘合剂、感光油墨、感光涂料料等。等。本章中主要光致抗蚀材料和光致诱蚀材料。本章中主要光致抗蚀材料和光致诱蚀材料。感感电子束和感电子束和感X射线高分子射线高分子在本质上与感光高分子相在本质上与感光高分子相似,故略作介绍。似,故略作介绍。光导电材料和光电转换材料光导电材料和光电转换材料归属归属于导电高分子一类,本章不作介绍
2、。于导电高分子一类,本章不作介绍。第六章第六章 感光性高分子感光性高分子本讲稿第二页,共一百六十页 所谓光致抗蚀,是指高分子材料经过光照后,所谓光致抗蚀,是指高分子材料经过光照后,分子结构从线型可溶性转变为分子结构从线型可溶性转变为网状不可溶性网状不可溶性,从而,从而产生了对溶剂的抗蚀能力。而光致诱蚀正相反,当产生了对溶剂的抗蚀能力。而光致诱蚀正相反,当高分子材料受光照辐射后,感光部分发生高分子材料受光照辐射后,感光部分发生光分解光分解反反应,从而变为可溶性。如目前广泛使用的应,从而变为可溶性。如目前广泛使用的预涂感光预涂感光版版,就是将感光材料树脂预先涂敷在亲水性的基材,就是将感光材料树脂预
3、先涂敷在亲水性的基材上制成的。晒印时,树脂若发生光交联反应,则溶上制成的。晒印时,树脂若发生光交联反应,则溶剂显像时未曝光的树脂被溶解,感光部分树脂保留剂显像时未曝光的树脂被溶解,感光部分树脂保留了下来。反之,晒印时若发生光分解反应,则曝光了下来。反之,晒印时若发生光分解反应,则曝光部分的树脂分解成可溶解性物质而溶解。部分的树脂分解成可溶解性物质而溶解。第六章第六章 感光性高分子感光性高分子本讲稿第三页,共一百六十页 作为感光性高分子材料,应具有一些基本的性作为感光性高分子材料,应具有一些基本的性能,如能,如对光的敏感性、成像性、显影性、膜的物理对光的敏感性、成像性、显影性、膜的物理化学性能化
4、学性能等。但对不同的用途,要求并不相同。如等。但对不同的用途,要求并不相同。如作为电子材料及印刷制版材料,对感光高分子的成作为电子材料及印刷制版材料,对感光高分子的成像特性要求特别严格;而对粘合剂、油墨和涂料来像特性要求特别严格;而对粘合剂、油墨和涂料来说,感光固化速度和涂膜性能等则显得更为重要。说,感光固化速度和涂膜性能等则显得更为重要。第六章第六章 感光性高分子感光性高分子本讲稿第四页,共一百六十页 光刻胶是微电子技术中细微图形加工的关键材光刻胶是微电子技术中细微图形加工的关键材料之一。特别是近年来大规模和超大规模集成电路料之一。特别是近年来大规模和超大规模集成电路的发展,更是大大促进了光
5、刻胶的研究和应用。的发展,更是大大促进了光刻胶的研究和应用。印刷工业是光刻胶应用的另一重要领域。印刷工业是光刻胶应用的另一重要领域。1954年首先研究成功的年首先研究成功的聚乙烯醇肉桂酸酯聚乙烯醇肉桂酸酯就是首先用于就是首先用于印刷技术,以后才用于电子工业的。与传统的制版印刷技术,以后才用于电子工业的。与传统的制版工业相比,用光刻胶制版,具有速度快、重量轻、工业相比,用光刻胶制版,具有速度快、重量轻、图案清晰等优点。尤其是与计算机配合后,更使印图案清晰等优点。尤其是与计算机配合后,更使印刷工业向自动化、高速化方向发展。刷工业向自动化、高速化方向发展。第六章第六章 感光性高分子感光性高分子本讲稿
6、第五页,共一百六十页 感光性粘合剂、油墨、涂料是近年来发展较快感光性粘合剂、油墨、涂料是近年来发展较快的精细化工产品。与普通粘合剂、油墨和涂料等相的精细化工产品。与普通粘合剂、油墨和涂料等相比,前者具有固化速度快、涂膜强度高、不易剥比,前者具有固化速度快、涂膜强度高、不易剥落、印迹清晰等特点,适合于大规模快速生产。尤落、印迹清晰等特点,适合于大规模快速生产。尤其对用其他方法难以操作的场合,感光性粘合剂、其对用其他方法难以操作的场合,感光性粘合剂、油墨和涂料更有其独特的优点。例如油墨和涂料更有其独特的优点。例如牙齿修补粘合牙齿修补粘合剂剂,用光固化方法操作,既安全又卫生,而且快速,用光固化方法操
7、作,既安全又卫生,而且快速便捷,深受患者与医务工作者欢迎。便捷,深受患者与医务工作者欢迎。第六章第六章 感光性高分子感光性高分子本讲稿第六页,共一百六十页 感光性高分子作为功能高分子材料的一个重要感光性高分子作为功能高分子材料的一个重要分支,自从分支,自从1954年由年由美国柯达公司的美国柯达公司的Minsk等人开等人开发的发的聚乙烯醇肉桂酸酯聚乙烯醇肉桂酸酯成功应用于印刷制版以后,成功应用于印刷制版以后,在理论研究和推广应用方面都取得了很大的进展,在理论研究和推广应用方面都取得了很大的进展,应用领域已从电子、印刷、精细化工等领域扩大到应用领域已从电子、印刷、精细化工等领域扩大到塑料、纤维、医
8、疗、生化和农业等方面,发展之势塑料、纤维、医疗、生化和农业等方面,发展之势方兴未艾。本章将较为详细地介绍光化学反应的基方兴未艾。本章将较为详细地介绍光化学反应的基础知识与感光性高分子的研究成果。础知识与感光性高分子的研究成果。第六章第六章 感光性高分子感光性高分子本讲稿第七页,共一百六十页2 光化学反应的基础知识光化学反应的基础知识2.1 光的性质和光的能量光的性质和光的能量 物理学的知识告诉我们,物理学的知识告诉我们,光是一种电磁波光是一种电磁波。在。在一定波长和频率范围内,它能引起人们的视觉,这一定波长和频率范围内,它能引起人们的视觉,这部分光称为部分光称为可见光可见光。广义的光还包括不能
9、为人的肉。广义的光还包括不能为人的肉眼所看见的眼所看见的微波、红外线、紫外线、微波、红外线、紫外线、X 射线和射线和射射线线等。等。第六章第六章 感光性高分子感光性高分子本讲稿第八页,共一百六十页 现代光学理论认为,现代光学理论认为,光具有波粒二相性光具有波粒二相性。光的。光的微粒性是指光有量子化的能量,这种能量是不连续微粒性是指光有量子化的能量,这种能量是不连续的。光的最小能量微粒称为光量子,或称的。光的最小能量微粒称为光量子,或称光子光子。光。光的波动性是指光线有的波动性是指光线有干涉、绕射、衍射和偏振干涉、绕射、衍射和偏振等现等现象,具有波长和频率。光的波长象,具有波长和频率。光的波长和
10、频率和频率之间有之间有如下的关系:如下的关系:c为光在真空中的传播速度为光在真空中的传播速度(2.998108m/s)。第六章第六章 感光性高分子感光性高分子(61)本讲稿第九页,共一百六十页 在光化学反应中,光是以光量子为单位被吸收在光化学反应中,光是以光量子为单位被吸收的。一个光量子的能量由下式表示:的。一个光量子的能量由下式表示:其中,其中,h为为普朗克常数普朗克常数(6.6210-34 Js)。)。在光化学中有用的量是每摩尔分子所吸收的能在光化学中有用的量是每摩尔分子所吸收的能量。假设每个分子只吸收一个光量子,则量。假设每个分子只吸收一个光量子,则每摩尔分每摩尔分子吸收的能量称为一个子
11、吸收的能量称为一个爱因斯坦(爱因斯坦(Einstein),),实实用单位为用单位为千焦尔(千焦尔(kJ)或电子伏特()或电子伏特(eV)。第六章第六章 感光性高分子感光性高分子(62)本讲稿第十页,共一百六十页 其中,其中,N为为阿伏加德罗常数阿伏加德罗常数(6.0231023)。)。用公式用公式(63)可计算出各种不同波长的光的能可计算出各种不同波长的光的能量量(表表61)。作为比较,表。作为比较,表62中给出了各种化学中给出了各种化学键的键能。由表中数据可见,键的键能。由表中数据可见,=200800nm的紫的紫外光和可见光的能量足以使大部分化学键断裂。外光和可见光的能量足以使大部分化学键断
12、裂。第六章第六章 感光性高分子感光性高分子(63)本讲稿第十一页,共一百六十页第六章第六章 感光性高分子感光性高分子表表61 各种波各种波长长的能量的能量光光线线名称名称波波长长/nm能量能量/kJ光光线线名称名称波波长长/nm能量能量/kJ微微 波波10610710-110-2400299红红外外线线10310610-1102紫外紫外线线300399可可见见光光8001472005997001711001197600201X射射线线10-1106500239射射线线10-3108本讲稿第十二页,共一百六十页第六章第六章 感光性高分子感光性高分子表表62 化学化学键键键键能能化学化学键键键键能
13、能/(kJ/mol)化学化学键键键键能能/(kJ/mol)化学化学键键键键能能/(kJ/mol)OO138.9CCl328.4CH413.4NN160.7CC347.7HH436.0CS259.4CO351.5OH462.8CN291.6NH390.8C=C607本讲稿第十三页,共一百六十页2.2 光的吸收光的吸收 发生光化学反应必然涉及到光的吸收。光的吸发生光化学反应必然涉及到光的吸收。光的吸收一般用收一般用透光率透光率来表示,记作来表示,记作T,定义为,定义为入射到体入射到体系的光强系的光强I0与透射出体系的光强与透射出体系的光强I之比之比:如果吸收光的体系厚度为如果吸收光的体系厚度为l,
14、浓度为,浓度为c,则有:,则有:第六章第六章 感光性高分子感光性高分子(64)(65)本讲稿第十四页,共一百六十页 式式(65)称为称为兰布达兰布达比尔比尔(LambertBeer)定定律律。其中,。其中,称为称为摩尔消光系数摩尔消光系数。它是吸收光的物。它是吸收光的物质的特征常数,也是光学的重要特征值,仅与化合质的特征常数,也是光学的重要特征值,仅与化合物的性质和光的波长有关。物的性质和光的波长有关。表征光吸收的更实用的参数是表征光吸收的更实用的参数是光密度光密度D,它由,它由式式(66)来定义:来定义:兰布达兰布达比尔定律仅对单色光严格有效。比尔定律仅对单色光严格有效。(66)第六章第六章
15、 感光性高分子感光性高分子本讲稿第十五页,共一百六十页3.3 光化学定律光化学定律 光化学现象是人们很早就观察到了的。例如,光化学现象是人们很早就观察到了的。例如,染过色的衣服经光的照射而褪色;染过色的衣服经光的照射而褪色;卤化银卤化银见光后会见光后会变黑;植物受到光照会生长(光合成)等等。变黑;植物受到光照会生长(光合成)等等。1817年,年,格鲁塞斯格鲁塞斯(Grotthus)和德雷珀和德雷珀(Draper)通过对光化学现象的定量研究,认识到并不是所有通过对光化学现象的定量研究,认识到并不是所有的入射光都会引起化学反应,从而建立了的入射光都会引起化学反应,从而建立了光化学第光化学第一定律,
16、即一定律,即GtotthusDraper定律定律。这个定律表述。这个定律表述为:为:只有被吸收的光才能有效地引起化学反应。只有被吸收的光才能有效地引起化学反应。其其含意十分明显。含意十分明显。第六章第六章 感光性高分子感光性高分子本讲稿第十六页,共一百六十页 1908年由年由斯达克斯达克(Stark)和和1912 年由年由爱因斯爱因斯坦坦(Einstein)对光化学反应作了进一步研究之后,提对光化学反应作了进一步研究之后,提出了出了StarkEinstein定律,即光化学第二定律定律,即光化学第二定律。该。该定律可表述为:定律可表述为:一个分子只有在吸收了一个光量子一个分子只有在吸收了一个光量
17、子之后,才能发生光化学反应之后,才能发生光化学反应。光化学第二定律的另。光化学第二定律的另一表达形式为:一表达形式为:吸收了一个光量子的能量,只可活吸收了一个光量子的能量,只可活化一个分子,使之成为激发态化一个分子,使之成为激发态。第六章第六章 感光性高分子感光性高分子本讲稿第十七页,共一百六十页 现代光化学研究发现,在一般情况下,光化学现代光化学研究发现,在一般情况下,光化学反应是符合这两个定律的。但亦发现有不少实际例反应是符合这两个定律的。但亦发现有不少实际例子与上述定律并不相符。如用激光进行强烈的连续子与上述定律并不相符。如用激光进行强烈的连续照射所引起的双光量子反应中,一个分子可连续吸
18、照射所引起的双光量子反应中,一个分子可连续吸收两个光量子。而有的分子所形成的激发态则可能收两个光量子。而有的分子所形成的激发态则可能将能量进一步传递给其他分子,形成多于一个活化将能量进一步传递给其他分子,形成多于一个活化分子,引起连锁反应,如苯乙烯的光聚合反应。因分子,引起连锁反应,如苯乙烯的光聚合反应。因此,爱因斯坦又提出了此,爱因斯坦又提出了量子收率量子收率的概念,作为对光的概念,作为对光化学第二定律的补充。化学第二定律的补充。第六章第六章 感光性高分子感光性高分子本讲稿第十八页,共一百六十页 量子收率用量子收率用表示:表示:或写成或写成第六章第六章 感光性高分子感光性高分子(67)(68
19、)本讲稿第十九页,共一百六十页 被吸收的光量子数可用光度计测定,反应的分被吸收的光量子数可用光度计测定,反应的分子数可通过各种分析方法测得,因此,量子收率的子数可通过各种分析方法测得,因此,量子收率的概念比光化学定律更为实用。实验表明,概念比光化学定律更为实用。实验表明,值的变值的变化范围极大,大可至上百万,小可到很小的分数化范围极大,大可至上百万,小可到很小的分数。知道了量子收率知道了量子收率值,对于理解光化学反应的机理值,对于理解光化学反应的机理有很大的帮助。如:有很大的帮助。如:1时是直接反应;时是直接反应;1时时是连锁反应。乙烯基单体的光聚合,产生一个活性是连锁反应。乙烯基单体的光聚合
20、,产生一个活性种后可加成多个单体,种后可加成多个单体,1,因此是连锁反应。,因此是连锁反应。第六章第六章 感光性高分子感光性高分子本讲稿第二十页,共一百六十页2.4 分子的光活化过程分子的光活化过程 从光化学定律可知,从光化学定律可知,光化学反应的本质是分子光化学反应的本质是分子吸收光能后的活化吸收光能后的活化。当分子吸收光能后,只要有足。当分子吸收光能后,只要有足够的能量,分子就能被活化。够的能量,分子就能被活化。分子的活化有两种途径,分子的活化有两种途径,一是分子中的电子受一是分子中的电子受光照后能级发生变化而活化,二是分子被另一光活光照后能级发生变化而活化,二是分子被另一光活化的分子传递
21、来的能量而活化化的分子传递来的能量而活化,即分子间的能量传,即分子间的能量传递。下面我们讨论这两种光活化过程。递。下面我们讨论这两种光活化过程。第六章第六章 感光性高分子感光性高分子本讲稿第二十一页,共一百六十页2.4.1 弗朗克弗朗克康顿(康顿(FranckCondon)原理)原理 在讨论分子本身光活化之前,先介绍一下在讨论分子本身光活化之前,先介绍一下弗朗弗朗克克康顿原理康顿原理。该原理指出:无论在单原子分子还。该原理指出:无论在单原子分子还是多原子分子中,由于电子的跃迁是多原子分子中,由于电子的跃迁(10-5 s)比核运比核运动动(10-3s)快得多快得多(近近100倍倍)。因此,在电子
22、跃迁后的。因此,在电子跃迁后的瞬瞬间,核几乎仍处于跃迁前的相同位置,并具有跃迁间,核几乎仍处于跃迁前的相同位置,并具有跃迁前的动量。也就是说,前的动量。也就是说,分子的活化过程,仅考虑电分子的活化过程,仅考虑电子跃迁就可以了,不必顾虑核的运动子跃迁就可以了,不必顾虑核的运动。或者说,。或者说,电电子跃迁时,分子的构型是不变的子跃迁时,分子的构型是不变的。第六章第六章 感光性高分子感光性高分子本讲稿第二十二页,共一百六十页2.4.2 分子的电子结构分子的电子结构 按量子化学理论解释,按量子化学理论解释,分子轨道是由构成分子分子轨道是由构成分子的原子价壳层的原子轨道线性组合而成的原子价壳层的原子轨
23、道线性组合而成。换言之,。换言之,当两个原子结合形成一个分子时,参与成键的两个当两个原子结合形成一个分子时,参与成键的两个电子并不是定域在自己的原子轨道上,而是跨越在电子并不是定域在自己的原子轨道上,而是跨越在两个原子周围的整个轨道两个原子周围的整个轨道(分子轨道分子轨道)上的。原子轨上的。原子轨道和分子轨道是电子波函数的描述。道和分子轨道是电子波函数的描述。第六章第六章 感光性高分子感光性高分子本讲稿第二十三页,共一百六十页 例如,两个相等的原子轨道例如,两个相等的原子轨道A和和B的相互作的相互作用后可形成两个分子轨道:用后可形成两个分子轨道:1AB2AB 其中,其中,一个分子轨道是成键的一
24、个分子轨道是成键的,能量比原来的,能量比原来的原子轨道更低,因此更稳定;而原子轨道更低,因此更稳定;而另一个分子轨道是另一个分子轨道是反键的反键的,能量比原来的原子轨道高。这种情况可描,能量比原来的原子轨道高。这种情况可描绘如图绘如图62所示。所示。第六章第六章 感光性高分子感光性高分子本讲稿第二十四页,共一百六十页图图62 轨道能量和形状示意图轨道能量和形状示意图第六章第六章 感光性高分子感光性高分子本讲稿第二十五页,共一百六十页 分子轨道的形状亦描述于图分子轨道的形状亦描述于图62中。围绕原子中。围绕原子核之间的轴完全对称的成键轨道记作核之间的轴完全对称的成键轨道记作,称,称键。键。反键轨
25、道记作反键轨道记作*,称,称*键。如当键。如当A和和B为为S轨轨道或道或P轨道时,形成的分子轨道即为轨道时,形成的分子轨道即为轨道与轨道与*轨道。由两个垂直于核轴而又彼此平行的轨道。由两个垂直于核轴而又彼此平行的P轨道形轨道形成的分子轨道称为成的分子轨道称为轨道和轨道和*轨道。轨道。第六章第六章 感光性高分子感光性高分子本讲稿第二十六页,共一百六十页 形成成键轨道时,两个原子核之间电子存在的形成成键轨道时,两个原子核之间电子存在的几率高;而形成反键轨道时,两个原子核之间则有几率高;而形成反键轨道时,两个原子核之间则有一个电子存在几率为零的与核轴垂直的平面一个电子存在几率为零的与核轴垂直的平面。
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