最新SEM-操作使用手册.doc

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1、Four short words sum up what has lifted most successful individuals above the crowd: a little bit more.-author-dateSEM-操作使用手册SEM-操作使用手册Zeiss Supra55(VP)扫描电子显微镜简明操作指南一、开机说明冷启动步骤1、 启动UPS打开墙上空气开关，确认UPS后面电池开关打开，按前面面板上On键至两个绿灯亮。2、 启动循环水冷机。按On键，确认水泵1和制冷指示灯亮。检查出水口压力在23bar。出水口压力可由压力表下方阀门调节。若有报警，检查水位，按Res键。3

2、、 启动空气压缩机。确认空气压缩机上启动阀门上开关为“I”状态。检查输出气压为56bar。4、 确认主机后两个电源开关状态为On。此时，主机前面板上红灯亮。5、 按下黄键。说明：前级真空泵进入工作状态，分子泵、潘宁计和离子泵自动顺序启动。6、 按下绿键。按下绿键后，电脑会自动启动，输入计算机密码：7、 启动SmartSEM软件。用户名： system 密码： 8、 检查真空值，等待真空就绪。注意：当System Vacuum210-5mBar时，会自动打开CIV阀门(column isolation valve)，并启动离子泵。 当Gun Vacuum=5kV，以获得较好分辨率。对于轻元素样品

3、，为减小电子穿透深度，可选择EHT5mm具有阴影效应，立体感较好，低倍效果好AsB一般10kV510mm反应元素衬度VPSE515mm低真空模式下形貌像4、 AsB背散射探测器使用步骤。先使用Inlens或SE2探测器调好图像，再切换至AsB探测器，打开BSD控制界面（菜单栏DetectionBSD control），设置BSD gain=High；对比度需在80左右。5、 VP模式使用。适用于不导电样品形貌观察，步骤如下：点击Vacuum面板Go to VP，设定VP target=60Pa左右。选择VPSE探测器，可调高VPSE偏压至80，以增强信号强度，若出现亮暗条纹，则适当降低VPSE

4、偏压。调整VP target至完全消除电荷积累效应。一般6080Pa可完全消除。拍照完成后，需退出VP模式，Vacuum面板中点击Go to HV。6、 高景深模式。适用于岩石、断口等高低起落较大的样品。使用时，Aperture面板中选上High Current。使用结束后，取消High Current。7、 光阑选择。30um标准光阑：束流强度适中，分辨率最好，适用于拍高倍图像。另外，低EHT效果较好。 60、120um光阑：束流较强，分辨率稍差，适用于拍低倍图像和采集EDX、EBSD谱。五、常见问题问题解决方案样品台无法移动做初始化。若初始化长时间不结束，Stage面板上点Stage st

5、op，报告蔡司服务工程师。样品台移动无法停止样品台状态一直是Busy按F12或操纵杆上Break键强制停止。检查操纵杆能否复位，并尝试禁用操纵杆。抽真空时间太长放气，取出样品，检查样品仓门O圈，重新抽真空。若15分钟内未能到就绪状态，报告蔡司服务工程师。循环水冷机报警检查水位，加水，按Res键。若缺水报警频繁，有漏水，报告蔡司服务工程师。电子枪真空较差Gun vacuum难以抽到510-9mBar以下，需做烘烤。灯丝正常工作时，Gun vacuum一般小于510-9mBar电脑死机按下黄键待机，等待20s后，再按绿键重启，一般重启后需做样品台初始化。图像漂移样品表面导电性或接地不好，重新制样，

6、可蒸碳或镀金改善导电性。高倍图像有锯齿场地有振动或磁场干扰，也可能减震气垫系统漏气。图像无法存盘清理磁盘。鼠标右键点击C盘属性清理磁盘，删除所有垃圾文件。停电停电前关机。若停电时间较短，UPS电量够用，可关至待机状态。六、日常维护检查内容周期说明房间温度每天记录，严格控制在1725C房间湿度每天记录，相对湿度65%房间卫生每周清理房间灰尘系统真空极限值每周记录，极限系统真空值510-6mBar电子枪真空每周记录，灯丝开时Gun vacuum510-9mBar引出电流每周记录EHT开关前后引出电流值，EHT=10kV抽真空时间每月测试并记录，由放气状态抽到就绪状态的时间。一般不超过10分钟。样品

7、仓每月检查清理，样品仓内或样品台上若有异物，可用吸尘器清理，或用无尘布擦。注意勿碰触探测器。样品台初始化每月若发现样品台导航器或坐标值不准确，立即做样品台初始化。氮气每月出口输出气压0.20.3Bar空气压缩机每季出口输出气压56 Bar循环水冷机每季检查水位。打开水箱旋钮，检查并加水。工作时，水压在23Bar，水温在1822C油式真空泵每季检查油位，必要时，加油。电脑每年整理文件夹；清理磁盘，删除所有临时文件和旧压缩文件。附录一、专业词汇Airlock 样品交换室Annotation 标注Aperture 光阑Bakeout 烘烤Column 镜筒Column chamber valve, Column Isolation valve (CIV) 镜筒隔离阀Cycle time 扫描循环时间EHT 加速电压Emission 发射像Extractor 引出电极Focus wobble 聚焦摇摆Freeze 冻结图片、停止扫描LUT (look up table) 信号变换关系Normal 全屏正常扫描Reduced 选区扫描Stigmation 像散Vacuum (Vac) 真空WD (working distance) 工作距离(电子束焦点与镜筒底端间的距离)-