干膜光成像工艺规范5890.docx

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1、干膜光成像工艺规范干膜光成成像工艺艺规范目 录录1 目的-42 范围-43 定义-44 操作方法法-4-55 磨板-66-96 贴膜-9-117 曝光-11-138 显影-13-179 检查-17-1810. 故障与排排除-188-199注意：以以下所有有数据建建议参考考，与你你公司如如有相同同实属巧巧合。1. 目的：本本文旨在在建立干干膜光成成像工艺艺之操作作规范及及工艺控控制要求求、设备备之日常常维护方方法和要要求。2. 范围: 适用于于线路板板光成像像工艺过过程之干干膜、曝曝光、显显影工序序。3. 定义：光光成像指将将底片的的线路图图像移到到覆铜板板上，形形成一种种抗蚀或或抗电镀镀的掩膜

2、膜图像。4. 操作方法法4.1 安全。4.1.1 化学溶液液加入槽槽中时，应应戴橡胶胶手套，必必要时戴戴上安全全眼镜，眼眼睛和皮皮肤避免免与其接接触，如如果化学学溶液溅溅到皮肤肤上，需需立即用用自来水水进行冲冲洗, 并报告告领班。4.1.2 溅到地上上的化学学药品须须立即擦擦净。4.1.3 操作时不不要观看看紫外光光源。4.1.4 不要操作作没上盖盖子和没没安装固固定好的的机器。4.1.5 酒精、丙丙酮等易易燃品使使用完后后应盖好好盖子。4.2 主要设备备设备名称称机械磨板板机贴膜机双面曝光光机显影机4.3 主要物品品 名 称干膜重氮片重氮片保保护膜氨水酒精浓硫酸碳酸钠消泡剂4.4 制程能力力

3、项目尺寸（mmm）备注板尺寸6104600Max干膜隔离离环0.133Min外层线宽宽/线间间距0.100Min干膜盖孔孔能力6.5Max对位精度度0.005Min4.5 工艺流程程图4.5.1 双面板制制作过程程来板检查查磨板贴膜 停留115miin对位曝光停留115miin显影检查修修正下道工工序内层底片铆合4.5.2 内层板制制作过程程：来板检查查磨板/化学清清洗贴膜停留115miin对位曝光停留115miin显影检查修修正转下道道工序（蚀蚀刻）。4.6 工艺环境境及要求求4.6.1 生产前对对所有设设备和周周围环境境进行约约30分分钟的擦擦拭或吸吸尘等清清洁工作作，所有有工作区区域都必

4、必须保持持干净整整洁。4.6.2 贴膜、曝曝光间属属四级空空调区，环环境要求求：温度度212，湿度度55%，该区区照明灯灯为安全全黄光灯灯，室内内不得漏漏白光。4.6.3 进入贴膜膜、曝光光间必须须穿防静静电服（防防尘服），并并经风淋淋门风淋淋10秒秒以上，风风淋时应应将两侧侧门关紧紧，将风风淋嘴对对准防静静电服全全身风淋淋。4.6.4 防静电服服的着装装方法：先戴帽帽，将头头发置于于帽内，再再穿衣、以以裤束紧紧上衣，以以袜束紧紧裤脚，防防静电服服只能在在指定范范围内穿穿着，并并要保持持整洁。4.6.5 风淋门不不允许开开着或半半掩着，不不允许两两道门同同时是开开启状态态，否则则有过量量的灰尘

5、尘和污物物进入，不不许将有有灰尘的的物品（如如纸箱）带带入工作作区域内内。风淋淋门前面面的过道道每天必必须进行行清洁。4.6.6 除了对位位、曝光光人员不不戴手套套取放板板子外，工工序的其其它工位位（磨板板、贴膜膜、显影影、检板板）取放放、接收收板子的的人员一一律要戴戴洁净干干燥的白白细纱手手套取放放板子，磨磨板接板板贴膜放放板人员员戴指套套操作。并并要做到到轻拿轻轻放，手手指不得得触及线线路图形形，板角角不得碰碰伤其它它板的铜铜面或干干膜线路路。5. 磨板5.1 目的：保保证贴膜膜前的板板面干燥燥清洁无无氧化、胶胶渍等污污物。5.1.1 物料：硫硫酸（工工业）、尼尼龙磨刷刷（第11对为332

6、0目目，第22对为5500目目）。5.1.2 工具：吸吸管、胶胶手套、无无毛白纱纱手套。5.2 工序流程程：入板稀稀硫酸洗洗循环水水洗水洗磨刷（11对3220目）磨刷（1对500目）中压水洗水洗挤干吹干烘干出板。5.3 工艺条件件控制项目目控制范围围最佳范围围输送速度度内层：22.0-3.00m/mmin 铅锡锡板：11.8-3.00m/mmin 金金板：11.6-2.00m/mmin内层：22.8mm/miin铅锡板：2.55m/mmin（其中有长条孔的锡板速度为1.5-2.0m/min）金板：11.8mm/miin磨刷压力力1.5-3.00A1.5-2.00A硫酸浓度度1%-33%2%烘干

7、温度度60-99070-880硫酸喷淋淋压力10-228pssi10-220pssi（或或0.77-1.5kgg/cmm2）水洗喷淋淋压力10-228pssi10-220pssi（或或0.77-1.5kgg/cmm2）磨痕宽度度10-115mmm12-113mmm水膜破裂裂时间水膜保持持15秒秒以上水膜保持持15秒秒以上5.4 操作方法法5.4.1 开机：依依次打开开下列开开关。水闸开关关电源输送水洗中压水水洗循环水水洗酸洗挤干吹干烘干摇摆磨刷。5.4.2 配制药水水5.4.2.1 先放掉旧旧药水、清清洗缸内内残渣。5.4.2.2 加入1000升自自来水，用用虹吸管管吸取22升硫酸酸，缓缓缓加

8、入水水中。5.4.2.3 开机循环环3-55minn即可投投入使用用，一般般要求每每班要换换一次药药水。5.4.3 关机：依依开机的的相反顺顺序进行行。5.5 检测判断断方法5.5.1 一般通过过磨痕试试验和水水膜破裂裂试验来来检测磨磨板效果果，要求求磨出来来的板干干燥洁净净，无污污迹、氧氧化点。5.5.2 磨痕试验验：取一块未未经钻孔孔或已钻钻孔但未未作图形形的且与与生产板板同厚度度的覆铜铜板作试试板。5.5.2.1 打开输送送放板入入上（下下）刷位位置关闭输输送调动磨磨刷进给给压力到到设定值值打开上上（下）刷刷喷啉并并磨板88-100秒关闭磨磨刷打开输输送取出试试板。5.5.2.2 将板子

9、传传送出来来，检查查上（下下）刷的的磨痕是是否均匀匀，宽度度在100-155mm之之间，过过窄则顺顺时针方方向旋转转调压手手柄调大大进给压压力，过过宽则逆逆时针方方向旋转转调压手手柄减少少进给压压力，直直到磨痕痕宽度在在要求范范围内，同同时查相相应的电电表头指指示值是是否正确确，并要要求工作作员工在在试板上上作记录录（时间间、板子子厚度、磨磨刷压力力，磨痕痕宽度）。5.5.3 水膜破裂裂试验将刚磨出出来的板板，浸入入干净的的水中，然然后取出出竖直放放置，若若水膜能能保持115秒以以上，说说明此板板合格，否否则重新新调试直直到符合合要求为为止。5.6 安全生产产5.6.1 当调整好好磨板各各参数

10、后后，先做做磨痕试试验和水水膜破裂裂试验，然然后试刷刷3-55块板，检检查整个个磨板系系统是否否正常，磨磨出来的的板是否否干燥洁洁净，有有无污渍渍、水迹迹、氧化化点，合合格后方方可批量量生产。5.6.2 接板员工工将检查查合格的的板先插插架放置置3-66minn，再叠叠板放置置（0.6mmm以下的的薄板可可直接叠叠板放置置），为为了防止止板子放放置时间间太长、板板面氧化化导致贴贴膜不牢牢，原则则上要求求现磨现现贴，但但积板数数量不许许超过1100块块且存板板时间不不可超过过一小时时。否则则需重新新磨板。5.6.3 为了防止止磨刷不不均匀磨磨损成腰腰鼓形，批批量磨板板时，放放板要左左右均匀匀放置

11、，通通常每个个月用880目砂砂纸将磨磨刷整平平一次。5.6.4 磨刷使用用寿命每道磨刷刷通过板板子的长长度累积积达4万万至5万万米，要要求更换换该道磨磨刷，并并作相关关的运行行记录。5.6.5 吸水辊应应以清水水充分润润湿，不不许让吸吸水辊干干燥工作作，一般般要求22个月换换一次吸吸水辊。5.7 注意事项项：5.7.1 取硫酸时时，需戴戴手套，用用吸管吸吸取，以以免发生生意外。5.7.2 为防止磨磨板时叠叠板，放放板时要要求板与与板的间间距约110mmm。5.8 维护与保保养5.8.1 日保养检查项目目维护方式式工艺要求求保养周期期药缸、 水洗洗缸清洗更换换缸内液体体清澈液液位达标标1次/班班

12、过滤网清水冲洗洗无堵孔、垃垃圾1次/班班各喷咀检查清理理喷咀内内异物或或更换无堵塞，喷喷出水形形为圆锥锥形1次/班班吸水辊浸泡、挤挤压、清清水冲洗洗保持湿润润、 无残残留污物物1次/班班5.8.2 周保养，除除日保养养以外，每每周周末末进行一一次大保保养。检查项目目维护方式式工艺要求求压力表检查通知知维修表内液位位足够、 液液压足够够输送速度度清除干扰扰、 检检查负载载电流显示速度度准确、 无无突然停停止现象象烘干温度度表用电子测测温仪，检检测烘干干段温度度通知维维修显示温度度，设定定温度实实际温度度偏差5空气过滤滤网用吸尘器器吸 有灰灰尘的一一面空气滤网网上 无明明显的灰灰尘5.8.3 月保

13、养：除日保保养、周周保养以以外，由由维修负负责人负负责安排排人员每每月月底底进行一一次大保保养。a 将各输送送轮、压压轮、吸吸水辊、过过滤网、风风刀、喷喷管、喷喷咀，拆拆出进行行全面保保养，整整机大清清洁，同同时保养养课安排排人员对对机器作作全面检检修，并并作维护护记录。b 清洗方法法： 清水冲洗3%-55%的NNaOHH溶液浸浸泡约330分钟钟3%-5%的的H2SO4洗200-300分钟清水冲冲洗干净净 （除风风刀和钢钢制压辊辊外）。c 风刀和钢钢制压辊辊，先用用吸尘器器吸风刀刀口内的的灰尘杂杂物，再再用清水水冲洗干干净。d 各喷咀保保持畅通通，有堵堵塞现象象的用牙牙签穿透透，以确确保喷出出

14、的水呈呈扇形，且且与磨刷刷轴向平平行，同同时磨刷刷处之喷喷淋必须须均匀喷喷在磨刷刷上。e 保养完毕毕、安装装后要先先试运转转，试磨磨一块废废板，合合格后方方可生产产。6. 贴膜6.1 目的：通通过热压压方式将将干膜抗抗蚀剂贴贴附在清清洁的铜铜面上。6.2 工具：介介膜刀片片、刮胶胶擦、框框架。6.2.1 物料：干干膜、无无毛白纱纱手套、指指套、压压辘。插架6.3 流程： 来料检查查压膜介膜静静置6.4 工艺条件件：6.4.1 压辘（上上/下）温温度：1100-1200，最佳佳范围：110056.4.2 气压：440-555pssi 一般金金板：445-550pssi，喷喷锡板：40-50pps

15、i6.4.3 速度：11.0-1.55m/mmin，最最佳1.1-11.3mm/miin。一般大压压辘机22.0-2.77格，最最佳2.5格，小小压辘机机4.55-6格格，最佳佳5格，用用秒表测测出一块块已知长长度的板板经过压压辘所需需的时间间再用已已知长度度（m）与与所需时时间（mmin）的的比值即即为速度度。6.4.4 贴膜出板板表面温温度：440-665，最佳佳505 （一一般用接接触式电电子测温温仪轻轻轻接触板板面即可可测得）6.5 操作规程程6.5.1 开机：依依次打开开下列开开关总电源开开关压辘加加热开关关压辘气气压开关关输送开开关6.5.2 打开机后后先预热热15mmin左左右。

16、6.5.3 戴指套对对板面进进行检查查，必须须保证压压膜前的的板面干干燥清洁洁无氧化化、无污污渍、磨磨痕均匀匀。6.5.4 待机器进进入正常常待压干干膜状态态，将板板子平放放在上、下下两压辘辘的输送送口间，后后试压膜膜一块。6.5.5 检查试压压膜的板板，若板板面无气气泡、无无起皱、无无干膜碎碎、无流流胶、颜颜色均匀匀，且单单边露铜铜不大于于3-55mm，则则可批量量生产。6.5.6 贴膜合格格的板不不允许平平叠，要要求先插插架冷却却之后，再再竖直叠叠板放置置于专用用架子上上，静置置15mmin后后再转下下工序。6.5.7 关机：依依开机的的相反顺顺序进行行。6.5.8 换干膜：6.5.8.1

17、 根据所要要生产的的板来选选择对应应尺寸的的干膜，一一般生产产板的大大小和干干膜大小小基本一一致或略略小于板板宽4-6mmm最佳，但但单边露露铜不能能超过55mm。6.5.8.2 关掉转动动开关，去去掉剩的的旧干膜膜（不允允许超过过三英尺尺即911.5ccm）。6.5.8.3 用刮胶擦擦或酒精精擦洗压压辘上的的干膜碎碎等杂物物。6.5.8.4 装上新干干膜，将将上、下下两卷干干膜对齐齐调试合合格后方方可生产产。6.5.8.5 换干膜后后的左视视图如下下：1， 4表示上上、下压压辘2， 5表示干干膜3， 6表示保保护膜6.6 安全、注注意事项项：6.6.1 为了防止止贴膜起起皱、起起泡，要要求气

18、压压保持充充足，不不低于440pssi，上上、下压压辘轴向向平行、贴贴紧无空空隙，均均速运转转。6.6.2 为了防止止板边干干膜碎介介膜不净净，引起起开短路路，通常常要求磨磨板前的的板子均均须磨斜斜边。6.6.3 不允许用用刀片、指指甲或硬硬的工具具清理压压辘，以以防划伤伤、损坏坏压辘，通通常压辘辘无划痕痕、凹坑坑则不需需要换。贴贴膜人员员要注意意手或衣衣袖不要要距压辘辘太近，以以防卷入入。6.6.4 控制好压压辘的温温度、气气压、速速度，随随时观察察是否在在控制范范围之内内，若有有异常现现象，按按急停开开关，及及时向领领班或课课长汇报报。6.6.5 贴膜放板板时，要要求板与与板之间间距离保保

19、持52mmm，防止止板子重重叠损坏坏压辘，距距离过大大则浪费费干膜，造造成不必必要的损损失。6.6.6 介膜时不不允许刀刀片伤及及板面，如如聚酯膜膜被拉起起或破裂裂，并经经常检查查压辘是是否清洁洁。6.6.7 贴膜后合合格的板板最好在在48小小时之内内完成曝曝光。6.6.8 为了追溯溯品质问问题，每每次将干干膜拆箱箱后要求求将商标标贴在干干膜卷桶桶内。6.7 维护与保保养6.7.1 日保养保养部位位处理、确确认要点点保养周期期机身表面面干净无污污每班压辘用刮胶轻轻轻擦拭拭或酒精精清理，无无残膜，无无灰尘，无无明显划划痕、凹凹坑每班6.7.2 每班一次次由当班班领班负负责用测测温仪检检测压辘辘实

20、际温温度，若若有异常常及时通通知保养养课人员员及时校校正或修修理。7. 曝光7.1 目的：使使干膜抗抗蚀剂接接受紫外外光照射射，光引引发剂分分解为自自由基，激激发单体体产生聚聚合反应应形成高高分子化化合物将将图形转转移在铜铜面上。7.2 设备：OORC曝曝光机（55kw，水水冷式）7.2.1 工具：吸吸尘辘、无无尘布（或或无毛白白纱手套套）、毛毛刷、十十倍镜、221级（或或25级级）光契契表。7.2.2 物料：55kw高高压水银银灯、单单双面透透明胶、遮遮光红胶胶带、菲菲林水、阻阻光塑胶胶纸。7.3 流程：对位曝曝光静置转显影影7.4 操作规程程：7.4.1 开机：依依次打开开下列开开关总电源

21、开开关机体电电源开关关视数开开关灯电流流开关7.4.2 先检查机机体温度度是否合合适（要要求1882），工工作时需需开自来来水供用用冷水，以以免机体体超温。7.4.3 对位：7.4.3.1 以孔为中中心对位位。7.4.3.2 将贴好膜膜静置115miin后冷冷却至室室温的板板放在桌桌面上，横横向摆放放，拿检检查好的的底片药药面向下下贴在板板上，板板的孔位位与底片片上图形形要完全全对正，贴贴紧底片片进行曝曝光。7.4.4 曝光操作作：7.4.4.1 首先用221级（或或25级级）光楔楔表作曝曝光尺，确确定干膜膜所需曝曝光指数数，一般般21级级曝光尺尺要求77-9格格有残胶胶为好，而而25级级曝光

22、尺尺要求99-155格有残残胶为好好。7.4.4.2 将对好位位的板子子放进曝曝光台上上拴紧边边框活动动拴。7.4.4.3 按下抽气气键，待待抽真空空稳定后后，再用用赶气刮刮刀协助助排气。7.4.4.4 通常待新新机压力力刻度表表指针达达0.008MPPA以上上（旧机机压力刻刻度表指指针达665cmm. HHg以上上）按动动曝光机机上的运运行键，将将曝光台台送进机机内曝光光。7.4.4.5 当设定的的曝光指指数达到到后，曝曝光机就就会发出出鸣叫表表示“工作已已完成”，此时时再按运运行键，曝曝好光的的曝光台台就会自自动出来来。7.4.4.6 打开曝光光机边框框活动拴拴，取出出已曝好好光的板板，静

23、置置15mmin后后方可显显影。7.4.5 关机：按按开机的的相反顺顺序进行行。7.4.6 曝光尺级级数的检检测方法法：取一块光光铜板的的边条，经经磨板、贴贴膜、再再静置115miin，将将曝光尺尺一面（药药膜面）贴贴在板面面上，另另一面盖盖一张透透明的底底片胶片片，设定定曝光指指数，按按照上述述操作方方法进行行曝光，然然后静置置15mmin后后显影，检检查试板板曝光尺尺级数是是否符合合要求，若若不合要要求则调调整曝光光指数重重新试板板至合乎乎要求才才能生产产（通常常增加55-7个个指数，曝曝光尺级级数增加加1级，减减少5-7个指指数，曝曝光尺级级数减少少一级）。7.4.6.1 要求每班班隔四

24、小小时作一一次曝光光尺，并并作记录录。7.5 安全注意意事项：7.5.1 要求作曝曝光尺的的透明底底片胶片片每周更更换一次次，曝光光尺使用用时间达达4-66个月需需要换一一次，曝曝光灯工工作时间间累积约约50000h（或或每次曝曝光时间间超过660秒）需需更换11次，并并作记录录。7.5.2 要求对位位前将已已贴膜板板先在无无尘布上上粘掉四四周的干干膜碎，然然后竖直直叠放于于专用架架上，不不许直接接放于地地上。7.5.3 每对位一一块板要要求先用用毛刷清清洁板面面，再用用吸尘辘辘清洁底底片，每每对位55拼板（ppaneel）要要求用无无尘布（或或无毛白白纱手套套）醮菲菲林水清清洁底片片，同时时

25、曝光员员工每曝曝光5拼拼板（ppaneel）也也要用吸吸尘辘，无无毛手套套醮菲林林水清洁洁曝光玻玻璃台面面及聚酯酯膜。7.5.4 拿板时要要轻拿轻轻放，防防止擦花花曝光台台、聚酯酯膜和板板面。7.5.5 为了防止止曝光后后的板子子上的保保护盖膜膜被拉起起导致显显影破孔孔，要求求撕底片片时小心心操作，在在底片上上打孔时时，要求求固定胶胶带的底底片开窗窗尺寸在在（5-8）（400-600）mmm之间。7.5.6 曝好光的的板子要要求在115miin之后后，244小时之之前显影影完毕。7.6 维护与保保养保养检查查部位处理及确确认要点点保养周期期每班每二周每两个月月机身白布清洁洁曝光台菲林水清清洁冷

26、却水滤滤清器、纯纯净水更换新滤滤清器、 纯净净水冷却水滤滤清器检查、疏疏通滤清清器8.显影影8.1 目的：使使曝光时时底片遮遮光部分分的干膜膜抗蚀剂剂在显影影中变成成有机酸酸盐，被被碳酸钠钠显影液液冲洗掉掉，而曝曝光后底底片透光光部门接接受到紫紫外光照照射，聚聚合形成成高分子子化合物物不溶于于碳酸钠钠显影液液，完成成图形转转移。8.2 设备：宇宇宙显影影机、自自动添加加药缸。8.2.1 物料：碳碳酸钠（工工业），硫硫酸（工工业），氢氢氧化钠钠（工业业），消消泡剂。8.3 流程：撕聚酯盖盖膜入板显影（11）显影（22）水洗加压水水洗（11）加压水水洗（22）加压水水洗（33）清水洗洗吸干强风吹吹

27、干热风吹吹干出板插架检查修修正8.4 工艺控制制8.4.1 工艺要求求：显影后的的板无破破孔、孔孔起皱、孔孔内、板板面均无无显影不不净的残残迹、水水渍、氧氧化、胶胶轮印等等。8.4.2 显影工艺艺参数：项 目目控制范围围最佳范围围输送速度度2.2-2.88m/mmin2.5-2.66m/mmin显影液温温度302228-330显影（11）与自自动添加加缸浓度度0.8%-1.2%1.0%-1.1%显影（22）浓度度0.4%-0.6%0.4%-0.5%显影（11）喷淋淋压力20-335pssi22-330pssi显影（22）喷淋淋压力15-225pssi15-220pssi清洗水喷喷淋压力力20-

28、225pssi20-225pssi热风烘干干温度50-66555-660显像点50-770%50-555%8.5 操作要求求8.5.1 配制药水水：放掉掉旧药水水清水冲冲洗清水循循环100-155minn放掉废废液清水冲冲洗注水达达要求液液位溶解NNa2CO3升温将显影（11）升温温到设定定温度，并并开动喷喷淋将显显影（11），显显影（22）中的的药液循循环200-255minn，再将将显影（11）、显显影（22）中的的药液取取样送化化验室分分析，经经分析各各参数在在控制范范围内方方可做板板。8.5.2 开机：在中央控控制面板板上按顺顺序进行行如下操操作。8.5.2.1 置电源总总掣于“ON”

29、位置，接接通总电电源，按按下启动动“ON”.8.5.2.2 设定电热热段所需需温度：显影温度度由控制制面板上上数字显显示调控控器控制制。8.5.2.3 通过输送送调频器器旋钮设设置输送送速度并并开动自自来水总总阀开关关。8.5.2.4 依“显影影1#显影22#显影（22）摇摆循环水水洗（11）循环水水洗（22）循环水水洗（33）强风吹吹干热风吹吹干”的顺序序逐一按按下各键键（侧向向左边表表示开启启）。8.5.2.5 按下“吹吹干电热热”和“显影电电段”使相应应的发热热管发热热。8.5.2.6 设置无板板延时自自动停机机时间为为5-110分钟钟内任一一值。8.5.2.7 按下“警警报掣”作异常常

30、情况提提示（红红灯亮并并发出鸣鸣叫声为为异常情情况信号号）。若若液位过过低报警警，则补补加液位位达标，若若液位超超温报警警则停机机。8.5.2.8 开启全部部抽风阀阀。8.5.3 显像点位位置测试试试板：取取经过贴贴膜但未未曝光的的光铜板板。(最最好200-222英寸)方法：揭揭去聚酯酯盖膜，设设定显影影速度和和压力，开开启显影影（1），全全部喷淋淋（关掉掉显影（22）喷淋淋），将将试板输输送至显显影段（11）全长长3/44位置时时，以板板前端为为准，关关闭全部部显影喷喷啉和摇摇摆，让让其正常常输送出出显影机机，然后后将试板板放在显显影段（11）对应应的3/4位置置，测量量板上开开始显影影干净

31、、均均匀的点点的位置置相对于于显影段段（1）全全长的百百分比，要要求上、下下两面显显像点在在50%-700%之间间即可，否否则调整整相应的的显影喷喷淋压力力及显影影速度，重重新测试试直到符符合要求求。8.5.4 关机：依依开机的的相反顺顺序进行行。8.5.5 换槽8.5.5.1 （1）与与（2）缸缸显影药药水正常常生产时时，200020mm2更换一一次显影影液，若若间断生生产仍未未达到规规定面积积时超过过48小小时需更更换药水水。8.5.5.2 溢流循环环水洗每每班更换换一次，且且清洗干干净槽壁壁、槽底底杂物。8.5.6 氯化铜测测试8.5.6.1 显影正常常的铜面面，经过过适当的的电镀前前处

32、理后后，会与与氯化铜铜溶液很很块地形形成一层层棕褐色色氧化层层，而铜铜面上有有残留的的干膜余余胶时，则则仍能保保持光亮亮的铜原原色，便便可判断断出显影影后的板板面是否否良好，经经做氧化化铜试验验的板需需返洗重重新做干干膜工艺艺。8.5.6.2 步骤显影后酸性除除油微蚀330秒稀酸5%CCuCll2浸300秒水洗吹干目视检检查。8.6 安全、注注意事项项：8.6.1 打开观察察窗或调调整风刀刀前，须须先切断断电源。8.6.2 配制Naa2CO3溶液时时需戴胶胶手套戴戴防护面面罩。8.6.3 交叉放板板，使整整个输送送过程相相关零件件磨损均均匀，且且放板时时板与板板间距大大于200mm，以以免叠板

33、板。8.6.4 抽风阀应应开启，防防止废气气外溢。8.6.5 显影室摇摇摆马达达一定要要在开启启显影液液泵后再再开启。8.6.6 接板时须须戴无毛毛白纱手手套，并并轻拿轻轻放，防防止擦花花、污染染显影后后的板面面。8.6.7 放板时须须完全撕撕掉显影影板两面面的聚酯酯盖膜，若若有因撕撕聚酯盖盖膜不净净而显影影不良的的板子原原则上需需翻洗，不不许返显显影。8.6.8 显影时药药缸中泡泡沫过多多时显影影机控制制柜这时时会报警警，拿专专用消泡泡剂（约约1000ml/次）消消除。8.6.8.1 消泡剂的的使用方方法：先用量杯杯量取440-550mLL的消泡泡剂，再再以其44-5倍倍的清水水稀释后后，添

34、加加在产生生泡沫的的附近。8.6.9 显影机连连续工作作1-22个小时时以上或或间断性性显影面面积达1100平平方米以以上打开开自动添添加开关关（流量量约1升/分分）8.6.10 显影后的的板子要要求存放放于恒温温恒湿的的环境下下，至电电镀蚀刻刻前存放放时间最最长不得得超过772小时时。8.6.11 工作时注注意开冷冷却水，防防止显影影药缸超超温，当当超温时时显影控控制柜会会报警。8.7 维护与保保养8.7.1 日保养维护保养养内容工艺要求求维护保养养方式保养周期期显影过滤滤网水洗过滤滤网全压过滤滤网无异物堵堵塞或粘粘附清水冲洗洗干净4次/班班吸水压辘辘/ 压辊无滑腻感感或残留留物浸泡/挤挤压

35、/ 清水水冲洗1次/班班机身清洁无污污物绒布粘酒酒精 擦洗1次/班班机体超温温警报液液位过低低警报UPVCC段低于于55 PPP段低低于655液位在在3100-3550mmm间重新设置置或暂时时切断加加热电源源补加液液位随时观察察各喷咀无堵塞，喷喷出的水水形为圆圆锥形或或扇形牙签疏通通/清洗洗或更换换1次/班班8.7.2 周保养：8.7.3 除按日保保养操作作外，还还需对药药水缸每每周周末末进行一一次大保保养。保养方法法：放掉旧药药水清水冲冲洗3%-5%的的NaOOH升温温至400，并将将吹干段段和烤干干段传送送轮放在在缸内，并并循环660miin放掉废废液清水冲冲洗1%-3%的的H2SO4循

36、环330miin放掉废废液清水冲冲洗0.55%Naa2CO3循环330miin放掉废废液配制0.8%-1.22%（0.44-0.6%）的的Na2CO3生产。8.7.3.1 将喷管、输输送行轮轮、压轮轮、吸水水辘等拆拆出先用用1%-3%的的H2SO4浸泡330分钟钟，再用用酒精、清清水擦洗洗/冲洗洗干净。8.7.3.2 检查所有有的喷咀咀，若有有堵塞，则则用牙签签疏通或或更换。8.7.3.3 将风刀拆拆出先用用吸尘器器吸尘再再用清水水冲洗干干净无堵堵塞。8.8 相关溶液液配制方方法8.8.1 显影液（11）的配配制：先先加4550L的的自来水水，然后后称取工工业碳酸酸钠粉88-9kkg于塑塑料桶

37、内内，加水水完全溶溶解后倒倒入显影影（1）缸缸中，补补加液位位至8000L，开开机循环环10-15分分钟。8.8.2 显影液（22）的配配制：先先加1000L自自来水至至缸内，然然后称取取工业碳碳酸钠粉粉0.88-1.2kgg于塑料料桶内，加加水完全全溶解后后倒入显显影（22）缸中中，补加加液位至至3000L开机机循环110-115分钟钟。8.8.3 保养溶液液的配制制：称取取工业氢氢氧化钠钠32kkg（显显影1）和和8kgg（显影影2），加加水溶解解后，倒倒入相应应药缸内内，加水水至3550mmm，开机机循环。8.8.4 加水至3300mmm，然然后量取取工业硫硫酸166L（显显影1）和和4

38、L（显显影2），缓缓慢注入入相应药药缸然后后拿一支支PVCC棒，边边注入HH2SO4边搅拌拌加水至至3500mm，然然后开机机循环。9.检查查、修正正9.1 目的：预预防控制制不良品品流入下下工序。9.2 附属工具具：三倍倍镜、百百倍镜、无无毛白纱纱手套、33#手术术刀、擦擦胶笔、补补油笔。9.2.1 物料：塞塞孔胶粒粒、黑油油。9.3 检查方法法：目视视或用三三倍镜全全检，从从左到右右，先看看孔后看看板面。9.4 步骤：9.4.1 戴上干净净手套、严严禁裸手手拿板。9.4.2 看板人员员使用工工具及卫卫生区必必须干净净整洁。9.4.3 检查孔内内有无残残膜、破破孔、崩崩孔等。9.4.4 检查

39、板面面有无开开路、短短路、崩崩线、露露铜、幼幼线、显显影不净净、菲林林碎等。9.4.5 不清之处处，可用用三倍镜镜或十倍倍镜来协协助检查查。9.5 常见问题题处理方方法9.5.1 短路：用用补油笔笔醮点黑黑油修补补。9.5.2 开路：用用刀片刮刮掉干膜膜至不开开路，并并特别注注意刮下下的干膜膜碎不能能粘附到到板面。9.5.3 菲林碎：用刀片片将它刮刮掉。9.5.4 露铜：用用黑油填填补好，若若在线路路旁，必必需补直直。9.5.5 崩孔：用用刀片刮刮至见铜铜为止（即即不崩孔孔）9.5.6 破孔：用用专用胶胶料塞住住或用黑黑油补，特特别注意意将破孔孔处的干干膜碎清清洁干净净。9.5.7 幼线：轻轻

40、微的可可用刀片片刮掉干干膜，严严重的要要翻洗。以上七点点若超出出工艺控控制中允允许通过过的规定定都要翻翻洗。9.6 翻洗板子子的方法法：9.6.1 用5%1%（最最佳5%）的NNaOHH药液浸浸泡2-5分钟钟，用清清水冲洗洗干净，再再在5%1%的的NaOOH溶液液中浸泡泡5分钟钟，最后后再清水水冲净。9.6.2 及时将退退膜后的的板子先先酸洗再再清水洗洗，并烘烘干。9.6.3 照正常干干膜生产产的运作作程序生生产。10. 故障与与排除故障原因排除措施施贴膜不牢牢1. 板面氧化化、被污污染；2. 贴膜温度度过低或或传送速速度太快快；3. 压力不够够或未开开气压；4. 贴膜压辘辘不平、有有凹坑。1

41、. 重新磨板板2. 调整贴膜膜温度和和速度在在范围内内；3. 调整压力力或打开开气压；4. 更换压辘辘。贴膜起皱皱、气泡泡1. 贴膜温度度过高或或速度过过快；2. 压辘压力力太小；3. 热压辘表表面不平平，有凹凹坑或胶胶膜粘污污；4. 板面不平平、有划划痕或凹凹坑；5. 贴膜起始始处不平平整。1. 调整温度度、速度度在范围围内；2. 适当增加加压辘间间的压力力；3. 清洗压辘辘，保持持其表面面平整、清清洁（不不要用坚坚硬、锋锋利的工工具去刮刮热压辘辘）；4. 挑选板材材并注意意在前面面工序减减少造成成凹坑的的可能；5. 拉紧干膜膜空压过过20ccm左右右再贴膜膜。干膜起翘翘1. 干膜性能能不良

42、、超超过有效效期使用用；2. 贴膜不牢牢；3. 曝光过度度、干膜膜发脆；4. 曝光不足足或显影影过度；5. 电镀前处处理温度度过高。1. 加强使用用前的干干膜检查查，开箱箱后需将将干膜有有效期贴贴在干膜膜架内；2. 按贴膜不不牢的措措施；3. 调整曝光光能量在在范围内内；4. 调整曝光光和显影影参数；5. 调整电镀镀前处理理温度在在范围内内。6. 镀金液电电流太大大。余胶、 线变变细1. 干膜质量量差或储储存过期期；2. 干膜暴露露在白光光下造成成部分聚聚合；3. 曝光能量量太大；4. 底片光密密度不够够或底片片有拆痕痕；5. 抽真空度度不够，底底片与板板接触不不良有虚虚光；6. 显影液温温度太低低、显影影速度太太快，喷喷射压力力不足或或部分喷喷咀堵塞塞