河南光刻胶项目可行性研究报告参考模板.docx
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1、泓域咨询/河南光刻胶项目可行性研究报告目录第一章 市场预测7一、 DUV光刻胶化学放大型KrF&ArF光刻胶7二、 芯片短缺,上游原材料供应偏紧,国产材料导入进度加快8第二章 项目背景分析9一、 政策端“强化国家战略科技力量”,行业政策与“大基金”助力突破“卡脖子”领域9二、 聚4-羟基苯乙烯(PHOST)11三、 光刻工艺的影响因素12四、 推进新型城镇化和区域协调发展13五、 坚持创新驱动发展,打造中西部创新高地16第三章 项目投资主体概况19一、 公司基本信息19二、 公司简介19三、 公司竞争优势20四、 公司主要财务数据21公司合并资产负债表主要数据21公司合并利润表主要数据21五、
2、 核心人员介绍22六、 经营宗旨23七、 公司发展规划23第四章 项目总论30一、 项目名称及项目单位30二、 项目建设地点30三、 可行性研究范围30四、 编制依据和技术原则31五、 建设背景、规模33六、 项目建设进度34七、 环境影响34八、 建设投资估算35九、 项目主要技术经济指标35主要经济指标一览表36十、 主要结论及建议37第五章 产品方案与建设规划38一、 建设规模及主要建设内容38二、 产品规划方案及生产纲领38产品规划方案一览表38第六章 选址可行性分析40一、 项目选址原则40二、 建设区基本情况40三、 聚焦制造业高质量发展,加快建设现代产业体系45四、 项目选址综合
3、评价48第七章 建筑工程方案50一、 项目工程设计总体要求50二、 建设方案51三、 建筑工程建设指标52建筑工程投资一览表52第八章 SWOT分析54一、 优势分析(S)54二、 劣势分析(W)55三、 机会分析(O)56四、 威胁分析(T)56第九章 发展规划62一、 公司发展规划62二、 保障措施68第十章 人力资源分析70一、 人力资源配置70劳动定员一览表70二、 员工技能培训70第十一章 环保方案分析72一、 编制依据72二、 环境影响合理性分析73三、 建设期大气环境影响分析75四、 建设期水环境影响分析75五、 建设期固体废弃物环境影响分析76六、 建设期声环境影响分析76七、
4、 环境管理分析77八、 结论及建议78第十二章 进度规划方案80一、 项目进度安排80项目实施进度计划一览表80二、 项目实施保障措施81第十三章 投资估算82一、 编制说明82二、 建设投资82建筑工程投资一览表83主要设备购置一览表84建设投资估算表85三、 建设期利息86建设期利息估算表86固定资产投资估算表87四、 流动资金88流动资金估算表89五、 项目总投资90总投资及构成一览表90六、 资金筹措与投资计划91项目投资计划与资金筹措一览表91第十四章 经济效益及财务分析93一、 基本假设及基础参数选取93二、 经济评价财务测算93营业收入、税金及附加和增值税估算表93综合总成本费用
5、估算表95利润及利润分配表97三、 项目盈利能力分析98项目投资现金流量表99四、 财务生存能力分析101五、 偿债能力分析101借款还本付息计划表102六、 经济评价结论103第十五章 招标方案104一、 项目招标依据104二、 项目招标范围104三、 招标要求105四、 招标组织方式105五、 招标信息发布106第十六章 总结107第十七章 附表109建设投资估算表109建设期利息估算表109固定资产投资估算表110流动资金估算表111总投资及构成一览表112项目投资计划与资金筹措一览表113营业收入、税金及附加和增值税估算表114综合总成本费用估算表115固定资产折旧费估算表116无形资
6、产和其他资产摊销估算表117利润及利润分配表117项目投资现金流量表118本期项目是基于公开的产业信息、市场分析、技术方案等信息,并依托行业分析模型而进行的模板化设计,其数据参数符合行业基本情况。本报告仅作为投资参考或作为学习参考模板用途。第一章 市场预测一、 DUV光刻胶化学放大型KrF&ArF光刻胶在20世纪90年代初期,半导体光刻工艺的技术节点已发展至线宽0.25m,i线光刻技术及重氮萘醌-酚醛树脂体系光刻胶已不能满足如此高的分辨率要求,因此人们开始寻求适用于具有更短波长的深紫外(DeepUltra-Violet,DUV)的光刻胶体系,即DUV光刻胶。当时的KrF和ArF等深紫外光刻机的
7、曝光剂量都比较低,对于量子产率只有0.20.3的重氮萘醌-酚醛树脂体系光刻胶而言,只有极大程度地提高其灵敏度,最终曝光所产生的图像的对比度才能满足要求。此外,当光线从光刻胶顶部向光刻胶底部传播时会被逐渐吸收,如果底部光强不足,外加光刻胶灵敏度较低,则最终容易形成梯形形貌。梯形形貌会明显影响后续工艺的正常进行,从而限制光刻工艺分辨率的进一步提升。因此,提高光刻胶灵敏度的“化学放大”势在必行。1982年,美国IBM公司Ito和Wilson等人正式提出了化学放大型光刻胶(ChemicallyAmplifiedResist,CAR)的概念。化学放大型光刻胶在光引发下能够产生一种催化剂,促使光化学反应迅
8、速进行或者引发链式反应,从而快速改变基质性质进而产生图像。化学放大型光刻胶通常由聚合物骨架、光致产酸剂(Photo-AcidGenerator,PAG)、刻蚀阻挡基团、酸根、保护基团、溶剂等组成。二、 芯片短缺,上游原材料供应偏紧,国产材料导入进度加快自2020年开始,由于新冠疫情在全球蔓延,部分工厂曾暂时关闭相关产能,导致了半导体产业链供应端的短缺。而伴随着疫情常态化运行,全球工业、汽车、消费电子等需求开始复苏,同时叠加多种崭新芯片应用需求的兴起,全球市场对于半导体芯片的需求量大幅增加,全球半导体芯片开始出现供不应求的局面。近期,多家半导体企业纷纷上调产品价格,芯片涨价情况不断向上游延伸,中
9、游的封测和晶圆厂商以及上游的半导体材料厂商也都不同程度地上调了产品价格。此外,由于疫情、地震等不可抗力原因,国外某些厂商的光刻胶等关键半导体材料也出现了供应问题,加剧了半导体材料的短缺问题。这导致了国内的晶圆代工厂商开始积极寻找其他产品供应商,同时也明显加快了对上游原材料产品的验证速度。在这一背景下,以北京科华为代表的国产光刻胶产品也在近期相继实现了在某些制程工艺的成功导入。第二章 项目背景分析一、 政策端“强化国家战略科技力量”,行业政策与“大基金”助力突破“卡脖子”领域半导体行业是关乎中国科技独立自主的重要领域,中国政府持续出台相关政策推进行业发展及规划蓝图。自21世纪初的极大规模集成电路
10、制造装备及成套工艺项目(即“02专项”)到“十二五”规划、“十三五”规划及各类政策文件,政府部门对半导体行业的重视度、支持度,对相关企业的支持力度逐年增强,通过政策、科研专项基金、产业基金等多种形式为相关企业提供支持。在2020年11月发布的中华人民共和国国民经济和社会发展第十四个五年规划和2035年远景目标纲要中更是提出了“强化国家战略科技力量”的方针,重点强调要从“卡脖子”问题清单和国家重大需求中找出科学问题。集成电路的产业发展一直是我国的“卡脖子”问题之一,我国集成电路产业链中的众多材料、装备、工艺制造技术与全球最为领先的水平存在相当的差距,部分领域存在着明显的“受制于人”的问题,而突破
11、这些“卡脖子”的材料、装备、工艺制造技术等的壁垒必将成为践行“强化国家战略科技力量”这一方针的重点之一。国家大基金是为促进集成电路产业发展设立的,其全称是“国家集成电路产业投资基金”,目前已有两期,均主要投资于集成电路产业。大基金是国家对集成电路产业的政策支持的重要体现。国家大基金一期于2014年9月成立,一期注册资本987.2亿元,投资总规模达1387亿元,主要股东是财政部、国开金融、中国烟草、中国移动、紫光通信等,投资期、回收期、延展期各5年,投资计划为期15年。国家大基金二期于2019年10月22日注册成立,注册资本为2041.5亿元。大基金二期是一期的延续,相比于一期的规模扩大了107
12、%,可见国家扶持集成电路产业的决心。在股东方面,大基金二期同样由财政部、国开金融作为最大股东,两者认缴出资额分别为225亿元和200亿元。不过从大基金二期整体来看,其资金来源更加多样和市场化,共有27位股东,囊括央企、地方国企和民企。从大基金一期的投资细分方向来看,一期主要侧重于晶圆代工、设计和封测等主要的产业大环节的投资布局,而对半导体材料和设备则投资较少。同时大基金关注产业链各环节龙头企业,优先帮助产业链龙头企业成长,加速国内半导体领先技术的孕育催化。大基金二期的投资方向主要集中于设备和材料,大基金总裁丁文武在2020年半导体集成电路零部件峰会表示,大基金二期将从3个方面重点支持国产设备与
13、材料发展:(1)将对在刻蚀机、薄膜设备、测试设备和清洗设备等领域已布局的企业保持高强度的支持;(2)加快开展光刻机、化学机械研磨设备等核心设备以及关键零部件的投资布局;(3)督促制造企业提高国产装备验证及采购比例,为更多国产设备、材料提供工艺验证条件。二、 聚4-羟基苯乙烯(PHOST)聚4-羟基苯乙烯(PHOST)因其在248nm波长下的透明性、高灵敏度和抗刻蚀性等优势,成为了用于KrF光刻技术的光刻胶的主要成分。通过引入不同的酸致脱保护基团,在光致产酸剂的配合下就可以使得KrF光刻胶拥有一定的光响应性,从而在光照条件下发生聚合物的溶解度变化。常见的酸致脱保护基团包括4-叔丁基氧基羰基(t-
14、BOC)类、酯类和乙缩醛类三种。目前主流的KrF化学放大型正性光刻胶往往是具有多种取代基团的共聚物,通过调节聚合物整体的分子量和带有不同取代基团单体的配比来调节光刻胶的性能。根据KrF光刻胶的活化能,可以将KrF光刻胶分为高活化能胶(俗称高温胶,如ESCAP)和低活化能胶(低温胶,如乙缩醛类)。高温胶和低温胶因脱保护的温度差异,导致了比较明显的性能差异。此外,由于空气中存在有一定量的碱性分子,在KrF光刻胶曝光后,光刻胶会接触空气导致曝光后所产生的光酸会被空气中的碱性成分中和掉,最终会造成光刻胶灵敏度的大幅度变化,这一现象被称为曝光到显影的时间延迟问题(PED)。为了解决这一问题,工业界除了采
15、取在洁净室、光刻机等关键地方安装化学成分过滤器以外,还可以通过在光刻胶表面涂布一层保护层来隔绝空气中的碱性物质。三、 光刻工艺的影响因素在现代半导体光刻工艺中,光源从紫外宽谱(300-450nm)向特定波长光源发展,从436nm的汞灯g线可见光发展到365nm的汞灯i线中的紫外光,再发展到248nm的氟化氪(KrF)及193nm的氟化氩(ArF)准分子激光。在KrF和ArF准分子激光光源后,还曾有对于以氟气分子(F2)为激光媒介的准分子激光器作为光源的探究,该光源的波长为157nm,但由于浸没式193nm光刻技术研发的成功,157nm光刻技术很快就被抛弃。在通过浸没式光刻和多重曝光技术将193
16、nm光刻推向极致后,13.5nm极紫外(EUV)光刻技术的到来又进一步使得更高的分辨率成为可能。另外除可见光及紫外光以外,电子束、X射线、离子束等也都可作为曝光光源进行使用,目前利用X射线和离子束作为曝光光源的技术还处于研究阶段,未能得到商用。电子束光刻虽然能够得到极高的分辨率,但是该技术由于自身工艺的限制等原因无法高效地进行大规模量产,因而通常被用来制作光刻工艺中所需的掩膜版。在传统的干法光刻工艺中,光在光刻镜头与光刻胶之间的传播介质是空气,因此最大的数值孔径为1.0,也就是光线和光轴的最大张角为90,分辨率在NA=1.0时就达到了极限。而浸没式光刻(也称为湿法光刻)其光刻镜头和光刻胶之间被
17、填充了水(折射率大于空气),因此光能够以更大角度在光刻胶中成像,也就是等效于更加大的数值孔径,由此进一步提高了光刻工艺的分辨率。其实浸没式成像技术最早于19世纪就被提出来了,其目的是提高光学显微镜的分辨率。而这项技术真正大规模应用到现代光刻工艺中是在2007-2009年间,随着荷兰ASML公司推出数值孔径为1.35NA的XT1900i系列光刻机,193nm浸没式光刻才真正地接替193nm干法光刻。随后,再叠加一些辅助的光刻技术,比如分辨率增强技术(RET)、偏振照明、自定义照明、双/多重曝光(多重图案化技术)、自对准空间频率倍增、单方向布线设计等技术,一同推动193nm浸没式光刻技术一直延续到
18、了10nm、7nm的半导体工艺节点。四、 推进新型城镇化和区域协调发展深入落实主体功能区战略,优化全省国土空间布局,坚持主副引领、两圈带动、三区协同、多点支撑,推进以人为核心的新型城镇化,加快构建以中原城市群为主体、大中小城市和小城镇协调发展的现代城镇体系。强化主副引领、两圈带动。增强郑州国家中心城市龙头带动作用,统筹推进郑州国际综合交通枢纽和开放门户、国家先进制造业基地、国家历史文化名城建设,提升枢纽开放、科技创新、教育文化、金融服务功能,打造国家高质量发展新标杆。巩固提升洛阳副中心城市地位,以全方位开放为牵引,强化高端制造创新、国际人文交往、生态宜居等功能,推动城市组团式发展,提升综合承载
19、和辐射带动能力。推动郑州都市圈、洛阳都市圈高质量发展,以生态为基础、产业为重点、交通为关键,完善都市圈一体化发展体制机制,规划建设郑开同城化先行示范区,加快郑许、郑新、郑焦一体化步伐,推动洛济深度融合发展,深化洛阳与平顶山、三门峡、焦作合作联动。深化三区协同。提升南阳、安阳、商丘等区域中心城市规模能级,发挥重要节点城市比较优势,强化跨省域联动发展,高水平建设三大城镇协同区。支持南阳建设新兴区域经济中心,推进信阳践行生态文明的绿色发展示范区、驻马店国际农都建设,加强与长江经济带对接协作,加快建设南部高效生态经济示范区。支持商丘建设新兴工业城市和区域商贸物流中心,推进周口新兴临港经济城市、漯河国际
20、食品名城建设,对接长三角一体化发展,加快建设东部承接产业转移示范区。支持安阳建设区域先进制造业中心和区域交通物流中心,推进鹤壁高质量发展城市、濮阳新型化工基地建设,融入京津冀协同发展,加快建设北部跨区域协同发展示范区。深化晋陕豫黄河金三角区域经济协作,支持三门峡建设省际区域中心城市。推动建设郑(州)洛(阳)西(安)高质量发展合作带,协同推进汉江生态经济带、淮河生态经济带建设。推动县域经济高质量发展。深入开展县域治理“三起来”示范创建,打造一批产业先进、充满活力、城乡繁荣、生态优美、人民富裕的强县,形成一批特色突出、竞相发展的增长点。推动工业基础较好的县(市)突出转型提质、壮大优势产业集群,推动
21、农业优势明显的县(市)突出特色高效、稳固粮食生产能力、发展特色产业集群,推动生态功能突出的县(市)强化生态环境保护、发展资源环境可承载的适宜产业。建立健全考核评价和激励机制,推动转移支付、环境容量、建设土地、节能指标等资源要素向示范县(市)集中。推进以县城为重要载体的新型城镇化建设,支持县城积极融入周边中心城市发展,培育发展一批现代化中小城市。规范发展特色小镇和特色小城镇。打造宜居韧性智慧城市。统筹城市规划、建设、管理,提高城市治理水平,使城市成为人民群众高品质生活的空间。实施城市更新行动,深入推进百城建设提质工程和文明城市创建,推进城市生态修复,完善公共服务和便民设施,加强城镇老旧小区改造和
22、社区建设,延续城市文脉,塑造城市风貌。加强城市重要基础设施安全管理,推动城市防洪排涝设施建设,建设海绵城市。加快推进新型智慧城市建设,打造“城市大脑”中枢平台,提升城市治理精细化、智能化水平。坚持房子是用来住的、不是用来炒的定位,租购并举、因城施策,有效增加保障性住房供给,促进房地产市场平稳健康发展。深化户籍制度改革,完善财政转移支付和城镇新增建设用地规模与农业转移人口市民化挂钩政策,强化基本公共服务保障,加快农业转移人口市民化。五、 坚持创新驱动发展,打造中西部创新高地坚持创新在现代化建设全局中的核心地位,把科技创新作为全省发展的战略支撑,深入实施科教兴豫战略、人才强省战略、创新驱动发展战略
23、,完善创新体系,全面塑造发展新优势。提升科技创新能力。实施科技强省行动,围绕产业链部署创新链、围绕创新链布局产业链,打好关键核心技术攻坚战,提高创新链整体效能。加快建设黄河实验室、嵩山实验室、农业供给安全实验室,积极争取国家重大创新平台和重大科技基础设施在我省布局。实施战略性重大科技项目,在高端装备、新一代信息技术、先进材料、生物医药、新能源、生物育种等领域取得一批重大标志性成果。优化学科布局和研发布局,推进学科交叉融合,支持高校、科研院所开展重大基础研究。推动郑洛新国家自主创新示范区提质发展,高标准建设以中原科技城为龙头的郑开科创走廊,打造沿黄科技创新带。促进高新技术产业开发区等科技园区高质
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