实验与材料分析精选PPT.ppt
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1、关于实验与材料分析第1页,讲稿共36张,创作于星期日 对对于于材材料料物物理理来来说说,除除了了材材料料制制备备方方法法以以外外,最最广广泛泛使使用的表征材料特征的方法有:用的表征材料特征的方法有:衍衍射射方方法法:中中子子衍衍射射、X射射线线衍衍射射、电电子子衍衍射射、穆穆斯斯堡堡尔尔谱谱、射线衍射等射线衍射等显显微微方方法法:光光学学显显微微镜镜、电电子子显显微微镜镜、扫扫描描遂遂道道显显微微镜镜、场场离子显微镜、原子力显微镜等离子显微镜、原子力显微镜等表征材料的方法表征材料的方法第2页,讲稿共36张,创作于星期日 考考虑虑所所需需的的信信息息:整整体体统统计计性性的的还还是是局局域域性性
2、的的?是是宏宏观观尺尺度度的、纳米尺度的还是原子尺度的?是单项的还是综合的?的、纳米尺度的还是原子尺度的?是单项的还是综合的?考虑采用什么方法才能得到自己需要的参数考虑采用什么方法才能得到自己需要的参数 优先优先考虑本实验室现有的测量手段考虑本实验室现有的测量手段 考虑实验费用考虑实验费用 考虑是否能用别的测量手段替代考虑是否能用别的测量手段替代如何选择测量手段如何选择测量手段第3页,讲稿共36张,创作于星期日某些常用的测量方法某些常用的测量方法第4页,讲稿共36张,创作于星期日扩展扩展X射线吸收精细结构射线吸收精细结构(EXAFS)工工作作原原理理:利利用用一一个个来来自自同同步步辐辐射射源
3、源的的可可调调单单色色X射射线线辐辐照照样样品品。当当X射射线线的的能能量量从从稍稍低低于于样样品品中中选选定定元元素素原原子子内内壳壳层层电电子子结结合合能能(例例如如K或或L电电子子)到到远远高高于于此此能能量量扫扫描描时时,会会发发生生X射射线线吸吸收收,并并可可观观察察到到一一个个极极陡陡的的吸吸收收边边。当当入入射射X射射线线的的能能量大于结合能时,可以观察到一系列吸收振荡。量大于结合能时,可以观察到一系列吸收振荡。用用处处:能能够够反反映映X射射线线吸吸收收原原子子0.5nm附附近近的的原原子子结结构构分分布布情情况况。EXAFS的的频频率率与与吸吸收收原原子子和和其其近近邻邻原原
4、子子间间距距有有关关,而而EXAFS的强度则与的强度则与近邻原子的种类、数量和有序度近邻原子的种类、数量和有序度有关。有关。第5页,讲稿共36张,创作于星期日表面扩展表面扩展X射线吸收超精细结构和近边射线吸收超精细结构和近边X射线吸收超精细结射线吸收超精细结构构(SEXAFS/NEXAFS)工工作作原原理理:固固体体样样品品处处于于超超高高真真空空中中,受受到到来来自自同同步步辐辐射射源源的的可可调调X射射线线照照射射。通通过过改改变变X射射线线的的光光子子能能量量和和测测量量出出射电子或荧光的产额来采集吸收谱。射电子或荧光的产额来采集吸收谱。用处:用处:SEXAFS的特征峰的特征峰 样品表面
5、的近邻原子键长、样品表面的近邻原子键长、配位数配位数NEXAFS 局域配位局域配位(四配位、八配位等等四配位、八配位等等)氧化态性质氧化态性质 键合的种类(分子吸收)键合的种类(分子吸收)第6页,讲稿共36张,创作于星期日场离子显微镜场离子显微镜(FIM)工工作作原原理理:中中性性的的惰惰性性气气体体分分子子以以原原子子尺尺度度靠靠近近带带几几千千伏伏特特正正电电压压的的固固体体针针尖尖时时,电电子子很很可可能能从从惰惰性性气气体体分分子子隧隧穿穿至至固固体体,从从而而产产生生一一个个阳阳离离子子。阳阳离离子子被被电电场场加加速速打打到到接接收收器器上上,再再放放出出大大量量的的电电子子打打到
6、到荧荧屏屏上上产产生生亮亮点点,同同时时能能看到一颗颗原子影象。看到一颗颗原子影象。(可可以以通通过过电电化化学学刻刻蚀蚀制制作作半半径径约约50nm的的针针尖尖,并并在在针针尖尖和和荧荧光光屏屏之之间间加加约约5kV的的电电压压。利利用用氦氦、氖氖等等惰惰性性气气体体产产生生的的离化)离化)用用处处:研研究究吸吸附附原原子子或或空空位位、间间隙隙原原子子等等点点缺缺陷陷以以及及位位错错、晶界这样的扩展缺陷。晶界这样的扩展缺陷。第7页,讲稿共36张,创作于星期日磁光克尔效应磁光克尔效应(MOKE)工工作作原原理理:基基于于材材料料的的净净磁磁化化强强度度M与与从从表表面面反反射射的的可可见见光
7、光的的偏偏振振变变化化的的比比例例关关系系。磁磁化化方方向向由由起起始始位位置置和和旋旋转转信号信号(偏振偏振)决定。决定。用用处处:是是一一种种测测定定磁磁性性材材料料近近表表面面净净磁磁矩矩方方向向和和相相对对大大小小的的光光学技术学技术。测量材料在连续变化的外磁场下的磁光克尔效应测量材料在连续变化的外磁场下的磁光克尔效应给出了材料的磁滞回线。给出了材料的磁滞回线。磁磁光光克克尔尔效效应应的的测测量量可可以以在在兆兆赫赫兹兹频频率率下下和和在在直直流流下下测测量量,这使得测量磁畴动力学或静畴像成为可能。这使得测量磁畴动力学或静畴像成为可能。第8页,讲稿共36张,创作于星期日低能电子衍射低能
8、电子衍射(LEED)工工作作原原理理:测测量量一一束束平平行行的的单单色色低低能能电电子子束束(101000eV)被被样样品品表表面面所所衍衍射射的的花花样样。实实验验在在真真空空中中进进行行。在在这这个个能能量量范范围围里里,电电子子的的平平均均自自由由程程只只有有几几个个埃埃,因因此此对对表表面面十十分分敏敏感感。用处:用处:衍射花样可以用来分析干净的表面或涂层结构。衍射花样可以用来分析干净的表面或涂层结构。对对衍衍射射强强度度的的分分析析可可以以确确定定表表面面原原子子之之间间的的相相对对位位置置及及它它们们相对下层原子的位置相对下层原子的位置。对不同角度的衍射束的分析可以提供对不同角度
9、的衍射束的分析可以提供表面无序程度的信息表面无序程度的信息。可以用来研究表面晶体的微观晶体结构和组织及相关现象。可以用来研究表面晶体的微观晶体结构和组织及相关现象。第9页,讲稿共36张,创作于星期日电子探针电子探针X射线显微分析射线显微分析(EPMA)工工作作原原理理:利利用用一一束束会会聚聚的的高高能能(5-30keV)电电子子束束轰轰击击样样品品,从从而而导导致致样样品品发发射射出出特特征征X射射线线(能能量量范范围围0.1-15keV)。X射射线线通通常常用用能能量量色色散散(简简称称能能谱谱)或或波波长长色色散散X射射线线谱谱仪仪(简简称波谱仪称波谱仪)测量。测量。作用:作用:是一种元
10、素分析技术。是一种元素分析技术。标标样样系系列列包包括括纯纯元元素素或或二二元元化化合合物物等等。在在使使用用纯纯元元素素标标样样分分析析浓浓度度时时相相对对浓浓度度误误差差在在4以以内内的的几几率率为为0.95。元元素素的的空空间间分分布布可可以以用用X射射线线区区域域扫扫描描定定性性观观察察,并并通通过过数数字成分图来定量表示。字成分图来定量表示。第10页,讲稿共36张,创作于星期日电子自旋共振电子自旋共振(ESR),也叫电子顺磁共振,也叫电子顺磁共振(EPR)工工作作原原理理:在在被被研研究究的的物物质质中中,若若有有未未成成对对电电子子,则则这这种种物物质质(分分子子)便便具具有有未未
11、抵抵消消的的磁磁矩矩,表表现现出出顺顺磁磁性性。电电子子自自旋旋磁磁矩矩在在外磁场中会具有分立的能级,因而会有共振现象。外磁场中会具有分立的能级,因而会有共振现象。用处:用处:可可以以探探讨讨自自旋旋未未成成对对电电子子与与一一些些核核噪噪音音的的强强弱弱,给给出出分分子子中中电电子子结结构构状状态态的的信信息息,如如顺顺磁磁离离子子的的氧氧化化态态、电电子子组组态态和和配配位位数数;顺磁离子的基态顺磁离子的基态d轨道、格位对称性及所发生的任何结构畸变。轨道、格位对称性及所发生的任何结构畸变。在成分分析方面可以定性的或定量的测量。在成分分析方面可以定性的或定量的测量。可可以以用用于于研研究究化
12、化学学键键的的性性质质、电电子子与与声声子子的的相相互互作作用用、电电子子自自旋旋哈哈密密顿顿参参数数、g因因子子值值以以及及具具有有未未成成对对电电子子的的晶晶体体缺缺陷等。陷等。第11页,讲稿共36张,创作于星期日二次离子质谱二次离子质谱(SIMS)工工作作原原理理:在在二二次次离离子子质质谱谱分分析析中中,固固态态样样品品置置于于真真空空中中并并用用细细离离子子束束轰轰击击,此此入入射射离离子子被被称称作作初初级级离离子子,它它们们有有足足够够的的能能量量使使样样品品照照射射区区的的原原子子或或小小原原子子团团逸逸出出。以以离离子子形形式式发发射射的的原原子子或或原原子子团团被被称称为为
13、二二次次离离子子。二二次次离离子子在在质质谱谱仪仪中中加加速速后后,根根据它们的荷质比不同被分离并分别计数。据它们的荷质比不同被分离并分别计数。用用处处:二二次次离离子子的的相相对对量量可可以以转转换换成成浓浓度度。通通过过与与标标样样比比较较可可以以展展示示样样品品成成分分和和痕痕量量杂杂质质的的浓浓度度随随轰轰击击时时间间(即即距距样样品品表表面面深深度度)的变化情况的变化情况。第12页,讲稿共36张,创作于星期日俄歇电子谱俄歇电子谱(AES)工工作作原原理理:俄俄歇歇电电子子是是用用一一束束会会聚聚电电子子束束照照射射固固体体后后在在表表面面附附近近所所产产生生的的二二次次电电子子。俄俄
14、歇歇电电子子反反映映元元素素的的能能量量特特征征,在在许多情况下反映了释放出俄歇电子的原子的化学键特征。许多情况下反映了释放出俄歇电子的原子的化学键特征。用用处处:由由于于俄俄歇歇电电子子在在从从样样品品浅浅层层表表面面逃逃逸逸过过程程中中没没有有能能量量损损耗耗,因因此此利利用用俄俄歇歇电电子子的的特特征征能能量量可可以以确确定定样样品品元元素素的的成成分分,同同时时能能确确定定样样品品表表面面的的化化学学性性质质。如如果果同同时时结结合合离离子子轰轰击击,逐逐层层剥剥离离表表面面技技术术,还还可可以以表表征征样样品品在在表表面面下下不不同同深深度度上上的的化化学学性性质质。由由于于电电子子
15、束束的的高高空空间间分分辨辨,故故可可以以进进行行样样品品的的三三维维区区域域的的微微观观分分析析。俄俄歇歇电电子子谱谱的的特特征征包包括括高高横横向向分分辨辨率率、高高灵灵敏敏度度、无无标标样样半半定量分析并且在某些情况下给出化学键信息。定量分析并且在某些情况下给出化学键信息。第13页,讲稿共36张,创作于星期日反射电子能量损失谱反射电子能量损失谱(REELS)工工作作原原理理:将将固固体体样样品品置置于于真真空空中中,用用一一束束细细电电子子束束辐辐照照,电电子子束束的的能能量量相相当当高高,足足以以导导致致原原子子或或原原子子团团的的电电子子激激发发。部部分分入入射射电电子子从从样样品品
16、中中射射出出时时,相相对对于于入入射射能能量量E0损损失失了了一一特特定定能能量量。通通过过电电子子能能量量分分析析器器可可以以测测量量反反射射电电子子的的数数量量、方向方向k和能量。和能量。用用处处:与与标标样样比比较较,从从逸逸出出电电子子能能量量损损失失谱谱的的强强度度和和线线形能够得到有关形能够得到有关样品表面成分、晶体结构和化学键的信息样品表面成分、晶体结构和化学键的信息。第14页,讲稿共36张,创作于星期日反射高能电子衍射反射高能电子衍射(RHEED)工工作作原原理理:一一束束高高能能电电子子(5-50keV)被被加加速速射射向向接接地地的的导导体体样样品品或或半半导导体体样样品品
17、的的表表面面。入入射射电电子子束束以以l-5的的掠掠射射角角照照射射样样品品,并并被被其其散散射射。由由于于电电子子束束的的波波长长比比原原子子间间距距短短,这这些些电电子子被被样样品品表表面面有有序序的的原原子子阵阵列列所所衍衍射射。散散射射电电子子束束打打到到与与电电子子枪枪相相对对的的荧荧光光屏屏上上,使使荧荧光光屏屏上上的的磷磷粉粉发发光光。荧荧光光屏屏上上显显示示的的图图像像被被称称之之为为反反射射高高能能电电子子衍衍射射花花样样,此此衍衍射射花花样样能能用用照照相相或或其其他方法记录下来。他方法记录下来。用用处处:反反射射高高能能电电子子衍衍射射花花样样中中的的明明亮亮条条纹纹的的
18、对对称称性性和和间间距可以给出距可以给出表面对称性、晶格常数和完整性的信息表面对称性、晶格常数和完整性的信息。第15页,讲稿共36张,创作于星期日富里叶变换红外光谱富里叶变换红外光谱(FTlR)工工作作原原理理:一一些些物物质质的的化化学学键键合合的的振振动动频频率率常常处处于于红红外外波波段段。样样品品中中具具有有一一定定振振动动模模式式的的振振动动将将与与入入射射的的红红外外电电磁磁波波相相互互作作用用,并当发生共振时与其交换能量。并当发生共振时与其交换能量。用用处处:在在红红外外实实验验中中,通通过过测测量量红红外外电电磁磁波波在在与与样样品品作作用用前前后后的的光光强强,可可以以得得到
19、到随随频频率率变变化化的的光光强强比比I/I0,这这类类红红外外光光谱谱测量可以得到测量可以得到化学键的种类、周围环境和浓度化学键的种类、周围环境和浓度等信息。等信息。第16页,讲稿共36张,创作于星期日高分辨电子能量损失谱高分辨电子能量损失谱(HREELS)工工作作原原理理:在在高高分分辨辨电电子子能能量量损损失失谱谱中中,一一束束高高度度单单色色的的低低能能(110eV)电电子子束束被被聚聚焦焦在在样样品品表表面面,并并对对散散射射电电子子的的散散射射能能量量和和散散射射角角进进行行高高分分辨辨分分析析。由由于于表表面面原原子子和和分分子子的的振振动动激激发发,一一些些散散射射电电子子具具
20、有有较较小小的的特特征征能能量量损损失失。通通过过测测量量电电子数和相对于弹性散射电子束的电子能量损失可以得到振动谱。子数和相对于弹性散射电子束的电子能量损失可以得到振动谱。用用处处:这这种种谱谱分分析析主主要要是是用用来来确确定定表表面面第第一一层层的的化化学学物物质质(官能团官能团),通常在这一层中包含被固体吸附的官能团。,通常在这一层中包含被固体吸附的官能团。第17页,讲稿共36张,创作于星期日光声谱光声谱(PAS)工工作作原原理理:在在光光声声谱谱中中,用用一一束束调调制制光光照照射射样样品品,光光吸吸收收引引起起了了样样品品温温度度变变化化,所所导导致致的的样样品品膨膨胀胀又又引引起
21、起了了空空气气中中的的压压力力波波(声声波波)。在在样样品品附附近近放放一一个个探探测测器器以以记记录录声声波波的的强强度度和和频频率率。当当样样品品表表面面的的条条件件变变化化时时,例例如如样样品品吸吸附附气气体体或或形形成成氧氧化化层层后后,光光吸吸收收发发生生了了变变化化,影影响响了了样样品品加加热热和和膨膨胀胀过过程程,从从而而影影响响了了声声波波的的强强度度。因因此此声声波波可可以以用用来来表表征征气气体体吸附程度或表面反应层的份量。吸附程度或表面反应层的份量。用用处处:提提供供了了有有关关表表面面上上吸吸附附物物的的种种类类和和吸吸附附量量以以及及表表面面上薄膜生长的额外信息上薄膜
22、生长的额外信息。第18页,讲稿共36张,创作于星期日光致荧光光致荧光(PL)工工作作原原理理:在在光光致致荧荧光光测测量量中中,光光子子导导致致了了样样品品物物质质的的激激发发电电子子态态,通通过过分分析析激激发发态态在在恢恢复复到到基基态态过过程程的的光光发发射射来来测测量量材材料料的的物物理理和和化化学学性性质质。为为了了获获得得激激发发态态,通通常常让让光光直直接接照照射射到到样样品品上上,所所发发出出的的光光致致荧荧光光通通过过透透镜镜和和光光探探测测器器上上的的光光谱谱仪仪来来采采集。发射光的光谱分布和时间依赖关系与电子的跃迁几率有关。集。发射光的光谱分布和时间依赖关系与电子的跃迁几
23、率有关。用用处处:提提供供定定性性的的,有有时时是是定定量量的的有有关关化化学学成成分分、结结构构(如如键键合合、无无序序态态、界界面面和和量量子子阱阱等等)、杂杂质质、动动力力学学过过程程和能量传递。和能量传递。第19页,讲稿共36张,创作于星期日核磁共振核磁共振(NMR)工工作作原原理理:用用以以研研究究核核磁磁矩矩与与射射频频电电磁磁波波的的相相互互作作用用。在在实实验验中中,固固态态样样品品被被放放在在l-14T强强磁磁场场下下,磁磁场场使使具具有有自自旋旋I的的基基态态采采取取(2I+1)个个取取向向,每每种种取取向向代代表表一一个个能能级级;当当用用强强射射频频脉脉冲冲辐辐照照,其
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