传感器的选择精.ppt

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1、传感器的选择1第1页，本讲稿共72页传感器选用有哪些注意事项传感器选用有哪些注意事项？传感器传感器信号调理信号调理信号处理、信号处理、显示显示2第2页，本讲稿共72页1 1）测试的对象、目的和要求）测试的对象、目的和要求测量的对象；测量的对象；目的；目的；被测量的选择；被测量的选择；测量范围；输入信号的最大值；测量范围；输入信号的最大值；频带宽度；测试精度要求；频带宽度；测试精度要求；测量所需要的时间等。测量所需要的时间等。2 2）传感器的特性）传感器的特性静、动态特性指标；静、动态特性指标；输出量的类型；输出量的类型；校正周期；校正周期；过载信号保护；过载信号保护；配套仪器等。配套仪器等。3

2、第3页，本讲稿共72页3 3）测试条件）测试条件包括传感器的设置场所；包括传感器的设置场所；环境环境 (温度、湿度、振动等温度、湿度、振动等)；测量时间；测量时间；与其它设备的连接距离；与其它设备的连接距离；所需功率等。所需功率等。4 4）与购买和维护有关的事项）与购买和维护有关的事项性价比；性价比；零配件的储备；零配件的储备；售后服务与维修制度、保修时间；售后服务与维修制度、保修时间；交货日期等。交货日期等。4第4页，本讲稿共72页选择传感器时要考虑的事项很多，但无需满足所有的选择传感器时要考虑的事项很多，但无需满足所有的事项要求，应根据实际使用的目的、指标、环境等，事项要求，应根据实际使用

3、的目的、指标、环境等，有不同的侧重点。有不同的侧重点。例如，长时间连续使用的传感器就必须重视经得起例如，长时间连续使用的传感器就必须重视经得起时间考验等长期稳定性问题；时间考验等长期稳定性问题；而对机械加工或化学分析等时间比较短的工序过程而对机械加工或化学分析等时间比较短的工序过程则需要灵敏度和动态特性较好的传感器。则需要灵敏度和动态特性较好的传感器。为了提高测量精度，应注意以平常使用时的显示值要为了提高测量精度，应注意以平常使用时的显示值要在满刻度的在满刻度的5050左右来选择测定范围或刻度范围。左右来选择测定范围或刻度范围。选择传感器的响应速度，目的是适应输入信号的频选择传感器的响应速度，

4、目的是适应输入信号的频带宽度。带宽度。合理选择设置场所，注意安装方法，了解传感器的合理选择设置场所，注意安装方法，了解传感器的外形尺寸、重量等。外形尺寸、重量等。5第5页，本讲稿共72页选用传感器需要注意的几点注意事项中，比较重要的一点就是必须对所选传感器比较重要的一点就是必须对所选传感器的性能特点有足够的了解的性能特点有足够的了解。如果仅仅是简单的应用，则可以通过对传感器的性能指标性能指标的了解来选择传感器；若应用要求较高，环境复杂，则还需要从传感器的原理等方面对传感器的性能进行考察，如从传感器的工作原理工作原理出发，分析被测物体中可能会产生的负载效应等问题，以确定选择哪一种传感器最合适。6

5、第6页，本讲稿共72页传感器的选用有何依据？传感器的选用有何依据？7第7页，本讲稿共72页目的：指导传感器的设计、制造、校准、使用目的：指导传感器的设计、制造、校准、使用目的：指导传感器的设计、制造、校准、使用目的：指导传感器的设计、制造、校准、使用描述传感器输入描述传感器输入描述传感器输入描述传感器输入 输出关系的方法：输出关系的方法：输出关系的方法：输出关系的方法：数学模型数学模型数学模型数学模型 设计、研究设计、研究设计、研究设计、研究基本特性指标基本特性指标基本特性指标基本特性指标 制造、使用制造、使用制造、使用制造、使用被测输入量被测输入量被测输入量被测输入量静态量静态量静态量静态量

6、准静态量准静态量准静态量准静态量动态量动态量动态量动态量静态静态静态静态特性指标特性指标特性指标特性指标动态动态动态动态特性指标特性指标特性指标特性指标静态静态静态静态数学模型数学模型数学模型数学模型动态动态动态动态数学模型数学模型数学模型数学模型传感器的性能及评价指标传感器的性能及评价指标8第8页，本讲稿共72页产品型号：CLBSB板环式拉压力传感器板环式拉压力传感器品牌：天力产地：安徽主要技术指标测量范围：0-1000Kg输出灵敏度：1.5-2.0V/V非线性：0.0级；0.05级；0.1级迟滞：0.0级；0.05级；0.1级重复性：0.0级；0.05级；0.1级综合精度：0.03级；0.

7、1级零点温度系数：0.05%F.S灵敏度温度系数：0.05%F.S零点不平衡输出：TT T0 038第38页，本讲稿共72页2.2.频率响应频率响应频率响应频率响应输入信号输入信号输入信号输入信号输出信号输出信号输出信号输出信号频率响应特性：输入频率变化、幅值相等的正弦信号，频率响应特性：输入频率变化、幅值相等的正弦信号，频率响应特性：输入频率变化、幅值相等的正弦信号，频率响应特性：输入频率变化、幅值相等的正弦信号，输出信号幅值与输入频率的关系：输出信号幅值与输入频率的关系：输出信号幅值与输入频率的关系：输出信号幅值与输入频率的关系：幅频特性幅频特性幅频特性幅频特性 输出信号相位与输入频率的关

8、系：输出信号相位与输入频率的关系：输出信号相位与输入频率的关系：输出信号相位与输入频率的关系：相频特性相频特性相频特性相频特性 39第39页，本讲稿共72页相频特性相频特性相频特性相频特性频率响应函数频率响应函数频率响应函数频率响应函数指数形式：指数形式：指数形式：指数形式：幅频特性幅频特性幅频特性幅频特性其中，其中，其中，其中，动态灵敏度、增益动态灵敏度、增益动态灵敏度、增益动态灵敏度、增益正弦正弦/传感器，稳定状态下，输入与输出复数比传感器，稳定状态下，输入与输出复数比40第40页，本讲稿共72页对数幅频特性曲线对数幅频特性曲线对数幅频特性曲线对数幅频特性曲线通频带通频带通频带通频带其中，

9、其中，其中，其中，0dB0dB水平线是理想的零阶系统的幅频特性水平线是理想的零阶系统的幅频特性水平线是理想的零阶系统的幅频特性水平线是理想的零阶系统的幅频特性41第41页，本讲稿共72页3.3.一阶系统的动态响应分析一阶系统的动态响应分析一阶系统的动态响应分析一阶系统的动态响应分析一阶系统微分方程一阶系统微分方程一阶系统微分方程一阶系统微分方程（1 1）频率响应特性分析）频率响应特性分析）频率响应特性分析）频率响应特性分析时间常数时间常数时间常数时间常数静态灵敏度静态灵敏度静态灵敏度静态灵敏度拉氏变换拉氏变换拉氏变换拉氏变换传递函数传递函数传递函数传递函数42第42页，本讲稿共72页频率响应函

10、数频率响应函数频率响应函数频率响应函数幅频特性：幅频特性：幅频特性：幅频特性：相频特性：相频特性：相频特性：相频特性：讨论：讨论：讨论：讨论：越小，频率响应特性越好。越小，频率响应特性越好。越小，频率响应特性越好。越小，频率响应特性越好。线性线性43第43页，本讲稿共72页 越小，阶跃响应特性越好。越小，阶跃响应特性越好。越小，阶跃响应特性越好。越小，阶跃响应特性越好。（2 2）阶跃响应特性分析）阶跃响应特性分析）阶跃响应特性分析）阶跃响应特性分析一阶系统微分方程一阶系统微分方程一阶系统微分方程一阶系统微分方程稳态响应稳态响应稳态响应稳态响应暂态响应暂态响应暂态响应暂态响应阶跃函数阶跃函数阶跃

11、函数阶跃函数44第44页，本讲稿共72页例例例例 分析温度传感器模型，给出输入量（分析温度传感器模型，给出输入量（分析温度传感器模型，给出输入量（分析温度传感器模型，给出输入量（T0T0）与输出）与输出）与输出）与输出量（量（量（量（T T）间的微分方程，并推导其幅频特性、相频特）间的微分方程，并推导其幅频特性、相频特）间的微分方程，并推导其幅频特性、相频特）间的微分方程，并推导其幅频特性、相频特性及阶跃相应特性。性及阶跃相应特性。性及阶跃相应特性。性及阶跃相应特性。已知：传感器敏感部分质量为已知：传感器敏感部分质量为已知：传感器敏感部分质量为已知：传感器敏感部分质量为mm，比热为，比热为，比

12、热为，比热为c c，表面积，表面积，表面积，表面积 为为为为s s，传热系数为，传热系数为，传热系数为，传热系数为h h（W/mW/m2.2.K K）45第45页，本讲稿共72页频率响应特性分析频率响应特性分析频率响应特性分析频率响应特性分析幅频特性幅频特性幅频特性幅频特性相频特性相频特性相频特性相频特性阶跃响应特性阶跃响应特性阶跃响应特性阶跃响应特性46第46页，本讲稿共72页四改善传感器性能的技术途径四改善传感器性能的技术途径47第47页，本讲稿共72页、结构、材料与参数的合理选择、结构、材料与参数的合理选择、结构、材料与参数的合理选择、结构、材料与参数的合理选择确保主要指标，放宽次要指标

13、，以求高性价比确保主要指标，放宽次要指标，以求高性价比确保主要指标，放宽次要指标，以求高性价比确保主要指标，放宽次要指标，以求高性价比、差动技术、差动技术、差动技术、差动技术目的：改善非线性目的：改善非线性目的：改善非线性目的：改善非线性研究生产部门：系列产品研究生产部门：系列产品研究生产部门：系列产品研究生产部门：系列产品用户：合理选择用户：合理选择用户：合理选择用户：合理选择思路：思路：思路：思路：48第48页，本讲稿共72页三个技术环节：三个技术环节：三个技术环节：三个技术环节：（1 1）两个完全相同的传感器）两个完全相同的传感器）两个完全相同的传感器）两个完全相同的传感器 （2 2）接

14、受输入量：大小相等，方向相反）接受输入量：大小相等，方向相反）接受输入量：大小相等，方向相反）接受输入量：大小相等，方向相反 （3 3）输出相减）输出相减）输出相减）输出相减方法：方法：方法：方法：传感器传感器传感器传感器1 1：非线性改善，输出灵敏度提高一倍。非线性改善，输出灵敏度提高一倍。非线性改善，输出灵敏度提高一倍。非线性改善，输出灵敏度提高一倍。完全相同传感器完全相同传感器完全相同传感器完全相同传感器2 2，输入量反号：，输入量反号：，输入量反号：，输入量反号：二者输出相减：二者输出相减：二者输出相减：二者输出相减：49第49页，本讲稿共72页例例例例 变面积式差动电容传感器。变面积

15、式差动电容传感器。变面积式差动电容传感器。变面积式差动电容传感器。输出：输出：输出：输出：灵敏度：灵敏度：灵敏度：灵敏度：输出灵敏度提高一倍，消除了零位输出项输出灵敏度提高一倍，消除了零位输出项输出灵敏度提高一倍，消除了零位输出项输出灵敏度提高一倍，消除了零位输出项 l l。50第50页，本讲稿共72页例例例例 超声波流速计。超声波流速计。超声波流速计。超声波流速计。介质性质介质性质介质性质介质性质温度温度温度温度传播速度传播速度传播速度传播速度c c可逆性可逆性可逆性可逆性超声波发生器超声波发生器超声波发生器超声波发生器电能电能电能电能 机械能机械能机械能机械能超声波接收器超声波接收器超声波

16、接收器超声波接收器机械能机械能机械能机械能 电能电能电能电能发射超声波发射超声波发射超声波发射超声波:接收超声波接收超声波接收超声波接收超声波:超声波换能器：压电式超声波换能器：压电式超声波换能器：压电式超声波换能器：压电式超声波传感器：声超声波传感器：声超声波传感器：声超声波传感器：声-电转换电转换电转换电转换传播时间内计脉冲51第51页，本讲稿共72页、平均技术、平均技术、平均技术、平均技术目的：减小随机误差目的：减小随机误差目的：减小随机误差目的：减小随机误差误差平均效应误差平均效应误差平均效应误差平均效应数据平均处理数据平均处理数据平均处理数据平均处理消除了声速变化的影响消除了声速变化

17、的影响消除了声速变化的影响消除了声速变化的影响52第52页，本讲稿共72页1 1）.误差平均效应误差平均效应误差平均效应误差平均效应n n 个完全相同个完全相同个完全相同个完全相同的电容传感器的电容传感器的电容传感器的电容传感器并联并联并联并联容栅传感器中的误差平均效应容栅传感器中的误差平均效应容栅传感器中的误差平均效应容栅传感器中的误差平均效应53第53页，本讲稿共72页2 2）.数据平均处理数据平均处理数据平均处理数据平均处理方法：将相同条件下的测量重复方法：将相同条件下的测量重复方法：将相同条件下的测量重复方法：将相同条件下的测量重复n n次，或次，或次，或次，或n n次采样，然后次采样

18、，然后次采样，然后次采样，然后 将数据进行平均处理，随机误差减小将数据进行平均处理，随机误差减小将数据进行平均处理，随机误差减小将数据进行平均处理，随机误差减小 倍。倍。倍。倍。、稳定性处理、稳定性处理、稳定性处理、稳定性处理造成传感器性能不稳定原因：材料、元器件性能变化造成传感器性能不稳定原因：材料、元器件性能变化造成传感器性能不稳定原因：材料、元器件性能变化造成传感器性能不稳定原因：材料、元器件性能变化稳定性处理方法：稳定性处理方法：稳定性处理方法：稳定性处理方法：电气元件电气元件电气元件电气元件：老化、筛选：老化、筛选：老化、筛选：老化、筛选材料材料材料材料结构材料：时效处理、冰冷处理结

19、构材料：时效处理、冰冷处理结构材料：时效处理、冰冷处理结构材料：时效处理、冰冷处理永磁材料：时间老化、温度老化、机械老化永磁材料：时间老化、温度老化、机械老化永磁材料：时间老化、温度老化、机械老化永磁材料：时间老化、温度老化、机械老化 交流稳磁处理交流稳磁处理交流稳磁处理交流稳磁处理54第54页，本讲稿共72页、屏蔽、隔离和干扰抑制、屏蔽、隔离和干扰抑制、屏蔽、隔离和干扰抑制、屏蔽、隔离和干扰抑制思路思路思路思路传感器：减小对影响因素的灵敏度传感器：减小对影响因素的灵敏度传感器：减小对影响因素的灵敏度传感器：减小对影响因素的灵敏度外界影响因素：降低对传感器的实际作用功率外界影响因素：降低对传感

20、器的实际作用功率外界影响因素：降低对传感器的实际作用功率外界影响因素：降低对传感器的实际作用功率55第55页，本讲稿共72页1 1）、屏蔽）、屏蔽）、屏蔽）、屏蔽56第56页，本讲稿共72页3 3）电路措施）电路措施）电路措施）电路措施（1 1）去耦滤波器）去耦滤波器）去耦滤波器）去耦滤波器2 2）隔离）隔离）隔离）隔离隔热、隔振、密封隔热、隔振、密封隔热、隔振、密封隔热、隔振、密封信号地线信号地线信号地线信号地线电源地线电源地线电源地线电源地线信号源地线信号源地线信号源地线信号源地线屏蔽保护接地线屏蔽保护接地线屏蔽保护接地线屏蔽保护接地线地线地线地线地线将测量系统的各种地线连接在一起，并且只

21、在将测量系统的各种地线连接在一起，并且只在将测量系统的各种地线连接在一起，并且只在将测量系统的各种地线连接在一起，并且只在一点接地一点接地一点接地一点接地。（2 2）“单点单点单点单点”接接接接地地地地目的：消除公共阻抗耦合的干扰目的：消除公共阻抗耦合的干扰目的：消除公共阻抗耦合的干扰目的：消除公共阻抗耦合的干扰水下测试问题注意事项水下测试问题注意事项57第57页，本讲稿共72页、零示法、微差法与闭环技术、零示法、微差法与闭环技术、零示法、微差法与闭环技术、零示法、微差法与闭环技术目的：消除或削弱系统误差目的：消除或削弱系统误差目的：消除或削弱系统误差目的：消除或削弱系统误差1 1）零示法）零

22、示法）零示法）零示法原理：被测量和已知标准量对仪表的作用相互平衡原理：被测量和已知标准量对仪表的作用相互平衡原理：被测量和已知标准量对仪表的作用相互平衡原理：被测量和已知标准量对仪表的作用相互平衡举例：机械天平举例：机械天平举例：机械天平举例：机械天平优点：消除仪器不准造成的误差优点：消除仪器不准造成的误差优点：消除仪器不准造成的误差优点：消除仪器不准造成的误差2 2）微差法）微差法）微差法）微差法原理：被测量和已知标准量差别减小到一定程度后，原理：被测量和已知标准量差别减小到一定程度后，原理：被测量和已知标准量差别减小到一定程度后，原理：被测量和已知标准量差别减小到一定程度后，使仪表误差的影

23、响大大减小。使仪表误差的影响大大减小。使仪表误差的影响大大减小。使仪表误差的影响大大减小。被测量被测量被测量被测量相近标准量相近标准量相近标准量相近标准量微差，仪表读出微差，仪表读出微差，仪表读出微差，仪表读出不连续可变58第58页，本讲稿共72页3 3）闭环技术）闭环技术）闭环技术）闭环技术 K K1 1 K K2 2 K Kn n开环系统开环系统开环系统开环系统每个环节的相对误差对系统总误差的影响是等权的。每个环节的相对误差对系统总误差的影响是等权的。每个环节的相对误差对系统总误差的影响是等权的。每个环节的相对误差对系统总误差的影响是等权的。标准量相对误差标准量相对误差标准量相对误差标准量

24、相对误差指示仪表相对误差指示仪表相对误差指示仪表相对误差指示仪表相对误差相对微量相对微量相对微量相对微量测量误差测量误差测量误差测量误差59第59页，本讲稿共72页比较平衡方式：力、力矩平衡、电压（流）平衡、热平衡比较平衡方式：力、力矩平衡、电压（流）平衡、热平衡比较平衡方式：力、力矩平衡、电压（流）平衡、热平衡比较平衡方式：力、力矩平衡、电压（流）平衡、热平衡 AA静态传递函数静态传递函数静态传递函数静态传递函数 反馈环节的反馈系数反馈环节的反馈系数反馈环节的反馈系数反馈环节的反馈系数60第60页，本讲稿共72页闭环静态传递函数闭环静态传递函数闭环静态传递函数闭环静态传递函数闭环时间常数闭环

25、时间常数闭环时间常数闭环时间常数特点：特点：特点：特点：（1 1）精度高、稳定性好）精度高、稳定性好）精度高、稳定性好）精度高、稳定性好（2 2）动态特性好）动态特性好）动态特性好）动态特性好61第61页，本讲稿共72页、补偿与校正、补偿与校正、补偿与校正、补偿与校正例例例例 传感器温度误差补偿。传感器温度误差补偿。传感器温度误差补偿。传感器温度误差补偿。补偿与校正方法补偿与校正方法补偿与校正方法补偿与校正方法硬件：电子线路硬件：电子线路硬件：电子线路硬件：电子线路软件：单片机软件：单片机软件：单片机软件：单片机62第62页，本讲稿共72页、集成化与智能化、集成化与智能化、集成化与智能化、集成

26、化与智能化1 1）集成化）集成化）集成化）集成化（1 1）将传感器和信号处理电路制作在同一芯片上）将传感器和信号处理电路制作在同一芯片上）将传感器和信号处理电路制作在同一芯片上）将传感器和信号处理电路制作在同一芯片上（2 2）将多个相同或不同的敏感元件集成在同一芯）将多个相同或不同的敏感元件集成在同一芯）将多个相同或不同的敏感元件集成在同一芯）将多个相同或不同的敏感元件集成在同一芯 片上，实现多参数测量。片上，实现多参数测量。片上，实现多参数测量。片上，实现多参数测量。特点：成本低、体积小、性能改善、特点：成本低、体积小、性能改善、特点：成本低、体积小、性能改善、特点：成本低、体积小、性能改善

27、、可靠性高、接口灵活可靠性高、接口灵活可靠性高、接口灵活可靠性高、接口灵活63第63页，本讲稿共72页绝缘螺栓绝缘螺栓绝缘绝缘垫圈垫圈引线引线石英压石英压电片电片惯性惯性质量质量超小型阻超小型阻抗变换器抗变换器电缆插座电缆插座内部装有超小型阻抗变换内部装有超小型阻抗变换器的压电式加速度传感器器的压电式加速度传感器64第64页，本讲稿共72页（1 1）传感器的智能化）传感器的智能化）传感器的智能化）传感器的智能化 传感器传感器传感器传感器接口接口接口接口 微处理器微处理器微处理器微处理器（2 2）智能化传感器）智能化传感器）智能化传感器）智能化传感器传感器传感器传感器传感器处理电路处理电路处理电

28、路处理电路接口电路接口电路接口电路接口电路微处理器微处理器微处理器微处理器大规模集成智能传感器大规模集成智能传感器大规模集成智能传感器大规模集成智能传感器2 2）智能化）智能化）智能化）智能化传感器与微机结合传感器与微机结合传感器与微机结合传感器与微机结合传感器的智能化传感器的智能化传感器的智能化传感器的智能化智能化传感器智能化传感器智能化传感器智能化传感器65第65页，本讲稿共72页五五 传感器的标定与校准传感器的标定与校准66第66页，本讲稿共72页、标定与校准的概念、标定与校准的概念、标定与校准的概念、标定与校准的概念 压电式压力传感器压电式压力传感器压电式压力传感器压电式压力传感器电荷

29、信号电荷信号电荷信号电荷信号压力信号压力信号压力信号压力信号活塞式压力计：活塞式压力计：活塞式压力计：活塞式压力计：已知标准力已知标准力已知标准力已知标准力精度已知检测设精度已知检测设精度已知检测设精度已知检测设备测量备测量备测量备测量校准：校准：校准：校准：传感器在使用中或存储后进行的性能复测传感器在使用中或存储后进行的性能复测传感器在使用中或存储后进行的性能复测传感器在使用中或存储后进行的性能复测 再次的标定再次的标定再次的标定再次的标定标定：标定：标定：标定：利用标准器具对传感器进行标度的过程利用标准器具对传感器进行标度的过程利用标准器具对传感器进行标度的过程利用标准器具对传感器进行标度

30、的过程输入输入输入输入-输出关系输出关系输出关系输出关系修正修正67第67页，本讲稿共72页、标定的基本方法、标定的基本方法、标定的基本方法、标定的基本方法标准标准标准标准设备设备设备设备输出量输出量输出量输出量已知非电量已知非电量已知非电量已知非电量待标定待标定待标定待标定传感器传感器传感器传感器输入量输入量输入量输入量 标准传感器标准传感器标准传感器标准传感器输出输出输出输出2 2 待标定传感器待标定传感器待标定传感器待标定传感器输入量输入量输入量输入量 发生器发生器发生器发生器输出输出输出输出1 1输入标准量：由标准传感器检测得到输入标准量：由标准传感器检测得到输入标准量：由标准传感器检

31、测得到输入标准量：由标准传感器检测得到实质：待标定传感器与标准传感器之间的比较实质：待标定传感器与标准传感器之间的比较实质：待标定传感器与标准传感器之间的比较实质：待标定传感器与标准传感器之间的比较68第68页，本讲稿共72页、标定系统的组成、标定系统的组成、标定系统的组成、标定系统的组成（1 1）被测非电量的标准发生器）被测非电量的标准发生器）被测非电量的标准发生器）被测非电量的标准发生器（2 2）被测非电量的标准测试系统）被测非电量的标准测试系统）被测非电量的标准测试系统）被测非电量的标准测试系统（3 3）待标定传感器配接的信号检测设备）待标定传感器配接的信号检测设备）待标定传感器配接的信

32、号检测设备）待标定传感器配接的信号检测设备活塞式活塞式活塞式活塞式压力计压力计压力计压力计测量测量测量测量标准标准标准标准压力压力压力压力标准压力标准压力标准压力标准压力 传感器传感器传感器传感器产生产生产生产生测力机测力机测力机测力机测量测量测量测量标准力标准力标准力标准力标准力传感器标准力传感器标准力传感器标准力传感器产生产生产生产生恒温源恒温源恒温源恒温源测量测量测量测量标准温度标准温度标准温度标准温度标准温度计标准温度计标准温度计标准温度计产生产生产生产生69第69页，本讲稿共72页为保证精度和可靠性，使用中注意问题：为保证精度和可靠性，使用中注意问题：为保证精度和可靠性，使用中注意问

33、题：为保证精度和可靠性，使用中注意问题：（1 1）标定等级：只能用上一级精度的标准装置标定）标定等级：只能用上一级精度的标准装置标定）标定等级：只能用上一级精度的标准装置标定）标定等级：只能用上一级精度的标准装置标定 下一级精度的传感器下一级精度的传感器下一级精度的传感器下一级精度的传感器（2 2）环境条件）环境条件）环境条件）环境条件（3 3）系统标定）系统标定）系统标定）系统标定（4 4）安装条件）安装条件）安装条件）安装条件力：力：力：力：测力砝码、拉（压）式测力计测力砝码、拉（压）式测力计测力砝码、拉（压）式测力计测力砝码、拉（压）式测力计压力：压力：压力：压力：活塞式压力计、水银压力

34、计、麦氏真空计活塞式压力计、水银压力计、麦氏真空计活塞式压力计、水银压力计、麦氏真空计活塞式压力计、水银压力计、麦氏真空计位移：位移：位移：位移：深度尺、千分尺、块规深度尺、千分尺、块规深度尺、千分尺、块规深度尺、千分尺、块规温度：温度：温度：温度：铂电阻温度计、热电偶、基准光电高温比色仪铂电阻温度计、热电偶、基准光电高温比色仪铂电阻温度计、热电偶、基准光电高温比色仪铂电阻温度计、热电偶、基准光电高温比色仪、传感器的静态标定及设备、传感器的静态标定及设备、传感器的静态标定及设备、传感器的静态标定及设备70第70页，本讲稿共72页低频低频低频低频-激振器：激振器：激振器：激振器：电磁振动台、低频

35、回转台、电磁振动台、低频回转台、电磁振动台、低频回转台、电磁振动台、低频回转台、机械振动台、液压振动台机械振动台、液压振动台机械振动台、液压振动台机械振动台、液压振动台高频高频高频高频-瞬变函数激励信号：瞬变函数激励信号：瞬变函数激励信号：瞬变函数激励信号：激波管激波管激波管激波管、传感器的动态标定及设备、传感器的动态标定及设备、传感器的动态标定及设备、传感器的动态标定及设备标准激励信号标准激励信号标准激励信号标准激励信号周期函数：正弦波周期函数：正弦波周期函数：正弦波周期函数：正弦波瞬变函数：阶跃波瞬变函数：阶跃波瞬变函数：阶跃波瞬变函数：阶跃波71第71页，本讲稿共72页1 1、一压力传感器标定数据如下表所列，试求、一压力传感器标定数据如下表所列，试求、一压力传感器标定数据如下表所列，试求、一压力传感器标定数据如下表所列，试求 线性度、滞后、重复性和总精度评价。线性度、滞后、重复性和总精度评价。线性度、滞后、重复性和总精度评价。线性度、滞后、重复性和总精度评价。72第72页，本讲稿共72页