九江刻蚀设备项目投资计划书（模板范本）.docx

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1、泓域咨询/九江刻蚀设备项目投资计划书九江刻蚀设备项目投资计划书xx集团有限公司目录第一章 项目概述7一、 项目名称及建设性质7二、 项目承办单位7三、 项目定位及建设理由8四、 报告编制说明10五、 项目建设选址12六、 项目生产规模13七、 建筑物建设规模13八、 环境影响13九、 项目总投资及资金构成13十、 资金筹措方案14十一、 项目预期经济效益规划目标14十二、 项目建设进度规划15主要经济指标一览表15第二章 项目建设背景及必要性分析18一、 国内需求爆发，国产替代空间快速打开18二、 刻蚀设备：等离子刻蚀复杂程度高，且步骤逐渐增加19三、 海外设备厂商在手订单饱满，供应链限制延续

2、21四、 激发市场主体活力22五、 项目实施的必要性23第三章 行业、市场分析25一、 全球设备市场创新高，受益于资本开支提升、制程节点进步25二、 全球市场受海外厂商主导，前五大厂商市占率较高28第四章 建设规模与产品方案30一、 建设规模及主要建设内容30二、 产品规划方案及生产纲领30产品规划方案一览表30第五章 选址分析32一、 项目选址原则32二、 建设区基本情况32三、 积极推动外贸出口33四、 大力推进以科技创新为核心的全面创新34五、 项目选址综合评价36第六章 建筑工程方案38一、 项目工程设计总体要求38二、 建设方案40三、 建筑工程建设指标41建筑工程投资一览表41第七

3、章 法人治理结构43一、 股东权利及义务43二、 董事50三、 高级管理人员56四、 监事58第八章 发展规划分析60一、 公司发展规划60二、 保障措施61第九章 进度计划方案64一、 项目进度安排64项目实施进度计划一览表64二、 项目实施保障措施65第十章 工艺技术及设备选型66一、 企业技术研发分析66二、 项目技术工艺分析68三、 质量管理70四、 设备选型方案71主要设备购置一览表71第十一章 劳动安全评价73一、 编制依据73二、 防范措施76三、 预期效果评价80第十二章 人力资源配置分析81一、 人力资源配置81劳动定员一览表81二、 员工技能培训81第十三章 投资计划83一

4、、 投资估算的编制说明83二、 建设投资估算83建设投资估算表85三、 建设期利息85建设期利息估算表86四、 流动资金87流动资金估算表87五、 项目总投资88总投资及构成一览表88六、 资金筹措与投资计划89项目投资计划与资金筹措一览表90第十四章 经济收益分析92一、 基本假设及基础参数选取92二、 经济评价财务测算92营业收入、税金及附加和增值税估算表92综合总成本费用估算表94利润及利润分配表96三、 项目盈利能力分析97项目投资现金流量表98四、 财务生存能力分析100五、 偿债能力分析100借款还本付息计划表101六、 经济评价结论102第十五章 风险评估分析103一、 项目风险

5、分析103二、 项目风险对策105第十六章 项目综合评价108第十七章 附表附件110主要经济指标一览表110建设投资估算表111建设期利息估算表112固定资产投资估算表113流动资金估算表114总投资及构成一览表115项目投资计划与资金筹措一览表116营业收入、税金及附加和增值税估算表117综合总成本费用估算表117利润及利润分配表118项目投资现金流量表119借款还本付息计划表121第一章 项目概述一、 项目名称及建设性质（一）项目名称九江刻蚀设备项目（二）项目建设性质本项目属于技术改造项目二、 项目承办单位（一）项目承办单位名称xx集团有限公司（二）项目联系人任xx（三）项目建设单位概况

6、公司不断推动企业品牌建设，实施品牌战略，增强品牌意识，提升品牌管理能力，实现从产品服务经营向品牌经营转变。公司积极申报注册国家及本区域著名商标等，加强品牌策划与设计，丰富品牌内涵，不断提高自主品牌产品和服务市场份额。推进区域品牌建设，提高区域内企业影响力。公司秉承“诚实、信用、谨慎、有效”的信托理念，将“诚信为本、合规经营”作为企业的核心理念，不断提升公司资产管理能力和风险控制能力。公司坚持诚信为本、铸就品牌，优质服务、赢得市场的经营理念，秉承以人为本，始终坚持 “服务为先、品质为本、创新为魄、共赢为道”的经营理念，遵循“以客户需求为中心，坚持高端精品战略，提高最高的服务价值”的服务理念，奉行

7、“唯才是用，唯德重用”的人才理念，致力于为客户量身定制出完美解决方案，满足高端市场高品质的需求。公司自成立以来，坚持“品牌化、规模化、专业化”的发展道路。以人为本，强调服务，一直秉承“追求客户最大满意度”的原则。多年来公司坚持不懈推进战略转型和管理变革，实现了企业持续、健康、快速发展。未来我司将继续以“客户第一，质量第一，信誉第一”为原则，在产品质量上精益求精，追求完美，对客户以诚相待，互动双赢。三、 项目定位及建设理由北美半导体设备厂商月销售额2021年以来稳站30亿+美金。通过复盘半导体行业景气周期历史，北美半导体设备厂商月销售额对于全球半导体行业景气度分析具有重要意义，北美半导体设备销售

8、额水平通常领先全球半导体销售额一个季度。2021年1月，北美半导体设备厂商月销售额首次突破了30亿美金关口，创历史新高，达到了30.4亿美金。此后月度销售额逐季创新高，至12月份销售额达到39.2亿美金，同比增长46%。与此同时全球半导体销售市场自2021年4月以来连续12个月同比增速超过20%，2022年3月，全球半导体销售额达到505.8亿美金，同比增长23.0%，展望2022全年，从各机构当前预测平均值来看，预计2022年全球半导体市场仍将保持10%以上同比增长。实现二三五年美好蓝图，“十四五”时期至关重要，要确保开好局、起好步，为与全省全国同步基本实现社会主义现代化奠定坚实基础。今后五

9、年的发展目标是：经济发展量质齐升。主要经济指标增幅在全省持续走前列、沿江同类城市居上游，到二二五年经济总量力争进入全国地级以上城市前60强。创新驱动成效明显，经济结构更加优化，以十大千亿产业为主支撑的现代产业体系不断完善，形成万亿临港产业带，区域竞争力不断增强。改革开放深入推进。深化重点领域和关键环节改革，着力破解制约经济社会发展的体制机制障碍，形成一批在全省全国有影响的改革品牌。不断扩大双向开放，主动融入以国内大循环为主体、国内国际双循环相互促进的新发展格局，以江海直达区域航运中心为核心的开放优势更加凸显，力争投资消费市场和进出口总额在全省领先。生态文明形成示范。长江经济带“共抓大保护”取得

10、新进展，生态环境质量持续改善，生态文明制度体系不断健全，绿色发展模式在全国形成示范。国土空间开发保护格局得到优化，生态安全屏障更加牢固。水体质量、空气优良率、单位GDP能源消耗降幅、单位GDP二氧化碳排放降幅等指标位居全省领先水平。城乡融合协调发展。以人为核心的新型城镇化取得重大突破，中心城区能级明显提升，辐射带动力明显增强。县城和小城镇人口集聚服务功能得到新加强，形成一批具有区域特色的县城和中心镇。乡村振兴战略全面推进，城乡人居环境得到更大提升，城乡融合发展体制机制更加完善，城乡区域协调性显著增强。四、 报告编制说明（一）报告编制依据1、一般工业项目可行性研究报告编制大纲;2、建设项目经济评

11、价方法与参数(第三版);3、建设项目用地预审管理办法;4、投资项目可行性研究指南;5、产业结构调整指导目录。（二）报告编制原则坚持以经济效益为中心，社会效益和不境效益为重点指导思想，以技术先进、经济可行为原则，立足本地、面向全国、着眼未来，实现企业高质量、可持续发展。1、优化规划方案，尽可能减少工程项目的投资额，以求得最好的经济效益。2、结合厂址和装置特点，总图布置力求做到布置紧凑，流程顺畅，操作方便，尽量减少用地。3、在工艺路线及公用工程的技术方案选择上，既要考虑先进性，又要确保技术成熟可靠，做到先进、可靠、合理、经济。4、结合当地有利条件，因地制宜，充分利用当地资源。5、根据市场预测和当地

12、情况制定产品方向，做到产品方案合理。6、依据环保法规，做到清洁生产，工程建设实现“三同时”，将环境污染降低到最低程度。7、严格执行国家和地方劳动安全、企业卫生、消防抗震等有关法规、标准和规范。做到清洁生产、安全生产、文明生产。（二） 报告主要内容投资必要性：主要根据市场调查及分析预测的结果，以及有关的产业政策等因素，论证项目投资建设的必要性；技术的可行性：主要从事项目实施的技术角度，合理设计技术方案，并进行比选和评价；财务可行性：主要从项目及投资者的角度,设计合理财务方案,从企业理财的角度进行资本预算，评价项目的财务盈利能力，进行投资决策，并从融资主体的角度评价股东投资收益、现金流量计划及债务

13、清偿能力；组织可行性：制定合理的项目实施进度计划、设计合理组织机构、选择经验丰富的管理人员、建立良好的协作关系、制定合适的培训计划等，保证项目顺利执行；经济可行性：主要是从资源配置的角度衡量项目的价值，评价项目在实现区域经济发展目标、有效配置经济资源、增加供应、创造就业、改善环境、提高人民生活等方面的效益；风险因素及对策：主要是对项目的市场风险、技术风险、财务风险、组织风险、法律风险、经济及社会风险等因素进行评价，制定规避风险的对策，为项目全过程的风险管理提供依据。五、 项目建设选址本期项目选址位于xx，占地面积约96.00亩。项目拟定建设区域地理位置优越，交通便利，规划电力、给排水、通讯等公

14、用设施条件完备，非常适宜本期项目建设。六、 项目生产规模项目建成后，形成年产xx套刻蚀设备的生产能力。七、 建筑物建设规模本期项目建筑面积119838.32，其中：生产工程86760.58，仓储工程12475.01，行政办公及生活服务设施15594.99，公共工程5007.74。八、 环境影响本项目将严格按照“三同时”即三废治理与生产装置同时设计、同时施工、同时建成使用的原则，贯彻执行国家和地方有关环境保护的法规和标准。积极采用先进而成熟的工艺设备，最大限度利用资源，尽可能将三废消除在工艺内部，项目单位及时对生产过程中的噪音、废水、固体废弃物等都要经过处理，避免造成环境污染，确保该项目的建设与

15、实施过程完全符合国家环境保护规范标准。九、 项目总投资及资金构成（一）项目总投资构成分析本期项目总投资包括建设投资、建设期利息和流动资金。根据谨慎财务估算，项目总投资48496.74万元，其中：建设投资36645.31万元，占项目总投资的75.56%；建设期利息955.51万元，占项目总投资的1.97%；流动资金10895.92万元，占项目总投资的22.47%。（二）建设投资构成本期项目建设投资36645.31万元，包括工程费用、工程建设其他费用和预备费，其中：工程费用31601.18万元，工程建设其他费用4183.51万元，预备费860.62万元。十、 资金筹措方案本期项目总投资48496.

16、74万元，其中申请银行长期贷款19500.26万元，其余部分由企业自筹。十一、 项目预期经济效益规划目标（一）经济效益目标值（正常经营年份）1、营业收入（SP）：95000.00万元。2、综合总成本费用（TC）：73446.31万元。3、净利润（NP）：15779.35万元。（二）经济效益评价目标1、全部投资回收期（Pt）：5.56年。2、财务内部收益率：25.50%。3、财务净现值：26498.43万元。十二、 项目建设进度规划本期项目按照国家基本建设程序的有关法规和实施指南要求进行建设，本期项目建设期限规划24个月。十四、项目综合评价本项目生产所需的原辅材料来源广泛，产品市场需求旺盛，潜力

17、巨大；本项目产品生产技术先进，产品质量、成本具有较强的竞争力，三废排放少，能够达到国家排放标准；本项目场地及周边环境经考察适合本项目建设；项目产品畅销，经济效益好，抗风险能力强，社会效益显著，符合国家的产业政策。主要经济指标一览表序号项目单位指标备注1占地面积64000.00约96.00亩1.1总建筑面积119838.321.2基底面积40320.001.3投资强度万元/亩369.902总投资万元48496.742.1建设投资万元36645.312.1.1工程费用万元31601.182.1.2其他费用万元4183.512.1.3预备费万元860.622.2建设期利息万元955.512.3流动资

18、金万元10895.923资金筹措万元48496.743.1自筹资金万元28996.483.2银行贷款万元19500.264营业收入万元95000.00正常运营年份5总成本费用万元73446.316利润总额万元21039.137净利润万元15779.358所得税万元5259.789增值税万元4288.0110税金及附加万元514.5611纳税总额万元10062.3512工业增加值万元34524.7813盈亏平衡点万元30688.27产值14回收期年5.5615内部收益率25.50%所得税后16财务净现值万元26498.43所得税后第二章 项目建设背景及必要性分析一、 国内需求爆发，国产替代空间快

19、速打开国内晶圆厂投资进入高峰期。根据集微网统计，20202022年国内晶圆厂总投资金额分别约1500/1400/1200亿元，其中内资晶圆厂投资金额约1000/1200/1100亿元。20202022年国内晶圆厂投资额将是历史上最高的三年，且未来还有新增项目的可能。设备国产化率较低，海外龙头垄断性较高。我国半导体设备市场仍非常依赖进口，从市场格局来看，细分市场均有较高集中度，主要参与厂商一般不超过5家，top3份额往往高于90%，部分设备甚至出现一家独大的情况，目前国内厂商目标市场主要是国内晶圆厂需求，尤其是内资投建的需求。制程越先进，设备投资额占比越高。设备投资一般占比7080%，当制程到1

20、6/14nm时，设备投资占比达85%；7nm及以下占比将更高。光刻、刻蚀、沉积、过程控制、热处理等均是重要投资环节。国内国产化逐渐起航，从0到1的过程基本完成。北方华创产品布局广泛，刻蚀机、PVD、CVD、氧化/扩散炉、退火炉、清洗机、ALD等设备新产品市场导入节奏加快，产品工艺覆盖率及客户渗透率进一步提高，在集成电路领域主流生产线实现批量销售，产品加速迭代；第三代半导体、新型显示、光伏设备产品线进一步拓宽，出货量实现较快增长。拓荆科技作为国内唯一一家产业化应用PECVD和SACVD设备的供应商，PECVD累计发货150台，广泛用于中芯国际、华虹集团、长江存储、合肥长鑫、厦门联芯、燕东微电子等

21、国内主流晶圆厂，PEALD已实现销售；中微公司介质刻蚀机已经打入5nm制程，新款用于高性能Mini-LED量产的MOCVD设备UniMax2022Q1订单已超180腔；芯源微前道涂胶显影设备在28nm及以上多项技术及高产能结构方面取得进展，并实现多种核心零部件的国产替代，公司前道物理清洗设备已经达到国际先进水平并成功实现国产替代，新签订单结构中前道产品占比大幅提升；华海清科CMP设备在逻辑芯片、3DNAND、DRAM制造等领域的工艺技术水平已分别突破至14nm、128层、1X/1Ynm，到2021年底，公司CMP设备累计出货超过140台，未发出产品的在手订单超70台。Mattson（屹唐半导体

22、）在去胶设备市占率全球第二；盛美半导体单片清洗机在海力士、长存、SMIC等产线量产。精测电子、上海睿励在测量领域突破国外垄断。设备国产化率较低，国产厂商成长空间巨大。我国半导体设备市场仍非常依赖进口，目前国内厂商目标市场主要是国内晶圆厂需求，尤其是内资投建的需求，潜在收入目标空间较大。二、 刻蚀设备：等离子刻蚀复杂程度高，且步骤逐渐增加刻蚀是用化学、物理、化学物理结合的方法有选择的去除（光刻胶）开口下方的材料。被刻蚀的材料包括硅、介质材料、金属材料、光刻胶。刻蚀是与光刻相联系的图形化处理工艺。刻蚀就是利用光刻胶等材料作为掩蔽层，通过物理、化学方法将下层材料中没有被上层遮蔽层材料遮蔽的地方去掉，

23、从而在下层材料上获得与掩膜板图形对应的图形。电容性等离子体刻蚀CCP：能量高、精度低，主要用于介质材料刻蚀（形成上层线路）诸如逻辑芯片的栅侧墙、硬掩膜刻蚀、中段的接触孔刻蚀、后端的镶嵌式和铝垫刻蚀等，以及3D闪存芯片工艺（氮化硅/氧化硅）的深槽、深孔和连线接触孔的刻蚀等。电感性等离子体刻蚀ICP：能量低、精度高，主要用于硅刻蚀和金属刻蚀（形成底层器件）硅浅槽隔离（STI）、锗（Ge）、多晶硅栅结构、金属栅结构、应变硅（Strained-Si）、金属导线、金属焊垫（Pad）、镶嵌式刻蚀金属硬掩模和多重成像技术中的多道刻蚀工艺。光刻技术中许多先进制程涉及多重图形技术。即使是EUV，波长为13.5n

24、m，要实现7nm的精度，仍需要依靠多重图形技术，即多次刻蚀。因此制程升级，精度越高，需要的刻蚀复杂度、步骤数量也在提升。所以刻蚀设备和化学薄膜设备成为更关键的设备。刻蚀设备市场超过130亿美元，是晶圆设备占比最高的市场。2011年以来，刻蚀在晶圆设备的占比从11%逐渐提升到20%以上，2017年起成为全球晶圆设备中占比最高的装备类别，重要性不断提升。刻蚀设备市场基本是干法刻蚀设备，2020年全球干法刻蚀设备市场约137亿美元，其中介质刻蚀（DielectricEtch）60亿美元，导体刻蚀（ConductorEtch）76亿美元。从导体刻蚀市场结构看，Lam一家独大，长期全球市占率超过50%；

25、其次AMAT占据约30%市场份额。剩下的厂商如日立高新、TEL、KLA、北方华创、SEMES、中微公司等公司合计，在导体刻蚀合计市占率不超过20%。近两年，国内设备龙头厂商北方华创、中微公司该产品线放量加速，逐步提高半导体设备刻蚀供应链份额。从介质刻蚀市场结构看，TEL一家独大，长期全球市占率超过50%；其次Lam占据接近40%的市场份额，两家厂商主导整个市场，寡占程度较强。全球介质刻蚀设备供应商还有SEMES、中微公司、AMAT、Ulvac、屹唐半导体等。中微公司开发了系列介质刻蚀装备，并承担多项重大科研项目，是国内领先的介质刻蚀设备厂商。三、 海外设备厂商在手订单饱满，供应链限制延续在手订

26、单依旧强劲，供应链限制延续，设备大厂积极扩产。1）供给高度紧张：ASML22Q1营收yoy-19%，下滑主要系部分订单确认延迟；毛利率同比-5pt，承压主要系材料、供应链、运输等成本上升；库存周转率降低。泛林毛利率同比-1.7pt，主要系成本压力（原材料、物流、通胀等）。2）订单依旧强劲：ASML新增在手订单约70亿欧元，环比持平。KLA：当前在手订单交期总体56个月，部分产品78月。爱德万客户订单提前量增加，由于系半导体等材料和零件短缺，交期延长。3）积极扩产：ASML预计2030年产能至少翻番，2025年年产能增加到约90套0.33孔径EUV和600套DUV。泰瑞达预计2023研发费用19

27、00亿日元，yoy+20.1%；资本开支750亿日元，yoy+31.1%，规划金额皆较往年有大幅提升。2022下半年展望乐观，全年需求强劲将有订单递延至明年。泛林2022Q2毛利率指引中枢仍略降，持续成本和供应压力影响持续，二季度订单积压不断增加。随产能落地、产品竞争力效益显现及部分订单延迟多数企业对H2展望乐观。ASML预计2022H2表现强劲，毛利率约54%，高于全年52%指引，主要由EUV和DPV出货及安装基础管理业务利润率提升驱动。Q4部分EUV系统收入将递延到2023年。泛林预计2022WFE需求将超1000亿美元，未满足的设备需求将递延至明年。泰瑞达积极建立库存及扩产，预计H2出货

28、有更大增量及灵活性，预计Q2实现增长，仅高端产品出货受限。四、 激发市场主体活力毫不动摇巩固和发展公有制经济，毫不动摇鼓励、支持、引导非公有制经济发展。大力推进政府平台公司收购、兼并、重组，加快上市步伐，发挥在关键领域、关键环节的撬动作用，放大国有资产效应。支持民营企业发展，精准推进降成本优环境专项行动，落实减税降费政策措施，建立健全民营企业救助纾困机制，降低民营企业经营成本。构建亲清政商关系，强化各级领导干部联系重点项目、重点企业制度，依法平等保护民营企业产权和企业家权益。五、 项目实施的必要性（一）现有产能已无法满足公司业务发展需求作为行业的领先企业，公司已建立良好的品牌形象和较高的市场知

29、名度，产品销售形势良好，产销率超过 100%。预计未来几年公司的销售规模仍将保持快速增长。随着业务发展，公司现有厂房、设备资源已不能满足不断增长的市场需求。公司通过优化生产流程、强化管理等手段，不断挖掘产能潜力，但仍难以从根本上缓解产能不足问题。通过本次项目的建设，公司将有效克服产能不足对公司发展的制约，为公司把握市场机遇奠定基础。（二）公司产品结构升级的需要随着制造业智能化、自动化产业升级，公司产品的性能也需要不断优化升级。公司只有以技术创新和市场开发为驱动，不断研发新产品，提升产品精密化程度，将产品质量水平提升到同类产品的领先水准，提高生产的灵活性和适应性，契合关键零部件国产化的需求，才能

30、在与国外企业的竞争中获得优势，保持公司在领域的国内领先地位。第三章 行业、市场分析一、 全球设备市场创新高，受益于资本开支提升、制程节点进步2021年全球半导体设备市场规模创1026亿美元新高，大陆首次占比全球第一。根据SEMI，2021年半导体设备销售额1026亿美元，同比激增44%，全年销售额创历史新高。大陆设备市场在2013年之前占全球比重为10%以内，20142017年提升至1020%，2018年之后保持在20%以上，份额呈逐年上行趋势。2020-2021年，国内晶圆厂投建、半导体行业加大投入，大陆半导体设备市场规模首次在市场全球排首位，2021达到296.2亿美元，同比增长58%，占

31、比28.9%。展望2022年，存储需求复苏，韩国预计将领跑全球，但大陆设备市场规模有望保持较高比重。北美半导体设备厂商月销售额2021年以来稳站30亿+美金。通过复盘半导体行业景气周期历史，北美半导体设备厂商月销售额对于全球半导体行业景气度分析具有重要意义，北美半导体设备销售额水平通常领先全球半导体销售额一个季度。2021年1月，北美半导体设备厂商月销售额首次突破了30亿美金关口，创历史新高，达到了30.4亿美金。此后月度销售额逐季创新高，至12月份销售额达到39.2亿美金，同比增长46%。与此同时全球半导体销售市场自2021年4月以来连续12个月同比增速超过20%，2022年3月，全球半导体

32、销售额达到505.8亿美金，同比增长23.0%，展望2022全年，从各机构当前预测平均值来看，预计2022年全球半导体市场仍将保持10%以上同比增长。半导体设备行业呈现明显的周期性，受下游厂商资本开支节奏变化较为明显。2017年，存储厂商的大幅资本开支推动半导体设备迎来巨大需求，且这一势头一直延续到2018年上半年。但随后产能过剩致使存储价格走低，导致DRAM和NAND厂商纷纷推迟设备订单。存储产能过剩一直持续到2019年上半年，同时上半年整体半导体行业景气度不佳，虽然下半年随着行业景气度恢复，以台积电为代表的晶圆厂陆续调高资本开支大幅扩产，2019年全年半导体设备需求同比仍回落约2%。202

33、0年全球各地先后受疫情影响，但存储行业资本支出修复、先进制程投资叠加数字化、5G带来的下游各领域强劲需求，全年设备市场同比增长19%。伴随半导体厂商新一轮资本开支开启，2021年全球设备市场继续大幅增长44%。当前海外设备龙头应用材料、泛林集团等均预计2022年全球设备市场规模将进一步增长。未来两年全球晶圆厂设备开支持续增长。2020年疫情带来的居家及远程办公带来笔电等消费电子需求激增作为本轮周期的催化剂，2020H2以车用芯片为代表的供应链开始紧张，下游持续增长的需求与上游有限产能的矛盾演绎为2021年全年行业供需失衡加剧。2022年以来，消费性电子、智能手机、PC等领域需求确有下滑，但更值

34、得注意的是全球正步入第四轮硅含量提升周期，服务器、汽车、工业、物联网等需求大规模提升。在6月台积电召开的股东大会上，公司管理层表示未来10年是半导体行业非常好的机会，主要原因就是5G及高效能运算的普及，生活数字化转型，带来对车用（新车半导体含量可达传统车的10倍）、手机、服务器等终端内半导体含量的增加，推动半导体需求大幅成长。中芯国际在22Q1法说会表示，尽管消费电子，手机等存量市场进入去库存阶段，开始软着陆，但高端物联网、电动车、绿色能源、工业等增量市场尚未建立足够的库存，近年来硅含量提升与晶圆厂有限的产能扩充矛盾，叠加产业链转移带来的本土化产能缺口，使得公司需要大幅扩产，推出新产品工艺平台

35、，满足客户旺盛的增量需求。疫情、全球经济及半导体周期性虽然会带来短期内的不确定性，但是技术进步、硅含量提升是长期支撑半导体行业持续发展的最关键驱动力。2020年开始全球领先的晶圆厂纷纷加速扩产提升资本开支，根据ICInsights，2021年全球半导体资本开支增速达到36%，预计2022年将继续增长24%，2020-2022年将会成为自1993-1995年以来的首次CapEx连续三年增速超过20%。半导体设备作为晶圆厂扩产的重要开支部分，根据SEMI，2021年全球晶圆厂前道设备支出增速达到42%，预计2022年将进一步增长18%。台积电、中芯国际纷纷增加资本开支，CapEx进入上行期。根据I

36、CInsights，全球代工厂资本开支约占半导体总体的35%，根据头部代工厂的资本开支规划来看，2022年代工领域资本开支将进一步提升。台积电从2020年170亿美金增长到2021年的300亿美金（用于N3/N5/N7的资本开支占80%），公司2021年4月1日公布未来三年资本开支1000亿美金，2022年资本开支将进一步提升至400-440亿美金，预计2023年资本开支仍有望超过400亿美金；联电2021年CapEx18亿美金，预计2022年翻倍达到36亿美金（其中90%将用于12英寸晶圆）；GlobalFoundries于2021年IPO后资本开支大幅提升用于扩产，公司2020年CapEx

37、4.5亿美金，2021年提升至16.6亿美金，预计2022年超过40亿美金；中芯国际2021年资本开支维持高位，达到45亿美金（大部分用于扩成熟制程，尤其是8寸数量扩4.5万片/月），预计2022年达到50亿美金。二、 全球市场受海外厂商主导，前五大厂商市占率较高全球设备五强占市场主导角色。全球设备竞争格局，主要前道工艺（刻蚀、沉积、涂胶、热处理、清洗等）整合成三强AMAT、LAM、TEL。另外，光刻机龙头ASML市占率80%+；过程控制龙头KLA市占率50%。根据SEMI，ASML、AMAT、LAMResearch、TEL、KLA五大厂商2021年收入合计788亿美元，占全球市场约77%。综

38、合看下来，设备五强市场在各赛道合计市占率基本在50%以上。AMSL优势在光刻方面遥遥领先；AMAT优势在产品线广，沉积（CVD、PVD）市占率高；LAM优势在刻蚀领域；TEL优势在小赛道如涂胶、去胶、热处理；KLA优势在过程控制。第四章 建设规模与产品方案一、 建设规模及主要建设内容（一）项目场地规模该项目总占地面积64000.00（折合约96.00亩），预计场区规划总建筑面积119838.32。（二）产能规模根据国内外市场需求和xx集团有限公司建设能力分析，建设规模确定达产年产xx套刻蚀设备，预计年营业收入95000.00万元。二、 产品规划方案及生产纲领本期项目产品主要从国家及地方产业发展

39、政策、市场需求状况、资源供应情况、企业资金筹措能力、生产工艺技术水平的先进程度、项目经济效益及投资风险性等方面综合考虑确定。具体品种将根据市场需求状况进行必要的调整，各年生产纲领是根据人员及装备生产能力水平，并参考市场需求预测情况确定，同时，把产量和销量视为一致，本报告将按照初步产品方案进行测算。产品规划方案一览表序号产品（服务）名称单位单价（元）年设计产量产值1刻蚀设备套xxx2刻蚀设备套xxx3刻蚀设备套xxx4.套5.套6.套合计xx95000.00电容性等离子体刻蚀CCP：能量高、精度低，主要用于介质材料刻蚀（形成上层线路）诸如逻辑芯片的栅侧墙、硬掩膜刻蚀、中段的接触孔刻蚀、后端的镶嵌

40、式和铝垫刻蚀等，以及3D闪存芯片工艺（氮化硅/氧化硅）的深槽、深孔和连线接触孔的刻蚀等。第五章 选址分析一、 项目选址原则项目选址应符合城乡规划和相关标准规范，有利于产业发展、城乡功能完善和城乡空间资源合理配置与利用，坚持节能、保护环境可持续利用发展，经济效益、社会效益、环境效益三效统一，土地利用最优化。二、 建设区基本情况九江，古称柴桑、江州、浔阳，江西省辖地级市，九江是江西省区域中心城市之一、昌九一体化双核城市、环鄱阳湖城市群副中心城市、长江中游城市群成员城市、长江经济带支点城市、赣鄂皖湘区域性现代化中心城市。根据第七次人口普查数据，截至2020年11月1日零时，九江市常住人口为460.0

41、276万人。九江是一座有着2200多年历史的江南名城，地处长江、京九铁路两大经济开发带交叉点，是长江中游区域中心港口城市，是中国首批5个沿江对外开放城市之一，也是东部沿海开发向中西部推进的过渡地带，号称“三江之口，七省通衢”与“天下眉目之地”，有“江西北大门”之称。九江全境东西长270公里，南北宽140公里，总面积19084.61平方公里，占江西省总面积的11.3。全市辖浔阳区、濂溪区、柴桑区、武宁县、修水县、永修县、德安县、都昌县、湖口县、彭泽县、瑞昌市，庐山市、共青城市、九江经济技术开发区、庐山风景名胜区管理局、庐山西海风景名胜区和八里湖新区。九江被定位为中国百强城市、国家区域中心城市、国

42、家型大城市、全国性综合交通枢纽、鄱阳湖生态科技城、国家先进制造业基地、长江航运枢纽国际化门户、江西区域合作创新示范区，九江都市区是江西省重点培育和发展的三大都市区之一。九江是中国首批5个沿江对外开放城市之一，也是江西唯一的国际贸易口岸城市，九江港为长江第四大港口，国家一类口岸。展望二三五年，九江将与全省全国同步基本实现社会主义现代化。到那时，全市经济总量和城乡居民人均收入将迈上新的大台阶；基本实现新型工业化、信息化、城镇化、农业现代化，加快建设科技强市、工业强市、农业强市、旅游强市，建成具有九江特色的现代化经济体系。市域治理体系和治理能力现代化基本实现，法治九江基本建成。内外双向开放取得新突破

43、，参与国内外经济合作和竞争增添新优势。三、 积极推动外贸出口推动电子电器、机电、纺织服装等传统出口企业增强竞争力，巩固拓展国际市场；支持星火有机硅、铅锌冶炼等优势出口企业提高市场占有率，扩大国际市场规模；扶持医疗物资等新兴出口企业创立自主品牌，开拓国际市场。鼓励有条件的县（市、区）申报国家级、省级外贸出口转型升级基地。推动企业开展境外商标注册、国际标准认证，不断提升品牌国际认可度。支持企业设立海外原材料保供基地、海外仓，布局营销网络，努力进入国际产业分工关键环节。四、 大力推进以科技创新为核心的全面创新坚持创新在现代化建设全局中的核心地位，把科技创新作为全市高质量跨越式发展的战略支撑，深入实施

44、科技强市战略、人才强市战略、创新驱动发展战略，强化多主体协同、多要素联动、多领域互动的系统性创新，加快迈入创新型城市行列。（一）坚持人才优先发展贯彻尊重劳动、尊重知识、尊重人才、尊重创造方针，全方位培养、引进、用好人才，不断激发人才创新活力。培育产业创新领军人才。大力实施“千亿产业领军人才”培育工程，着力推动“双百双千”人才工程、“浔才浔商回家”计划更多向产业发展、科技创新聚焦，引进和培育一批创新创业领军人才和团队，带动技术提升、管理提升、营销提升，引领重点产业向更高层次发展。充实青年科技人才后备力量。坚持大学生落户“零门槛”，完善创新创业激励措施，吸引集聚青年科技人才。强化市场导向、产业导向

45、、创新导向，优化大专院校学科和专业设置，深化产教融合，为全市产业发展不断输送创新型、应用型、技能型后备人才。引导鼓励各类人才脱颖而出。落实人才新政30条，健全科创成果权益分享机制，柔性引进一批“周末工程师”“候鸟型人才”。完善各类人才在住房、医疗、配偶就业、子女入学等方面配套制度，提升人才服务保障水平，更好激发各类人才创新创业创造积极性。（二）提升科技创新能力落实科技强国行动纲要，完善技术攻关体制机制，努力形成更多自主创新成果。加大科技创新投入。建立多元化科技投入机制，进一步提高研发投入占GDP比重，确保R&D高于全省平均水平。鼓励支持企业加大研发投入，建立完善以政府投入为引导、以企业投入为主

46、体、以科技金融和社会资本共同助力的多元化创新投入体系。培育壮大创新主体。加快构建以企业为主体、产学研用深度融合的科技创新体系。充分发挥现有国家级、省级重点创新平台作用，加大学会服务站、专家工作站、重点实验室、产业研究院等科创载体的引进和培育力度，吸引更多新型科技研发机构落户九江。强化关键技术攻坚。积极对接国家重大科技项目，推广应用“揭榜挂帅”、择优委托等方式，力争在石化行业智能制造新技术、有机硅新材料、高性能玻纤新材料、集成电路、高端精密制造等领域取得突破。推进科研院所、高校、企业科研力量优化配置和资源共享，支持企业、高校、科研院所等联合开展科技攻关。（三）营造良好创新生态进一步优化布局、完善机制，不断激发创新活力、创业潜力、创造动力。完善区域协同创新体系。持续推进“一南一北”“一东一西”“一县一园”等科创园区建设，大力推行“园区+平台公司+投资基金+产业+项目”运营模式，形成国家级园区创新