传感器教程基础知识 精.ppt

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1、1第1页，本讲稿共28页1.1 传感器的初步认识传感器的初步认识 n人们为了从外界获取信息，需要依靠人的五种感觉器官人们为了从外界获取信息，需要依靠人的五种感觉器官(视、听、视、听、嗅、味、触嗅、味、触)感受外界信息。感受外界信息。n在自动控制系统中，也需要获取外界信息，这些需要依靠传感器来完成。在自动控制系统中，也需要获取外界信息，这些需要依靠传感器来完成。所以，传感器相当于人的五官部分所以，传感器相当于人的五官部分(“电五官电五官”)。n两者之间的关系可用两者之间的关系可用图图1-1表示。表示。n另外，对于某些外界信息，人的感觉器官是不可以感受的，如有另外，对于某些外界信息，人的感觉器官是

2、不可以感受的，如有毒的气体、过热的物体、紫外线、微波等；人的感觉器官无法定毒的气体、过热的物体、紫外线、微波等；人的感觉器官无法定量地感受外界信息量地感受外界信息这些都需要依靠传感器来完成。可以说传感这些都需要依靠传感器来完成。可以说传感器是人类五官的延伸。器是人类五官的延伸。n实际上传感器对我们来说并不陌生，在我们的生活和生产中都可实际上传感器对我们来说并不陌生，在我们的生活和生产中都可以看到它们的身影，如声光控节能开关中的光敏电阻、驻极体话以看到它们的身影，如声光控节能开关中的光敏电阻、驻极体话筒、电视机遥控系统的红外接收器件等都是传感器。筒、电视机遥控系统的红外接收器件等都是传感器。n传

3、感器实际上是一种功能模块，其作用是将来自外界的各种信传感器实际上是一种功能模块，其作用是将来自外界的各种信号转换成电信号，然后再利用后续装置或电路对此电信号进行号转换成电信号，然后再利用后续装置或电路对此电信号进行处理。处理。返回2第2页，本讲稿共28页图图1-1 人体与自控系统的对应关系人体与自控系统的对应关系 返回3第3页，本讲稿共28页1.2 传感器的定义、组成及分类传感器的定义、组成及分类 n1.2.1 传感器的定义传感器的定义n根据中华人民共和国国家标准根据中华人民共和国国家标准(GB766587)，传感器是能够感受规，传感器是能够感受规定的被测量并按照一定的规律转换成可用输出信号的

4、器件或装置。定的被测量并按照一定的规律转换成可用输出信号的器件或装置。对此定义需要明确以下几点：对此定义需要明确以下几点：n传感器是一种能够检测被测量的器件或装置；传感器是一种能够检测被测量的器件或装置；n被测量可以是物理量、化学量或生物量等；被测量可以是物理量、化学量或生物量等；n输出信号要便于传输、转换、处理、显示等，一般是电参量；输出信号要便于传输、转换、处理、显示等，一般是电参量；n输出信号要正确地反映被测量的数值、变化规律等，即两者之输出信号要正确地反映被测量的数值、变化规律等，即两者之间要有确定的对应关系，且应具有一定的精确度。间要有确定的对应关系，且应具有一定的精确度。下一页返回

5、4第4页，本讲稿共28页1.2 传感器的定义、组成及分类传感器的定义、组成及分类n1.2.2 传感器的组成传感器的组成n传感器一般由敏感元件、转换元件、转换电路三部分组成，如传感器一般由敏感元件、转换元件、转换电路三部分组成，如图图1-2所示。所示。n1.敏感元件敏感元件n敏感元件是直接感受被测量，并输出与被测量成确定关系的其他敏感元件是直接感受被测量，并输出与被测量成确定关系的其他物理量的元件。如后续章节要介绍的对力敏感的电阻应变片、对物理量的元件。如后续章节要介绍的对力敏感的电阻应变片、对光敏感的光敏电阻、对温度敏感的热敏电阻等。光敏感的光敏电阻、对温度敏感的热敏电阻等。n2.转换元件转换

6、元件n转换元件也叫传感元件，是将敏感元件的输出量转换成电参量转换元件也叫传感元件，是将敏感元件的输出量转换成电参量(电阻、电电阻、电容等容等)的元件。有些传感器的敏感元件和转换元件合二为一，它的元件。有些传感器的敏感元件和转换元件合二为一，它感受被测量并直接输出电参量，如热电偶等；有些传感器，转感受被测量并直接输出电参量，如热电偶等；有些传感器，转换元件不止一个，要经过若干次转换。换元件不止一个，要经过若干次转换。上一页下一页返回5第5页，本讲稿共28页图图1-2 传感器的组成框图传感器的组成框图 返回6第6页，本讲稿共28页1.2 传感器的定义、组成及分类传感器的定义、组成及分类n3.转换电

7、路转换电路n转换电路将转换元件输出的电参量转换为电压、电流或电频率的电路。转换电路将转换元件输出的电参量转换为电压、电流或电频率的电路。如果转换元件的输出已经是电压、电流或电频率，则不需要转换电路。如果转换元件的输出已经是电压、电流或电频率，则不需要转换电路。n1.2.3 传感器的分类传感器的分类n在实际应用中，传感器种类繁多，同一种被测量可以用不同的在实际应用中，传感器种类繁多，同一种被测量可以用不同的传感器来测量，而同一原理的传感器又可以测量多种被测量，传感器来测量，而同一原理的传感器又可以测量多种被测量，所以，传感器的分类标准比较多。目前常用的分类方法有两种：所以，传感器的分类标准比较多

8、。目前常用的分类方法有两种：一种是以被测量来分类，如一种是以被测量来分类，如表表1-1所示；另一种是以传感器原理来所示；另一种是以传感器原理来分类。本书采用后一种分类方法编排，如分类。本书采用后一种分类方法编排，如表表1-2所示。所示。n以被测量来分类时，使用的对象比较明确，适于传感器的选用；以工以被测量来分类时，使用的对象比较明确，适于传感器的选用；以工作原理来分类时，传感器采用的原理比较清楚，适于系统学习。作原理来分类时，传感器采用的原理比较清楚，适于系统学习。上一页返回7第7页，本讲稿共28页1.3 传感器的应用领域传感器的应用领域 n传感器是获取自然领域中各种信息的主要途径和手段，是构

9、成传感器是获取自然领域中各种信息的主要途径和手段，是构成现代信息技术的三大支柱现代信息技术的三大支柱(传感器技术、通信技术、计算机技术传感器技术、通信技术、计算机技术)之一。之一。n目前传感器涉及的领域非常广泛。目前传感器涉及的领域非常广泛。n现代家用电器中，大多都应用了传感器技术。电视机、空调、风扇的红现代家用电器中，大多都应用了传感器技术。电视机、空调、风扇的红外遥控系统中使用的红外接收器件、照相机中的自动曝光装置、电冰箱外遥控系统中使用的红外接收器件、照相机中的自动曝光装置、电冰箱和电饭煲使用的温度传感器、抽油烟机上的气敏传感器、全自动洗衣机和电饭煲使用的温度传感器、抽油烟机上的气敏传感

10、器、全自动洗衣机中的水位和浊度传感器等。中的水位和浊度传感器等。n在现代工业生产尤其是自动化生产过程中，要用各种传感器来监视和在现代工业生产尤其是自动化生产过程中，要用各种传感器来监视和控制生产过程中的各个参数，使设备工作在正常状态或是最佳状态，控制生产过程中的各个参数，使设备工作在正常状态或是最佳状态，并使产品达到最好的质量。因此可以说，没有众多的优良的传感器，并使产品达到最好的质量。因此可以说，没有众多的优良的传感器，现代生产也就失去了基础。现代生产也就失去了基础。下一页返回8第8页，本讲稿共28页1.3 传感器的应用领域传感器的应用领域n在基础科学研究中，传感器具有突出的地位。例如，对深

11、化物质在基础科学研究中，传感器具有突出的地位。例如，对深化物质认识、开拓新能源新材料等具有重要作用的各种尖端技术研究，认识、开拓新能源新材料等具有重要作用的各种尖端技术研究，如超高温、超低温、超高压、超高真空、超强磁场、超弱磁场等如超高温、超低温、超高压、超高真空、超强磁场、超弱磁场等等。显然，要获取大量人类感官无法获取的信息，没有相应的传等。显然，要获取大量人类感官无法获取的信息，没有相应的传感器是不可能的。许多基础科学研究的障碍，首先就在于对研究感器是不可能的。许多基础科学研究的障碍，首先就在于对研究对象的信息获取存在困难，而一些新机理和高灵敏度的检测仪器对象的信息获取存在困难，而一些新机

12、理和高灵敏度的检测仪器的出现，往往会导致该领域内的突破。一些传感器的发展，往往的出现，往往会导致该领域内的突破。一些传感器的发展，往往是一些边缘学科开发的先驱。是一些边缘学科开发的先驱。n在航空航天领域，飞行的速度、加速度、位置、姿态、温度、气压、磁在航空航天领域，飞行的速度、加速度、位置、姿态、温度、气压、磁场、振动都需要测量；场、振动都需要测量；“阿波罗阿波罗10号号”飞船需要对飞船需要对3295个参数进行个参数进行检测，其中，温度传感器检测，其中，温度传感器559个，压力传感器个，压力传感器140个，信号传感器个，信号传感器501个，遥控传感器个，遥控传感器142个，专家说：整个宇宙飞船

13、就是高性能传感器的个，专家说：整个宇宙飞船就是高性能传感器的集合体。集合体。上一页下一页返回9第9页，本讲稿共28页1.3 传感器的应用领域传感器的应用领域n楼宇自动化系统是智能建筑的重要组成部分。计算机通过中继器楼宇自动化系统是智能建筑的重要组成部分。计算机通过中继器路由路由器器网络网络显示显示网关控制管理各种设备网关控制管理各种设备(空调制冷、给水排水、变配电空调制冷、给水排水、变配电系统、照明系统、电梯、安全防护、自动识别等等系统、照明系统、电梯、安全防护、自动识别等等)，实现以上功能使，实现以上功能使用的传感器有温度传感器、湿度传感器、液位传感器、流量传用的传感器有温度传感器、湿度传感

14、器、液位传感器、流量传感器、压差传感器、空气压力传感器、烟雾传感器、气体传感感器、压差传感器、空气压力传感器、烟雾传感器、气体传感器、红外传感器、玻璃破碎传感器、图像传感器等。器、红外传感器、玻璃破碎传感器、图像传感器等。n国防军事国防军事(雷达探测系统、水声目标定位系统、红外制导系统等雷达探测系统、水声目标定位系统、红外制导系统等)、环境保护环境保护(空气质量的监控空气质量的监控)、医学诊断、医学诊断(各种生化指标、影像资料的获各种生化指标、影像资料的获取取)、刑事侦查、刑事侦查(声音、指纹识别声音、指纹识别)、交通管理、交通管理(车流量统计、车速监测、车流量统计、车速监测、车牌识别车牌识别

15、)等，这些都离不开传感器。等，这些都离不开传感器。上一页返回10第10页，本讲稿共28页1.4 传感器的发展趋势传感器的发展趋势 n传感器的发展趋势包括社会对传感器需求的新动向和传感器新技术的传感器的发展趋势包括社会对传感器需求的新动向和传感器新技术的发展趋势这两个方面。发展趋势这两个方面。n1.4.1 传感器需求的新动向传感器需求的新动向n社会需求是传感器技术发展的强大动力。随着现代科学技术，特别是微社会需求是传感器技术发展的强大动力。随着现代科学技术，特别是微电子技术和信息产业的飞速发展，以及电子技术和信息产业的飞速发展，以及“电脑电脑”的普及，传感器在新的的普及，传感器在新的技术革命中的

16、地位和作用将更为突出，一股竞相开发和应用传感器的热技术革命中的地位和作用将更为突出，一股竞相开发和应用传感器的热潮已在世界范围内掀起。这是因为：潮已在世界范围内掀起。这是因为：n“电五官电五官”落后于落后于“电脑电脑”的现状，已成为微型计算机进一步的现状，已成为微型计算机进一步开发和应用的一大障碍；开发和应用的一大障碍；n许多有竞争力的新产品开发和卓有成效的技术改造，都离不开传感器；许多有竞争力的新产品开发和卓有成效的技术改造，都离不开传感器；n传感器的应用直接带来了明显的经济效益和社会效益；传感器的应用直接带来了明显的经济效益和社会效益；n传感器普及于社会各个领域，将形成良好的销售前景。传感

17、器普及于社会各个领域，将形成良好的销售前景。下一页返回11第11页，本讲稿共28页1.4 传感器的发展趋势传感器的发展趋势n1.4.2 传感器技术的发展趋势传感器技术的发展趋势n当前，传感器技术的主要发展动向，一是开展基础研究，发现新现象，当前，传感器技术的主要发展动向，一是开展基础研究，发现新现象，开发传感器的新材料和新工艺；二是实现传感器的集成化与智能化。开发传感器的新材料和新工艺；二是实现传感器的集成化与智能化。n1.发现新现象，开发新材料发现新现象，开发新材料n新现象、新原理、新材料是发展传感器技术、研究新型传感器新现象、新原理、新材料是发展传感器技术、研究新型传感器的重要基础，每一种

18、新原理、新材料的发现都会伴随着新的传的重要基础，每一种新原理、新材料的发现都会伴随着新的传感器种类诞生。感器种类诞生。n2.集成化，多功能化集成化，多功能化n向敏感功能装置和集成化发展，将半导体集成电路技术及其开发向敏感功能装置和集成化发展，将半导体集成电路技术及其开发思想应用于传感器制造。如采用微细加工技术思想应用于传感器制造。如采用微细加工技术MEMS制作微型传感制作微型传感器，采用厚膜和薄膜技术制作传感器等。器，采用厚膜和薄膜技术制作传感器等。上一页下一页返回12第12页，本讲稿共28页1.4 传感器的发展趋势传感器的发展趋势n3.向未开发的领域挑战向未开发的领域挑战n到目前为止，开发的

19、传感器大多为物理传感器，今后应积极开发研究到目前为止，开发的传感器大多为物理传感器，今后应积极开发研究化学传感器和生物传感器，特别是智能机器人技术的发展，需要研制化学传感器和生物传感器，特别是智能机器人技术的发展，需要研制各种模拟人的感觉器官的传感器，如已有的机器人力觉传感器、触觉各种模拟人的感觉器官的传感器，如已有的机器人力觉传感器、触觉传感器、味觉传感器等。传感器、味觉传感器等。n4.智能传感器，具有判断能力智能传感器，具有判断能力n学习能力的智能传感器事实上是一种带微处理器的传感器，它学习能力的智能传感器事实上是一种带微处理器的传感器，它具有检测、判断和信息处理功能。具有检测、判断和信息

20、处理功能。上一页返回13第13页，本讲稿共28页1.5 传感器的命名和代号传感器的命名和代号 n在在GB76661987中，国家标准规定了传感器的命名方法中，国家标准规定了传感器的命名方法和代号，作为统一传感器命名和代号的依据。它适用于和代号，作为统一传感器命名和代号的依据。它适用于传感器的研究、开发、生产、销售、教学等相关领域。传感器的研究、开发、生产、销售、教学等相关领域。n1.5.1 传感器的命名传感器的命名n1.命名的构成命名的构成n传感器的名称由主题词加四级修饰语构成，包括：传感器的名称由主题词加四级修饰语构成，包括：n主题词主题词传感器；传感器；n第一级修饰语第一级修饰语被测量，包

21、括修饰被测量的定语；被测量，包括修饰被测量的定语；n第二级修饰语第二级修饰语转换原理，一般可后续以转换原理，一般可后续以“式式”字；字；n第三级修饰语第三级修饰语特征描述，指必须强调的传感器结构、性能、特征描述，指必须强调的传感器结构、性能、材料特征、敏感元件及其他必要的性能特征，一般可后续以材料特征、敏感元件及其他必要的性能特征，一般可后续以“型型”字；字；n第四级修饰语第四级修饰语主要技术指标主要技术指标(量程、精确度、灵敏度等量程、精确度、灵敏度等)。n传感器命名构成及各级修饰语如传感器命名构成及各级修饰语如表表1-3所示。所示。下一页返回14第14页，本讲稿共28页1.5 传感器的命名

22、和代号传感器的命名和代号n2.命名法的使用命名法的使用n(1)题目中的用法题目中的用法n在有关传感器的统计表格、图书索引、检索以及计算机汉字处在有关传感器的统计表格、图书索引、检索以及计算机汉字处理等特殊场合，应采用上述顺序，如：传感器，位移，应变计理等特殊场合，应采用上述顺序，如：传感器，位移，应变计式式，100mm。n(2)正文中的用法正文中的用法n在技术文件、产品样本、学术论文、教材及书刊的陈述句子中，作为在技术文件、产品样本、学术论文、教材及书刊的陈述句子中，作为产品名称应采用与上述相反的顺序，如产品名称应采用与上述相反的顺序，如100mm 应变计式位移传感器。应变计式位移传感器。n1

23、.5.2 传感器的代号传感器的代号n1.传感器代号的构成传感器代号的构成n国家标准中规定，用大写汉语拼音字母和阿拉伯数字构成传感器完整的国家标准中规定，用大写汉语拼音字母和阿拉伯数字构成传感器完整的代号。包括四个部分：依次为主称代号。包括四个部分：依次为主称(传感器传感器)被测量被测量-转换原理转换原理-序号。序号。上一页下一页返回15第15页，本讲稿共28页1.5 传感器的命名和代号传感器的命名和代号n主称主称传感器，代号传感器，代号C。n被测量被测量用一个或两个汉语拼音的第一个大写字母标记。用一个或两个汉语拼音的第一个大写字母标记。n转换原理转换原理用一个或两个汉语拼音的第一个大写字母标记

24、。用一个或两个汉语拼音的第一个大写字母标记。n序号序号用一个阿拉伯数字标记，厂家自定，用来表征产品设计特性、用一个阿拉伯数字标记，厂家自定，用来表征产品设计特性、性能参数、产品系列等。若产品性能参数不变，仅在局部有改动或变动性能参数、产品系列等。若产品性能参数不变，仅在局部有改动或变动时，其序号可在原序号后面顺序地加注大写字母时，其序号可在原序号后面顺序地加注大写字母A、B、C等等(其中其中I、Q不用不用)，如应变式位移传感器，如应变式位移传感器C WY-YB-20；光纤压力传感器；光纤压力传感器C Y-GQ-2。n常用被测量代码如常用被测量代码如表表1-4所示，常用转换原理代码如所示，常用转

25、换原理代码如表表1-5所示。所示。上一页返回16第16页，本讲稿共28页1.6 传感器的特性传感器的特性 n传感器所测量的被测量经常处在变动过程中。例如测量温度时，传感器所测量的被测量经常处在变动过程中。例如测量温度时，若温度恒定，传感器的输出值可能十分稳定；若遇到温度不恒若温度恒定，传感器的输出值可能十分稳定；若遇到温度不恒定甚至出现突变时，传感器的输出值可能有缓慢起伏或者周期定甚至出现突变时，传感器的输出值可能有缓慢起伏或者周期性脉动变化，甚至出现突变的尖锋值。传感器能否将这些被测性脉动变化，甚至出现突变的尖锋值。传感器能否将这些被测量的变化不失真地变换成相应的电量，就需要考虑传感器本身量

26、的变化不失真地变换成相应的电量，就需要考虑传感器本身的基本特性，即输出的基本特性，即输出-输入特性。该基本特性通常用传感器的静输入特性。该基本特性通常用传感器的静态特性和动态特性来描述。态特性和动态特性来描述。n1.6.1 传感器的静态特性传感器的静态特性n静态特性表示传感器在被测量处于稳定状态静态特性表示传感器在被测量处于稳定状态(输入量为常量，或变化输入量为常量，或变化非常缓慢非常缓慢)时的输出时的输出-输入关系。通常用线性度、灵敏度、分辨力、输入关系。通常用线性度、灵敏度、分辨力、重复性、迟滞等技术指标来描述传感器的静态特性。重复性、迟滞等技术指标来描述传感器的静态特性。下一页返回17第

27、17页，本讲稿共28页1.6 传感器的特性传感器的特性n1.线性度线性度n传感器的静态特性是在静态标准条件下，利用一定等级的校准设传感器的静态特性是在静态标准条件下，利用一定等级的校准设备对传感器进行往复循环测试，得出输出备对传感器进行往复循环测试，得出输出-输入特性输入特性(列表或曲线列表或曲线)。通常，希望这个特性通常，希望这个特性(曲线曲线)为线性，这给标定和数据处理带来方便。为线性，这给标定和数据处理带来方便。但实际的输出但实际的输出-输入特性或多或少地都存在着非线性问题，只能输入特性或多或少地都存在着非线性问题，只能接近线性，对比理论直线有偏差，如接近线性，对比理论直线有偏差，如图图

28、1-3所示。所示。n实际曲线与其两个端点连线实际曲线与其两个端点连线(拟合曲线拟合曲线)之间的偏差称为传感器的非线之间的偏差称为传感器的非线性误差。取其最大偏差与理论满量程之比作为评价线性度性误差。取其最大偏差与理论满量程之比作为评价线性度(或非线性或非线性误差误差)的指标。的指标。n n式中式中 max输出平均值与拟合直线间的最大偏差；输出平均值与拟合直线间的最大偏差；nyFS理论满度值。理论满度值。上一页下一页返回18第18页，本讲稿共28页图图1-3 线性误差线性误差 返回19第19页，本讲稿共28页1.6 传感器的特性传感器的特性n2.迟滞迟滞n传感器在正向行程传感器在正向行程(输入量

29、增大输入量增大)反向行程反向行程(输入量减小输入量减小)中输出输入曲中输出输入曲线不重合称为迟滞。也就是说，对应于同一大小的输入信号，传感器线不重合称为迟滞。也就是说，对应于同一大小的输入信号，传感器的输出信号大小不相等。一般用两曲线之间输出量的最大差值与满量的输出信号大小不相等。一般用两曲线之间输出量的最大差值与满量程输出的百分比来表示迟滞误差，即程输出的百分比来表示迟滞误差，即 n式中式中 Hmax正反行程间输出的最大差值。正反行程间输出的最大差值。nyFS理论满度值。理论满度值。n产生迟滞的原因是：传感器的机械部分、结构材料方面存在不可避免产生迟滞的原因是：传感器的机械部分、结构材料方面

30、存在不可避免的弱点，如轴承摩擦、间隙等。的弱点，如轴承摩擦、间隙等。n3.重复性重复性n重复性是指传感器的输入量按同一方向变化，作全量程连续多次测量时重复性是指传感器的输入量按同一方向变化，作全量程连续多次测量时所得到的曲线不一致的程度。所得到的曲线不一致的程度。上一页下一页返回20第20页，本讲稿共28页1.6 传感器的特性传感器的特性n正行程的最大重复性偏差为正行程的最大重复性偏差为Rmax1，反行程的最大重复性偏差为，反行程的最大重复性偏差为Rmax2。重复性偏差取这两个最大偏差中之较大者为。重复性偏差取这两个最大偏差中之较大者为Rmax，再以，再以Rmax与满量程输出与满量程输出yFS

31、的百分比表示，即的百分比表示，即n4.灵敏度灵敏度n传感器输出的变化量传感器输出的变化量y与引起该变化量的输入量变化与引起该变化量的输入量变化x之比即为之比即为其静态灵敏度。表达式为其静态灵敏度。表达式为 n即传感器的灵敏度就是校准曲线的斜率。即传感器的灵敏度就是校准曲线的斜率。n线性传感器特性曲线的斜率处处相同，灵敏度线性传感器特性曲线的斜率处处相同，灵敏度K是常数。以拟合是常数。以拟合直线作为其特性的传感器，也可认为其灵敏度为一常数，与输直线作为其特性的传感器，也可认为其灵敏度为一常数，与输入量的大小无关。非线性传感器的灵敏度不是常数，应以入量的大小无关。非线性传感器的灵敏度不是常数，应以

32、dy/dx表示。表示。上一页下一页返回21第21页，本讲稿共28页1.6 传感器的特性传感器的特性n5.分辨力和阈值分辨力和阈值n分辨力是指传感器能检测到的最小的输入增量。分辨力可用绝对分辨力是指传感器能检测到的最小的输入增量。分辨力可用绝对值表示，也可用与满量程的百分数表示。值表示，也可用与满量程的百分数表示。n当一个传感器的输入从零开始极缓慢地增加，只有达到了某一最小值当一个传感器的输入从零开始极缓慢地增加，只有达到了某一最小值后，才能测出输出变化，这个最小值就称为传感器的阈值。事实上阈后，才能测出输出变化，这个最小值就称为传感器的阈值。事实上阈值是传感器在零点附近的分辨力。值是传感器在零

33、点附近的分辨力。n分辨力说明了传感器可测出的最小可测出的输入变量，而阈值则说明分辨力说明了传感器可测出的最小可测出的输入变量，而阈值则说明了传感器的可测出的最小输入量。了传感器的可测出的最小输入量。n6.稳定性稳定性n稳定性有短期稳定性和长期稳定性之分。传感器常用长期稳定性稳定性有短期稳定性和长期稳定性之分。传感器常用长期稳定性描述其稳定性，它是指在室温条件下，经过相当长的时间间隔，描述其稳定性，它是指在室温条件下，经过相当长的时间间隔，如如1天、天、1个月或个月或1年，传感器的输出与起始标定时的输出之间的差年，传感器的输出与起始标定时的输出之间的差异。通常又用其不稳定性来表征其输出的稳定程度

34、。异。通常又用其不稳定性来表征其输出的稳定程度。上一页下一页返回22第22页，本讲稿共28页1.6 传感器的特性传感器的特性n7.漂移漂移n漂移指在一定时间间隔内，传感器输出量存在着与被测输入量无关的、漂移指在一定时间间隔内，传感器输出量存在着与被测输入量无关的、不需要的变化。漂移包括零点漂移与灵敏度漂移。不需要的变化。漂移包括零点漂移与灵敏度漂移。n零点漂移或灵敏度漂移又可分为时间漂移零点漂移或灵敏度漂移又可分为时间漂移(时漂时漂)和温度漂移和温度漂移(温漂温漂)。时漂是指在规定条件下，零点或灵敏度随时间的缓慢变化；温漂为周时漂是指在规定条件下，零点或灵敏度随时间的缓慢变化；温漂为周围温度变

35、化引起的零点或灵敏度漂移。围温度变化引起的零点或灵敏度漂移。n1.6.2 传感器的动态特性传感器的动态特性 n在实际测量中，不仅要求传感器具有良好的静态特性，而且应在实际测量中，不仅要求传感器具有良好的静态特性，而且应具有良好的动态特性。动态特性是指传感器测量动态信号时，具有良好的动态特性。动态特性是指传感器测量动态信号时，输出输入之间的关系。在动态测量时，由于被测量要随时间变输出输入之间的关系。在动态测量时，由于被测量要随时间变化，此时传感器如果不能快速响应并正确地提取信号，测量工化，此时传感器如果不能快速响应并正确地提取信号，测量工作就无法进行。例如，在做人体的心电图检查时，如果不能准作就

36、无法进行。例如，在做人体的心电图检查时，如果不能准确地将人体心脏随时间跳动的状况及时检测出来，并迅速打印，确地将人体心脏随时间跳动的状况及时检测出来，并迅速打印，那么就不能为医生进行诊断提供依据。那么就不能为医生进行诊断提供依据。上一页下一页返回23第23页，本讲稿共28页1.6 传感器的特性传感器的特性n动态特性好的传感器，其输出随时间的变化规律将高精度地反映动态特性好的传感器，其输出随时间的变化规律将高精度地反映输入量随时间的变化规律，即它们具有同一个时间函数。但是，输入量随时间的变化规律，即它们具有同一个时间函数。但是，除了理想情况外，实际传感器的输出信号与输入信号不会具有相除了理想情况

37、外，实际传感器的输出信号与输入信号不会具有相同的时间函数，由此将引起动态误差。同的时间函数，由此将引起动态误差。n动态特性常用阶跃响应和频率响应来描述。动态特性常用阶跃响应和频率响应来描述。n1.6.3 改善传感器性能的技术途径改善传感器性能的技术途径n1.传感器噪声及其减小措施传感器噪声及其减小措施n传感器噪声是指除了被测信号之外在传感器中出现的一切不传感器噪声是指除了被测信号之外在传感器中出现的一切不需要的信号，它可由传感器内部产生，也可从外部随信号混需要的信号，它可由传感器内部产生，也可从外部随信号混入。一般而言，噪声呈不规则的变化。入。一般而言，噪声呈不规则的变化。n传感器内部产生的噪

38、声包括敏感元件、转换元件和转换电传感器内部产生的噪声包括敏感元件、转换元件和转换电路元件等产生的噪声以及电源产生的噪声。例如，光电真路元件等产生的噪声以及电源产生的噪声。例如，光电真空管放射不规则电子，半导体载流子扩散等产生的噪声。空管放射不规则电子，半导体载流子扩散等产生的噪声。降低元件的温度可减小热噪声，对电源变压器采用静电屏降低元件的温度可减小热噪声，对电源变压器采用静电屏蔽可减小交流脉动噪声等。蔽可减小交流脉动噪声等。上一页下一页返回24第24页，本讲稿共28页1.6 传感器的特性传感器的特性n从外部混入传感器的噪声，按其产生原因可分为机械噪声从外部混入传感器的噪声，按其产生原因可分为

39、机械噪声(如振如振动，冲击动，冲击)、音响噪声、热噪声、音响噪声、热噪声(如热辐射使元件相对位移或性如热辐射使元件相对位移或性能变化能变化)、电磁噪声和化学噪声等。对振动等机械噪声可采用防振台或将、电磁噪声和化学噪声等。对振动等机械噪声可采用防振台或将传感器固定在质量很大的基础台上加以抑制；而消除音响噪声的有效办传感器固定在质量很大的基础台上加以抑制；而消除音响噪声的有效办法是把传感器用隔音器材围上或放在真空容器里；消除电磁噪声的有效法是把传感器用隔音器材围上或放在真空容器里；消除电磁噪声的有效办法是屏蔽和接地或使传感器远离电源线、使输出线屏蔽、输出线绞拧办法是屏蔽和接地或使传感器远离电源线、

40、使输出线屏蔽、输出线绞拧在一起等。在一起等。n2.改善传感器性能的技术途径改善传感器性能的技术途径n我们总是希望传感器的输出与输入成唯一的对应关系，最好是线我们总是希望传感器的输出与输入成唯一的对应关系，最好是线性关系，但是一般情况下，输出与输入不会符合所要求的线性关性关系，但是一般情况下，输出与输入不会符合所要求的线性关系，同时由于存在着迟滞、蠕变、摩擦等因素的影响，使输出输系，同时由于存在着迟滞、蠕变、摩擦等因素的影响，使输出输入对应关系的唯一性也不能实现，因此外界的影响不可忽视。影入对应关系的唯一性也不能实现，因此外界的影响不可忽视。影响程度取决于传感器本身，可通过传感器本身的改善来加以

41、抑制，响程度取决于传感器本身，可通过传感器本身的改善来加以抑制，有时也可以对外界条件加以限制。有时也可以对外界条件加以限制。上一页下一页返回25第25页，本讲稿共28页1.6 传感器的特性传感器的特性n(1)结构、材料与参数的合理选择结构、材料与参数的合理选择n根据实际的需要和可能，合理选择材料、结构设计传感器，确保主要指根据实际的需要和可能，合理选择材料、结构设计传感器，确保主要指标，放弃对次要指标的要求，以求得到较高的性价比，同时满足使用要标，放弃对次要指标的要求，以求得到较高的性价比，同时满足使用要求，即使对于主要的参数也不能盲目追求高指标。求，即使对于主要的参数也不能盲目追求高指标。n

42、(2)差动技术差动技术n差动技术是非常有效的一种方法，如电阻应变式传感器、电感式传感器、差动技术是非常有效的一种方法，如电阻应变式传感器、电感式传感器、电容式传感器中都应用了差动技术，不仅减小了非线性误差，而且灵敏电容式传感器中都应用了差动技术，不仅减小了非线性误差，而且灵敏度提高了一倍，抵消了共模误差。度提高了一倍，抵消了共模误差。n(3)平均技术平均技术n常用的平均技术有误差平均和数据平均。常用多点测量方案与多次采样常用的平均技术有误差平均和数据平均。常用多点测量方案与多次采样平均。平均。上一页下一页返回26第26页，本讲稿共28页1.6 传感器的特性传感器的特性n(4)稳定性处理稳定性处

43、理n造成传感器性能不稳定的原因是：随着时间的推移或环境条件的造成传感器性能不稳定的原因是：随着时间的推移或环境条件的变化，构成传感器的各种材料与元器件性能将发生变化。为了提变化，构成传感器的各种材料与元器件性能将发生变化。为了提高传感器性能的稳定性，应该对材料、元器件或传感器整体进行高传感器性能的稳定性，应该对材料、元器件或传感器整体进行必要的稳定性处理。使用传感器时，如果测量要求较高，必要时必要的稳定性处理。使用传感器时，如果测量要求较高，必要时也应对附加的调整元件、后接电路的关键元器件进行防老化处理。也应对附加的调整元件、后接电路的关键元器件进行防老化处理。n(5)屏蔽、隔离与干扰抑制屏蔽

44、、隔离与干扰抑制n屏蔽、隔离与干扰抑制可以有效削弱或消除外界影响因素对传屏蔽、隔离与干扰抑制可以有效削弱或消除外界影响因素对传感器的作用。如对于电磁干扰，可以采取屏蔽、隔离措施，也感器的作用。如对于电磁干扰，可以采取屏蔽、隔离措施，也可以用滤波等方法抑制。可以用滤波等方法抑制。上一页下一页返回27第27页，本讲稿共28页1.6 传感器的特性传感器的特性n(6)零位法、微差法与闭环技术零位法、微差法与闭环技术n这些技术可供设计或应用传感器时，用以消除或削弱系统误差。这些技术可供设计或应用传感器时，用以消除或削弱系统误差。n(7)补偿与校正补偿与校正n补偿与校正可以利用电子技术通过线路补偿与校正可以利用电子技术通过线路(硬件硬件)来解决，也可以采用微来解决，也可以采用微型计算机通过软件来实现。型计算机通过软件来实现。n(8)集成化、智能化与信息融合集成化、智能化与信息融合n集成化、智能化与信息融合将大大扩大传感器的功能，改善传集成化、智能化与信息融合将大大扩大传感器的功能，改善传感器的性能，提高性价比。感器的性能，提高性价比。上一页返回28第28页，本讲稿共28页