年产xx套半导体清洗设备项目评估报告_模板参考.docx

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1、泓域咨询/年产xx套半导体清洗设备项目评估报告年产xx套半导体清洗设备项目评估报告xxx有限责任公司目录第一章 项目背景分析8一、 海外设备厂商在手订单饱满，供应链限制延续8二、 国内需求爆发，国产替代空间快速打开9三、 夯实争创全省经济副中心的核心支撑11第二章 项目绪论17一、 项目名称及建设性质17二、 项目承办单位17三、 项目定位及建设理由18四、 报告编制说明20五、 项目建设选址22六、 项目生产规模22七、 建筑物建设规模22八、 环境影响23九、 项目总投资及资金构成23十、 资金筹措方案23十一、 项目预期经济效益规划目标24十二、 项目建设进度规划24主要经济指标一览表2

2、5第三章 行业发展分析27一、 全球市场受海外厂商主导，前五大厂商市占率较高27二、 清洗设备：去除晶圆片表面杂质，各制程前后均需使用27三、 全球设备市场创新高，受益于资本开支提升、制程节点进步28第四章 选址方案32一、 项目选址原则32二、 建设区基本情况32三、 深入实施创新驱动战略34四、 项目选址综合评价35第五章 建筑工程技术方案36一、 项目工程设计总体要求36二、 建设方案36三、 建筑工程建设指标39建筑工程投资一览表40第六章 发展规划分析42一、 公司发展规划42二、 保障措施46第七章 法人治理结构49一、 股东权利及义务49二、 董事54三、 高级管理人员58四、

3、监事60第八章 SWOT分析62一、 优势分析（S）62二、 劣势分析（W）63三、 机会分析（O）64四、 威胁分析（T）64第九章 工艺技术说明68一、 企业技术研发分析68二、 项目技术工艺分析71三、 质量管理72四、 设备选型方案73主要设备购置一览表74第十章 人力资源配置分析75一、 人力资源配置75劳动定员一览表75二、 员工技能培训75第十一章 原辅材料及成品分析77一、 项目建设期原辅材料供应情况77二、 项目运营期原辅材料供应及质量管理77第十二章 安全生产分析79一、 编制依据79二、 防范措施80三、 预期效果评价84第十三章 投资估算及资金筹措86一、 投资估算的编

4、制说明86二、 建设投资估算86建设投资估算表88三、 建设期利息88建设期利息估算表89四、 流动资金90流动资金估算表90五、 项目总投资91总投资及构成一览表91六、 资金筹措与投资计划92项目投资计划与资金筹措一览表93第十四章 经济收益分析95一、 基本假设及基础参数选取95二、 经济评价财务测算95营业收入、税金及附加和增值税估算表95综合总成本费用估算表97利润及利润分配表99三、 项目盈利能力分析100项目投资现金流量表101四、 财务生存能力分析103五、 偿债能力分析103借款还本付息计划表104六、 经济评价结论105第十五章 项目风险防范分析106一、 项目风险分析10

5、6二、 项目风险对策108第十六章 总结110第十七章 补充表格112建设投资估算表112建设期利息估算表112固定资产投资估算表113流动资金估算表114总投资及构成一览表115项目投资计划与资金筹措一览表116营业收入、税金及附加和增值税估算表117综合总成本费用估算表118固定资产折旧费估算表119无形资产和其他资产摊销估算表120利润及利润分配表120项目投资现金流量表121本报告基于可信的公开资料，参考行业研究模型，旨在对项目进行合理的逻辑分析研究。本报告仅作为投资参考或作为参考范文模板用途。第一章 项目背景分析一、 海外设备厂商在手订单饱满，供应链限制延续在手订单依旧强劲，供应链限

6、制延续，设备大厂积极扩产。1）供给高度紧张：ASML22Q1营收yoy-19%，下滑主要系部分订单确认延迟；毛利率同比-5pt，承压主要系材料、供应链、运输等成本上升；库存周转率降低。泛林毛利率同比-1.7pt，主要系成本压力（原材料、物流、通胀等）。2）订单依旧强劲：ASML新增在手订单约70亿欧元，环比持平。KLA：当前在手订单交期总体56个月，部分产品78月。爱德万客户订单提前量增加，由于系半导体等材料和零件短缺，交期延长。3）积极扩产：ASML预计2030年产能至少翻番，2025年年产能增加到约90套0.33孔径EUV和600套DUV。泰瑞达预计2023研发费用1900亿日元，yoy+

7、20.1%；资本开支750亿日元，yoy+31.1%，规划金额皆较往年有大幅提升。2022下半年展望乐观，全年需求强劲将有订单递延至明年。泛林2022Q2毛利率指引中枢仍略降，持续成本和供应压力影响持续，二季度订单积压不断增加。随产能落地、产品竞争力效益显现及部分订单延迟多数企业对H2展望乐观。ASML预计2022H2表现强劲，毛利率约54%，高于全年52%指引，主要由EUV和DPV出货及安装基础管理业务利润率提升驱动。Q4部分EUV系统收入将递延到2023年。泛林预计2022WFE需求将超1000亿美元，未满足的设备需求将递延至明年。泰瑞达积极建立库存及扩产，预计H2出货有更大增量及灵活性，

8、预计Q2实现增长，仅高端产品出货受限。二、 国内需求爆发，国产替代空间快速打开国内晶圆厂投资进入高峰期。根据集微网统计，20202022年国内晶圆厂总投资金额分别约1500/1400/1200亿元，其中内资晶圆厂投资金额约1000/1200/1100亿元。20202022年国内晶圆厂投资额将是历史上最高的三年，且未来还有新增项目的可能。设备国产化率较低，海外龙头垄断性较高。我国半导体设备市场仍非常依赖进口，从市场格局来看，细分市场均有较高集中度，主要参与厂商一般不超过5家，top3份额往往高于90%，部分设备甚至出现一家独大的情况，目前国内厂商目标市场主要是国内晶圆厂需求，尤其是内资投建的需求

9、。制程越先进，设备投资额占比越高。设备投资一般占比7080%，当制程到16/14nm时，设备投资占比达85%；7nm及以下占比将更高。光刻、刻蚀、沉积、过程控制、热处理等均是重要投资环节。国内国产化逐渐起航，从0到1的过程基本完成。北方华创产品布局广泛，刻蚀机、PVD、CVD、氧化/扩散炉、退火炉、清洗机、ALD等设备新产品市场导入节奏加快，产品工艺覆盖率及客户渗透率进一步提高，在集成电路领域主流生产线实现批量销售，产品加速迭代；第三代半导体、新型显示、光伏设备产品线进一步拓宽，出货量实现较快增长。拓荆科技作为国内唯一一家产业化应用PECVD和SACVD设备的供应商，PECVD累计发货150台

10、，广泛用于中芯国际、华虹集团、长江存储、合肥长鑫、厦门联芯、燕东微电子等国内主流晶圆厂，PEALD已实现销售；中微公司介质刻蚀机已经打入5nm制程，新款用于高性能Mini-LED量产的MOCVD设备UniMax2022Q1订单已超180腔；芯源微前道涂胶显影设备在28nm及以上多项技术及高产能结构方面取得进展，并实现多种核心零部件的国产替代，公司前道物理清洗设备已经达到国际先进水平并成功实现国产替代，新签订单结构中前道产品占比大幅提升；华海清科CMP设备在逻辑芯片、3DNAND、DRAM制造等领域的工艺技术水平已分别突破至14nm、128层、1X/1Ynm，到2021年底，公司CMP设备累计出

11、货超过140台，未发出产品的在手订单超70台。Mattson（屹唐半导体）在去胶设备市占率全球第二；盛美半导体单片清洗机在海力士、长存、SMIC等产线量产。精测电子、上海睿励在测量领域突破国外垄断。设备国产化率较低，国产厂商成长空间巨大。我国半导体设备市场仍非常依赖进口，目前国内厂商目标市场主要是国内晶圆厂需求，尤其是内资投建的需求，潜在收入目标空间较大。三、 夯实争创全省经济副中心的核心支撑坚持把发展经济着力点放在实体经济上，强化以质量效益为中心的发展导向，不断深化供给侧结构性改革，做实产业支撑，做强市场主体，提升经济活力，加快构建支撑高质量发展的现代产业体系和“高精尖”经济结构。（一）构建

12、现代产业体系坚持夯实产业基础、延伸产业链条、集聚产业要素，推动传统产业转型升级、新兴产业加速崛起、优势产业集聚集约、特色产业持续壮大，做大做强“6+3”重点产业集群，促进先进制造业、现代服务业和现代农业深度融合，加快构建具有达州特色的现代产业体系。重点发展现代工业，充分发挥先进制造业的支撑引领作用，将特色优势产业和战略性新兴产业作为主攻方向，综合开发利用天然气、锂钾等资源，做大做强苎麻纤维、微玻纤、玄武岩纤维等新材料特色产业，补齐产业链供应链短板，突出培育6大重点工业产业集群，积极推动方大达钢异地转型搬迁，推动智能制造与建筑工业化协同发展，加快建成成渝地区重要先进制造业中心、川渝陕结合部区域工

13、业强市和全国资源综合转化利用示范区。加快发展现代服务业，聚焦5大支柱型服务业和5大成长型服务业，加强国家级、省级服务业集聚区建设，积极培育新业态新模式新载体，大力实施服务业标准化、品牌化建设，推动生产性服务业向专业化和价值链高端延伸、生活性服务业向多样化和高品质升级，积极创建省级服务业强县，加快建成川渝陕结合部区域现代服务业中心城市。提升发展现代农业，以构建现代农业“9+3”产业体系为中心，把保障粮食、生猪安全和农产品供给作为首要任务，着力构建现代农业产业、生产、经营“三大体系”，促进农村一二三产业融合发展；加强农业品牌培育，打造绿色有机富硒农产品品牌，做大做强“巴山食荟”区域农产品公共品牌，

14、推动农业大市向农业强市跨越。强化平台和载体建设，聚焦“6+3”重点产业，打造一批主导产业集聚、技术创新活跃、配套服务专业的国省级特色产业园区和产业基地，提高园区承载能力。达州高新区成功创建国家高新区，加快创建国家经济开发区。（二）发展新经济新业态新模式突出新技术运用、新产业革命、新业态培育、新模式创造，着力培育数字经济、枢纽经济、总部经济等新兴增长极。强化数字经济赋能，加快新一代先进泛在信息基础设施建设和5G、人工智能、工业互联网、物联网等新型基础设施建设，实施数字产业化和产业数字化转型，打通数据流动新通道，释放数据资源新价值，培育数字应用新业态，加快构建“一城两园四中心多轴”的数字化发展格局

15、，高质量建设“秦巴智谷”，努力创建全省数字经济发展示范区。强化枢纽经济支撑，坚持以枢纽带产业，以产业建枢纽，发挥四川东出北上综合交通枢纽和商贸服务型国家物流枢纽承载城市聚流作用，规划建设高铁、空港、陆港枢纽经济区，结合枢纽特征配套发展相关产业，培育壮大特色枢纽产业集群，把枢纽优势转化为经济优势。强化总部经济引领，完善总部企业奖励政策，紧扣先进制造业、战略性新兴产业、现代服务业等重点产业，加速本土总部企业培育，加力达商总部回引，加强域外总部企业招商，建成一批支撑性集团总部、区域总部、功能总部和研发中心、设计中心、营销中心，提升总部经济能级。（三）做大做强市场主体坚持扩大总量和提升质量并重，保护和

16、激发市场主体活力，努力形成大企业“顶天立地”、小微企业“铺天盖地”、个体商户“花开遍地”的生动局面，切实夯实达州经济高质量发展根基。持续开展“双创”活动，支持组建产业联盟、行业协会，促进大中小微企业健康发展。持续推进“五十百千”企业培育工程，大力扶持重点骨干企业，积极招引“三类500强”“行业10强”企业，加快培育大企业大集团。持续推进高成长型中小企业和行业“小巨人”企业培育，打造一批“领航”企业、“制造业单项冠军”企业和“专精特新”企业。依托企业集团，全产业链开发达州优质资源，建成一批科技领先、品牌领衔、产值领航的行业龙头企业。引导支持企业加强质量管理和品牌建设，申建国省级质检中心、认证机构

17、，推动达州企业参与国家标准或行业标准制定，不断提高品牌经济在全市经济总量的占比。大力弘扬企业家精神，培育一支懂经营、善管理、能开拓的新型企业家队伍。（四）提升金融服务实体经济能力培育壮大各类金融机构，完善多元化金融市场体系和配套服务体系，加快建设秦巴金融中心。聚焦川东北智慧金融大脑和特色基金小镇，加快推进马踏洞金融城建设。深化金融领域开放合作，推动组建跨行政区投融资平台，支持本地商业银行到域外开展金融服务，争取政策性银行来达设立分支机构，支持做大做强担保公司，鼓励各类金融机构在达建设功能性总部中心，推动组建跨区域发展银行、政策性担保机构、产权交易分中心、大宗商品区域交易市场。大力发展绿色金融、

18、科技金融、物流金融等特色金融，推进重点领域金融改革创新试点。构建金融有效支持实体经济的体制机制，拓宽直接融资渠道，积极培育企业上市，发展债务融资，提升融资效率和质量。（五）建设区域消费中心顺应消费升级趋势，以四川省消费中心城市（达州）建设为契机，提档升级传统消费，大力培育新型消费，适当增加公共消费，更好满足人民群众日益增长的美好生活需要。树立前瞻理念，坚持文商旅融合发展，加快特色商圈环境整治、风貌塑造、智慧升级和宣传推广，建设一批知名度高、引流力强的商业步行街和网红商圈、店铺。加强标志性商业综合体项目培育和引进，推动更多国际国内名品、潮流新品、秦巴首店和保税商店、免税直销延展店落地入驻，集聚周

19、边消费资源。紧跟产业政策调整和产业梯度转移，聚焦大企名企，招引规模实力强、带动效应好、发展后劲足的专业市场落地入驻，提升商贸服务能级。健全现代流通体系，畅通城乡物流通道，大力发展农村电商，促进线上线下消费融合发展，不断开拓城乡消费市场。加快建设综合配套的国际会展中心，提升秦巴地区商品交易会国际化水平，打造区域领先会展品牌。加强消费领域信用体系建设，强化消费权益保护，营造良好消费环境。（六）积极扩大有效投资聚焦重点领域和短板弱项，拓展投资空间，优化投资结构，提升投资效益，发挥投资对经济增长的拉动作用。精准对接国家投向，把准政策支持范围，加强向上汇报衔接，全力争取更多重大项目纳入国省“盘子”，保持

20、投资稳定增长。建立“十四五”重点项目储备库，分类制定国省市重点项目、政府投资项目、产业投资项目推进计划，提升投资质量和效益。深化投融资体制改革，积极做好预算内投资、地方政府专项债、企业债等项目资金争取。发挥政府投资撬动作用，加大项目推介，定期向民间资本推介基础设施、公共服务、民生事业、生态环保、产业发展等补短板项目，不断激发民间投资活力。第二章 项目绪论一、 项目名称及建设性质（一）项目名称年产xx套半导体清洗设备项目（二）项目建设性质本项目属于扩建项目二、 项目承办单位（一）项目承办单位名称xxx有限责任公司（二）项目联系人莫xx（三）项目建设单位概况公司自成立以来，坚持“品牌化、规模化、专

21、业化”的发展道路。以人为本，强调服务，一直秉承“追求客户最大满意度”的原则。多年来公司坚持不懈推进战略转型和管理变革，实现了企业持续、健康、快速发展。未来我司将继续以“客户第一，质量第一，信誉第一”为原则，在产品质量上精益求精，追求完美，对客户以诚相待，互动双赢。公司注重发挥员工民主管理、民主参与、民主监督的作用，建立了工会组织，并通过明确职工代表大会各项职权、组织制度、工作制度，进一步规范厂务公开的内容、程序、形式，企业民主管理水平进一步提升。围绕公司战略和高质量发展，以提高全员思想政治素质、业务素质和履职能力为核心，坚持战略导向、问题导向和需求导向，持续深化教育培训改革，精准实施培训，努力

22、实现员工成长与公司发展的良性互动。公司按照“布局合理、产业协同、资源节约、生态环保”的原则，加强规划引导，推动智慧集群建设，带动形成一批产业集聚度高、创新能力强、信息化基础好、引导带动作用大的重点产业集群。加强产业集群对外合作交流，发挥产业集群在对外产能合作中的载体作用。通过建立企业跨区域交流合作机制，承担社会责任，营造和谐发展环境。公司依据公司法等法律法规、规范性文件及公司章程的有关规定，制定并由股东大会审议通过了董事会议事规则，董事会议事规则对董事会的职权、召集、提案、出席、议事、表决、决议及会议记录等进行了规范。 三、 项目定位及建设理由全球设备五强占市场主导角色。全球设备竞争格局，主要

23、前道工艺（刻蚀、沉积、涂胶、热处理、清洗等）整合成三强AMAT、LAM、TEL。另外，光刻机龙头ASML市占率80%+；过程控制龙头KLA市占率50%。根据SEMI，ASML、AMAT、LAMResearch、TEL、KLA五大厂商2021年收入合计788亿美元，占全球市场约77%。“十三五”时期，是达州决战脱贫攻坚、决胜全面小康具有里程碑和划时代意义的五年，综合实力快速提升，地区生产总值迈上2100亿元大台阶，地方一般预算公共收入超过100亿元，“6+3”重点产业加快成势，经济结构持续优化，县域经济支撑有力，创新驱动战略深入实施，争创全省经济副中心加速加力，创建万达开川渝统筹发展示范区开局起

24、步。脱贫攻坚如期完成，7个县（市、区）全部摘帽，828个贫困村全部退出，71.6万建档立卡贫困人口全部脱贫，绝对贫困全面消除，区域性整体贫困问题得到历史性解决。城乡建设日新月异，中心城区建成“双130”城市，大城框架已具雏形，莲花湖湿地公园等一大批城市公园相继建成，城市品质显著提升，5个县城扩容提质，百镇建设各显特色，美丽乡村更加宜居，城乡融合日趋紧密。基础设施不断完善，四川东出北上综合交通枢纽初具轮廓，西达渝高铁前期工作加快推进，成达万高铁开工建设，达州金垭机场和秦巴（达州）国际铁路“无水港”加快建设，高速公路、快速通道连线成网，水利基础设施、能源基础设施、信息基础设施建设扩面升级，新基建密

25、集部署。发展活力充分释放，全面深化改革主体框架基本建立，重点领域和关键环节改革强力推进，呈现出全面发力、多点突破、蹄疾步稳、纵深推进的生动局面，市县机构改革、乡镇行政区划和村级建制调整改革顺利完成。开放格局加速构建，四川东出铁水联运班列、西部陆海新通道达州班列和中欧班列达州专列全面开通，区域合作不断深化，全方位、多层次对外开放合作格局基本形成。生态环境持续改善，污染防治攻坚战深入推进，主要排放物排放总量大幅下降，空气质量优良天数持续提高，生态环境质量明显改善，嘉陵江上游生态屏障不断筑牢。民生福祉显著增强，公共服务提档升级，城乡充分就业局势保持稳定，社会保障体系更加完善，城乡基层治理走深走实，“

26、群众最不满意的10件事”整治深得人心，大批优质教育和医疗机构落户达州，城乡居民收入持续提升，市域社会治理现代化试点、社会治安防控体系建设示范城市纵深推进，法治达州、平安达州建设成效明显，人民群众获得感幸福感安全感不断增强。四、 报告编制说明（一）报告编制依据1、国家经济和社会发展的长期规划，部门与地区规划，经济建设的指导方针、任务、产业政策、投资政策和技术经济政策以及国家和地方法规等；2、经过批准的项目建议书和在项目建议书批准后签订的意向性协议等；3、当地的拟建厂址的自然、经济、社会等基础资料；4、有关国家、地区和行业的工程技术、经济方面的法令、法规、标准定额资料等；5、由国家颁布的建设项目可

27、行性研究及经济评价的有关规定；6、相关市场调研报告等。（二）报告编制原则1、立足于本地区产业发展的客观条件，以集约化、产业化、科技化为手段，组织生产建设，提高企业经济效益和社会效益，实现可持续发展的大目标。2、因地制宜、统筹安排、节省投资、加快进度。（二） 报告主要内容1、项目提出的背景及建设必要性；2、市场需求预测；3、建设规模及产品方案；4、建设地点与建设条性；5、工程技术方案；6、公用工程及辅助设施方案；7、环境保护、安全防护及节能；8、企业组织机构及劳动定员；9、建设实施与工程进度安排；10、投资估算及资金筹措；11、经济评价。五、 项目建设选址本期项目选址位于xxx，占地面积约65.

28、00亩。项目拟定建设区域地理位置优越，交通便利，规划电力、给排水、通讯等公用设施条件完备，非常适宜本期项目建设。六、 项目生产规模项目建成后，形成年产xxx套半导体清洗设备的生产能力。七、 建筑物建设规模本期项目建筑面积72226.50，其中：生产工程44194.12，仓储工程13987.21，行政办公及生活服务设施7384.02，公共工程6661.15。八、 环境影响拟建项目的建设满足国家产业政策的要求,项目选址合理。项目建成所有污染物达标排放后，周围环境质量基本能够维持现状。经落实污染防治措施后，“三废”产生量较少，对周围环境的影响较小。因此，本项目从环保的角度看，该项目的建设是可行的。九

29、、 项目总投资及资金构成（一）项目总投资构成分析本期项目总投资包括建设投资、建设期利息和流动资金。根据谨慎财务估算，项目总投资27621.56万元，其中：建设投资21496.10万元，占项目总投资的77.82%；建设期利息289.78万元，占项目总投资的1.05%；流动资金5835.68万元，占项目总投资的21.13%。（二）建设投资构成本期项目建设投资21496.10万元，包括工程费用、工程建设其他费用和预备费，其中：工程费用18357.19万元，工程建设其他费用2495.06万元，预备费643.85万元。十、 资金筹措方案本期项目总投资27621.56万元，其中申请银行长期贷款11827.

30、69万元，其余部分由企业自筹。十一、 项目预期经济效益规划目标（一）经济效益目标值（正常经营年份）1、营业收入（SP）：52700.00万元。2、综合总成本费用（TC）：43522.15万元。3、净利润（NP）：6696.85万元。（二）经济效益评价目标1、全部投资回收期（Pt）：6.19年。2、财务内部收益率：16.75%。3、财务净现值：5707.77万元。十二、 项目建设进度规划本期项目按照国家基本建设程序的有关法规和实施指南要求进行建设，本期项目建设期限规划12个月。十四、项目综合评价该项目的建设符合国家产业政策；同时项目的技术含量较高，其建设是必要的；该项目市场前景较好；该项目外部配

31、套条件齐备，可以满足生产要求；财务分析表明，该项目具有一定盈利能力。综上，该项目建设条件具备，经济效益较好，其建设是可行的。主要经济指标一览表序号项目单位指标备注1占地面积43333.00约65.00亩1.1总建筑面积72226.501.2基底面积24266.481.3投资强度万元/亩314.662总投资万元27621.562.1建设投资万元21496.102.1.1工程费用万元18357.192.1.2其他费用万元2495.062.1.3预备费万元643.852.2建设期利息万元289.782.3流动资金万元5835.683资金筹措万元27621.563.1自筹资金万元15793.873.2

32、银行贷款万元11827.694营业收入万元52700.00正常运营年份5总成本费用万元43522.156利润总额万元8929.137净利润万元6696.858所得税万元2232.289增值税万元2072.7410税金及附加万元248.7211纳税总额万元4553.7412工业增加值万元15680.4013盈亏平衡点万元22970.52产值14回收期年6.1915内部收益率16.75%所得税后16财务净现值万元5707.77所得税后第三章 行业发展分析一、 全球市场受海外厂商主导，前五大厂商市占率较高全球设备五强占市场主导角色。全球设备竞争格局，主要前道工艺（刻蚀、沉积、涂胶、热处理、清洗等）整

33、合成三强AMAT、LAM、TEL。另外，光刻机龙头ASML市占率80%+；过程控制龙头KLA市占率50%。根据SEMI，ASML、AMAT、LAMResearch、TEL、KLA五大厂商2021年收入合计788亿美元，占全球市场约77%。综合看下来，设备五强市场在各赛道合计市占率基本在50%以上。AMSL优势在光刻方面遥遥领先；AMAT优势在产品线广，沉积（CVD、PVD）市占率高；LAM优势在刻蚀领域；TEL优势在小赛道如涂胶、去胶、热处理；KLA优势在过程控制。二、 清洗设备：去除晶圆片表面杂质，各制程前后均需使用清洗机是将晶圆表面上产生的颗粒、有机物、自然氧化层、金属杂质等污染物去除，以

34、获得所需洁净表面的工艺设备。从工艺应用上来说，清洗机目前已广泛应用于集成电路制造工艺中的成膜前/成膜后清洗、等离子刻蚀后清洗、离子注入后清洗、化学机械抛光后的清洗和金属沉积后清洗等各个环节。升级方向：高效且无损。在过去的25年中，随着制程升级，晶圆湿法清洗变得越来越复杂和高效。清洗需要强力有效，还要减少对晶圆表面的损伤。清洁步骤占半导体工艺所有处理步骤1/3，最多已经达到200次。几乎所有制程的前后都需要清洗环节。三、 全球设备市场创新高，受益于资本开支提升、制程节点进步2021年全球半导体设备市场规模创1026亿美元新高，大陆首次占比全球第一。根据SEMI，2021年半导体设备销售额1026

35、亿美元，同比激增44%，全年销售额创历史新高。大陆设备市场在2013年之前占全球比重为10%以内，20142017年提升至1020%，2018年之后保持在20%以上，份额呈逐年上行趋势。2020-2021年，国内晶圆厂投建、半导体行业加大投入，大陆半导体设备市场规模首次在市场全球排首位，2021达到296.2亿美元，同比增长58%，占比28.9%。展望2022年，存储需求复苏，韩国预计将领跑全球，但大陆设备市场规模有望保持较高比重。北美半导体设备厂商月销售额2021年以来稳站30亿+美金。通过复盘半导体行业景气周期历史，北美半导体设备厂商月销售额对于全球半导体行业景气度分析具有重要意义，北美半

36、导体设备销售额水平通常领先全球半导体销售额一个季度。2021年1月，北美半导体设备厂商月销售额首次突破了30亿美金关口，创历史新高，达到了30.4亿美金。此后月度销售额逐季创新高，至12月份销售额达到39.2亿美金，同比增长46%。与此同时全球半导体销售市场自2021年4月以来连续12个月同比增速超过20%，2022年3月，全球半导体销售额达到505.8亿美金，同比增长23.0%，展望2022全年，从各机构当前预测平均值来看，预计2022年全球半导体市场仍将保持10%以上同比增长。半导体设备行业呈现明显的周期性，受下游厂商资本开支节奏变化较为明显。2017年，存储厂商的大幅资本开支推动半导体设

37、备迎来巨大需求，且这一势头一直延续到2018年上半年。但随后产能过剩致使存储价格走低，导致DRAM和NAND厂商纷纷推迟设备订单。存储产能过剩一直持续到2019年上半年，同时上半年整体半导体行业景气度不佳，虽然下半年随着行业景气度恢复，以台积电为代表的晶圆厂陆续调高资本开支大幅扩产，2019年全年半导体设备需求同比仍回落约2%。2020年全球各地先后受疫情影响，但存储行业资本支出修复、先进制程投资叠加数字化、5G带来的下游各领域强劲需求，全年设备市场同比增长19%。伴随半导体厂商新一轮资本开支开启，2021年全球设备市场继续大幅增长44%。当前海外设备龙头应用材料、泛林集团等均预计2022年全

38、球设备市场规模将进一步增长。未来两年全球晶圆厂设备开支持续增长。2020年疫情带来的居家及远程办公带来笔电等消费电子需求激增作为本轮周期的催化剂，2020H2以车用芯片为代表的供应链开始紧张，下游持续增长的需求与上游有限产能的矛盾演绎为2021年全年行业供需失衡加剧。2022年以来，消费性电子、智能手机、PC等领域需求确有下滑，但更值得注意的是全球正步入第四轮硅含量提升周期，服务器、汽车、工业、物联网等需求大规模提升。在6月台积电召开的股东大会上，公司管理层表示未来10年是半导体行业非常好的机会，主要原因就是5G及高效能运算的普及，生活数字化转型，带来对车用（新车半导体含量可达传统车的10倍）

39、、手机、服务器等终端内半导体含量的增加，推动半导体需求大幅成长。中芯国际在22Q1法说会表示，尽管消费电子，手机等存量市场进入去库存阶段，开始软着陆，但高端物联网、电动车、绿色能源、工业等增量市场尚未建立足够的库存，近年来硅含量提升与晶圆厂有限的产能扩充矛盾，叠加产业链转移带来的本土化产能缺口，使得公司需要大幅扩产，推出新产品工艺平台，满足客户旺盛的增量需求。疫情、全球经济及半导体周期性虽然会带来短期内的不确定性，但是技术进步、硅含量提升是长期支撑半导体行业持续发展的最关键驱动力。2020年开始全球领先的晶圆厂纷纷加速扩产提升资本开支，根据ICInsights，2021年全球半导体资本开支增速

40、达到36%，预计2022年将继续增长24%，2020-2022年将会成为自1993-1995年以来的首次CapEx连续三年增速超过20%。半导体设备作为晶圆厂扩产的重要开支部分，根据SEMI，2021年全球晶圆厂前道设备支出增速达到42%，预计2022年将进一步增长18%。台积电、中芯国际纷纷增加资本开支，CapEx进入上行期。根据ICInsights，全球代工厂资本开支约占半导体总体的35%，根据头部代工厂的资本开支规划来看，2022年代工领域资本开支将进一步提升。台积电从2020年170亿美金增长到2021年的300亿美金（用于N3/N5/N7的资本开支占80%），公司2021年4月1日公

41、布未来三年资本开支1000亿美金，2022年资本开支将进一步提升至400-440亿美金，预计2023年资本开支仍有望超过400亿美金；联电2021年CapEx18亿美金，预计2022年翻倍达到36亿美金（其中90%将用于12英寸晶圆）；GlobalFoundries于2021年IPO后资本开支大幅提升用于扩产，公司2020年CapEx4.5亿美金，2021年提升至16.6亿美金，预计2022年超过40亿美金；中芯国际2021年资本开支维持高位，达到45亿美金（大部分用于扩成熟制程，尤其是8寸数量扩4.5万片/月），预计2022年达到50亿美金。第四章 选址方案一、 项目选址原则节约土地资源，充

42、分利用空闲地、非耕地或荒地，尽可能不占良田或少占耕地；应充分利用天然地形，选择土地综合利用率高、征地费用少的场址。二、 建设区基本情况达州，古称“通州”，四川省地级市，中国西部天然气能源化工基地，川渝鄂陕结合部交通枢纽、文化商贸中心和生态宜居区域中心城市。截至2019年，全市下辖2个区、4个县、代管1个县级市，幅员面积1.66万平方公里。截止2020年全面建成“双130”城市。根据第七次人口普查数据，截至2020年11月1日零时，达州市常住人口为5385422人。达州地处中国西南地区、四川盆地东部的丘陵与川东平行岭谷，有近5000年的考古史、2300余年的建制史。历为该地区县、州、郡、府、道的

43、所在地，是人口大市、农业大市、资源富市、工业重镇、交通枢纽和革命老区；将建成全国巴文化高地，境内罗家坝遗址、城坝遗址是长江上游古代巴人和巴文化中心遗址的发源地；是全国三大气田之一和国家“川气东送”的起点站；国家天然气综合开发利用示范区；国家重要能源资源战略基地（锂钾卤水储量达20.9亿立方米）；素有“巴人故里、中国气都”之称。达州是国家规划定位的成渝经济圈、川东北城市群重要节点城市；四川对外开放的“东大门”和四川重点建设的百万人口区域中心城市；中国公路运输主枢纽和四川省区域性次级枢纽城市；商贸服务型国家物流枢纽承载城市、全国绿色货运配送示范工程创建城市；四川省通江达海的东通道；是建设四川东出北

44、上综合交通枢纽和川渝陕结合部区域中心城市。2020年，达州GDP实现2118亿元，增长4.1%。经济实力大幅提升。经济持续健康较快增长，保持高于全省年均增速，人均地区生产总值接近全省平均水平，经济发展质量和效益明显提升。现代产业体系更加健全，三次产业结构进一步优化，先进制造业水平明显提高。投资效益明显增强，消费贡献明显提升。乡村振兴和新型城镇化协调推进，县域经济实力明显壮大。发展活力充分迸发。全面深化改革纵深推进，改革系统性整体性协同性明显增强，重点领域和关键环节改革取得重大突破，高质量发展的制度体系更加健全。开放型经济水平大幅提升，对外合作实现新的跨越。科技创新能力明显提升，各类人才的创造活

45、力有效激发，科技和人才对经济增长的贡献率明显提高。展望二三五年，达州将与全国全省同步基本实现社会主义现代化。经济实力大幅提升，现代经济体系基本建成，经济总量和城乡居民人均可支配收入迈上新的大台阶。科技实力和创新能力大幅提升，科技进步成为经济增长的主要动力。新型城镇体系提档升级，“双300”型大城市基本建成，辐射带动力更加强劲。基本实现治理体系和治理能力现代化，基本建成法治达州、法治政府和法治社会。社会事业发展水平显著提升，市民素质和社会文明程度达到新的高度，巴文化影响力显著增强。生态环境根本好转，绿色生产生活方式广泛形成，全面建成美丽达州。城乡区域发展更加均衡，基本公共服务实现均等化。人民生活

46、更加美好，群众获得感幸福感安全感更加充实、更有保障、更可持续，人的全面发展、全体人民共同富裕取得更为明显的实质性进展。三、 深入实施创新驱动战略强化创新在达州高质量发展中的核心地位，突出科技创新，聚合要素资源，构建多层次、多元化创新体系，加快形成以创新为主引擎和主支撑的经济体系和发展模式，积极建设区域创新中心。提升创新能力，加强基础应用研究、注重原始创新，促进各类创新要素向“6+3”重点产业集聚，着力突破一批产业关键核心技术。壮大科创平台，推进创新型城市和达州科创新城建设，主动参与中国西部科学城建设，联动共建万达开科创走廊，构建一批国省级重点实验室等研发平台，支持在达或引进高校、科研单位建设大学科技园和教学实践基地。培育创新主体，强化企业创新主体地位，加大企业与院校、科研院所的协同创新，打造一批掌握产业“专精特新”技术的创新型领军企业和创新团队，培育一批国省级科技企业孵化器和众创空间。优化创新生态，深入推进科技体制改革，改进科技项目组织管理，扩大科研自主权，加强知识产权保护和综合服务平台建设，完善科技奖励制度，多渠道增加科研投入，弘扬科学家精神和工匠精神，着力构建有利于创新要素流动、高效协同的创新环境。推动成果转化，出台重大科技成果在达转化支持政策，健全技术交易市场，提高科技成果转化率和科技对经济增长的贡献率。