光电检测技术 第一章 精选PPT.ppt
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1、光电检测技术 第一章 第1页,此课件共86页哦第第1 1章章 主要内容主要内容1.11.1引言引言1.21.2光电检测系统的基本构成和基本工光电检测系统的基本构成和基本工作原理作原理 1.31.3光电检测技术的现代发展光电检测技术的现代发展 第2页,此课件共86页哦1.1 引言引言一、光电检测技术的定义一、光电检测技术的定义 光光学学与与电电子子学学技技术术相相结结合合而而产产生生的的一一门门新新兴兴检检测测技技术术,它它是是利利用用电电子子技技术术对对光光学学信信息息进进行行检检测测,并并进进一一步步传传递递、储存、控制、计算和显示等。储存、控制、计算和显示等。第3页,此课件共86页哦二、光
2、电检测技术的检测量二、光电检测技术的检测量 从原理上讲可以检测一切能够影响从原理上讲可以检测一切能够影响光量光量或或光特性光特性的非电量。的非电量。光量光量:光通量或光强度:光通量或光强度光特性光特性:光波的幅值、频率、相位、偏振:光波的幅值、频率、相位、偏振第4页,此课件共86页哦三、光电检测技术的主要内容三、光电检测技术的主要内容 光电检测技术的主要内容是通过光学系光电检测技术的主要内容是通过光学系统把携带被测信息的非电量信息变换成便于统把携带被测信息的非电量信息变换成便于接收的光学信息,然后用光电探测器将光学接收的光学信息,然后用光电探测器将光学信息变换成电量,并进一步经电路放大、处信息
3、变换成电量,并进一步经电路放大、处理等,达到输出的目的。理等,达到输出的目的。信息变换技术信息变换技术和和电信号处理技术电信号处理技术。信息变换技术:信息变换技术:非电量变换成光学量非电量变换成光学量 光学量变换成电量光学量变换成电量 第5页,此课件共86页哦1.21.2光电检测系统的基本构成和基光电检测系统的基本构成和基本工作原理本工作原理 一、几个光电检测实例一、几个光电检测实例1 1、红外防盗报警系统、红外防盗报警系统 图图11第6页,此课件共86页哦2 2、激光外径扫描仪、激光外径扫描仪 图图1 12 2 1 1旋转多面体旋转多面体 2 2半导体激光器半导体激光器 3 3透镜透镜 4
4、4工件工件 5 5物镜物镜 6 6光电器件光电器件第7页,此课件共86页哦3 3、光弹性效应测力计、光弹性效应测力计 图图1 13 31-1-白炽灯白炽灯2-2-聚光镜聚光镜3-3-滤光片滤光片4-4-减光楔减光楔5-5-分束镜分束镜6-6-起偏振镜起偏振镜7-7-云母片云母片8-8-测力元件测力元件9-9-检偏振镜检偏振镜1010,12-12-光电池光电池11-11-减光楔减光楔13-13-检流计检流计 第8页,此课件共86页哦二、光电检测系统的构成框图二、光电检测系统的构成框图 图图1 14 4 光电检测系统框图光电检测系统框图第9页,此课件共86页哦 光光是信息传递的媒介,它由是信息传递
5、的媒介,它由光源光源产生。光源产生。光源与与照明光学系统照明光学系统一起获得测量所需的一起获得测量所需的光载波,光载波,光光载波与载波与被测对象被测对象同时作用在光学系统上而将被测同时作用在光学系统上而将被测量载荷到光载波上,称为量载荷到光载波上,称为光学变换光学变换。光学变换是光学变换是用各种调制的方法来实现的。光学变换后的光载用各种调制的方法来实现的。光学变换后的光载波上载荷有各种被测信息,称为波上载荷有各种被测信息,称为光信息光信息。光信息。光信息经光电器件实现由光向经光电器件实现由光向电的信息电的信息转换,称为转换,称为光电光电转换转换。然后被测信息就可用各种电信号处理的方。然后被测信
6、息就可用各种电信号处理的方法实现解调、滤波、整形、判向、细分等,或送法实现解调、滤波、整形、判向、细分等,或送到计算机进行进一步的运算,直接显示被测量或到计算机进行进一步的运算,直接显示被测量或者存储或者去控制相应的装置。者存储或者去控制相应的装置。第10页,此课件共86页哦光电检测系统各部分的功能:光电检测系统各部分的功能:(1 1)光源和照明光学系统)光源和照明光学系统考虑光源的辐射功率、光谱范围、发光空间分考虑光源的辐射功率、光谱范围、发光空间分布;布;发出的光作为载波或者被测对象;发出的光作为载波或者被测对象;照明光学系统的分类照明光学系统的分类第11页,此课件共86页哦(2 2)被测
7、对象及光学变换)被测对象及光学变换光学变换:通过光学元件和光学系统把待测量转光学变换:通过光学元件和光学系统把待测量转换为光参量换为光参量光学系统可以根据不同的光学性质、光学效应,光学系统可以根据不同的光学性质、光学效应,其结构形式不同其结构形式不同光参量:光本质是电磁波,其参量有幅值、频率、光参量:光本质是电磁波,其参量有幅值、频率、相位、偏振态、传播方向等相位、偏振态、传播方向等(3 3)光信号的匹配处理)光信号的匹配处理 光信号的处理主要包括光信号的调制、变光光信号的处理主要包括光信号的调制、变光度、光谱校正、光漫射,以及会聚、扩束、分束度、光谱校正、光漫射,以及会聚、扩束、分束等。使用
8、的光学器件可以是透镜、滤光片、光阑、等。使用的光学器件可以是透镜、滤光片、光阑、光楔、棱镜、反射镜、光通量调制器、光栅等。光楔、棱镜、反射镜、光通量调制器、光栅等。第12页,此课件共86页哦(4 4)光电转换)光电转换以光信号为媒质,以光电探测器为手段,以光信号为媒质,以光电探测器为手段,将经过待测量调制的光信号转换成电信号;将经过待测量调制的光信号转换成电信号;决定整个检测系统的灵敏度、精度、动态决定整个检测系统的灵敏度、精度、动态响应响应;光电探测器光电探测器第13页,此课件共86页哦(5 5)电信号的放大与处理)电信号的放大与处理主要实现两个功能:主要实现两个功能:实现对微弱信号的检测;
9、实现对微弱信号的检测;实现光源的稳定化实现光源的稳定化(6 6)存储、显示与控制系统)存储、显示与控制系统第14页,此课件共86页哦三、基本工作原理三、基本工作原理 光电检测系统是以光信息变换为基础的,光电检测系统是以光信息变换为基础的,把待测量通过光信号变换为电量来进行测量把待测量通过光信号变换为电量来进行测量的。的。第15页,此课件共86页哦(一)把待测量变换为光信息量(一)把待测量变换为光信息量 它是以光通量的大小来反映待检测量的它是以光通量的大小来反映待检测量的大小。光电探测器的输出往往与入射到它的大小。光电探测器的输出往往与入射到它的光敏面上的光通量成正比,所以,光电探测光敏面上的光
10、通量成正比,所以,光电探测器的光电流大小可以反映出待检测量的大小,器的光电流大小可以反映出待检测量的大小,即光电流即光电流I I是待检测信息量是待检测信息量Q Q值的函数:值的函数:I=f(Q)(1-1)I=f(Q)(1-1)这是一种模拟量信息变换。这是一种模拟量信息变换。第16页,此课件共86页哦(二)把待检测量变换为光信息脉冲(二)把待检测量变换为光信息脉冲 它是以光脉冲或条纹数的多少来反映待它是以光脉冲或条纹数的多少来反映待测量的大小,光电探测器的输出为低电平和测量的大小,光电探测器的输出为低电平和高电平两个状态组成的一系列脉冲数字信息,高电平两个状态组成的一系列脉冲数字信息,这些数字信
11、息量这些数字信息量T T是待测信息量是待测信息量Q Q的函数:的函数:T=f(Q)(1-2)T=f(Q)(1-2)这是一种模这是一种模/数信息转换。数信息转换。第17页,此课件共86页哦四、基本结构形式四、基本结构形式1 1、辐射式、辐射式图图1 15 15 1、被测物体、被测物体 2 2、会聚透镜、会聚透镜 3 3、光电二极管、光电二极管第18页,此课件共86页哦例:全辐射测温:例:全辐射测温:由斯忒藩玻尔兹曼(由斯忒藩玻尔兹曼(StefanStefanBoltzmanBoltzman)定律)定律可知,物体的全辐射出射度为:可知,物体的全辐射出射度为:(1 11 1)式中:式中:比辐射率,对
12、于某一物体比辐射率,对于某一物体值为常数值为常数 斯忒藩玻尔兹曼常数;斯忒藩玻尔兹曼常数;T T绝对温度。绝对温度。在近距离测量时,可不考虑大气对辐射的吸收作在近距离测量时,可不考虑大气对辐射的吸收作用,则光电探测器输出的电压信号为:用,则光电探测器输出的电压信号为:式中式中为光电变换系数。将(为光电变换系数。将(1 11 1)代入上式得:)代入上式得:(12)第19页,此课件共86页哦2 2、反射式、反射式图图1 16 16 1、光源、光源 2 2、被测物、被测物 3 3、光电探测器、光电探测器第20页,此课件共86页哦测转速的例子:测转速的例子:轴转动一周,光电探测器轴转动一周,光电探测器
13、4 4就获得一个由光源就获得一个由光源1 1发出的反射光的脉冲,此脉冲数就反映了轴的发出的反射光的脉冲,此脉冲数就反映了轴的转速。转速。图图1 17 7 1 1、光源、光源 2 2、转轴、转轴 3 3、小平面镜、小平面镜 4 4、光电探测器、光电探测器第21页,此课件共86页哦3、遮挡式、遮挡式 图图1 18 8 1 1、光源、光源 2 2、待检测物、待检测物 3 3、光电探测器、光电探测器第22页,此课件共86页哦4 4、透射式:根据工作原理不同又分为:、透射式:根据工作原理不同又分为:(1 1)模拟量信息变换方式)模拟量信息变换方式(2 2)模)模/数信息变换方式数信息变换方式 图图1 1
14、9 9图图1 11010第23页,此课件共86页哦5 5、干涉式、干涉式 图图1 111111 1光源光源 2 2透镜透镜 3 3分束器分束器 4 4反射镜反射镜 5 5待测物体待测物体 6 6光电探测器光电探测器第24页,此课件共86页哦6 6、衍射式、衍射式 图图1 112 12 衍射测量原理结构衍射测量原理结构 第25页,此课件共86页哦2022/10/3光电检测技术26五、基本方法1.方法分类第26页,此课件共86页哦2022/10/3光电检测技术272.2.方法的选择方法的选择 合理选择光学测量方法主要依据以下五点来综合考虑:被测对象与被测量;测量范围;测量的灵敏度或精度;经济性;测
15、量时的环境要求。第27页,此课件共86页哦2022/10/3光电检测技术28测量精度与测量灵敏度 选择测量方法的另一主要原则是灵敏度和要求的精度。右图是主要光学测量方法在尺寸上能达到的分辨率。而精度一般来说是测量分辨率的13倍。第28页,此课件共86页哦2022/10/3光电检测技术29测量的经济性与环境要求测量的经济性与环境要求经济性好,环境要求低 经济性中,环境要求一般 经济性偏高,有环境要术 衍射计量扫描计量散斑计量光纤计量 莫尔与拓扑法图像计测法共路干涉计量 全息计量光谱计量纳米计量 表:主要光学测量方法的经济性和对环境的要求方法选择小结方法选择小结 以上选择的依据是初步的,测量方法的
16、最终确定应有具体设计方案,综合考虑以上各方面的因素。测量方法的确定往往是测量是否取得成功的关键。第29页,此课件共86页哦2022/10/3光电检测技术301.3 1.3 光电检测技术的现代发展光电检测技术的现代发展1.技术特色技术特色第30页,此课件共86页哦2022/10/3光电检测技术312.2.技术现状(光学测量技术学科的组成)技术现状(光学测量技术学科的组成)光学是这个基本体系中的原理基础,而精密机械、电子技术与计算机技术构成塔底三角形,是光学测量的支撑基础。第31页,此课件共86页哦2022/10/3光电检测技术32技术现状(光学测量技术主要原理分类)技术现状(光学测量技术主要原理
17、分类)第32页,此课件共86页哦2022/10/3光电检测技术33技术现状(光学测量系统的主要构成)技术现状(光学测量系统的主要构成)第33页,此课件共86页哦2022/10/3光电检测技术34光学测量技术发展趋势(原理上)从主观光学发展成为客观光学,即用光电探测器取代人眼这个主观探测器,提高了测量精度与效率;用激光光源来取代常规光源,获得方向性极好的实际光线用于各种光学测量上;从光机结合的模式向光机电算一体化的模式转换,实现测量与控制的一体化。光学测量技术发展趋势(功能上)从静态测量发展成为动态测量;从逐点测量发展成为全场测量;从低速度测量发展成快速的,具有存贮、记录功能的测量。第34页,此
18、课件共86页哦2022/10/3光电检测技术353.技术发展方向技术发展方向亚微米级、纳米级的高精密光学测量方法首先得到优先发展;利用新的物理学原理和光电子学原理而产生的新的光学测量方法将不断出现;以微细加工技术为基础的高精度、小尺寸、低成本的集成光学和其他微传感器将成为技术的主流方向,小型的、微型的非接触式光学传感器以及微光学这类微结构系统将崭露头角;半导体激光器(LD)及其阵列,光开关,光滤波器,光电探测阵列等新器件将在过程控制,在线测量与控制上得到广泛应用;第35页,此课件共86页哦2022/10/3光电检测技术36快速、高效的3D测量技术将取得突破,成为带存贮功能的全场动态测量仪器;发
19、展闭环式光学测试技术,实现光学测量与光学控制的一体化;发展光学诊断和光学无损检测技术;生物科学研究中的光探测越来越收到世界科技工作者的共同关注。3.3.技术发展方向技术发展方向非接触化、小型化、集成化、数字化、智能化非接触化、小型化、集成化、数字化、智能化第36页,此课件共86页哦光电检测技术的优点:光电检测技术的优点:(1 1)非接触式检测。)非接触式检测。(2 2)响应速度快。)响应速度快。(3 3)测量精度高。)测量精度高。(4 4)检测对象范围宽。)检测对象范围宽。(5 5)远距离、大量程。)远距离、大量程。(6 6)具有很强的信息处理和运算能力,可将复杂)具有很强的信息处理和运算能力
20、,可将复杂信息并行处理。信息并行处理。(7 7)寿命长。)寿命长。第37页,此课件共86页哦光电检测技术的缺点:光电检测技术的缺点:(1)(1)由于光电检测系统中用到光学元件,容易被由于光电检测系统中用到光学元件,容易被沾污,影响光信号的传输,必须采取措施,否则沾污,影响光信号的传输,必须采取措施,否则使用受限制。使用受限制。(2 2)外界干扰光影响大。背景光及外干扰光的影)外界干扰光影响大。背景光及外干扰光的影响使信噪比变差,但可采取措施减至最小。响使信噪比变差,但可采取措施减至最小。(3 3)使用温度范围小,不能用在高温。)使用温度范围小,不能用在高温。第38页,此课件共86页哦补补 充充
21、 知知 识识1.4 1.4 光的本质光的本质1.5 1.5 光在介质表面的反射和折射光在介质表面的反射和折射1.6 1.6 光与物质的相互作用光与物质的相互作用1.7 1.7 光的干涉、衍射和偏振光的干涉、衍射和偏振1.8 1.8 辐射度的基本物理量辐射度的基本物理量1.9 1.9 光度的基本物理量光度的基本物理量第39页,此课件共86页哦 1.4 1.4 光的本质光的本质光是电磁波光是电磁波具有波、粒二象性具有波、粒二象性第40页,此课件共86页哦电磁波谱电磁波谱10-1410-14:宇宙射线宇宙射线10-1210-12:射线射线10-1010-10:x x 射线射线10-710-7:紫外线
22、紫外线10-610-6:可见光可见光3.8-77.8-73.8-77.8-710-510-5:红外线红外线10-410-4:毫米波毫米波10-310-3:厘米波厘米波10-210210-2102:无线电无线电光波光波第41页,此课件共86页哦电磁波谱图电磁波谱图第42页,此课件共86页哦一、基本概念一、基本概念 1.1.光谱光谱可见光波长可见光波长 0.38m0.38m0.78m 0.78m 光速光速C=f.C=f.紫外线紫外线 0.01m0.01m0.38m 0.38m 具有荧光作用(荧光灯),具有荧光作用(荧光灯),生理作用(医用紫光灯)生理作用(医用紫光灯)光学玻璃光学玻璃 透射弱透射弱
23、 石英玻璃石英玻璃 透射强透射强红外线红外线 0.78m0.78m1000m 1000m 具有热辐射作用(人体保健)具有热辐射作用(人体保健)近红外近红外3m,3m3m(人体辐射(人体辐射9.4m9.4m远远红外内衣)红外内衣)第43页,此课件共86页哦2.2.色谱色谱在可见光范围内,由于波长的不同。而对视觉产在可见光范围内,由于波长的不同。而对视觉产生的颜色差异。(人眼的光谱)生的颜色差异。(人眼的光谱)0.380.380.4350.4350.490.490.580.580.600.600.650.650.780.78 紫紫 蓝蓝 绿绿 黄黄 橙橙 红红 第44页,此课件共86页哦3.3.光
24、的单位光的单位光强度:光源产生光的强弱。光强度:光源产生光的强弱。频率为频率为54010540101212 (0.555m0.555m)的单色光在给定方向上产生的辐)的单色光在给定方向上产生的辐射功率为射功率为1/680 W/Sr1/680 W/Sr(球面度)定为光强度单位。称(球面度)定为光强度单位。称坎德拉坎德拉cdcd光通量:具有光通量:具有1cd1cd均匀光源在一个球面内产生的光的均匀光源在一个球面内产生的光的辐射量,定为光通量单位辐射量,定为光通量单位 称流明称流明lmlm光照度:物体表面被光照亮的程度。光照度:物体表面被光照亮的程度。1lm1lm的光通量在的光通量在1 1的平面上产
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