德阳光刻胶项目商业计划书【参考模板】.docx

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1、泓域咨询/德阳光刻胶项目商业计划书德阳光刻胶项目商业计划书xxx投资管理公司报告说明根据谨慎财务估算，项目总投资47924.31万元，其中：建设投资37452.73万元，占项目总投资的78.15%；建设期利息819.53万元，占项目总投资的1.71%；流动资金9652.05万元，占项目总投资的20.14%。项目正常运营每年营业收入102900.00万元，综合总成本费用85529.45万元，净利润12662.54万元，财务内部收益率18.44%，财务净现值14746.32万元，全部投资回收期6.26年。本期项目具有较强的财务盈利能力，其财务净现值良好，投资回收期合理。在整个芯片制造过程中可能需要

2、进行数十次的光刻，光刻工艺的成本约为整个芯片制造工艺的30%，耗时约占整个芯片生产环节的40%-50%。光刻工艺的精密度决定了集成电路的关键尺寸，奠定了器件微缩的基础，即得到更短的沟道长度和实现更低的工作电压。本报告基于可信的公开资料，参考行业研究模型，旨在对项目进行合理的逻辑分析研究。本报告仅作为投资参考或作为参考范文模板用途。目录第一章 项目概况8一、 项目名称及投资人8二、 项目建设背景8三、 结论分析9主要经济指标一览表11第二章 公司基本情况13一、 公司基本信息13二、 公司简介13三、 公司竞争优势14四、 公司主要财务数据16公司合并资产负债表主要数据16公司合并利润表主要数据

3、16五、 核心人员介绍17六、 经营宗旨18七、 公司发展规划18第三章 项目背景及必要性20一、 大陆晶圆代工厂成熟制程快速扩建，国产光刻胶企业迎来重大机遇20二、 DUV光刻胶化学放大型KrF&ArF光刻胶21三、 “半导体材料皇冠上的明珠”光刻胶22四、 加快建设国家科技成果转移转化示范区23第四章 行业发展分析27一、 光致产酸剂（Photo-AcidGenerator，PAG）27二、 政策端“强化国家战略科技力量”，行业政策与“大基金”助力突破“卡脖子”领域27三、 聚4-羟基苯乙烯（PHOST）29第五章 法人治理结构31一、 股东权利及义务31二、 董事33三、 高级管理人员3

4、8四、 监事40第六章 运营管理模式42一、 公司经营宗旨42二、 公司的目标、主要职责42三、 各部门职责及权限43四、 财务会计制度46第七章 发展规划分析50一、 公司发展规划50二、 保障措施51第八章 创新驱动54一、 企业技术研发分析54二、 项目技术工艺分析56三、 质量管理57四、 创新发展总结58第九章 SWOT分析说明59一、 优势分析（S）59二、 劣势分析（W）61三、 机会分析（O）61四、 威胁分析（T）63第十章 建筑物技术方案71一、 项目工程设计总体要求71二、 建设方案73三、 建筑工程建设指标76建筑工程投资一览表77第十一章 产品方案分析79一、 建设规

5、模及主要建设内容79二、 产品规划方案及生产纲领79产品规划方案一览表79第十二章 进度实施计划82一、 项目进度安排82项目实施进度计划一览表82二、 项目实施保障措施83第十三章 风险防范84一、 项目风险分析84二、 公司竞争劣势91第十四章 投资估算及资金筹措92一、 投资估算的依据和说明92二、 建设投资估算93建设投资估算表97三、 建设期利息97建设期利息估算表98固定资产投资估算表99四、 流动资金99流动资金估算表100五、 项目总投资101总投资及构成一览表101六、 资金筹措与投资计划102项目投资计划与资金筹措一览表102第十五章 经济效益分析104一、 基本假设及基础

6、参数选取104二、 经济评价财务测算104营业收入、税金及附加和增值税估算表104综合总成本费用估算表106利润及利润分配表108三、 项目盈利能力分析109项目投资现金流量表110四、 财务生存能力分析112五、 偿债能力分析112借款还本付息计划表113六、 经济评价结论114第十六章 项目综合评价说明115第十七章 补充表格117营业收入、税金及附加和增值税估算表117综合总成本费用估算表117固定资产折旧费估算表118无形资产和其他资产摊销估算表119利润及利润分配表120项目投资现金流量表121借款还本付息计划表122建设投资估算表123建设投资估算表123建设期利息估算表124固定

7、资产投资估算表125流动资金估算表126总投资及构成一览表127项目投资计划与资金筹措一览表128第一章 项目概况一、 项目名称及投资人（一）项目名称德阳光刻胶项目（二）项目投资人xxx投资管理公司（三）建设地点本期项目选址位于xx园区。二、 项目建设背景化学放大的效果主要由PAG带来，PAG经过光照后可产酸，催化分子链反应，增强曝光部分和未曝光部分的溶解性差异。根据不同的化学结构PAG可分为鎓盐类、二甲酰亚胺N-磺酰基类、安息香磺酰酸类、硝基苯磺酸类、砜类、肟酯类、三嗪类等。在选择PAG时，要考虑其产酸效率、酸扩散速率、耐热性、透明性、溶解性、酸性强弱、分解挥发产物等因素。坚定贯彻落实成渝地

8、区双城经济圈建设战略和“一干多支、五区协同”战略部署，深入推进成德同城化发展，强化党建保障、法治保障，突出开放带动、改革推动、创新驱动，实施现代产业体系构建、现代城镇体系建设、全面改革开放创新、美丽德阳建设、幸福德阳建设、清廉德阳建设工程，建设世界级重大装备制造基地、国家科技成果转移转化示范区、城乡一体的高品质生活宜居地、著名文化旅游目的地、绿色发展示范区，做优做强支撑成都都市圈高质量发展的重要功能板块，实现经济行稳致远、社会安定和谐，为全面建设社会主义现代化德阳开好局、起好步。三、 结论分析（一）项目选址本期项目选址位于xx园区，占地面积约91.00亩。（二）建设规模与产品方案项目正常运营后

9、，可形成年产xxx吨光刻胶的生产能力。（三）项目实施进度本期项目建设期限规划24个月。（四）投资估算本期项目总投资包括建设投资、建设期利息和流动资金。根据谨慎财务估算，项目总投资47924.31万元，其中：建设投资37452.73万元，占项目总投资的78.15%；建设期利息819.53万元，占项目总投资的1.71%；流动资金9652.05万元，占项目总投资的20.14%。（五）资金筹措项目总投资47924.31万元，根据资金筹措方案，xxx投资管理公司计划自筹资金（资本金）31199.17万元。根据谨慎财务测算，本期工程项目申请银行借款总额16725.14万元。（六）经济评价1、项目达产年预期

10、营业收入（SP）：102900.00万元。2、年综合总成本费用（TC）：85529.45万元。3、项目达产年净利润（NP）：12662.54万元。4、财务内部收益率（FIRR）：18.44%。5、全部投资回收期（Pt）：6.26年（含建设期24个月）。6、达产年盈亏平衡点（BEP）：46632.67万元（产值）。（七）社会效益项目产品应用领域广泛，市场发展空间大。本项目的建立投资合理，回收快，市场销售好，无环境污染，经济效益和社会效益良好，这也奠定了公司可持续发展的基础。本项目实施后，可满足国内市场需求，增加国家及地方财政收入，带动产业升级发展，为社会提供更多的就业机会。另外，由于本项目环保治

11、理手段完善，不会对周边环境产生不利影响。因此，本项目建设具有良好的社会效益。（八）主要经济技术指标主要经济指标一览表序号项目单位指标备注1占地面积60667.00约91.00亩1.1总建筑面积104364.911.2基底面积36400.201.3投资强度万元/亩394.092总投资万元47924.312.1建设投资万元37452.732.1.1工程费用万元31625.192.1.2其他费用万元4758.052.1.3预备费万元1069.492.2建设期利息万元819.532.3流动资金万元9652.053资金筹措万元47924.313.1自筹资金万元31199.173.2银行贷款万元16725

12、.144营业收入万元102900.00正常运营年份5总成本费用万元85529.456利润总额万元16883.397净利润万元12662.548所得税万元4220.859增值税万元4059.6910税金及附加万元487.1611纳税总额万元8767.7012工业增加值万元30427.9913盈亏平衡点万元46632.67产值14回收期年6.2615内部收益率18.44%所得税后16财务净现值万元14746.32所得税后第二章 公司基本情况一、 公司基本信息1、公司名称：xxx投资管理公司2、法定代表人：陈xx3、注册资本：1270万元4、统一社会信用代码：xxxxxxxxxxxxx5、登记机关：

13、xxx市场监督管理局6、成立日期：2013-1-247、营业期限：2013-1-24至无固定期限8、注册地址：xx市xx区xx9、经营范围：从事光刻胶相关业务（企业依法自主选择经营项目，开展经营活动；依法须经批准的项目，经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动；不得从事本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。）二、 公司简介公司自成立以来，坚持“品牌化、规模化、专业化”的发展道路。以人为本，强调服务，一直秉承“追求客户最大满意度”的原则。多年来公司坚持不懈推进战略转型和管理变革，实现了企业持续、健康、快速发展。未来我司将继续以“客户第一，质量第一，信誉第一”为原则，在产品质量上精益求精，追求完

14、美，对客户以诚相待，互动双赢。面对宏观经济增速放缓、结构调整的新常态，公司在企业法人治理机构、企业文化、质量管理体系等方面着力探索，提升企业综合实力，配合产业供给侧结构改革。同时，公司注重履行社会责任所带来的发展机遇，积极践行“责任、人本、和谐、感恩”的核心价值观。多年来，公司一直坚持坚持以诚信经营来赢得信任。三、 公司竞争优势（一）工艺技术优势公司一直注重技术进步和工艺创新，通过引入国际先进的设备，不断加大自主技术研发和工艺改进力度，形成较强的工艺技术优势。公司根据客户受托产品的品种和特点，制定相应的工艺技术参数，以满足客户需求，已经积累了丰富的工艺技术。经过多年的技术改造和工艺研发，公司已

15、经建立了丰富完整的产品生产线，配备了行业先进的设备，形成了门类齐全、品种丰富的工艺，可为客户提供一体化综合服务。（二）节能环保和清洁生产优势公司围绕清洁生产、绿色环保的生产理念，依托科技创新，注重从产品结构和工艺技术的优化来减少三废排放，实现污染的源头和过程控制，通过引进智能化设备和采用自动化管理系统保障清洁生产，提高三废末端治理水平，保障环境绩效。经过持续加大环保投入，公司已在节能减排和清洁生产方面形成了较为明显的竞争优势。（三）智能生产优势近年来，公司着重打造 “智慧工厂”，通过建立生产信息化管理系统和自动输送系统，将企业的决策管理层、生产执行层和设备运作层进行有机整合，搭建完整的现代化生

16、产平台，智能系统的建设有利于公司的订单管理和工艺流程的优化，在确保满足客户的各类功能性需求的同时缩短了产品交付期，提高了公司的竞争力，增强了对客户的服务能力。（四）区位优势公司地处产业集聚区，在集中供气、供电、供热、供水以及废水集中处理方面积累了丰富的经验，能源配套优势明显。产业集群效应和配套资源优势使公司在市场拓展、技术创新以及环保治理等方面具有独特的竞争优势。（五）经营管理优势公司拥有一支敬业务实的经营管理团队，主要高级管理人员长期专注于印染行业，对行业具有深刻的洞察和理解，对行业的发展动态有着较为准确的把握，对产品趋势具有良好的市场前瞻能力。公司通过自主培养和外部引进等方式，建立了一支团

17、结进取的核心管理团队，形成了稳定高效的核心管理架构。公司管理团队对公司的品牌建设、营销网络管理、人才管理等均有深入的理解，能够及时根据客户需求和市场变化对公司战略和业务进行调整，为公司稳健、快速发展提供了有力保障。四、 公司主要财务数据公司合并资产负债表主要数据项目2020年12月2019年12月2018年12月资产总额19668.1415734.5114751.10负债总额8161.516529.216121.13股东权益合计11506.639205.308629.97公司合并利润表主要数据项目2020年度2019年度2018年度营业收入71497.8757198.3053623.40营业利

18、润15566.9412453.5511675.20利润总额13193.5510554.849895.16净利润9895.167718.227124.52归属于母公司所有者的净利润9895.167718.227124.52五、 核心人员介绍1、陈xx，中国国籍，1978年出生，本科学历，中国注册会计师。2015年9月至今任xxx有限公司董事、2015年9月至今任xxx有限公司董事。2019年1月至今任公司独立董事。2、谭xx，中国国籍，1977年出生，本科学历。2018年9月至今历任公司办公室主任，2017年8月至今任公司监事。3、韩xx，1957年出生，大专学历。1994年5月至2002年6月

19、就职于xxx有限公司；2002年6月至2011年4月任xxx有限责任公司董事。2018年3月至今任公司董事。4、叶xx，1974年出生，研究生学历。2002年6月至2006年8月就职于xxx有限责任公司；2006年8月至2011年3月，任xxx有限责任公司销售部副经理。2011年3月至今历任公司监事、销售部副部长、部长；2019年8月至今任公司监事会主席。5、郑xx，中国国籍，1976年出生，本科学历。2003年5月至2011年9月任xxx有限责任公司执行董事、总经理；2003年11月至2011年3月任xxx有限责任公司执行董事、总经理；2004年4月至2011年9月任xxx有限责任公司执行董

20、事、总经理。2018年3月起至今任公司董事长、总经理。6、付xx，中国国籍，无永久境外居留权，1970年出生，硕士研究生学历。2012年4月至今任xxx有限公司监事。2018年8月至今任公司独立董事。7、金xx，中国国籍，无永久境外居留权，1961年出生，本科学历，高级工程师。2002年11月至今任xxx总经理。2017年8月至今任公司独立董事。8、谢xx，中国国籍，无永久境外居留权，1958年出生，本科学历，高级经济师职称。1994年6月至2002年6月任xxx有限公司董事长；2002年6月至2011年4月任xxx有限责任公司董事长；2016年11月至今任xxx有限公司董事、经理；2019年

21、3月至今任公司董事。六、 经营宗旨公司通过整合资源，实现产品化、智能化和平台化。七、 公司发展规划（一）战略目标与发展规划公司致力于为多产业的多领域客户提供高质量产品、技术服务与整体解决方案，为成为百亿级产业领军企业而努力奋斗。（二）措施及实施效果公司立足于本行业，以先进的技术和高品质的产品满足产品日益提升的质量标准和技术进步要求，为国内外生产商率先提供多种产品，为提升转换率和品质保证以及成本降低持续做出贡献，同时通过与产业链优质客户紧密合作，为公司带来稳定的业务增长和持续的收益。公司通过产品和商业模式的不断创新以及与产业链企业深度融合，建立创新引领、合作共赢的模式，再造行业新格局。（三）未来

22、规划采取的措施公司始终秉持提供性价比最优的产品和技术服务的理念，充分发挥公司在技术以及膜工艺技术的扎实基础及创新能力，为成为百亿级产业领军企业而努力奋斗。在近期的三至五年，公司聚焦于产业的研发、智能制造和销售，在消费升级带来的产业结构调整所需的领域积极布局。致力于为多产业的多领域客户提供中高端技术服务与整体解决方案。在未来的五至十年，以蓬勃发展的中国市场为核心，利用中国“一带一路”发展机遇，利用独立创新、联合开发、并购和收购等多种方法，掌握国际领先的技术，使得公司真正成为国际领先的创新型企业。第三章 项目背景及必要性一、 大陆晶圆代工厂成熟制程快速扩建，国产光刻胶企业迎来重大机遇半导体工业沿摩

23、尔定律向前发展，光刻技术是基石。摩尔定律的延续离不开光刻技术的进步，目前全球最为顶尖且实现量产的光刻工艺为台积电的5nm制程工艺（2020年），3nm制程工艺预计将于2022年正式投产。而大陆方面，最为领先的晶圆代工企业中芯国际已于2021年实现7nm制程工艺的突破，但仍与世界顶尖水平存在着约2代技术的差距，对应的技术研发周期约为3-4年。半导体光刻胶为晶圆制造核心材料，大陆产品仍存较大技术差距。在所有的晶圆制造材料中，半导体光刻胶凭借其复杂且精准的成分组成要求而具有最高的价值含量。半导体光刻胶产品由低端到高端可分为g线、i线、KrF、ArF和EUV光刻胶，最高端的EUV光刻胶基本被日本和美国

24、企业所垄断。大陆方面目前仅实现了KrF光刻胶的量产，ArF光刻胶产品仍处于下游客户验证阶段并未形成实际性的量产产能，而最高端的EUV光刻胶的技术储备近乎空白。行业政策与“大基金”加持，助力光刻胶突破“卡脖子”技术壁垒。“十四五”规划提出了“强化国家战略科技力量”的方针，重点强调要从“卡脖子”问题清单和国家重大需求中找出科学问题。集成电路的产业发展一直是我国的“卡脖子”问题之一，其中半导体光刻胶等产品领域存在有明显的“受制于人”的问题，而突破这些“卡脖子”技术壁垒必将成为践行“强化国家战略科技力量”这一宏观战略的重点之一。自2014年6月国务院发布国家集成电路产业发展推进纲要以来，国家不断地通过

25、政策、科研专项基金、产业基金等多种形式为国内光刻胶企业的发展提供支持。大陆晶圆代工产能增速全球第一，聚焦成熟制程利好国产化推进。根据SIA和BCG预测，2021-2030年期间中国大陆的晶圆代工产能增速在全球范围内将排名第一。伴随着大陆晶圆代工产能的快速扩张，特别是28nm及以上成熟制程晶圆代工产能快速扩张，大陆市场对于光刻胶等半导体材料的需求将与日俱增。而中美贸易摩擦对于半导体材料的限制或禁运，将加快国内已实现量产突破的产品向国内晶圆代工厂商的导入进度。同时，半导体光刻胶企业在获得持续订单后有望形成正反馈循环，依靠可持续性的资金流入，推动现有半导体光刻胶产品的产能扩增及新一代半导体光刻胶产品

26、的研发。二、 DUV光刻胶化学放大型KrF&ArF光刻胶在20世纪90年代初期，半导体光刻工艺的技术节点已发展至线宽0.25m，i线光刻技术及重氮萘醌-酚醛树脂体系光刻胶已不能满足如此高的分辨率要求，因此人们开始寻求适用于具有更短波长的深紫外（DeepUltra-Violet，DUV）的光刻胶体系，即DUV光刻胶。当时的KrF和ArF等深紫外光刻机的曝光剂量都比较低，对于量子产率只有0.20.3的重氮萘醌-酚醛树脂体系光刻胶而言，只有极大程度地提高其灵敏度，最终曝光所产生的图像的对比度才能满足要求。此外，当光线从光刻胶顶部向光刻胶底部传播时会被逐渐吸收，如果底部光强不足，外加光刻胶灵敏度较低，

27、则最终容易形成梯形形貌。梯形形貌会明显影响后续工艺的正常进行，从而限制光刻工艺分辨率的进一步提升。因此，提高光刻胶灵敏度的“化学放大”势在必行。1982年，美国IBM公司Ito和Wilson等人正式提出了化学放大型光刻胶（ChemicallyAmplifiedResist，CAR）的概念。化学放大型光刻胶在光引发下能够产生一种催化剂，促使光化学反应迅速进行或者引发链式反应，从而快速改变基质性质进而产生图像。化学放大型光刻胶通常由聚合物骨架、光致产酸剂（Photo-AcidGenerator，PAG）、刻蚀阻挡基团、酸根、保护基团、溶剂等组成。三、 “半导体材料皇冠上的明珠”光刻胶伴随着光刻工艺

28、的不断发展，光刻用化学品也在飞速发展，主要的光刻用化学品包括有光刻胶、抗反射层、溶剂、显影液、清洗液等。在这些化学品中，光刻胶凭借其复杂且精准的成分组成具有最高的价值，也是整个半导体制造工艺中最为关键的材料之一，有着“半导体材料皇冠上的明珠”之称。组成成分：光刻胶主要由成膜树脂、溶剂、感光剂（光引发剂、光致产酸剂）、添加剂（表面活性剂、匀染剂等）等部分组成。典型的光刻胶成分中，50%90%是溶剂，10%40%是树脂，感光剂占1%8%，表面活性剂、匀染剂及其他添加剂占比则不到1%。分类标准：对于半导体光刻胶的分类有多种标准，常用的分类标准包括有：（1）以曝光后光刻胶在显影液中的溶解度变化分为正性

29、光刻胶和负性光刻胶；（2）针对正性光刻胶以是否使用化学放大（ChemicallyAmplified）机制可分为化学放大型光刻胶和非化学放大型光刻胶；（3）以所使用的光刻工艺可分为紫外宽谱光刻胶、g线光刻胶、i线光刻胶、KrF光刻胶、ArF光刻胶、EUV光刻胶、电子束光刻胶等。四、 加快建设国家科技成果转移转化示范区（一）建设高能级创新平台全面融入中国西部（成都）科学城、中国（绵阳）科技城新区规划建设，聚焦重大技术装备、燃气轮机、通用航空、先进材料、食品医药等领域，布局建设一批国家技术创新中心和国省重点实验室，全力创建国家重大装备创新中心。支持企业与高校、科研院所共建创新平台，联合组建产业技术创

30、新联盟，打造全省领先的创新平台集群。鼓励各类创新平台开放共享，推动科技创新券跨区域互通互认。发挥德阳经开区、德阳高新区科技创新主阵地作用，打造创新驱动示范区和高质量发展先行区。（二）培育壮大创新主体强化企业创新主体地位，使企业成为创新要素集成、科技成果转化的主力军。发挥龙头企业在技术创新中的引领带动作用，推动大中小企业融通创新，支持创新型中小微企业提质发展，实施高新技术企业倍增计划，培育一批更具活力的创新主体。推进产学研深度融合，支持企业与知名高校院所、顶尖科学家合作共建新型研发机构，共同承担科技项目、共享科技成果。加强关键核心技术攻关，加大首台套、首批次、首版次产品研发推广应用力度，探索建立

31、科技攻关“揭榜挂帅”制度，鼓励全社会加大研发投入，形成一批重大科技转化成果。弘扬企业家精神，发挥优秀企业家作用，激发企业家创新活力和创造潜能，依法保护企业家创新权益。（三）健全科技成果转移转化服务体系加快科技基础设施建设，围绕产业功能区产业定位，高标准建设一批面向产业需求的科技成果转移转化中心，打造集科技成果评估、技术交易、项目孵化于一体的一站式服务平台，推进国家技术转移西南中心德阳分中心和成都知识产权交易中心德阳分中心建设。加快成果转移转化人才队伍建设，完善科技成果鉴定评价机制，健全体现技术经纪人职业特点、以技术转移和成果产业化为核心的评价体系。完善金融支持科技创新体制，建立覆盖科技型企业全

32、生命周期的现代金融产品体系。加快推进科技成果中试熟化基地建设，增强技术研发与集成、中试熟化与工程化服务，打造一批集创新创业、研发设计、小试中试、检验检测于一体的高品质科创空间。健全“城市机会清单”发布机制，为新技术、新产品、新业态、新模式提供应用场景，以场景供给引领新经济发展。（四）优化创新生态加强知识产权保护，完善科技创新激励机制，探索国有企业科研人员职务科技成果权属混合所有制改革。建立国有企业科技创新容错机制，鼓励创新、宽容失败、允许试错、责任豁免。紧扣重点产业、重大项目，深化拓展校地战略合作，培养引进一批科技领军人才、青年科技人才、基础研究人才和高水平创新创业团队、高技能人才队伍。弘扬科

33、学精神和工匠精神，加强科普工作，营造崇尚创新的社会氛围。（五）深化重点领域改革创新充分发挥市场在资源配置中的决定性作用，更好发挥政府作用，推动有效市场和有为政府更好结合。健全市场体系基础制度，坚持平等准入、公正监管、开放有序、诚信守法，构建高标准市场体系。强化要素市场化配置，健全产权执法司法保护制度，建立统一的城乡建设用地市场，加快培育数据要素市场，推动资本、土地、劳动力、技术、数据等生产要素自主有序流动。聚焦成德眉资同城化综合改革试验区建设，探索行政区和经济区适度分离改革。激发各类市场主体活力，推动国有投资主体加快市场化改革、开放型发展，做强做优做大国有资本和国有企业，健全管资本为主的国有资

34、产监管体制；完善鼓励支持引导非公有制经济发展的政策体系和服务机制，落实减税降费政策，健全支持中小微企业和个体工商户发展制度。深化商事制度、行政审批和“最多跑一次”改革，建设市场化法治化国际化营商环境，争创全国一流营商环境。支持引导民营经济健康发展。建立现代财税金融体制，持续深化财税、投资、金融体制改革，健全政府债务管理制度，建立跨区域产业转移、园区共建、项目统筹的成本分担和财税利益分享机制。持续深化各领域改革，形成更多有特色、可复制、可推广的标志性改革成果。第四章 行业发展分析一、 光致产酸剂（Photo-AcidGenerator，PAG）化学放大的效果主要由PAG带来，PAG经过光照后可产

35、酸，催化分子链反应，增强曝光部分和未曝光部分的溶解性差异。根据不同的化学结构PAG可分为鎓盐类、二甲酰亚胺N-磺酰基类、安息香磺酰酸类、硝基苯磺酸类、砜类、肟酯类、三嗪类等。在选择PAG时，要考虑其产酸效率、酸扩散速率、耐热性、透明性、溶解性、酸性强弱、分解挥发产物等因素。三苯基六氟锑酸盐（TPS-SbF6）是首例用于化学放大型光刻胶的PAG，然而由于其含有金属离子容易对电子设备造成污染，所以逐渐被磺酸盐类取代。目前，KrF和ArF光刻胶中多用鎓盐来作为PAG，例如三芳基硫鎓盐和二芳基碘鎓盐。鎓盐由阳离子和阴离子组成，因此可以通过设计阴阳离子的结构达到改善PAG性能的目的，特别是PAG的阴离子

36、结构对光刻胶的分辨率、灵敏度和线边粗糙度等关键指标有重要影响。二、 政策端“强化国家战略科技力量”，行业政策与“大基金”助力突破“卡脖子”领域半导体行业是关乎中国科技独立自主的重要领域，中国政府持续出台相关政策推进行业发展及规划蓝图。自21世纪初的极大规模集成电路制造装备及成套工艺项目（即“02专项”）到“十二五”规划、“十三五”规划及各类政策文件，政府部门对半导体行业的重视度、支持度，对相关企业的支持力度逐年增强，通过政策、科研专项基金、产业基金等多种形式为相关企业提供支持。在2020年11月发布的中华人民共和国国民经济和社会发展第十四个五年规划和2035年远景目标纲要中更是提出了“强化国家

37、战略科技力量”的方针，重点强调要从“卡脖子”问题清单和国家重大需求中找出科学问题。集成电路的产业发展一直是我国的“卡脖子”问题之一，我国集成电路产业链中的众多材料、装备、工艺制造技术与全球最为领先的水平存在相当的差距，部分领域存在着明显的“受制于人”的问题，而突破这些“卡脖子”的材料、装备、工艺制造技术等的壁垒必将成为践行“强化国家战略科技力量”这一方针的重点之一。国家大基金是为促进集成电路产业发展设立的，其全称是“国家集成电路产业投资基金”，目前已有两期，均主要投资于集成电路产业。大基金是国家对集成电路产业的政策支持的重要体现。国家大基金一期于2014年9月成立，一期注册资本987.2亿元，

38、投资总规模达1387亿元，主要股东是财政部、国开金融、中国烟草、中国移动、紫光通信等，投资期、回收期、延展期各5年，投资计划为期15年。国家大基金二期于2019年10月22日注册成立，注册资本为2041.5亿元。大基金二期是一期的延续，相比于一期的规模扩大了107%，可见国家扶持集成电路产业的决心。在股东方面，大基金二期同样由财政部、国开金融作为最大股东，两者认缴出资额分别为225亿元和200亿元。不过从大基金二期整体来看，其资金来源更加多样和市场化，共有27位股东，囊括央企、地方国企和民企。从大基金一期的投资细分方向来看，一期主要侧重于晶圆代工、设计和封测等主要的产业大环节的投资布局，而对半

39、导体材料和设备则投资较少。同时大基金关注产业链各环节龙头企业，优先帮助产业链龙头企业成长，加速国内半导体领先技术的孕育催化。大基金二期的投资方向主要集中于设备和材料，大基金总裁丁文武在2020年半导体集成电路零部件峰会表示，大基金二期将从3个方面重点支持国产设备与材料发展：（1）将对在刻蚀机、薄膜设备、测试设备和清洗设备等领域已布局的企业保持高强度的支持；（2）加快开展光刻机、化学机械研磨设备等核心设备以及关键零部件的投资布局；（3）督促制造企业提高国产装备验证及采购比例，为更多国产设备、材料提供工艺验证条件。三、 聚4-羟基苯乙烯（PHOST）聚4-羟基苯乙烯（PHOST）因其在248nm波

40、长下的透明性、高灵敏度和抗刻蚀性等优势，成为了用于KrF光刻技术的光刻胶的主要成分。通过引入不同的酸致脱保护基团，在光致产酸剂的配合下就可以使得KrF光刻胶拥有一定的光响应性，从而在光照条件下发生聚合物的溶解度变化。常见的酸致脱保护基团包括4-叔丁基氧基羰基（t-BOC）类、酯类和乙缩醛类三种。目前主流的KrF化学放大型正性光刻胶往往是具有多种取代基团的共聚物，通过调节聚合物整体的分子量和带有不同取代基团单体的配比来调节光刻胶的性能。根据KrF光刻胶的活化能，可以将KrF光刻胶分为高活化能胶（俗称高温胶，如ESCAP）和低活化能胶（低温胶，如乙缩醛类）。高温胶和低温胶因脱保护的温度差异，导致了

41、比较明显的性能差异。此外，由于空气中存在有一定量的碱性分子，在KrF光刻胶曝光后，光刻胶会接触空气导致曝光后所产生的光酸会被空气中的碱性成分中和掉，最终会造成光刻胶灵敏度的大幅度变化，这一现象被称为曝光到显影的时间延迟问题（PED）。为了解决这一问题，工业界除了采取在洁净室、光刻机等关键地方安装化学成分过滤器以外，还可以通过在光刻胶表面涂布一层保护层来隔绝空气中的碱性物质。第五章 法人治理结构一、 股东权利及义务1、公司召开股东大会、分配股利、清算及从事其他需要确认股东身份的行为时，由董事会或股东大会召集人确定股权登记日，股权登记日收市后登记在册的股东为享有相关权益的股东。2、公司股东享有下列

42、权利：（1）依照其所持有的股份份额获得股利和其他形式的利益分配；（2）依法请求、召集、主持、参加或者委派股东代理人参加股东大会，并行使相应的表决权；（3）对公司的经营进行监督，提出建议或者质询；（4）依照法律、行政法规及本章程的规定转让、赠与或质押其所持有的股份；（5）查阅本章程、股东名册、公司债券存根、股东大会会议记录、董事会会议决议、监事会会议决议、财务会计报告；（6）公司终止或者清算时，按其所持有的股份份额参加公司剩余财产的分配；（7）对股东大会作出的公司合并、分立决议持异议的股东，要求公司收购其股份；（8）法律、行政法规、部门规章或本章程规定的其他权利。3、公司股东大会、董事会决议内容

43、违反法律、行政法规的，股东有权请求人民法院认定无效。4、董事、高级管理人员违反法律、行政法规或者本章程的规定，损害股东利益的，股东可以向人民法院提起诉讼。5、公司股东承担下列义务：（1）遵守法律、行政法规和本章程；（2）除法律、法规规定的情形外，不得退股；（3）不得滥用股东权利损害公司或者其他股东的利益；不得滥用公司法人独立地位和股东有限责任损害公司债权人的利益；公司股东滥用股东权利给公司或者其他股东造成损失的，应当依法承担赔偿责任。公司股东滥用公司法人独立地位和股东有限责任，逃避债务，严重损害公司债权人利益的，应当对公司债务承担连带责任。（4）法律、行政法规及本章程规定应当承担的其他义务。6

44、、持有公司5%以上有表决权股份的股东，将其持有的股份进行质押的，应当自该事实发生当日，向公司作出书面报告。7、公司的控股股东、实际控制人不得利用其关联关系损害公司利益。违反规定的，给公司造成损失的，应当承担赔偿责任。公司控股股东及实际控制人对公司和公司社会公众股股东负有诚信义务。控股股东应严格依法行使出资人的权利，控股股东不得利用利润分配、资产重组、对外投资、资金占用、借款担保等方式损害公司和社会公众股股东的合法权益，不得利用其控制地位损害公司和社会公众股股东的利益。二、 董事1、公司设董事会，对股东大会负责。2、董事会由12人组成，其中独立董事4名；设董事长1人，副董事长1人。3、董事会行使

45、下列职权：（1）负责召集股东大会，并向股东大会报告工作；（2）执行股东大会的决议；（3）决定公司的经营计划和投资方案；（4）制订公司的年度财务预算方案、决算方案；（5）制订公司的利润分配方案和弥补亏损方案；（6）在股东大会授权范围内，决定公司对外投资、收购出售资产、资产抵押、对外担保事项、委托理财、关联交易等事项；（7）决定公司内部管理机构的设置；（8）聘任或者解聘公司总裁、董事会秘书，根据总裁的提名，聘任或者解聘公司副总裁、财务总监及其他高级管理人员，并决定其报酬事项和奖惩事项；拟订并向股东大会提交有关董事报酬的数额及方式的方案；（9）制订公司的基本管理制度；（10）制订本章程的修改方案；（

46、11）管理公司信息披露事项；（12）向股东大会提请聘请或更换为公司审计的会计师事务所；（13）听取公司总裁的工作汇报并检查总裁的工作；（14）决定公司因本章程规定的情形收购本公司股份事项；（15）法律、行政法规、部门规章或本章程授予的其他职权。公司董事会设立审计委员会，并根据需要设立战略、提名、薪酬与考核等相关专门委员会。专门委员会对董事会负责，依照本章程和董事会授权履行职责，提案应当提交董事会审议决定。专门委员会成员全部由董事组成，其中审计委员会、提名委员会、薪酬与考核委员会中独立董事占多数并担任召集人，审计委员会的召集人为会计专业人士。董事会负责制定专门委员会工作规程，规范专门委员会的运作。4、公司董事会应当就注册会计师对公司财务报告出具的非标准审计意见向股东大会作出说明。5、董事会依照法律、法规及有关主管机构的要求制定董事会议事规则，以确保董事会落实股东大会