廊坊纳米级薄膜沉积设备项目申请报告_模板范文.docx

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1、泓域咨询/廊坊纳米级薄膜沉积设备项目申请报告目录第一章 建设单位基本情况9一、 公司基本信息9二、 公司简介9三、 公司竞争优势10四、 公司主要财务数据11公司合并资产负债表主要数据11公司合并利润表主要数据11五、 核心人员介绍12六、 经营宗旨14七、 公司发展规划14第二章 绪论16一、 项目名称及投资人16二、 编制原则16三、 编制依据17四、 编制范围及内容17五、 项目建设背景18六、 结论分析19主要经济指标一览表21第三章 项目背景分析23一、 半导体薄膜沉积设备的发展情况23二、 半导体设备行业29三、 加快推动北三县与通州区一体化联动发展32四、 项目实施的必要性35第

2、四章 产品方案分析36一、 建设规模及主要建设内容36二、 产品规划方案及生产纲领36产品规划方案一览表36第五章 项目选址38一、 项目选址原则38二、 建设区基本情况38三、 推动重点领域协同发展向纵深拓展42四、 构建现代产业体系，促进经济高质量发展45五、 项目选址综合评价46第六章 建筑工程技术方案47一、 项目工程设计总体要求47二、 建设方案47三、 建筑工程建设指标48建筑工程投资一览表48第七章 SWOT分析50一、 优势分析（S）50二、 劣势分析（W）51三、 机会分析（O）52四、 威胁分析（T）52第八章 法人治理结构58一、 股东权利及义务58二、 董事60三、 高

3、级管理人员64四、 监事66第九章 发展规划69一、 公司发展规划69二、 保障措施70第十章 运营管理73一、 公司经营宗旨73二、 公司的目标、主要职责73三、 各部门职责及权限74四、 财务会计制度78第十一章 节能分析81一、 项目节能概述81二、 能源消费种类和数量分析82能耗分析一览表83三、 项目节能措施83四、 节能综合评价84第十二章 技术方案86一、 企业技术研发分析86二、 项目技术工艺分析89三、 质量管理90四、 设备选型方案91主要设备购置一览表92第十三章 人力资源配置分析93一、 人力资源配置93劳动定员一览表93二、 员工技能培训93第十四章 环保分析96一、

4、 环境保护综述96二、 建设期大气环境影响分析97三、 建设期水环境影响分析98四、 建设期固体废弃物环境影响分析99五、 建设期声环境影响分析99六、 环境影响综合评价100第十五章 投资计划101一、 投资估算的编制说明101二、 建设投资估算101建设投资估算表103三、 建设期利息103建设期利息估算表104四、 流动资金105流动资金估算表105五、 项目总投资106总投资及构成一览表106六、 资金筹措与投资计划107项目投资计划与资金筹措一览表108第十六章 项目经济效益110一、 经济评价财务测算110营业收入、税金及附加和增值税估算表110综合总成本费用估算表111固定资产折

5、旧费估算表112无形资产和其他资产摊销估算表113利润及利润分配表115二、 项目盈利能力分析115项目投资现金流量表117三、 偿债能力分析118借款还本付息计划表119第十七章 风险评估分析121一、 项目风险分析121二、 项目风险对策123第十八章 项目招标、投标分析126一、 项目招标依据126二、 项目招标范围126三、 招标要求126四、 招标组织方式127五、 招标信息发布129第十九章 项目总结分析130第二十章 补充表格132营业收入、税金及附加和增值税估算表132综合总成本费用估算表132固定资产折旧费估算表133无形资产和其他资产摊销估算表134利润及利润分配表135项

6、目投资现金流量表136借款还本付息计划表137建设投资估算表138建设投资估算表138建设期利息估算表139固定资产投资估算表140流动资金估算表141总投资及构成一览表142项目投资计划与资金筹措一览表143报告说明半导体设备主要包括前道工艺设备和后道工艺设备，前道工艺设备为晶圆制造设备，后道工艺设备包括封装设备和测试设备，其他类型设备主要包括硅片生长设备等。其中晶圆前道工艺设备整体占比超过80%，是半导体设备行业最核心的组成部分。根据谨慎财务估算，项目总投资14626.63万元，其中：建设投资10984.36万元，占项目总投资的75.10%；建设期利息262.64万元，占项目总投资的1.8

7、0%；流动资金3379.63万元，占项目总投资的23.11%。项目正常运营每年营业收入31700.00万元，综合总成本费用26265.20万元，净利润3970.40万元，财务内部收益率19.96%，财务净现值5288.13万元，全部投资回收期6.13年。本期项目具有较强的财务盈利能力，其财务净现值良好，投资回收期合理。该项目的建设符合国家产业政策；同时项目的技术含量较高，其建设是必要的；该项目市场前景较好；该项目外部配套条件齐备，可以满足生产要求；财务分析表明，该项目具有一定盈利能力。综上，该项目建设条件具备，经济效益较好，其建设是可行的。本报告基于可信的公开资料，参考行业研究模型，旨在对项目

8、进行合理的逻辑分析研究。本报告仅作为投资参考或作为参考范文模板用途。第一章 建设单位基本情况一、 公司基本信息1、公司名称：xxx有限责任公司2、法定代表人：陈xx3、注册资本：500万元4、统一社会信用代码：xxxxxxxxxxxxx5、登记机关：xxx市场监督管理局6、成立日期：2015-4-207、营业期限：2015-4-20至无固定期限8、注册地址：xx市xx区xx9、经营范围：从事纳米级薄膜沉积设备相关业务（企业依法自主选择经营项目，开展经营活动；依法须经批准的项目，经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动；不得从事本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。）二、 公司简介面对宏观经济

9、增速放缓、结构调整的新常态，公司在企业法人治理机构、企业文化、质量管理体系等方面着力探索，提升企业综合实力，配合产业供给侧结构改革。同时，公司注重履行社会责任所带来的发展机遇，积极践行“责任、人本、和谐、感恩”的核心价值观。多年来，公司一直坚持坚持以诚信经营来赢得信任。公司满怀信心，发扬“正直、诚信、务实、创新”的企业精神和“追求卓越，回报社会” 的企业宗旨，以优良的产品服务、可靠的质量、一流的服务为客户提供更多更好的优质产品及服务。三、 公司竞争优势（一）公司具有技术研发优势，创新能力突出公司在研发方面投入较高，持续进行研究开发与技术成果转化，形成企业核心的自主知识产权。公司产品在行业中的始

10、终保持良好的技术与质量优势。此外，公司目前主要生产线为使用自有技术开发而成。（二）公司拥有技术研发、产品应用与市场开拓并进的核心团队公司的核心团队由多名具备行业多年研发、经营管理与市场经验的资深人士组成，与公司利益捆绑一致。公司稳定的核心团队促使公司形成了高效务实、团结协作的企业文化和稳定的干部队伍，为公司保持持续技术创新和不断扩张提供了必要的人力资源保障。（三）公司具有优质的行业头部客户群体公司凭借出色的技术创新、产品质量和服务，树立了良好的品牌形象，获得了较高的客户认可度。公司通过与优质客户保持稳定的合作关系，对于行业的核心需求、产品变化趋势、最新技术要求的理解更为深刻，有利于研发生产更符

11、合市场需求产品，提高公司的核心竞争力。（四）公司在行业中占据较为有利的竞争地位公司经过多年深耕，已在技术、品牌、运营效率等多方面形成竞争优势；同时随着行业的深度整合，行业集中度提升，下游客户为保障其自身原材料供应的安全与稳定，在现有竞争格局下对于公司产品的需求亦不断提升。公司较为有利的竞争地位是长期可持续发展的有力支撑。四、 公司主要财务数据公司合并资产负债表主要数据项目2020年12月2019年12月2018年12月资产总额4995.643996.513746.73负债总额1961.581569.261471.18股东权益合计3034.062427.252275.55公司合并利润表主要数据项

12、目2020年度2019年度2018年度营业收入16735.7413388.5912551.81营业利润3090.422472.342317.82利润总额2676.362141.092007.27净利润2007.271565.671445.23归属于母公司所有者的净利润2007.271565.671445.23五、 核心人员介绍1、陈xx，中国国籍，无永久境外居留权，1958年出生，本科学历，高级经济师职称。1994年6月至2002年6月任xxx有限公司董事长；2002年6月至2011年4月任xxx有限责任公司董事长；2016年11月至今任xxx有限公司董事、经理；2019年3月至今任公司董事。

13、2、苏xx，中国国籍，无永久境外居留权，1971年出生，本科学历，中级会计师职称。2002年6月至2011年4月任xxx有限责任公司董事。2003年11月至2011年3月任xxx有限责任公司财务经理。2017年3月至今任公司董事、副总经理、财务总监。3、吕xx，1957年出生，大专学历。1994年5月至2002年6月就职于xxx有限公司；2002年6月至2011年4月任xxx有限责任公司董事。2018年3月至今任公司董事。4、覃xx，中国国籍，1978年出生，本科学历，中国注册会计师。2015年9月至今任xxx有限公司董事、2015年9月至今任xxx有限公司董事。2019年1月至今任公司独立董

14、事。5、肖xx，中国国籍，1976年出生，本科学历。2003年5月至2011年9月任xxx有限责任公司执行董事、总经理；2003年11月至2011年3月任xxx有限责任公司执行董事、总经理；2004年4月至2011年9月任xxx有限责任公司执行董事、总经理。2018年3月起至今任公司董事长、总经理。6、彭xx，中国国籍，无永久境外居留权，1970年出生，硕士研究生学历。2012年4月至今任xxx有限公司监事。2018年8月至今任公司独立董事。7、陈xx，中国国籍，无永久境外居留权，1959年出生，大专学历，高级工程师职称。2003年2月至2004年7月在xxx股份有限公司兼任技术顾问；2004

15、年8月至2011年3月任xxx有限责任公司总工程师。2018年3月至今任公司董事、副总经理、总工程师。8、李xx，1974年出生，研究生学历。2002年6月至2006年8月就职于xxx有限责任公司；2006年8月至2011年3月，任xxx有限责任公司销售部副经理。2011年3月至今历任公司监事、销售部副部长、部长；2019年8月至今任公司监事会主席。六、 经营宗旨根据国家法律、行政法规的规定，依照诚实信用、勤勉尽责的原则，以专业经营的方式管理和经营公司资产，为全体股东创造满意的投资回报。七、 公司发展规划根据公司的发展规划，未来几年内公司的资产规模、业务规模、人员规模、资金运用规模都将有较大幅

16、度的增长。随着业务和规模的快速发展，公司的管理水平将面临较大的考验，尤其在公司迅速扩大经营规模后，公司的组织结构和管理体系将进一步复杂化，在战略规划、组织设计、资源配置、营销策略、资金管理和内部控制等问题上都将面对新的挑战。另外，公司未来的迅速扩张将对高级管理人才、营销人才、服务人才的引进和培养提出更高要求，公司需进一步提高管理应对能力，才能保持持续发展，实现业务发展目标。公司将采取多元化的融资方式，来满足各项发展规划的资金需求。在未来融资方面，公司将根据资金、市场的具体情况，择时通过银行贷款、配股、增发和发行可转换债券等方式合理安排制定融资方案，进一步优化资本结构，筹集推动公司发展所需资金。

17、公司将加快对各方面优秀人才的引进和培养，同时加大对人才的资金投入并建立有效的激励机制，确保公司发展规划和目标的实现。一方面，公司将继续加强员工培训，加快培育一批素质高、业务强的营销人才、服务人才、管理人才；对营销人员进行沟通与营销技巧方面的培训，对管理人员进行现代企业管理方法的教育。另一方面，不断引进外部人才。对于行业管理经验杰出的高端人才，要加大引进力度，保持核心人才的竞争力。其三，逐步建立、完善包括直接物质奖励、职业生涯规划、长期股权激励等多层次的激励机制，充分调动员工的积极性、创造性，提升员工对企业的忠诚度。公司将严格按照公司法等法律法规对公司的要求规范运作，持续完善公司的法人治理结构，

18、建立适应现代企业制度要求的决策和用人机制，充分发挥董事会在重大决策、选择经理人员等方面的作用。公司将进一步完善内部决策程序和内部控制制度，强化各项决策的科学性和透明度，保证财务运作合理、合法、有效。公司将根据客观条件和自身业务的变化，及时调整组织结构和促进公司的机制创新。第二章 绪论一、 项目名称及投资人（一）项目名称廊坊纳米级薄膜沉积设备项目（二）项目投资人xxx有限责任公司（三）建设地点本期项目选址位于xx（待定）。二、 编制原则1、严格遵守国家和地方的有关政策、法规，认真执行国家、行业和地方的有关规范、标准规定；2、选择成熟、可靠、略带前瞻性的工艺技术路线，提高项目的竞争力和市场适应性；

19、3、设备的布置根据现场实际情况，合理用地；4、严格执行“三同时”原则，积极推进“安全文明清洁”生产工艺，做到环境保护、劳动安全卫生、消防设施和工程建设同步规划、同步实施、同步运行，注意可持续发展要求，具有可操作弹性；5、形成以人为本、美观的生产环境，体现企业文化和企业形象；6、满足项目业主对项目功能、盈利性等投资方面的要求；7、充分估计工程各类风险，采取规避措施，满足工程可靠性要求。三、 编制依据1、一般工业项目可行性研究报告编制大纲;2、建设项目经济评价方法与参数(第三版);3、建设项目用地预审管理办法;4、投资项目可行性研究指南;5、产业结构调整指导目录。四、 编制范围及内容1、项目提出的

20、背景及建设必要性；2、市场需求预测；3、建设规模及产品方案；4、建设地点与建设条性；5、工程技术方案；6、公用工程及辅助设施方案；7、环境保护、安全防护及节能；8、企业组织机构及劳动定员；9、建设实施与工程进度安排；10、投资估算及资金筹措；11、经济评价。五、 项目建设背景从半导体薄膜沉积设备的细分市场上来看，CVD设备占比56%，PVD设备市占率23%，其次是ALD及其他镀膜设备。在半导体制程进入28nm后，由于器件结构不断缩小且更为3D立体化，生产过程中需要实现厚度更薄的膜层，以及在更为立体的器件表面均匀镀膜。在此背景下，ALD技术凭借优异的三维共形性、大面积成膜的均匀性和精确的膜厚控制

21、等特点，技术优势愈加明显，在半导体薄膜沉积环节的市场占有率也将持续提高。十三五”时期全市生产总值年均增长6.2%，2020年达到3301.1亿元，按可比价格计算，提前一年实现比2010年翻一番的目标。持续优化产业结构，三次产业结构由2015年的8.6:37.5:53.9调整为2020年的6.7:31.0:62.3。4家钢铁企业产能全部退出，“无钢市”目标圆满实现。双创平台载体建设成效显著，科技创新转化能力明显增强。战略性新兴产业加快布局，以固安维信诺为代表的一批重大项目建成投产。现代服务业加快壮大，全国商贸物流基地建设稳步推进。都市现代农业加快发展，乡村振兴战略扎实推进。经济高质量发展态势初步

22、显现。六、 结论分析（一）项目选址本期项目选址位于xx（待定），占地面积约32.00亩。（二）建设规模与产品方案项目正常运营后，可形成年产xxx套纳米级薄膜沉积设备的生产能力。（三）项目实施进度本期项目建设期限规划24个月。（四）投资估算本期项目总投资包括建设投资、建设期利息和流动资金。根据谨慎财务估算，项目总投资14626.63万元，其中：建设投资10984.36万元，占项目总投资的75.10%；建设期利息262.64万元，占项目总投资的1.80%；流动资金3379.63万元，占项目总投资的23.11%。（五）资金筹措项目总投资14626.63万元，根据资金筹措方案，xxx有限责任公司计划自

23、筹资金（资本金）9266.64万元。根据谨慎财务测算，本期工程项目申请银行借款总额5359.99万元。（六）经济评价1、项目达产年预期营业收入（SP）：31700.00万元。2、年综合总成本费用（TC）：26265.20万元。3、项目达产年净利润（NP）：3970.40万元。4、财务内部收益率（FIRR）：19.96%。5、全部投资回收期（Pt）：6.13年（含建设期24个月）。6、达产年盈亏平衡点（BEP）：12601.80万元（产值）。（七）社会效益此项目建设条件良好，可利用当地丰富的水、电资源以及便利的生产、生活辅助设施，项目投资省、见效快；此项目贯彻“先进适用、稳妥可靠、经济合理、低耗

24、优质”的原则，技术先进，成熟可靠，投产后可保证达到预定的设计目标。本项目实施后，可满足国内市场需求，增加国家及地方财政收入，带动产业升级发展，为社会提供更多的就业机会。另外，由于本项目环保治理手段完善，不会对周边环境产生不利影响。因此，本项目建设具有良好的社会效益。（八）主要经济技术指标主要经济指标一览表序号项目单位指标备注1占地面积21333.00约32.00亩1.1总建筑面积37827.801.2基底面积12373.141.3投资强度万元/亩338.892总投资万元14626.632.1建设投资万元10984.362.1.1工程费用万元9827.742.1.2其他费用万元907.782.1

25、.3预备费万元248.842.2建设期利息万元262.642.3流动资金万元3379.633资金筹措万元14626.633.1自筹资金万元9266.643.2银行贷款万元5359.994营业收入万元31700.00正常运营年份5总成本费用万元26265.206利润总额万元5293.877净利润万元3970.408所得税万元1323.479增值税万元1174.4710税金及附加万元140.9311纳税总额万元2638.8712工业增加值万元9029.7413盈亏平衡点万元12601.80产值14回收期年6.1315内部收益率19.96%所得税后16财务净现值万元5288.13所得税后第三章 项目

26、背景分析一、 半导体薄膜沉积设备的发展情况1、半导体薄膜沉积设备行业发展情况（1）薄膜沉积设备市场规模持续增长根据MaximizeMarketResearch数据统计，全球半导体薄膜沉积设备市场规模从2017年的125亿美元扩大至2020年的172亿美元，年复合增长率为11.2%。预计至2025年市场规模可达340亿美元。（2）薄膜沉积设备国产化率低我国半导体设备经过最近几年快速发展，在部分领域已有一定的进步，但整体国产设备特别在核心设备化上的国产化率仍然较低，半导体薄膜沉积设备行业基本由AMAT、ASM、Lam、TEL等国际巨头垄断。近年来随着国家对半导体产业的持续投入及部分民营企业的兴起，

27、我国半导体制造体系和产业生态得以建立和完善。半导体薄膜沉积设备的国产化率虽然由2016年的5%提升至2020年的8%，但总体占比尤其是中高端产品占比较低。（3）各类薄膜沉积设备发展态势从半导体薄膜沉积设备的细分市场上来看，CVD设备占比56%，PVD设备市占率23%，其次是ALD及其他镀膜设备。在半导体制程进入28nm后，由于器件结构不断缩小且更为3D立体化，生产过程中需要实现厚度更薄的膜层，以及在更为立体的器件表面均匀镀膜。在此背景下，ALD技术凭借优异的三维共形性、大面积成膜的均匀性和精确的膜厚控制等特点，技术优势愈加明显，在半导体薄膜沉积环节的市场占有率也将持续提高。2、ALD技术在半导

28、体薄膜沉积设备中的典型应用情况ALD技术在高k材料、金属栅、电容电极、金属互联、TSV、浅层沟道隔等工艺中均存在大量应用，广泛应用于逻辑芯片、存储芯片、第三代化合物半导体等领域。（1）ALD典型应用高介电常数金属栅极（HKMG）工艺晶体管是构成逻辑电路、微处理器及记忆元件的基本单元，漏电一直是影响其良率、性能和功耗的重要影响因素。在半导体晶圆制程进入65nm及之前，集成电路主要通过沉积SiO2薄膜形成栅极介电质减少漏电；随着集成电路尺寸不断缩小，特别是制程28nm之后，传统的SiO2栅介质层物理厚度缩小至1纳米以下，达到了其物理极限，产生明显的量子隧穿效应和多晶硅耗尽效应，导致漏电流急剧增加，

29、器件性能急剧恶化。通过引入高介电常数金属栅极（HKMG）工艺，可以解决上述问题，即采用高k材料替代传统的二氧化硅栅极氧化层作为栅极介质层，TiN替代传统的多晶硅栅极作为金属栅极，高k栅氧化层与金属栅极的组合使用，不仅能够大幅减小栅极漏电流，同时因高k栅氧化层的等效氧化物厚度较薄，还能有效减低栅极电容。ALD技术凭借其精确的膜厚控制、均匀性和致密性的特点，自从英特尔在45nm技术节点将应用于栅介质薄膜制造工艺后，就被广泛应用于栅极介质层、金属栅极制备。（2）ALD典型应用电容和电极材料集成电路2D存储器件的线宽已接近物理极限，NAND闪存已进入3D时代。目前64层3DNAND闪存已进入量产阶段，

30、128层闪存也陆续有厂商开始推出，行业预期未来将叠加至500层，技术工艺还会持续推进。3DNAND制造工艺中，增加集成度的主要方法不仅是缩小单层上线宽，而且需要增加堆叠的层数，使得一些器件结构的深宽比增加至40：1，甚至是80：1的极深孔或极深的沟槽，对薄膜沉积设备等生产设备提出了更高的要求。ALD技术最早应用于DRAM存储器件的超高深宽比的电容电极制作工艺。随着3DNAND和DRAM相关技术的不断发展，等效氧化物厚度进一步下降，3DNAND和DRAM电容呈现高深宽比结构，在这种情况下，高k电容材料和电容电极的沉积只有具备优异填隙性和共形性的ALD技术才可以满足。除此之外，新型存储器也在快速发

31、展，与闪存和DRAM相比，新型存储器一般具有更高的写入速度和更长的读写寿命。以铁电存储器（FeRAM）为例，其由电容和场效应管构成，其中电容为在两个电极板中间沉淀的一层晶态的铁电晶体薄膜，该薄膜对于厚度、质量均有非常高的要求，ALD技术可以较好地满足技术指标。（3）ALD典型应用金属互联阻挡层金属互联即在集成电路片上沉积金属薄膜，并通过光刻技术形成布线，把互相隔离的元件按一定要求互连成所需电路的工艺。铜互连为金属互联的一种，而在铜互连中采用ALD的主要驱动力在于随着制程进步、TSV等先进封装工艺的发展，元件集成度提高、几何构架收缩，导致深宽比的增加，ALD技术能够沉积尽可能薄的阻挡层，阻止铜和

32、周围绝缘体之间的相互扩散，且作为粘附层促进互连铜的生长，给铜沉积留出最大的空间。3、半导体薄膜沉积设备发展趋势（1）半导体行业景气度带动设备需求增长随着半导体行业整体景气度的提升，全球半导体设备市场呈现快速增长态势，拉动市场对薄膜沉积设备需求的增加。薄膜沉积设备行业一方面长期受益于全球半导体需求增加与产线产能的扩充，另一方面受益于技术演进带来的增长机遇，包括制程进步、多重曝光与3DNAND存储技术，全球半导体薄膜沉积设备市场规模将因此高速增长。MaximizeMarketResearch预计全球半导体薄膜沉积设备市场规模在2025年将从2020年的172亿美元扩大至340亿美元，保持年复合13

33、.3%的增长速度。（2）进口替代空间巨大近年来，在国家政策的拉动和支持下，我国半导体产业快速发展，整体实力显著提升，设计、制造能力与国际先进水平不断缩小，但半导体先进设备制造仍然相对薄弱。中国制造2025对于半导体设备国产化提出明确要求：在2020年之前，90-32nm工艺设备国产化率达到50%，实现90nm光刻机国产化，封测关键设备国产化率达到50%。在2025年之前，20-14nm工艺设备国产化率达到30%，实现浸没式光刻机国产化。为推动我国半导体产业的发展，国家先后设立国家重大专项和国家集成电路基金，国家集成电路基金首期募资1,387亿元，二期募资超过2,000亿元。伴随着国家鼓励类产业

34、政策和产业投资基金不断的落实与实施，本土半导体及其设备制造业迎来了前所未有的发展契机，而薄膜沉积设备作为半导体制造的核心设备，将会迎来巨大的进口替代市场空间。（3）薄膜要求提高衍生设备需求在晶圆制造过程中，薄膜发挥着形成导电层或绝缘层、阻挡污染物和杂质渗透、提高吸光率、阻挡刻蚀等重要作用。由于芯片的线宽越来越窄、结构越来越复杂，薄膜性能参数精细化要求也随之提高，如先进制程的前段工艺对薄膜均匀性、颗粒数量控制、金属污染控制的要求逐步提高，台阶覆盖能力强、薄膜厚度控制精准的ALD设备因此被引入产线。（4）先进制程增加导致设备市场攀升随着集成电路制造不断向更先进工艺发展，单位面积集成的电路规模不断扩

35、大，芯片内部立体结构日趋复杂，所需要的薄膜层数越来越多，对绝缘介质薄膜、导电金属薄膜的材料种类和性能参数不断提出新的要求。在90nmCMOS工艺大约需要40道薄膜沉积工序。在3nmFinFET工艺产线，则超过100道薄膜沉积工序，涉及的薄膜材料由6种增加到近20种，对于薄膜颗粒的要求也由微米级提高到纳米级。只有薄膜沉积设备的不断创新和进步才能支撑集成电路制造工艺向更小制程发展。目前，半导体行业的薄膜沉积设备中，PVD设备与CVD设备均已初步实现国产化，而ALD设备作为先进制程所必须的工艺设备，在大规模量产方面国内厂商尚未形成突破。当技术节点向14纳米甚至更小的方向升级时，与PVD设备和CVD设

36、备相比，ALD设备的必要性更加凸显。目前，基于供应链安全考虑，国内设备制造商正面临更多的机会。面对半导体设备向高精度化与高集成化方向发展的趋势，以及国产化进程加快的背景下，国产半导体ALD设备迎来前所未有的发展契机。二、 半导体设备行业1、半导体设备发展基本情况及特点半导体设备主要包括前道工艺设备和后道工艺设备，前道工艺设备为晶圆制造设备，后道工艺设备包括封装设备和测试设备，其他类型设备主要包括硅片生长设备等。其中晶圆前道工艺设备整体占比超过80%，是半导体设备行业最核心的组成部分。前道工艺主要包括七大步骤分别为热处理（氧化/扩散/退火）、光刻、刻蚀、离子注入、薄膜沉积、清洗与抛光、金属化。薄

37、膜沉积工艺系在晶圆上沉积一层待处理的薄膜，匀胶工艺系把光刻胶涂抹在薄膜上，光刻和显影工艺系把光罩上的图形转移到光刻胶，刻蚀工艺系把光刻胶上图形转移到薄膜，去除光刻胶后，即完成图形从光罩到晶圆的转移。制造芯片的过程需要数十层光罩，集成电路制造主要是通过薄膜沉积、光刻和刻蚀三大工艺循环，把所有光罩的图形逐层转移到晶圆上。因此，半导体制造过程可以理解为循环进行“加减法”。薄膜沉积作为“加法工艺”，与光刻和“减法工艺”刻蚀，共同构成了半导体制造过程中不可或缺的生产工艺。从晶圆厂的投资构成来看，刻蚀设备、光刻设备、薄膜沉积设备是集成电路前道生产工艺中最重要的三类设备。其中，薄膜沉积设备投资额占晶圆厂投资

38、总额的16%，占晶圆制造设备投资总额的21%。2、全球半导体设备行业发展情况2013年以来，随着全球半导体行业整体景气度的提升，半导体设备市场也呈增长趋势。根据SEMI统计，全球半导体设备销售额从2013年的约318亿美元增长至2020年的712亿美元，年均复合增长率约为12.20%。由于半导体专用设备行业对制造工艺和标准要求严格，行业进入的技术壁垒、市场壁垒和客户认知壁垒较高，全球半导体设备市场集中度较高。目前全球前十大半导体设备制造商主要集中在美国、日本和荷兰。根据VLSIResearch数据，2020年全球半导体设备前十名厂商合计实现销售收入708亿美元，市占率为76.63%。中国半导体

39、设备厂商因发展起步较晚，目前尚未进入全球行业前列。3、中国半导体设备行业发展概况（1）中国大陆成为全球第一大半导体设备需求市场从需求端分析，根据SEMI统计数据，2013-2020年半导体设备在大陆销售额的年复合增长率达到27.59%，2020年在全球半导体市场大幅下跌的态势下依然逆势增长，在中国大陆的销售额达到187.2亿美元，发展势头良好。（2）顶尖设备仍依赖进口2020年中国大陆已经成为最大的半导体设备市场，但全球前十五名设备商中尚没有中国企业。中国半导体设备明显落后于美国、荷兰、日本等国。据中国电子专用设备工业协会数据统计，2020年国产半导体设备销售额约为213亿元，自给率约为17.

40、5%，其中集成电路设备自给率仅有5%左右，技术含量最高的集成电路前道设备则自给率更低，与不断增长的需求市场形成了较大的缺口，国产化率增长空间巨大。中国半导体设备大量依赖进口不仅严重影响我国半导体的产业发展，也对我国电子信息安全造成重大隐患，中国半导体设备国产替代、自主可控需求迫切。（3）半导体设备发展趋势向好集成电路尺寸及线宽的缩小、产品结构的立体化及生产工艺的复杂化等因素都对半导体设备行业提出了更高的要求和更多的需求。尺寸缩减趋势重点推动光刻设备的进步，3D结构化趋势重点推动刻蚀、薄膜设备的进步。两因素共同推动了集成电路整体结构的复杂化，进而推动化学机械研磨、清洗、离子注入、检测等其他设备的

41、进步，并为半导体核心装备的发展提供了广阔的市场空间。除此之外，功率器件、光电子等领域市场的发展和市场需求的提升，也将不断刺激半导体设备市场需求。受多个下游市场需求增长的共同驱动，半导体设备市场预计将持续保持增长势头，市场前景良好。2021年7月，SEMI发布半导体制造设备年中总预测，预测原始设备制造商全球半导体制造设备销售额相比2020年的711亿美元，2021年增长34%至953亿美元，2022年将创下超过1,000亿美元的新高。三、 加快推动北三县与通州区一体化联动发展落实“四统一”要求，建设高效一体的基础设施网络，加强产业协同合作，共同打造自然优美的生态环境，率先实现北三县与通州区一体化

42、联动发展。（一）推进基础设施网络一体化加快交通基础设施建设。全力服务保障京唐铁路建设，加快推进燕郊、大厂、香河高铁站建设和高铁站周边区域的综合开发，积极推进平谷线（三河段）相关工作，开展102国道北移规划、密涿京沪联络线方案研究，启动跨界道路及跨河桥梁前期工作，稳步推进三河通用机场规划建设；加快公交站点和场站建设，持续推进交通运营协同。优化区域水资源配置。统筹考虑北三县与通州区水资源保障，加强水资源质量管理和水资源开发利用，构建多水源供水的水源供给保障格局。建立一体化的市政设施运维机制。与央企、京企在海绵城市、地下综合管廊等方面开展合作，实现市政设施的统一运营管理，力争在环卫、供热、污水处理等

43、市政服务实现与通州区同质同标。（二）共筑自然优美的生态环境推动环境协同治理。建立健全北三县与通州区生态环境日常监测、监管执法、应急响应等联动工作机制；持续推进大气污染联防联控，组织开展联合执法行动；统筹推进潮白河、北运河等主要河流水环境治理、水生态修复、生态廊道保护与修复工程。共建大尺度生态绿洲。构建由森林公园、郊野公园、湿地、水系构成的结构合理、生物多样的复合生态系统，与通州区共建北运河、潮白河生态绿洲，构建绿色游憩体系。（三）加强产业协同发展促进协同创新。依托燕郊高新区、三河经开区、大厂高新区、香河经开区，共建一批国家实验室、企业技术中心、技术创新中心、科技企业孵化器、科技成果中试熟化基地

44、、专业化技术转移机构，培育一批高新技术企业，提升协同创新能力；重点打造燕郊北部科学城、中国人民大学文化创意产业园、香河高铁商务区等承接平台，落地实施一批产业项目。促进产业联动。聚焦新一代信息技术、高端装备制造、节能环保、生物健康、高端服务业、文化旅游、都市农业等七大领域，精准高效承接非首都功能疏解，重点推动在中试孵化、制造和配套服务环节实现产业协同分工，主动融入北京城市副中心产业链创新链供应链；集聚教育培训、医疗健康、养老休闲等要素，布局建设“微中心”，引入北京向外疏解的优质公共服务资源，培育新的经济增长点。（四）大幅提升公共服务水平积极推进北京市基本公共服务资源向北三县延伸。采取合作办院、设

45、立分院、组建医联体等形式，提高北三县医疗服务水平。加强教育合作，支持优质学前教育、中小学与北三县开展跨区域合作办学，深化学校跨区域牵手帮扶、校长和教师交流合作机制。统一基本公共服务标准。合理制定北三县基本公共服务标准；合理布局医疗机构，提高乡镇卫生院床位数和全科医生人数，提升本地就医率。共建共享文体设施。积极推动北三县与通州区大型文化设施、体育设施共建共享，共同促进地区间的文化活动交流，共同承办重大体育赛事活动。缩小社会保障差距。提高北三县医保、养老、工资、城乡低保等社会保障标准，逐步缩小与通州区差距。（五）共建首都安全防控体系加强社会治安防控体系建设。强力推进北三县与通州区警务基础设施建设的

46、一体化，提高治安公共服务保障水平，自觉当好首都政治“护城河”的排头兵。探索共建共管共治的综合防灾救灾新模式。坚持以防为主、防抗救相结合，坚持常态减灾和非常态救灾相统筹，构建可控可救、快速反应、保障有力的城市安全体系。四、 项目实施的必要性（一）提升公司核心竞争力项目的投资，引入资金的到位将改善公司的资产负债结构，补充流动资金将提高公司应对短期流动性压力的能力，降低公司财务费用水平，提升公司盈利能力，促进公司的进一步发展。同时资金补充流动资金将为公司未来成为国际领先的产业服务商发展战略提供坚实支持，提高公司核心竞争力。第四章 产品方案分析一、 建设规模及主要建设内容（一）项目场地规模该项目总占地面积21333.00（折合约32.00亩），预计场区规划总建筑面积37827.80。（二）产能规模