湿敏传感器课件.ppt
《湿敏传感器课件.ppt》由会员分享,可在线阅读,更多相关《湿敏传感器课件.ppt(46页珍藏版)》请在淘文阁 - 分享文档赚钱的网站上搜索。
1、关于湿敏传感器第1页,此课件共46页哦露点(温度)在一定大气压下,将含有水蒸气的空气冷却,当温度在一定大气压下,将含有水蒸气的空气冷却,当温度下降到某一特定值时,空气中的水蒸气达到饱和状态,下降到某一特定值时,空气中的水蒸气达到饱和状态,开始从气态变成液态而凝结成露珠,这种现象称为开始从气态变成液态而凝结成露珠,这种现象称为结结露露,这一特定温度就称为,这一特定温度就称为露点温度,露点温度,相对湿度为相对湿度为100100RHRH。如果这一温度低于如果这一温度低于00时,水蒸气将时,水蒸气将结霜结霜,又称为,又称为霜点霜点温度温度。两者统称为露点。空气中水蒸气压越小,露。两者统称为露点。空气中
2、水蒸气压越小,露点越低,因而可用露点表示空气中的湿度。点越低,因而可用露点表示空气中的湿度。第2页,此课件共46页哦湿敏传感器的定义 湿敏传感器是能够感受外界湿度变化,并通过器件材料的物理或化学性质变化,将湿度转化成有用信号的器件。主要由两个部分组成:湿敏元件和转换电路,除此之外还包括一些辅助元件,如辅助电源、温度补偿、输出显示设备等 第3页,此课件共46页哦一个理想的湿敏传感器应具备的性能使用寿命长,稳定性好使用寿命长,稳定性好 灵敏度高,线性度好,温度系数小灵敏度高,线性度好,温度系数小 使用范围宽,测量精度高使用范围宽,测量精度高 响应迅速响应迅速 湿滞回差小,重现性好湿滞回差小,重现性
3、好 能在恶劣环境中使用,抗腐蚀、耐低温和高温等特性好能在恶劣环境中使用,抗腐蚀、耐低温和高温等特性好 器件的一致性和互换性好,易于批量生产,成本低器件的一致性和互换性好,易于批量生产,成本低 器件感湿特征量应在易测范围内器件感湿特征量应在易测范围内第4页,此课件共46页哦湿敏传感器的主要参数及特性 感湿特性 湿度量程 灵敏度 湿滞特性 响应时间 感湿温度系数 老化特性 第5页,此课件共46页哦感湿特性感湿特性 每种湿度传感器都有其感湿特每种湿度传感器都有其感湿特征量,如电阻、电容等,通常用电征量,如电阻、电容等,通常用电阻比较多。以电阻为例,在规定的阻比较多。以电阻为例,在规定的工作湿度范围内
4、,湿度传感器的电工作湿度范围内,湿度传感器的电阻值随环境湿度变化的关系特性曲阻值随环境湿度变化的关系特性曲线,简称线,简称阻湿特性。阻湿特性。有的湿度传感器的电阻值随有的湿度传感器的电阻值随湿度的增加而增大,这种为湿度的增加而增大,这种为正正特性湿敏电阻器,特性湿敏电阻器,如如Fe3O4湿敏湿敏电阻器。有的阻值随着湿度的增电阻器。有的阻值随着湿度的增加而减小,这种为加而减小,这种为负特性湿敏电负特性湿敏电阻器阻器,如,如TiO2SnO2陶瓷湿敏陶瓷湿敏电阻器。电阻器。第6页,此课件共46页哦湿度量程指湿度传感器技术规范中所规定的感湿范围。指湿度传感器技术规范中所规定的感湿范围。全湿度范围用相对
5、湿度全湿度范围用相对湿度(0100)RH表示,表示,它是湿度传感器工作性能的一项重要指标。它是湿度传感器工作性能的一项重要指标。第7页,此课件共46页哦感湿灵敏度感湿灵敏度 简简称称灵灵敏敏度度,又又叫叫湿湿度度系系数数。其其定定义义是是在在某某一一相相对对湿湿度度范范围围内内,相相对对湿湿度度改改变变1RH时时,湿湿度度传传感感器器电电参参量量的的变变化值或百分率。化值或百分率。各种不同的湿度传感器,对灵敏度的要求各不相同,对于低各种不同的湿度传感器,对灵敏度的要求各不相同,对于低湿型或高湿型的湿度传感器,它们的量程较窄,要求灵敏度要很湿型或高湿型的湿度传感器,它们的量程较窄,要求灵敏度要很
6、高。但对于全湿型湿度传感器,并非灵敏度越大越好,因为电阻高。但对于全湿型湿度传感器,并非灵敏度越大越好,因为电阻值的动态范围很宽,给配制二次仪表带来不利,所以灵敏度的大值的动态范围很宽,给配制二次仪表带来不利,所以灵敏度的大小要适当。小要适当。第8页,此课件共46页哦湿滞特性 第9页,此课件共46页哦感湿温度系数感湿温度系数 反反映映湿湿度度传传感感器器温温度度特特性性的的一一个个比比较较直直观观、实实用用的的物物理理量量。它它表表示示在在两两个个规规定定的的温温度度下下,湿湿度度传传感感器器的的电电阻阻值值(或或电电容容值值)达达到到相相等等时时,其其对对应应的的相相对对湿湿度度之之差差与与
7、两两个个规规定定的的温温度度变变化化量量之之比比,称称为为感感湿湿温温度度系系数数。或或环环境境温温度度每每变变化化1时时,所所引引起起的的湿湿度度传传感感器器的的湿湿度度误误差差。感湿温度系数感湿温度系数 T温度温度25与另一规定环境温度之差;与另一规定环境温度之差;H1温度温度25时湿度传感器某一电阻值时湿度传感器某一电阻值(或电容值或电容值)对应的相对湿度值;对应的相对湿度值;H2另另一一规规定定环环境境温温度度下下湿湿度度传传感感器器另另一一电电阻阻值值(或或电电容容值值)对对应应的的相相对对湿湿度。度。(%RH/)=第10页,此课件共46页哦响应时间响应时间 在在一一定定温温度度下下
8、,当当相相对对湿湿度度发发生生跃跃变变时时,湿湿度度传传感感器器的的电参量达到稳态变化量的规定比例所需要的时间。电参量达到稳态变化量的规定比例所需要的时间。一般是以相应的起始和终止这一相对湿度变化区间的一般是以相应的起始和终止这一相对湿度变化区间的63作为相对湿度变化所需要的时间,也称作为相对湿度变化所需要的时间,也称时间常数时间常数,它是反映,它是反映湿度传感器相对湿度发生变化时,其反应速度的快慢。湿度传感器相对湿度发生变化时,其反应速度的快慢。单位是单位是s。也有规定从起始到终止也有规定从起始到终止90的相对湿度变化作为响应时的相对湿度变化作为响应时间的。响应时间又分为间的。响应时间又分为
9、吸湿响应时间吸湿响应时间和和脱湿响应时间脱湿响应时间。大多。大多数湿度传感器都是脱湿响应时间大于吸湿响应时间,一般以数湿度传感器都是脱湿响应时间大于吸湿响应时间,一般以脱湿响应时间作为湿度传感器的响应时间。脱湿响应时间作为湿度传感器的响应时间。第11页,此课件共46页哦湿敏传感器的分类 界限电流式湿敏传感器湿敏传感器电阻式电容式其它电解质式陶瓷式高分子式陶瓷式高分子式光纤湿敏传感器二极管式、石英振子、SAW式、微波式、热导式等 湿敏传感器在精密仪器、半导体集成电路与元器件制造场所,气象预报、湿敏传感器在精密仪器、半导体集成电路与元器件制造场所,气象预报、医疗卫生、食品加工等行业都有广泛的应用。
10、医疗卫生、食品加工等行业都有广泛的应用。第12页,此课件共46页哦电阻式湿敏传感器电阻式湿敏传感器电阻式湿敏传感器是利用器件电阻值随湿度变化的基本原理来进行工作的,其感湿特征量为电阻值。根据使用感湿材料的不同,电阻式湿敏传感器可分为:电解质式 陶瓷式 高分子式第13页,此课件共46页哦7.3.1 电解质式(氯化锂)湿敏电阻电解质式(氯化锂)湿敏电阻电电解解质质是是以以离离子子形形式式导导电电的的物物质质,分分为为固固体体电电解解质质和和液液体体电电解解质质。若若物物质质溶溶于于水水中中,在在极极性性水水分分子子作作用用下下,能能全全部部或或部部分分地地离离解解为为自自由由移移动动的的正正、负负
11、离离子子,称称为为液液体体电电解解质质。电电解解质质溶溶液液的的电电导导率率与与溶溶液液的的浓浓度度有有关关,而而溶溶液液的浓度,在一定的温度下又是环境相对湿度的函数。的浓度,在一定的温度下又是环境相对湿度的函数。氯氯化化锂锂湿湿敏敏电电阻阻是是利利用用吸吸湿湿性性盐盐类类潮潮解解,离离子子导导电电率率发发生生变变化化而而制制成成的测湿元件。它由引线、基片、感湿层与电极组成,的测湿元件。它由引线、基片、感湿层与电极组成,如图如图7-33所示。所示。第14页,此课件共46页哦图7-33 湿敏电阻结构示意图 第15页,此课件共46页哦 氯氯化化锂锂通通常常与与聚聚乙乙烯烯醇醇组组成成混混合合体体,
12、在在氯氯化化锂锂(LiCl)溶溶液液中中,Li和和Cl均均以以正正负负离离子子的的形形式式存存在在,而而Li对对水水分分子子的的吸吸引引力力强强,离离子子水水合合程程度度高高,其其溶溶液液中中的的离离子子导导电电能能力力与与浓浓度度成成正正比比。当当溶溶液液置置于于一一定定温温湿湿场场中中,若若环环境境相相对对湿湿度度高高,溶溶液液将将吸吸收收水水分分,使使浓浓度度降降低低,因因此此,其其溶溶液液电电阻阻率率增增高高。反反之之,环环境境相相对对湿湿度度变变低低时时,则则溶溶液液浓浓度度升升高高,其其电电阻阻率率下下降降,从从而而实实现现对对湿湿度度的的测测量量。氯氯化化锂锂湿湿敏敏元元件件的的
13、电电阻阻湿湿度度特特性性曲曲线如图线如图7-34所示。所示。第16页,此课件共46页哦图7-34 氯化锂湿度电阻特性曲线 第17页,此课件共46页哦 由由图图可可知知,在在50%80%相相对对湿湿度度范范围围内内,电电阻阻与与湿湿度度的的变变化化成成线线性性关关系系。为为了了扩扩大大湿湿度度测测量量的的线线性性范范围围,可可以以将将多多个个氯氯化化锂锂(LiCl)含含量量不不同同的的器器件件组组合合使使用用,如如将将测测量量范范围围分分别别为为(10%20%)RH、(20%40%)RH、(40%70%)RH、(70%90%)RH和和(80%99%)RH五五种种器器件件配配合合使使用用,就就可可
14、自自动动地地转转换换完完成成整整个个湿度范围的湿度测量。湿度范围的湿度测量。第18页,此课件共46页哦 氯氯化化锂锂湿湿敏敏元元件件的的优优点点:滞滞后后小小,不不受受测测试试环环境境风风速速影影响响,检测精度高达检测精度高达%缺缺点点:耐耐热热性性差差,不不能能用用于于露露点点以以下下测测量量,器器件件性性能能重重复复性性不不理理想想,使用寿命短,使用寿命短第19页,此课件共46页哦半导体陶瓷湿敏电阻半导体陶瓷湿敏电阻 通通常常,用用两两种种以以上上的的金金属属氧氧化化物物半半导导体体材材料料混混合合烧烧结结而而成成为为多多孔孔陶陶瓷瓷。这这些些材材料料有有ZnO-LiO2-V2O5系系、S
15、i-Na2O-V2O5系系、TiO2-MgO-Cr2O3系系、Fe3O4等等,前前三三种种材材料料的的电电阻阻率率随随湿湿度度增增加加而而下下降降,故故称称为为负负特特性性湿湿敏敏半半导导体体陶陶瓷瓷,最最后后一一种种的的电电阻阻率率随随湿湿度度增增加加而而增增大大,故故称称为为正正特特性性湿敏半导体陶瓷湿敏半导体陶瓷(以下简称半导瓷以下简称半导瓷)。第20页,此课件共46页哦 1.负特性湿敏半导体陶瓷的导电机理负特性湿敏半导体陶瓷的导电机理 由由于于水水分分子子中中的的氢氢原原子子具具有有很很强强的的正正电电场场,当当水水在在半半导导瓷瓷表表面面吸吸附附时时,就有可能从半导瓷表面俘获电子,使
16、半导瓷表面带负电就有可能从半导瓷表面俘获电子,使半导瓷表面带负电如果该半导瓷是型半导体,则由于水分子吸附使表面电势下降,将吸引更多的空穴到达其表面,其表面层的电阻下降若该半导瓷为型,则由于水分子的附着使表面电势下降,如果表面电势下降较多,不仅使表面层的电子耗尽,同时吸引更多的空穴达到表面层,有可能使到达表面层的空穴浓度大于电子浓度,出现所谓表面反型层,这些空穴称为反型载流子。它们同样可以在表面迁移而表现出电导特性,使N型半导瓷材料的表面电阻下降不论是型还是型半导体陶瓷,其电阻率都随湿度的增加而下降不论是型还是型半导体陶瓷,其电阻率都随湿度的增加而下降第21页,此课件共46页哦图 7-35 几种
17、半导瓷湿敏负特性 第22页,此课件共46页哦 2.正特性湿敏半导瓷的导电机理正特性湿敏半导瓷的导电机理 正正特特性性湿湿敏敏半半导导瓷瓷的的导导电电机机理理的的解解释释可可以以认认为为这这类类材材料料的的结结构构、电电子子能能量量状状态态与与负负特特性性材材料料有有所所不不同同。当当水水分分子子附附着着半半导导瓷瓷的的表表面面使使电电势势变变负负时时,导导致致其其表表面面层层电电子子浓浓度度下下降降,但但这这还还不不足足以以使使表表面面层层的的空空穴穴浓浓度度增增加加到到出出现现反反型型程程度度,此此时时仍仍以以电电子子导导电电为为主主。于于是是,表表面面电电阻阻将将由由于于电电子子浓浓度度下
18、下降降而而加加大大,这这类类半半导导瓷瓷材材料料的的表表面面电电阻阻将将随随湿湿度度的的增增加加而而加加大大。通通常常湿湿敏敏半半导导瓷瓷材材料料都都是是多多孔孔的的,表表面面电电导导占占的的比比例例很很大大,故故表表面面层层电电阻阻的的升升高高,必必将将引引起起总总电电阻阻值值的的明明显升高。显升高。第23页,此课件共46页哦图 7-36 Fe3O4半导瓷的正湿敏特性 第24页,此课件共46页哦 3.典型半导瓷湿敏元件典型半导瓷湿敏元件 (1)MgCr2O4-TiO2湿湿敏敏元元件件 氧氧化化镁镁复复合合氧氧化化物物-二二氧氧化化钛钛湿湿敏敏材材料料通通常常制制成成多多孔孔陶陶瓷瓷型型“湿湿
- 配套讲稿:
如PPT文件的首页显示word图标,表示该PPT已包含配套word讲稿。双击word图标可打开word文档。
- 特殊限制:
部分文档作品中含有的国旗、国徽等图片,仅作为作品整体效果示例展示,禁止商用。设计者仅对作品中独创性部分享有著作权。
- 关 键 词:
- 传感器 课件
限制150内