真空电子显微量测仪(.doc
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1、2022年-2023年建筑工程管理行业文档 齐鲁斌创作真空電子顯微量測儀( SEM ) 儀器介紹SEM工作原理:SEM主要構造示意圖如圖一與圖二所示。電子槍利用電源加熱鎢絲燈(Tungsten Filament)上,燈絲所放出之熱電子射出,再由約0.2 40 kV的電壓加速,進而產生電子束。產生細小之電子束經過電磁透鏡系統,形成直徑極小之電子探束(Electron Probe)而後照射在試樣表面。圖二、圖一、 圖三、電子束在試樣上掃描照射,產生各種不同訊號,包括入射電子(Incident Electron)、二次電子(Secondary Electron)、背向散射電子(Backscatter
2、ed Electron)、穿透電子(Transmission Electron)、陰極螢光(Cathode luminescence)、X-ray及歐傑電子(Auger Electron)等。圖三為各種訊號與解析度之示意圖。訊號產生的量,隨著試片表面被照射位置的形狀、性質等發生變化,以適當的偵測器(Detector)收集訊號,再經處理即可得到各種訊號之影像。經常用於掃描式顯微鏡上之偵測器包括二次電子偵測器(Secondary Electron Detector)、背向散射電子偵測器(Backscattered Electron Detector)及X光光譜儀(X-ray Spectromete
3、r)。而二次電子偵測器為掃描式顯微鏡主要成像之裝置,主要構造為一閃爍器(Scintillator),可將撞擊其上的電子所產生的光子經由光電倍增管(Photomultiplier)增強放大,而在陰極射像管(CRT)上呈現二次電子影像(Secondary Electron Image, SEI)。儀器構造:SEM主要包括兩部分:一為提供並聚集電子於標本上產生訊息的主體,包括電子槍(Electron Gun)、電磁透鏡(Electromagnetic Lens)、樣品室(Specimen Chamber)及真空系統(Vacuum System)。另一為顯示影像的顯像系統(Display System
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