扫描电镜的结构及典型试样形貌观察精品文稿.ppt

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1、扫描电镜的结构及典型试样形貌观察第1页，本讲稿共17页 一 实验目的n n1.了解扫描电镜的用途、结构及基本原理；n n2.了解扫描电镜的样品制备；n n3.上机操作，利用二次电子信号观察样品形貌。第2页，本讲稿共17页n nKYKY-2800KYKY-2800扫描电镜扫描电镜扫描电镜扫描电镜n n扫描电子显微镜的主要性能扫描电子显微镜的主要性能扫描电子显微镜的主要性能扫描电子显微镜的主要性能 n n 放大倍数放大倍数放大倍数放大倍数 电子束在样品表面扫描的幅度为电子束在样品表面扫描的幅度为AsAs，在荧光屏阴极射线同步扫，在荧光屏阴极射线同步扫描的幅度为描的幅度为AcAc，则扫描电镜的放大倍

2、数为，则扫描电镜的放大倍数为:M=Ac/As:M=Ac/As。目前商品化的扫。目前商品化的扫描电镜放大倍数可以从描电镜放大倍数可以从2020倍调节到倍调节到2020万倍左右。万倍左右。n n分辨率分辨率分辨率分辨率 分辨率是扫描电镜的主要性能指标，它是指分辨两点之间的分辨率是扫描电镜的主要性能指标，它是指分辨两点之间的最小距离。分辨率大小由入射电子束直径和调制信号类型共同决定。最小距离。分辨率大小由入射电子束直径和调制信号类型共同决定。电子束直径越小，分辨率越高。由于用于成像的物理信号不同，它电子束直径越小，分辨率越高。由于用于成像的物理信号不同，它们的分辨率也不同。二次电子像的分辨率约为们的

3、分辨率也不同。二次电子像的分辨率约为5-10 nm5-10 nm，背反射电子，背反射电子像的约为像的约为50-200nm50-200nm。X X射线的分辨率则更低。射线的分辨率则更低。n n景深景深景深景深 景深是指一个透镜对高低不平的试样各部位能同时聚焦成像的一景深是指一个透镜对高低不平的试样各部位能同时聚焦成像的一个能力范围。个能力范围。电子束孔径角是决定扫描电镜景深的主要因素，它取决电子束孔径角是决定扫描电镜景深的主要因素，它取决于末级透镜的光栅直径和工作距离。于末级透镜的光栅直径和工作距离。扫描电镜的末级透镜采用小孔径扫描电镜的末级透镜采用小孔径角，长焦距，所以可以获得很大的景深，它比

4、一般光学显微镜景深大角，长焦距，所以可以获得很大的景深，它比一般光学显微镜景深大100-500100-500倍，比透射电镜的景深大倍，比透射电镜的景深大10 10 倍。因此用扫描电镜观察试样断口倍。因此用扫描电镜观察试样断口具有其它分析仪器无法比拟的优点。具有其它分析仪器无法比拟的优点。二 实验仪器第3页，本讲稿共17页图1 KYKY-2800型扫描电镜第4页，本讲稿共17页扫描电镜（SEM）的用途n n扫描电镜主要用于研究各种不同样品的组织及表面形貌，它可以应用到各个领域之中的不同方向，它以各种不同的实物为研究对象。例如，它可以研究金属及合金的组织，磨损形貌，腐蚀和断裂形貌；也可以很方便地研

5、究玻璃，陶瓷，纺织物等的细微结构和形貌；第5页，本讲稿共17页扫描电镜的结构n n扫描电镜由电子光学系统，信号收集及显示系统（图2所示），真空系统（图3所示）及电源系统组成。第6页，本讲稿共17页信号放大器扫描电镜光学系统及成像示意图电子枪聚光镜扫描线圈 物镜 试样二次电子探测器显示器扫描放大器图2第7页，本讲稿共17页图3 真空系统镜筒V1阀样品室挡板扩散泵离子泵机械泵离子泵手动阀主阀V5镜筒阀V4放气阀V6储气瓶热偶规TC4冷规旁路阀V3TC3TC2TC1扩散泵前级阀V2抽气管第8页，本讲稿共17页SEM基本原理n n扫描电镜利用电子枪发射电子束，电子束经过聚焦后在样品表面扫描，激发样品产

6、生各种物理信号（如图4所示），信号经过检测、视频放大和信号处理，在荧光屏上显示出能反映样品表面各种特征的扫描图像的显微镜。第9页，本讲稿共17页1nm550nm1001000nm5005000nm背散射电子空间分辨率X射线的分辨率背散射电子特征X射线二次电子二次电子俄歇电子连续X射线入射电子束电子束与物质相互作用及产生的信息图4第10页，本讲稿共17页三 扫描电镜样品的制备n n1.要求干净，干燥的块状或粉末样品，尺寸不大于2010mm。n n2.金属断口样品：要求是干净、新鲜的表面；如果是金相样品须进行深腐蚀。n n3.非金属样品须在真空镀膜机中喷镀金、铝或碳，以保证样品导电性良好。第11页

7、，本讲稿共17页四 利用扫描电镜观察样品形貌的操作步骤向冷却阱中加入液氮。打开样品室，向冷却阱中加入液氮。打开样品室，装样，关闭样品室，抽真空装样，关闭样品室，抽真空当真空指示灯亮时，打开当真空指示灯亮时，打开V1阀，阀，加电压至加电压至20kV，电流加至，电流加至60A通过通过Z轴调节工作距离轴调节工作距离(最佳值为最佳值为12mm)调节调节X、Y轴，轴，寻求感兴趣的样品区域寻求感兴趣的样品区域做完后，将电流和电压值回零，做完后，将电流和电压值回零，将对比度、亮度值回零，将对比度、亮度值回零，放大倍数降到放大倍数降到100左右，关闭左右，关闭V1阀阀调整放大倍数并调焦调整放大倍数并调焦（要遵

8、循高倍聚焦低倍照的原则）（要遵循高倍聚焦低倍照的原则）调节对比度和亮度，调节对比度和亮度，使样品在显示屏上显示出来使样品在显示屏上显示出来慢速扫描，照相，保存慢速扫描，照相，保存打开样品室，取出样品，打开样品室，取出样品，关上样品室，抽真空，关上样品室，抽真空，当真空指示灯亮时，当真空指示灯亮时，将仪器置于准备状态，完毕将仪器置于准备状态，完毕第12页，本讲稿共17页图5 不同失效形 式的扫描图像图图a a为表面失效形式中的波磨失效为表面失效形式中的波磨失效图图b b为表面失效形式中的犁沟失效为表面失效形式中的犁沟失效图图c c为表面失效形式中的剥落失效为表面失效形式中的剥落失效abc第13页，本讲稿共17页 图 6 不同断口形貌的扫描图像cabd第14页，本讲稿共17页n n图6-a为断口形貌中的沿晶断裂n n图6-b为断口形貌中的解理断裂n n图6-c为断口形貌中的韧窝断裂n n图6-d为断口形貌中的疲劳断裂第15页，本讲稿共17页图7 样品组织的扫描图像图图a a为带有滑移线的奥氏体组织为带有滑移线的奥氏体组织图图b b为贝氏体组织为贝氏体组织ba第16页，本讲稿共17页五 实验报告要求n n明确本次实验目的；n n简单画出扫描电镜的成像原理图；n n简述所观察样品的二次电子像形貌特征。第17页，本讲稿共17页