半导体中的杂质和缺陷精选PPT.ppt

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1、半导体中的杂质和缺陷第1页，此课件共51页哦理想半导体理想半导体：1、原子严格周期性排列，具有完整的晶格、原子严格周期性排列，具有完整的晶格 结构。结构。2、晶体中无杂质，无缺陷。、晶体中无杂质，无缺陷。3、电子在周期场中作共有化运动，形成允、电子在周期场中作共有化运动，形成允带和禁带带和禁带电子能量只能处在允带中的电子能量只能处在允带中的能级上，禁带中无能级。能级上，禁带中无能级。本征半导体本征半导体晶体具有完整的（完美的）晶体具有完整的（完美的）晶格结构，无任何杂质和缺陷。由本征激晶格结构，无任何杂质和缺陷。由本征激发提供载流子。发提供载流子。第2页，此课件共51页哦实际半导体实际半导体：

2、1、总是有杂质、缺陷，使周期场破坏，在、总是有杂质、缺陷，使周期场破坏，在杂质或缺陷周围引起局部性的量子态杂质或缺陷周围引起局部性的量子态对应的能级常常处在禁带中，对半导体的对应的能级常常处在禁带中，对半导体的性质起着决定性的影响。性质起着决定性的影响。2、杂质电离提供载流子。、杂质电离提供载流子。杂质半导体杂质半导体第3页，此课件共51页哦主要内容主要内容 1.浅能级杂质能级和杂质电离；浅能级杂质能级和杂质电离；2.浅能级杂质电离能的计算；浅能级杂质电离能的计算；3.杂质补偿作用杂质补偿作用 4.深能级杂质的特点和作用深能级杂质的特点和作用 1、等电子杂质；、等电子杂质；2、族元素起两性杂质

3、作用族元素起两性杂质作用2-1 元素半导体中的杂质能级元素半导体中的杂质能级2-3 缺陷能级缺陷能级2-2 化合物半导体中的杂质能级化合物半导体中的杂质能级点缺陷对半导体性能的影响点缺陷对半导体性能的影响 第4页，此课件共51页哦2-1 元素半导体中的杂质能级元素半导体中的杂质能级一、杂质存在的方式一、杂质存在的方式1、杂质杂质存在方式金刚石结构金刚石结构Si Si中，一中，一个晶胞内的原子占晶体个晶胞内的原子占晶体原胞的原胞的34%34%，空隙占，空隙占66%66%。杂质杂质与本体元素不同的其他元素与本体元素不同的其他元素第5页，此课件共51页哦(2)替位式替位式杂质占据格点杂质占据格点位置

4、。大小接近、电子位置。大小接近、电子壳层结构相近壳层结构相近Si：r=0.117nmB：r=0.089nmP：r=0.11nmLi：0.068nm(1)间隙式间隙式杂质位于间隙位杂质位于间隙位置。置。SiSiSiSiSiSiSiPSiLi第6页，此课件共51页哦1.VA族的替位杂质族的替位杂质施主杂质施主杂质在硅在硅Si中掺入中掺入PSiSiSiSiSiSiSiP+Si磷原子替代硅原子后，形成一个正电中心P和一个多余的价电子束缚态束缚态未电离未电离离化态离化态电离后电离后二、元素半导体的杂质二、元素半导体的杂质第7页，此课件共51页哦电电离离时时，P原原子子能能够够提提供供导导电电电电子子并并

5、形形成成正正电电中中心心，施主杂质施主杂质。施主杂质施主杂质 施主能级施主能级被施主杂质束缚的电子的被施主杂质束缚的电子的能量比导带底能量比导带底Ec低，称低，称为为施主能级施主能级，ED。施主杂质少，原子间相互施主杂质少，原子间相互作用可以忽略，施主能级作用可以忽略，施主能级是具有相同能量的孤立能是具有相同能量的孤立能级级ED施主浓度：施主浓度：ND第8页，此课件共51页哦施主电离能施主电离能ED=弱束缚的电子摆脱杂质原子弱束缚的电子摆脱杂质原子束缚成为晶格中自由运动的束缚成为晶格中自由运动的 电子（导带中的电子）所需电子（导带中的电子）所需要的能量要的能量ECED ED=ECED施主电离能

6、施主电离能EV-束缚态束缚态离化态离化态+第9页，此课件共51页哦施主杂质的电离能小，在施主杂质的电离能小，在常温下基本上电离。常温下基本上电离。含有施主杂质的半导体，其导电的载流子主要是电子含有施主杂质的半导体，其导电的载流子主要是电子N型半导体，或电子型半导体型半导体，或电子型半导体晶晶体体杂质杂质PAsSbSi0.0440.049 0.039Ge 0.01260.01270.0096第10页，此课件共51页哦在在Si中掺入中掺入BB具有得到电子的性质，这类杂质称为具有得到电子的性质，这类杂质称为受主杂质受主杂质。受主杂质向价带提供空穴。受主杂质向价带提供空穴。2.A族替位杂质族替位杂质受

7、主杂质受主杂质B获得一个电子变成负获得一个电子变成负离子，成为负电中心，离子，成为负电中心，周围产生带正电的空穴。周围产生带正电的空穴。BBEA受主浓度：受主浓度：NA第11页，此课件共51页哦EcEvEA(2)受主电离能和受主能级受主电离能和受主能级受主电离能受主电离能EA=空穴摆脱受主杂质束缚成为导电空穴摆脱受主杂质束缚成为导电 空穴所需要的能量空穴所需要的能量-束缚态束缚态离化态离化态+第12页，此课件共51页哦受主杂质的电离能小，在常受主杂质的电离能小，在常温下基本上为价带电离的电温下基本上为价带电离的电子所占据子所占据空穴由受主能空穴由受主能级向价带激发。级向价带激发。含有受主杂质的

8、半导体，其导电的载流子主要是空穴含有受主杂质的半导体，其导电的载流子主要是空穴P型半导体，或空穴型半导体型半导体，或空穴型半导体。晶晶体体杂质杂质BAlGaSi0.0450.057 0.065Ge0.010.010.011第13页，此课件共51页哦施主和受主浓度：施主和受主浓度：ND、NA施主：施主：Donor，掺入半导体的杂质原子向半导体，掺入半导体的杂质原子向半导体中提供导电的电子，并成为带正电的离子。如中提供导电的电子，并成为带正电的离子。如Si中掺的中掺的P 和和As 受主：受主：Acceptor，掺入半导体的杂质原子向半，掺入半导体的杂质原子向半导体提供导电的空穴，并成为带负电的离子

9、。导体提供导电的空穴，并成为带负电的离子。如如Si中掺的中掺的B小结！小结！第14页，此课件共51页哦等电子杂质等电子杂质第15页，此课件共51页哦N型半导体型半导体特征：特征：a 施主杂质电离，导带中出施主杂质电离，导带中出现施主提供的导电电子现施主提供的导电电子b 电子浓度电子浓度n 空穴浓度空穴浓度pP 型半导体型半导体特征：特征：a 受主杂质电离，价带中出现受主杂质电离，价带中出现受主提供的导电空穴受主提供的导电空穴b空穴浓度空穴浓度p 电子浓度电子浓度n ECEDEVEA-+-+EgN型和型和P型半导体都称为型半导体都称为极性半导体极性半导体第16页，此课件共51页哦P型型半半导导体

10、体价价带带空空穴穴数数由由受受主主决决定定，半半导导体体导导电电的的载流子主要是空穴。空穴为多子，电子为少子。载流子主要是空穴。空穴为多子，电子为少子。N型型半半导导体体导导带带电电子子数数由由施施主主决决定定，半半导导体体导导电电的载流子主要是电子。电子为的载流子主要是电子。电子为多子多子，空穴为，空穴为少子少子。多子多子多数载流子多数载流子少子少子少数载流子少数载流子第17页，此课件共51页哦杂杂质质向向导导带带和和价价带带提提供供电电子子和和空空穴穴的的过过程程（电电子子从从施施主主能能级级向向导导带带的的跃跃迁迁或或空空穴穴从从受受主主能能级级向向价价带带的的跃跃迁迁）称称为为杂杂质质

11、电电离离或或杂杂质质激激发发。具具有有杂杂质质激激发的半导体称为发的半导体称为杂质半导体杂质半导体 杂质激发杂质激发3.杂质半导体杂质半导体电子从价带直接向导带激发，成为导带的自由电子，电子从价带直接向导带激发，成为导带的自由电子，这种激发称为这种激发称为本征激发本征激发。只有本征激发的半导体称。只有本征激发的半导体称为为本征半导体本征半导体。本征激发本征激发N型和型和P型半导体都是型半导体都是杂质半导体杂质半导体 第18页，此课件共51页哦施主向导带提供的载流子施主向导带提供的载流子=10161017/cm3 本征载流子浓度本征载流子浓度杂质半导体中杂质载流子浓度远高于本杂质半导体中杂质载流

12、子浓度远高于本征载流子浓度征载流子浓度Si的原子浓度为的原子浓度为10221023/cm3掺入掺入P的浓度的浓度/Si原子的浓度原子的浓度=10-6例如：例如：Si 在室温下，本征载流子浓度为在室温下，本征载流子浓度为1010/cm3，第19页，此课件共51页哦上述杂质的特点：上述杂质的特点：施主杂质：施主杂质：受主杂质：受主杂质：浅能级杂质浅能级杂质杂质的双重作用：杂质的双重作用：u 改变半导体的导电性改变半导体的导电性u 决定半导体的导电类型决定半导体的导电类型杂质能级在禁带中的位置杂质能级在禁带中的位置第20页，此课件共51页哦4.浅能级杂质电离能的简单计算浅能级杂质电离能的简单计算+-

13、施主施主-+受主受主浅能级杂质浅能级杂质=杂质离子杂质离子+束缚电子（空穴）束缚电子（空穴）类氢模型类氢模型第21页，此课件共51页哦玻尔原子电子的运动玻尔原子电子的运动轨道半径轨道半径为：为：n=1为基态电子的运动轨迹为基态电子的运动轨迹氢原子中的电子的电离能为氢原子中的电子的电离能为E0=13.6eV玻尔能级：玻尔能级：玻尔原子模型玻尔原子模型第22页，此课件共51页哦类氢模型：类氢模型：计算束缚电子或空穴运动轨道半径计算束缚电子或空穴运动轨道半径及电离能及电离能运动轨道半径：运动轨道半径：电离能：电离能：第23页，此课件共51页哦对于对于Si中的中的P原子，剩余电子的运动半径约原子，剩余

14、电子的运动半径约为为24.4：Si:a=5.4剩余电子本质上是剩余电子本质上是在晶体中运动在晶体中运动SiSiSiSiSiSiSiSiSiSiSiSiSiSiPSiSiSiSiSiSiSiSiSiSiSiSiSiSiSiSiSiSiSiSiSiSi：r=1.17第24页，此课件共51页哦施主能级靠近导带底部施主能级靠近导带底部对于对于Si、Ge掺掺PEcEvED估算结果与实测值有估算结果与实测值有相同的数量级相同的数量级第25页，此课件共51页哦对于对于Si、Ge掺掺BEcEvEA第26页，此课件共51页哦EcED电离施主电离施主电离受主电离受主Ev5.杂质的补偿作用杂质的补偿作用(1)NDN

15、A半导体中同时存在施主和受主杂质，施主和受主半导体中同时存在施主和受主杂质，施主和受主之间有互相抵消的作用之间有互相抵消的作用此时半导体为此时半导体为n型半导体型半导体 有效施主浓度有效施主浓度n=ND-NAEA第27页，此课件共51页哦EcEDEAEv电离施主电离施主电离受主电离受主(2)NDNA此时半导体为此时半导体为p型半导体型半导体 有效受主浓度有效受主浓度p=NA-ND第28页，此课件共51页哦(3)NDNA杂质的高度补偿杂质的高度补偿EcEDEAEv本征激发产生的导带本征激发产生的导带电子电子本征激发产生的价带空本征激发产生的价带空穴穴第29页，此课件共51页哦6.深杂质能级深杂质

16、能级根据杂质能级在禁带中的根据杂质能级在禁带中的位置，杂质分为：位置，杂质分为：浅能级杂质浅能级杂质能级接近导带底能级接近导带底Ec或价带顶或价带顶Ev，电离能很小电离能很小深能级杂质深能级杂质能级远离导带底能级远离导带底Ec或价带顶或价带顶Ev，电离能较大，电离能较大ECEDEVEAEgECEAEVEDEg第30页，此课件共51页哦例：例：在在Ge中掺中掺Au 可产生可产生3个受主能级，个受主能级，1个施主能级个施主能级Au的电子组态是：的电子组态是：5s25p65d106s1AuGeGeGeGeAu+Au0Au-Au2-Au3-多次电离，每一次电离相应地有一个能级既能引入多次电离，每一次电

17、离相应地有一个能级既能引入施主能级又能引入受主能级施主能级又能引入受主能级第31页，此课件共51页哦1.Au失去一个电子失去一个电子施主施主AuEcEvEDED=Ev+0.04 eV第32页，此课件共51页哦EcEvEDEA1Au2.Au获得一个电子获得一个电子受主受主EA1=Ev+0.15eV第33页，此课件共51页哦3.Au获得第二个电子获得第二个电子EcEvEDEA1Au2EA2=Ec-0.2eVEA2第34页，此课件共51页哦4.Au获得第三个电子获得第三个电子EcEvEDEA1EA3=Ec-0.04eVEA2EA3Au3第35页，此课件共51页哦深能级杂质特点深能级杂质特点：n不容易

18、电离，对载流子不容易电离，对载流子浓度影响不大；浓度影响不大；n一般会产生多重能级，一般会产生多重能级，甚至既产生施主能级也甚至既产生施主能级也产生受主能级。产生受主能级。n能起到复合中心作用，能起到复合中心作用，使少数载流子寿命降低。使少数载流子寿命降低。EcEvEDEAAu doped Silicon0.35eV0.54eV1.12eV第36页，此课件共51页哦2-2 化合物半导体中的杂质能级化合物半导体中的杂质能级 族化合物半导体中的杂质族化合物半导体中的杂质理想的理想的GaAs晶格晶格价键结构：价键结构：含有离子键成分的共含有离子键成分的共价键结构价键结构Ga-AsGaGaAsGaAs

19、+GaAs第37页，此课件共51页哦施主杂质施主杂质替代替代族元素族元素受主杂质受主杂质替代替代III族元素族元素两性杂质两性杂质III、族元素族元素等电子杂质等电子杂质同族原子取代同族原子取代第38页，此课件共51页哦等电子杂质等电子杂质 等电子杂质等电子杂质是与基质晶体原子具有同数量价电子是与基质晶体原子具有同数量价电子的杂质原子替代了同族原子后，基本仍是电中的杂质原子替代了同族原子后，基本仍是电中性的。但是由于性的。但是由于共价半径共价半径和和电负性电负性不同，它们不同，它们能俘获某种载流子而成为带电中心。带电中心能俘获某种载流子而成为带电中心。带电中心称为称为等电子陷阱等电子陷阱。例如

20、，例如，N取代取代GaP中的中的P而成为负电中心而成为负电中心电子陷阱电子陷阱空穴陷阱空穴陷阱第39页，此课件共51页哦点缺陷：空位、间隙原子点缺陷：空位、间隙原子线缺陷：位错线缺陷：位错面缺陷：层错、晶界面缺陷：层错、晶界SiSiSiSiSiSiSiSiSi1、缺陷的类型、缺陷的类型2-3 缺陷能级缺陷能级第40页，此课件共51页哦2.元素半导体中的缺陷元素半导体中的缺陷(1)空位空位SiSiSiSiSiSiSiSi原子的空位起原子的空位起受主受主作用。作用。第41页，此课件共51页哦(2)填隙填隙SiSiSiSiSiSiSiSiSiSi间隙原子缺陷起间隙原子缺陷起施主施主作用作用 第42页

21、，此课件共51页哦AsGaAsAsAsAsGaAsGaGaGaAsGaAsGaAs反结构缺陷反结构缺陷GaAs受主受主 AsGa施主施主3.GaAs晶体中的点缺陷晶体中的点缺陷空位空位VGa、VAs VGa受主受主 VAs 施主施主间隙原子间隙原子GaI、AsI GaI施主施主 AsI受主受主e第43页，此课件共51页哦4.族化合物半导体的缺陷族化合物半导体的缺陷族化合物半导体族化合物半导体离子键结构离子键结构负离子负离子正离子正离子+-+-+-+-+-+-+-+-+-+-+-+-+-第44页，此课件共51页哦a.负离子空位负离子空位产生正电中心，起施主作用产生正电中心，起施主作用+-+-+-

22、+-+-+-+-+-+-+-+-+-+-+-+-+-+-+-+-+-+-+-+-电负性小电负性小第45页，此课件共51页哦b.正离子填隙正离子填隙产生正电中心，起施主作用产生正电中心，起施主作用+-+-+-+-+-+-+-+-+-+-+-+-+-+-+-+-+-+-+-+-+-+-+-+第46页，此课件共51页哦产生负电中心，起受主作用产生负电中心，起受主作用c.正离子空位正离子空位+-+-+-+-+-+-+-+-+-+-+-+-+-+-+-+-+-+-+-+-+-+-电负性大第47页，此课件共51页哦产生负电中心，起受主作用产生负电中心，起受主作用d.负离子填隙负离子填隙+-+-+-+-+-

23、+-+-+-+-+-+-+-+-+-+-+-+-+-+-+-+-+-+-第48页，此课件共51页哦负离子空位负离子空位产生正电中心，起施主作用产生正电中心，起施主作用正离子填隙正离子填隙正离子空位正离子空位负离子填隙负离子填隙产生负电中心，起受主作用产生负电中心，起受主作用第49页，此课件共51页哦第二章第二章 思考题与自测题：思考题与自测题：说明杂质能级以及电离能的物理意义。为什么受主、施主能级分别位于价说明杂质能级以及电离能的物理意义。为什么受主、施主能级分别位于价带之上或导带之下，而且电离能的数值较小？带之上或导带之下，而且电离能的数值较小？纯锗、硅中掺入纯锗、硅中掺入族或族或族元素后，

24、为什么使半导体电性能有很大族元素后，为什么使半导体电性能有很大的改变？杂质半导体（的改变？杂质半导体（p型或型或n型）应用很广，但为什么我们很强调型）应用很广，但为什么我们很强调对半导体材料的提纯？对半导体材料的提纯？把不同种类的施主杂质掺入同一种半导体材料中，杂质的电离把不同种类的施主杂质掺入同一种半导体材料中，杂质的电离能和轨道半径是否不同？把同一种杂质掺入到不同的半导体材料中能和轨道半径是否不同？把同一种杂质掺入到不同的半导体材料中（例如锗和硅），杂质的电离能和轨道半径又是否都相同？（例如锗和硅），杂质的电离能和轨道半径又是否都相同？何谓深能级杂质？它们电离以后有何特点？何谓深能级杂质？

25、它们电离以后有何特点？为什么金元素在锗或硅中电离后可以引入多个施主或受主能级？为什么金元素在锗或硅中电离后可以引入多个施主或受主能级？说明掺杂对半导体导电性能的影响。说明掺杂对半导体导电性能的影响。说明半导体中浅能级杂质和深能级杂质的作用有何不同？说明半导体中浅能级杂质和深能级杂质的作用有何不同？什么叫杂质补偿？什么叫高度补偿的半导体？杂质补偿有何实什么叫杂质补偿？什么叫高度补偿的半导体？杂质补偿有何实际应用？际应用？第50页，此课件共51页哦第二章 习题1.P62 习题习题 2 4 72.设计一个实验：首先将一块本征半导体设计一个实验：首先将一块本征半导体变成变成N型半导体，然后再设法使它变成型半导体，然后再设法使它变成P型型半导体。半导体。第51页，此课件共51页哦