曝光机操作说明书15222.docx

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1、曝光机操作规程修订日期修订单号修订内容摘摘要页次版次修订审核批准2011/03/30/系统文件新新制定4A/0/批准：审核：编制：曝光机操作作规程1 目的正确指导员员工操作作，提高高工作效效率，提提高产品品品质，规规范生产产管理2 范围生产部曝光光工序全全体员工工3职责生产部曝光光工序人人员负责责设备操操作4相关文件件4.1SYYQCC044曝光光工序工工艺规程程5曝光机操操作规程程5.1检查查冷却水水循环是是否正常常；5.2开启启电源；5.3按下下启动开开关（SStarrt）按按LCDD显示屏屏，选择择中文操操作系统统；5.4按下下主画面面上之“启动开开关”，启动动主系统统；52.5按按下“

2、灯源系系统”进行点点灯动作作；5.6将“曝光方方式”设定在在手动“框架前前进”设定在在自动，并并开启黄黄灯；5.7按曝曝光尺设设定和调调整曝光光能量；5.8清洁洁台面后后将待曝曝光板置置于玻璃璃与MYYLARR中 5.9按吸吸真空开开关，并并用手轻轻压MYYLARR关紧框框架；5.10按按框架前前进按钮钮，使框框架进入入曝光室室进行曝曝光；5.11当当上框架架进行曝曝光时，可可在下框框架放置置待曝光光板，重重复第11.81.110之步步骤，上上、下框框架交替替使用；5.12操操作完毕毕按主画画面之“关机开开关”选择“是”，关闭闭电源，关关闭冷却却水循环环。6相关记录录表格6.1设备备日常维维护记录录设备日常维维护记录录部门：工序： 序序号：设备名称型号设备编号年 月 日日 项目 日期安全装置调节器油、水、气气通道过滤器传动部位滑动部位防锈处理卫生清理其它签名12345678910111213141516171819202122232425262728293031注：无此项项，请从从横格的的左下角角至右上上角画一一条斜线线“/”，已做做项目，请请打“”，未未有的保保养项目目请在其其它里面面填写。