揭阳刻蚀设备项目建议书【模板参考】.docx

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1、泓域咨询/揭阳刻蚀设备项目建议书揭阳刻蚀设备项目建议书xx有限责任公司报告说明光刻技术中许多先进制程涉及多重图形技术。即使是EUV，波长为13.5nm，要实现7nm的精度，仍需要依靠多重图形技术，即多次刻蚀。因此制程升级，精度越高，需要的刻蚀复杂度、步骤数量也在提升。所以刻蚀设备和化学薄膜设备成为更关键的设备。根据谨慎财务估算，项目总投资23055.89万元，其中：建设投资18799.05万元，占项目总投资的81.54%；建设期利息272.65万元，占项目总投资的1.18%；流动资金3984.19万元，占项目总投资的17.28%。项目正常运营每年营业收入42200.00万元，综合总成本费用33

2、156.34万元，净利润6616.45万元，财务内部收益率23.15%，财务净现值10063.39万元，全部投资回收期5.33年。本期项目具有较强的财务盈利能力，其财务净现值良好，投资回收期合理。通过分析，该项目经济效益和社会效益良好。从发展来看公司将面向市场调整产品结构，改变工艺条件以高附加值的产品代替目前产品的产业结构。本期项目是基于公开的产业信息、市场分析、技术方案等信息，并依托行业分析模型而进行的模板化设计，其数据参数符合行业基本情况。本报告仅作为投资参考或作为学习参考模板用途。目录第一章 项目建设背景及必要性分析8一、 全球市场受海外厂商主导，前五大厂商市占率较高8二、 海外设备厂商

3、在手订单饱满，供应链限制延续8三、 完善全面开放新格局，积极融入国内国际双循环9四、 坚持创新驱动，激活高质量发展新动力11第二章 总论14一、 项目名称及建设性质14二、 项目承办单位14三、 项目定位及建设理由15四、 报告编制说明17五、 项目建设选址20六、 项目生产规模20七、 建筑物建设规模20八、 环境影响20九、 项目总投资及资金构成20十、 资金筹措方案21十一、 项目预期经济效益规划目标21十二、 项目建设进度规划22主要经济指标一览表22第三章 市场预测24一、 刻蚀设备：等离子刻蚀复杂程度高，且步骤逐渐增加24二、 国内需求爆发，国产替代空间快速打开25第四章 项目选址

4、28一、 项目选址原则28二、 建设区基本情况28三、 项目选址综合评价35第五章 产品规划方案36一、 建设规模及主要建设内容36二、 产品规划方案及生产纲领36产品规划方案一览表36第六章 运营管理38一、 公司经营宗旨38二、 公司的目标、主要职责38三、 各部门职责及权限39四、 财务会计制度42第七章 法人治理结构50一、 股东权利及义务50二、 董事52三、 高级管理人员56四、 监事59第八章 SWOT分析说明61一、 优势分析（S）61二、 劣势分析（W）63三、 机会分析（O）63四、 威胁分析（T）65第九章 技术方案70一、 企业技术研发分析70二、 项目技术工艺分析72

5、三、 质量管理73四、 设备选型方案74主要设备购置一览表75第十章 建设进度分析76一、 项目进度安排76项目实施进度计划一览表76二、 项目实施保障措施77第十一章 项目投资计划78一、 投资估算的依据和说明78二、 建设投资估算79建设投资估算表81三、 建设期利息81建设期利息估算表81四、 流动资金83流动资金估算表83五、 总投资84总投资及构成一览表84六、 资金筹措与投资计划85项目投资计划与资金筹措一览表86第十二章 项目经济效益87一、 基本假设及基础参数选取87二、 经济评价财务测算87营业收入、税金及附加和增值税估算表87综合总成本费用估算表89利润及利润分配表91三、

6、 项目盈利能力分析92项目投资现金流量表93四、 财务生存能力分析95五、 偿债能力分析95借款还本付息计划表96六、 经济评价结论97第十三章 项目风险分析98一、 项目风险分析98二、 项目风险对策100第十四章 项目综合评价103第十五章 附表105主要经济指标一览表105建设投资估算表106建设期利息估算表107固定资产投资估算表108流动资金估算表109总投资及构成一览表110项目投资计划与资金筹措一览表111营业收入、税金及附加和增值税估算表112综合总成本费用估算表112利润及利润分配表113项目投资现金流量表114借款还本付息计划表116第一章 项目建设背景及必要性分析一、 全

7、球市场受海外厂商主导，前五大厂商市占率较高全球设备五强占市场主导角色。全球设备竞争格局，主要前道工艺（刻蚀、沉积、涂胶、热处理、清洗等）整合成三强AMAT、LAM、TEL。另外，光刻机龙头ASML市占率80%+；过程控制龙头KLA市占率50%。根据SEMI，ASML、AMAT、LAMResearch、TEL、KLA五大厂商2021年收入合计788亿美元，占全球市场约77%。综合看下来，设备五强市场在各赛道合计市占率基本在50%以上。AMSL优势在光刻方面遥遥领先；AMAT优势在产品线广，沉积（CVD、PVD）市占率高；LAM优势在刻蚀领域；TEL优势在小赛道如涂胶、去胶、热处理；KLA优势在过

8、程控制。二、 海外设备厂商在手订单饱满，供应链限制延续在手订单依旧强劲，供应链限制延续，设备大厂积极扩产。1）供给高度紧张：ASML22Q1营收yoy-19%，下滑主要系部分订单确认延迟；毛利率同比-5pt，承压主要系材料、供应链、运输等成本上升；库存周转率降低。泛林毛利率同比-1.7pt，主要系成本压力（原材料、物流、通胀等）。2）订单依旧强劲：ASML新增在手订单约70亿欧元，环比持平。KLA：当前在手订单交期总体56个月，部分产品78月。爱德万客户订单提前量增加，由于系半导体等材料和零件短缺，交期延长。3）积极扩产：ASML预计2030年产能至少翻番，2025年年产能增加到约90套0.3

9、3孔径EUV和600套DUV。泰瑞达预计2023研发费用1900亿日元，yoy+20.1%；资本开支750亿日元，yoy+31.1%，规划金额皆较往年有大幅提升。2022下半年展望乐观，全年需求强劲将有订单递延至明年。泛林2022Q2毛利率指引中枢仍略降，持续成本和供应压力影响持续，二季度订单积压不断增加。随产能落地、产品竞争力效益显现及部分订单延迟多数企业对H2展望乐观。ASML预计2022H2表现强劲，毛利率约54%，高于全年52%指引，主要由EUV和DPV出货及安装基础管理业务利润率提升驱动。Q4部分EUV系统收入将递延到2023年。泛林预计2022WFE需求将超1000亿美元，未满足的

10、设备需求将递延至明年。泰瑞达积极建立库存及扩产，预计H2出货有更大增量及灵活性，预计Q2实现增长，仅高端产品出货受限。三、 完善全面开放新格局，积极融入国内国际双循环紧紧把握国家进一步扩大开放和“一带一路”建设深入推进的机遇，以参与更高层次国际合作为导向，推动开放“双循环”平台建设，加快构建对内对外全方位、宽领域、多层次的开放发展新格局，积极融入国内国际双循环。把实施扩大内需战略同深化供给侧结构性改革有机结合起来，全面促进消费，拓展投资空间，打造粤东开放新高地。（一）持续扩大有效投资主动适应经济发展模式从“两头在外”向“内外兼修”的深刻转变，持续优化投资结构，深入挖掘投资新增长点，深化投资体制

11、改革，激发社会投资活力。（二）促进消费扩容提质深入挖掘消费潜力。大力发展商贸流通业，加快商贸流通现代化进程，满足日益增长的多层次、多样化的消费需求。加快城乡商业网点建设，重点建设一批专业市场、城市综合体、商贸综合体、特色街区，积极促进商贸和文旅融合，扩大消费总量。支持特色商圈规划建设，鼓励引进特色商业品牌，积极发展“夜间经济”。强化激活市场、畅通人流、物流，创造条件推动各类商场、市场和旅游、餐饮、文化等生活服务业正常经营。（三）加快构建现代化开放通道加快建设便捷开放通道。加快与粤港澳大湾区互联互通网络建设，稳步推进形成北上南下东进西出对外通道，加快打造通道经济带。推进揭阳潮汕机场扩建，加密国际

12、国内航线，积极扩展对外空中通道。积极争取国家批准揭阳潮汕机场144小时过境免签。（四）发展高水平开放型经济推动开放平台建设。加大外贸综合服务企业培育力度，加快揭阳市跨境电商产业园建设，进一步引导外资、外贸企业向重点产业园区集聚，打造一批链条完整的产业园区。分类实施千亿、百亿级开发区培育行动计划，鼓励开发区与国内发达地区合作共建产业转移协作平台。推动外贸转型升级示范基地建设，建设出口产品质量安全示范区，建立国际认可的产品检测、认证体系、重要产品追溯体系和出口产品质量检测公共平台。培育外贸竞争新优势，推动外贸高质量发展。加快申报建设综合保税区、保税物流中心等海关特殊监管区域，推进保税物流业发展。（

13、五）深入拓展区域合作新空间加强汕潮揭都市圈合作建设。推动汕潮揭基础设施互联互通、公共服务共建共享、社会治理联防联治、合作机制协同创新、政策措施联合争取。促进交通共享,，加快推进区域交通项目建设,，加速区域交通一体化。促进产业协同，推进临港空铁经济合作区建设，建立“横向错位发展、纵向分工协作”的产业体系。强化生态共保,，加快“三江”水系连通工程建设,，促进水资源综合利用和流域城市功能的共同打造。四、 坚持创新驱动，激活高质量发展新动力坚持创新在现代化建设全局中的核心地位，深入实施创新驱动发展战略，着力构建区域协同创新体系，加强技术交流、合作和科技人才引进，大力推进新旧动能转换，以新产业、新业态、

14、新模式为引领，推动互联网、大数据、人工智能和实体经济深度融合，打造具有区域竞争力的成果转化基地，为实现经济高质量发展提供核心动力。（一）强化创新平台建设瞄准科技发展前沿和产业技术变革方向，加快推进高新技术产业园区、工业园区、现代农业产业园等创新载体建设，加大各类研发科研平台建设和扶持力度，打造支撑战略性新兴产业发展的创新平台，构建以市场为主导、企业为主体的产业技术创新平台体系。（二）激发企业创新活力充分发挥企业技术创新主体作用，促进各类创新要素向企业集聚，鼓励企业加大研发投入，引导支持企业实施数字化、工业互联网、智能化技术改造，大力培育创新型企业。（三）推进科技研发转化探索开展科技成果所有权改

15、革，着力畅通科技成果研发转化的机制和通道，加强研发攻关，加快推动科技成果向现实生产力转化。（四）加强人才队伍建设完善人才引进、培养、激励机制，充分发挥人才的基础性和保障性作用，以人才优先发展引领产业转型升级，增强区域核心竞争力。第二章 总论一、 项目名称及建设性质（一）项目名称揭阳刻蚀设备项目（二）项目建设性质本项目属于新建项目二、 项目承办单位（一）项目承办单位名称xx有限责任公司（二）项目联系人王xx（三）项目建设单位概况公司依据公司法等法律法规、规范性文件及公司章程的有关规定，制定并由股东大会审议通过了董事会议事规则，董事会议事规则对董事会的职权、召集、提案、出席、议事、表决、决议及会议

16、记录等进行了规范。 公司始终坚持“人本、诚信、创新、共赢”的经营理念，以“市场为导向、顾客为中心”的企业服务宗旨，竭诚为国内外客户提供优质产品和一流服务，欢迎各界人士光临指导和洽谈业务。公司在“政府引导、市场主导、社会参与”的总体原则基础上，坚持优化结构，提质增效。不断促进企业改变粗放型发展模式和管理方式，补齐生态环境保护不足和区域发展不协调的短板，走绿色、协调和可持续发展道路，不断优化供给结构，提高发展质量和效益。牢固树立并切实贯彻创新、协调、绿色、开放、共享的发展理念，以提质增效为中心，以提升创新能力为主线，降成本、补短板，推进供给侧结构性改革。公司将依法合规作为新形势下实现高质量发展的基

17、本保障，坚持合规是底线、合规高于经济利益的理念，确立了合规管理的战略定位，进一步明确了全面合规管理责任。公司不断强化重大决策、重大事项的合规论证审查，加强合规风险防控，确保依法管理、合规经营。严格贯彻落实国家法律法规和政府监管要求，重点领域合规管理不断强化，各部门分工负责、齐抓共管、协同联动的大合规管理格局逐步建立，广大员工合规意识普遍增强，合规文化氛围更加浓厚。三、 项目定位及建设理由未来两年全球晶圆厂设备开支持续增长。2020年疫情带来的居家及远程办公带来笔电等消费电子需求激增作为本轮周期的催化剂，2020H2以车用芯片为代表的供应链开始紧张，下游持续增长的需求与上游有限产能的矛盾演绎为2

18、021年全年行业供需失衡加剧。2022年以来，消费性电子、智能手机、PC等领域需求确有下滑，但更值得注意的是全球正步入第四轮硅含量提升周期，服务器、汽车、工业、物联网等需求大规模提升。在6月台积电召开的股东大会上，公司管理层表示未来10年是半导体行业非常好的机会，主要原因就是5G及高效能运算的普及，生活数字化转型，带来对车用（新车半导体含量可达传统车的10倍）、手机、服务器等终端内半导体含量的增加，推动半导体需求大幅成长。中芯国际在22Q1法说会表示，尽管消费电子，手机等存量市场进入去库存阶段，开始软着陆，但高端物联网、电动车、绿色能源、工业等增量市场尚未建立足够的库存，近年来硅含量提升与晶圆

19、厂有限的产能扩充矛盾，叠加产业链转移带来的本土化产能缺口，使得公司需要大幅扩产，推出新产品工艺平台，满足客户旺盛的增量需求。疫情、全球经济及半导体周期性虽然会带来短期内的不确定性，但是技术进步、硅含量提升是长期支撑半导体行业持续发展的最关键驱动力。展望二三五年，经过“十四五”固本强基、“十五五”攻坚突破、“十六五”决战决胜，揭阳高质量发展将取得历史性突破，经济实力、创新能力、综合竞争力大幅跃升，经济总量和城乡居民人均收入迈上新台阶，人均地区生产总值达到更高水平，与全国同步基本实现社会主义现代化。基本实现新型工业化、信息化、城镇化、农业现代化，建成现代化产业体系。基本实现治理体系和治理能力现代化

20、，人民平等参与、平等发展权利得到充分保障，法治揭阳、法治政府、法治社会基本建成。建成文化强市、健康揭阳和更高水平的平安揭阳，教育、人才、体育事业加快发展，社会文明程度达到新高度，文化软实力显著增强。广泛形成绿色生产生活方式，生态环境根本好转，美丽揭阳建设目标基本实现。形成对外开放新格局，参与国内外经济合作和竞争新优势明显增强。中等收入群体显著扩大，基本公共服务实现均等化，城乡区域发展差距和居民生活水平差距显著缩小，人民生活更加美好，人的全面发展、共同富裕取得更为明显的实质性进展。四、 报告编制说明（一）报告编制依据1、国民经济和社会发展第十三个五年计划纲要；2、投资项目可行性研究指南；3、相关

21、财务制度、会计制度；4、投资项目可行性研究指南；5、可行性研究开始前已经形成的工作成果及文件；6、根据项目需要进行调查和收集的设计基础资料；7、可行性研究与项目评价；8、建设项目经济评价方法与参数；9、项目建设单位提供的有关本项目的各种技术资料、项目方案及基础材料。（二）报告编制原则1、严格遵守国家和地方的有关政策、法规，认真执行国家、行业和地方的有关规范、标准规定；2、选择成熟、可靠、略带前瞻性的工艺技术路线，提高项目的竞争力和市场适应性；3、设备的布置根据现场实际情况，合理用地；4、严格执行“三同时”原则，积极推进“安全文明清洁”生产工艺，做到环境保护、劳动安全卫生、消防设施和工程建设同步

22、规划、同步实施、同步运行，注意可持续发展要求，具有可操作弹性；5、形成以人为本、美观的生产环境，体现企业文化和企业形象；6、满足项目业主对项目功能、盈利性等投资方面的要求；7、充分估计工程各类风险，采取规避措施，满足工程可靠性要求。（二） 报告主要内容投资必要性：主要根据市场调查及分析预测的结果，以及有关的产业政策等因素，论证项目投资建设的必要性；技术的可行性：主要从事项目实施的技术角度，合理设计技术方案，并进行比选和评价；财务可行性：主要从项目及投资者的角度,设计合理财务方案,从企业理财的角度进行资本预算，评价项目的财务盈利能力，进行投资决策，并从融资主体的角度评价股东投资收益、现金流量计划

23、及债务清偿能力；组织可行性：制定合理的项目实施进度计划、设计合理组织机构、选择经验丰富的管理人员、建立良好的协作关系、制定合适的培训计划等，保证项目顺利执行；经济可行性：主要是从资源配置的角度衡量项目的价值，评价项目在实现区域经济发展目标、有效配置经济资源、增加供应、创造就业、改善环境、提高人民生活等方面的效益；风险因素及对策：主要是对项目的市场风险、技术风险、财务风险、组织风险、法律风险、经济及社会风险等因素进行评价，制定规避风险的对策，为项目全过程的风险管理提供依据。五、 项目建设选址本期项目选址位于xx园区，占地面积约59.00亩。项目拟定建设区域地理位置优越，交通便利，规划电力、给排水

24、、通讯等公用设施条件完备，非常适宜本期项目建设。六、 项目生产规模项目建成后，形成年产xxx套刻蚀设备的生产能力。七、 建筑物建设规模本期项目建筑面积75619.00，其中：生产工程55119.07，仓储工程8971.70，行政办公及生活服务设施6903.93，公共工程4624.30。八、 环境影响本项目所选生产工艺及规模符合国家产业政策，在严格采取环评报告规定的环境保护对策后，各污染源所排放污染物可以达标排放，对环境影响较小，仅从环保角度来看本项目建设是可行的。九、 项目总投资及资金构成（一）项目总投资构成分析本期项目总投资包括建设投资、建设期利息和流动资金。根据谨慎财务估算，项目总投资23

25、055.89万元，其中：建设投资18799.05万元，占项目总投资的81.54%；建设期利息272.65万元，占项目总投资的1.18%；流动资金3984.19万元，占项目总投资的17.28%。（二）建设投资构成本期项目建设投资18799.05万元，包括工程费用、工程建设其他费用和预备费，其中：工程费用15950.30万元，工程建设其他费用2515.69万元，预备费333.06万元。十、 资金筹措方案本期项目总投资23055.89万元，其中申请银行长期贷款11128.77万元，其余部分由企业自筹。十一、 项目预期经济效益规划目标（一）经济效益目标值（正常经营年份）1、营业收入（SP）：42200

26、.00万元。2、综合总成本费用（TC）：33156.34万元。3、净利润（NP）：6616.45万元。（二）经济效益评价目标1、全部投资回收期（Pt）：5.33年。2、财务内部收益率：23.15%。3、财务净现值：10063.39万元。十二、 项目建设进度规划本期项目按照国家基本建设程序的有关法规和实施指南要求进行建设，本期项目建设期限规划12个月。十四、项目综合评价本期项目技术上可行、经济上合理，投资方向正确，资本结构合理，技术方案设计优良。本期项目的投资建设和实施无论是经济效益、社会效益等方面都是积极可行的。主要经济指标一览表序号项目单位指标备注1占地面积39333.00约59.00亩1.

27、1总建筑面积75619.001.2基底面积25173.121.3投资强度万元/亩297.502总投资万元23055.892.1建设投资万元18799.052.1.1工程费用万元15950.302.1.2其他费用万元2515.692.1.3预备费万元333.062.2建设期利息万元272.652.3流动资金万元3984.193资金筹措万元23055.893.1自筹资金万元11927.123.2银行贷款万元11128.774营业收入万元42200.00正常运营年份5总成本费用万元33156.346利润总额万元8821.947净利润万元6616.458所得税万元2205.499增值税万元1847.6

28、910税金及附加万元221.7211纳税总额万元4274.9012工业增加值万元14600.7313盈亏平衡点万元15385.14产值14回收期年5.3315内部收益率23.15%所得税后16财务净现值万元10063.39所得税后第三章 市场预测一、 刻蚀设备：等离子刻蚀复杂程度高，且步骤逐渐增加刻蚀是用化学、物理、化学物理结合的方法有选择的去除（光刻胶）开口下方的材料。被刻蚀的材料包括硅、介质材料、金属材料、光刻胶。刻蚀是与光刻相联系的图形化处理工艺。刻蚀就是利用光刻胶等材料作为掩蔽层，通过物理、化学方法将下层材料中没有被上层遮蔽层材料遮蔽的地方去掉，从而在下层材料上获得与掩膜板图形对应的图

29、形。电容性等离子体刻蚀CCP：能量高、精度低，主要用于介质材料刻蚀（形成上层线路）诸如逻辑芯片的栅侧墙、硬掩膜刻蚀、中段的接触孔刻蚀、后端的镶嵌式和铝垫刻蚀等，以及3D闪存芯片工艺（氮化硅/氧化硅）的深槽、深孔和连线接触孔的刻蚀等。电感性等离子体刻蚀ICP：能量低、精度高，主要用于硅刻蚀和金属刻蚀（形成底层器件）硅浅槽隔离（STI）、锗（Ge）、多晶硅栅结构、金属栅结构、应变硅（Strained-Si）、金属导线、金属焊垫（Pad）、镶嵌式刻蚀金属硬掩模和多重成像技术中的多道刻蚀工艺。光刻技术中许多先进制程涉及多重图形技术。即使是EUV，波长为13.5nm，要实现7nm的精度，仍需要依靠多重图

30、形技术，即多次刻蚀。因此制程升级，精度越高，需要的刻蚀复杂度、步骤数量也在提升。所以刻蚀设备和化学薄膜设备成为更关键的设备。刻蚀设备市场超过130亿美元，是晶圆设备占比最高的市场。2011年以来，刻蚀在晶圆设备的占比从11%逐渐提升到20%以上，2017年起成为全球晶圆设备中占比最高的装备类别，重要性不断提升。刻蚀设备市场基本是干法刻蚀设备，2020年全球干法刻蚀设备市场约137亿美元，其中介质刻蚀（DielectricEtch）60亿美元，导体刻蚀（ConductorEtch）76亿美元。从导体刻蚀市场结构看，Lam一家独大，长期全球市占率超过50%；其次AMAT占据约30%市场份额。剩下的

31、厂商如日立高新、TEL、KLA、北方华创、SEMES、中微公司等公司合计，在导体刻蚀合计市占率不超过20%。近两年，国内设备龙头厂商北方华创、中微公司该产品线放量加速，逐步提高半导体设备刻蚀供应链份额。从介质刻蚀市场结构看，TEL一家独大，长期全球市占率超过50%；其次Lam占据接近40%的市场份额，两家厂商主导整个市场，寡占程度较强。全球介质刻蚀设备供应商还有SEMES、中微公司、AMAT、Ulvac、屹唐半导体等。中微公司开发了系列介质刻蚀装备，并承担多项重大科研项目，是国内领先的介质刻蚀设备厂商。二、 国内需求爆发，国产替代空间快速打开国内晶圆厂投资进入高峰期。根据集微网统计，20202

32、022年国内晶圆厂总投资金额分别约1500/1400/1200亿元，其中内资晶圆厂投资金额约1000/1200/1100亿元。20202022年国内晶圆厂投资额将是历史上最高的三年，且未来还有新增项目的可能。设备国产化率较低，海外龙头垄断性较高。我国半导体设备市场仍非常依赖进口，从市场格局来看，细分市场均有较高集中度，主要参与厂商一般不超过5家，top3份额往往高于90%，部分设备甚至出现一家独大的情况，目前国内厂商目标市场主要是国内晶圆厂需求，尤其是内资投建的需求。制程越先进，设备投资额占比越高。设备投资一般占比7080%，当制程到16/14nm时，设备投资占比达85%；7nm及以下占比将更

33、高。光刻、刻蚀、沉积、过程控制、热处理等均是重要投资环节。国内国产化逐渐起航，从0到1的过程基本完成。北方华创产品布局广泛，刻蚀机、PVD、CVD、氧化/扩散炉、退火炉、清洗机、ALD等设备新产品市场导入节奏加快，产品工艺覆盖率及客户渗透率进一步提高，在集成电路领域主流生产线实现批量销售，产品加速迭代；第三代半导体、新型显示、光伏设备产品线进一步拓宽，出货量实现较快增长。拓荆科技作为国内唯一一家产业化应用PECVD和SACVD设备的供应商，PECVD累计发货150台，广泛用于中芯国际、华虹集团、长江存储、合肥长鑫、厦门联芯、燕东微电子等国内主流晶圆厂，PEALD已实现销售；中微公司介质刻蚀机已

34、经打入5nm制程，新款用于高性能Mini-LED量产的MOCVD设备UniMax2022Q1订单已超180腔；芯源微前道涂胶显影设备在28nm及以上多项技术及高产能结构方面取得进展，并实现多种核心零部件的国产替代，公司前道物理清洗设备已经达到国际先进水平并成功实现国产替代，新签订单结构中前道产品占比大幅提升；华海清科CMP设备在逻辑芯片、3DNAND、DRAM制造等领域的工艺技术水平已分别突破至14nm、128层、1X/1Ynm，到2021年底，公司CMP设备累计出货超过140台，未发出产品的在手订单超70台。Mattson（屹唐半导体）在去胶设备市占率全球第二；盛美半导体单片清洗机在海力士、

35、长存、SMIC等产线量产。精测电子、上海睿励在测量领域突破国外垄断。设备国产化率较低，国产厂商成长空间巨大。我国半导体设备市场仍非常依赖进口，目前国内厂商目标市场主要是国内晶圆厂需求，尤其是内资投建的需求，潜在收入目标空间较大。第四章 项目选址一、 项目选址原则1、符合城乡建设总体规划，应符合当地工业项目占地使用规划的要求，并与大气污染防治、水资源和自然生态保护相一致。2、项目选址应避开自然保护区、风景名胜区、生活饮用水源地和其它特别需要保护的敏感性目标。3、节约土地资源，充分利用空闲地、非耕地或荒地，尽可能不占良田或少占耕地。4、项目选址选择应提供足够的场地以满足工艺及辅助生产设施的建设需要

36、。5、项目选址应具备良好的生产基础条件，水源、电力、运输等生产要素供应充裕，能源供应有可靠的保障。6、项目选址应靠近交通主干道，具备便利的交通条件，有利于原料和产成品的运输。通讯便捷，有利于及时反馈市场信息。7、地势平缓，便于排除雨水和生产、生活废水。8、应与居民区及环境污染敏感点有足够的防护距离。二、 建设区基本情况揭阳市位于广东省东南部，地处粤港澳大湾区与海西经济区的地理轴线中心。1991年设立为地级市，辖榕城、揭东2区，揭西、惠来2县，代管普宁市，并设揭阳产业园、空港经济区、大南海石化工业区、粤东新城等经济功能区，构建揭阳中心城区、普宁主城区、揭阳滨海新区（惠来）三个粤东城市群城市中心和

37、揭西生态发展示范区“三中心一示范区”区域协调发展布局。全市陆地面积5240平方公里，海域面积9300平方公里，现有常住人口705万人，海外侨胞、港澳台同胞和外出乡贤近600万人，是粤东地区面积最大、人口最多的地级市。揭阳是广东沿海经济带东翼主战场。揭阳滨海新区是广东省委省政府专门规划、专项政策支持打造的广东沿海经济带重点平台，已经落户中石油年产2000万吨炼油+260万吨芳烃+120万吨乙烯炼化一体化、国电投90万千瓦海上风电、中海油粤东LNG一体化、吉林石化年产60万吨ABS、昆仑能源LNG、GE海上风电机组总装基地、明阳新能源综合基地等一批重大项目，并依托省支持政策、联合招商局集团规划建设

38、粤东新城，初步形成粤东新城、大南海石化工业区、惠来临港产业园“一城两园”发展框架，有望建成粤东城市群新城市中心和临港万亿级新兴产业集群。揭阳是空铁港综合枢纽。揭阳潮汕国际机场是4E级干线机场，已开通69条定期航线，通航62个境内外城市，2018年旅客吞吐量近650万人次，列全国第44位，运量与内地省会城市和副省级城市机场处于同一行列。揭阳港是国家对外开放一类口岸，已建成各类港口泊位52个（其中10万吨级泊位2个），前詹通用码头、大南海公共码头等一批新建码头及配套疏港铁路加快推进；厦深高铁、梅汕客专、汕汕高铁在揭阳设立5个站点，并与机场无缝对接建设换乘中心。全市高速公路密度达6.1公里/百平方公

39、里，居粤东首位，实现“县县通高速”。揭阳是广东制造业重要基地。拥有五金不锈钢、纺织服装、制鞋、医药、玉器等优势传统产业，荣获“中国五金基地市”“中国纺织产业基地市”“中国塑料时尚鞋之都”“中国中药名城”“亚洲玉都”“中德中小企业合作区”“国家电子商务示范市”“中国快递示范市”等称号，初步建成揭东经济开发区、中德金属生态城等重点产业园区，国际服装城、商品城、中药城等大型专业市场，以及中国中小企业中心（德国）、省级榕江实验室等创新服务平台，正围绕绿色石化、海上风电等重大项目产业链延伸，加快打造粤东先进制造业高地。揭阳是宜业宜居宜游新兴城市。航空大都市建设全面启动，榕江新城、粤东新城加快规划建设，联

40、合广东工业大学筹备共建揭阳理工学院（本科），成功创建广东省文明城市，获提名创建国家文明城市。榕江、练江、枫江治理取得初步成效，三江水系连通、引韩供水等重大民生水利工程加快建设，城市环境质量持续改善。岭南最大孔庙揭阳学宫、全国“三黄”瀑布之一黄满寨瀑布群、全球三山国王信仰发源地揭西霖田祖庙等风景名胜喜迎天下客，神泉湾滨海高端旅游度假区、榕江游轮日夜游、渔湖内河十八湾等全域旅游项目抓紧规划打造。锚定二三五年基本实现社会主义现代化目标，着眼“十四五”时期作为全面建设社会主义现代化国家新征程的开局起步期，世界百年未有之大变局的深度演变期，综合研判未来发展趋势和条件，坚持目标导向和问题导向相结合，坚持守

41、正和创新相统一，制定今后五年经济社会发展主要目标。经济发展取得新成效。先进制造业、现代服务业、文化旅游业、现代农业协调发展的产业体系初步形成，战略性新兴产业加快发展，实现老城蝶变、新城崛起，供与需、内与外、城与乡以及全市各区域发展更趋平衡更加协调，发展质量和效益明显提升，增长潜力进一步提高，内需潜力进一步释放，经济结构进一步优化，创新能力进一步提升。“十四五”期间，全市GDP前两年年均增长6%、后三年年均增长10%，五年年均增长8%以上，到2025年全市地区生产总值达到3089亿元，人均地区生产总值达到56800元。“十四五”时期，世界百年未有之大变局加速演化和中国社会主义现代化建设新征程开局

42、相互交融，世界呈现更加复杂的关系变化，我国处于转变发展方式、优化经济结构、转换增长动力的攻关期。揭阳市发展的外部环境和内部条件发生深刻变化，既处于重要战略机遇期，也将面临更大的风险挑战。从国际来看，世界处于百年未有之大变局，外部发展环境更加复杂严峻。国际力量对比深刻调整，和平与发展仍然是时代主题，人类命运共同体理念深入人心，同时国际环境日趋复杂，世界进入竞争优势重塑、国际经贸规则重建、全球力量格局重构的叠加期。中国日益走进世界舞台中央，国际力量格局加速演变和我国综合实力快速跃升同频共振，发展环境不确定性和风险挑战明显加大成为突出特征之一。经济全球化遭遇逆流，世界进入动荡变革期，单边主义、保护主

43、义、霸权主义对世界和平与发展构成威胁，我国出口面临的替代和挤出压力加大。特别是当前新冠肺炎疫情在全球范围内快速蔓延，严重影响全球经济活动，并对全球金融系统造成重大冲击，世界经济陷入衰退的风险明显加大。新一代信息技术、生物技术、新能源技术、新材料技术、智能制造技术等新一轮科技革命的重大突破，将推动生产生活方式发生颠覆性变革，引发产业体系深刻变革，推动全球价值链、创新链、产业链、供应链发生重构，深刻改变国家间发展优势，各国围绕颠覆性技术抢占科技制高点的竞争空前激烈。从国内来看，我国进入中国特色社会主义新时代，经济社会发展呈现新阶段特征。我国已转向高质量发展阶段，制度优势显著，治理效能提升，经济长期

44、向好，物质基础雄厚，人力资源丰富，市场空间广阔，发展韧性强劲，社会大局稳定，继续发展具有多方面优势和条件。从发展阶段看，我国将由中等收入国家迈向高收入国家，随着居民收入稳步增长和中等收入群体的不断扩大，消费总量扩大增加和结构升级的空间广阔，蕴含着巨大的市场需求。从发展方式看，我国经济由高速增长转向高质量发展，正处于比较优势重塑、新旧动能转换爬坡过坎的关键时期。从经济增长动力来看，受新冠肺炎疫情的影响，外循环对经济的推动效应可能会减弱，“十四五”亟需凭借内循环助力，国内贸易的全产业链循环将从原来的国与国贸易转变为国内的经济内循环。从战略格局看，区域经济布局和政策导向出现新变化，中心城市和城市群已

45、成为承载发展要素的主要空间形式，经济发展优势区域将更多地集聚人口和要素资源。“一带一路”、京津冀、长江经济带、粤港澳大湾区、长三角、黄河流域等区域发展战略格局基本成型，国内各区域间要素资源竞争将更加激烈。从省内来看，广东省发展正处于跨越常规性、长期性关口的攻坚期，新发展阶段的总定位总目标对推动全省改革发展进程具有里程碑式的重大意义。我省经济总量大、产业配套齐、市场机制活、开放水平高，转型升级、领先发展的态势更加明显，“双区引领”不断增强，为构建新发展格局打开更广阔空间。2020年全省地区生产总值已突破10万亿元大关，已形成世界级制造业基地。进入“十四五”时期，我省发展处于竞争优势重塑期、新旧动

46、能加速转换期、工业化城镇化深化期、社会转型加速期、全面深化改革攻坚期、生态环境提升期，将推动我省在全面建设社会主义现代化国家新征程中走在全国前列、创造新的辉煌，为揭阳提供良好发展环境。从市内来看，揭阳正处于综合实力提升的关键期、新旧动能转换的突破期、生态环境好转的攻坚期、提升治理效能的深化期。中石油广东石化炼化一体化项目将于2022年6月底建成投产，石化中下游产业链将逐步形成，其他重点项目也将陆续助力揭阳经济发展，为我市在“十四五”期间实现前两年“强基础、后三年”快发展奠定基础。同时，揭阳经济社会发展中不平衡、不充分矛盾依然突出，一些潜在的风险还在累积，一些深层次矛盾正在凸显。人均GDP、人均财政支出、人均可支配收入分别只相当于全省的40.1%、34.7%和56.8%，亟需突破发展动力不足和质量不高“双重问题”；现代产业体系尚未建立，创新链、产业链、供应链存在明显薄弱环节，亟需增强创新动能促进动能转换；深化改革任务仍然艰巨，生产流通要素体系有待优化整合，制度机制亟待完善提升，营商环境亟待优化；城乡布局不尽合理，城乡区域发展仍然失衡；环境污染整治任务艰巨，生态文明建设亟需加强；就业、教育、卫生、文化等民生社会事业仍存在许多短板，主要民生指标仍低于全省平均水平，社会治理体系、应急管