衡阳光刻胶项目申请报告_模板.docx

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1、泓域咨询/衡阳光刻胶项目申请报告报告说明自2020年开始，由于新冠疫情在全球蔓延，部分工厂曾暂时关闭相关产能，导致了半导体产业链供应端的短缺。而伴随着疫情常态化运行，全球工业、汽车、消费电子等需求开始复苏，同时叠加多种崭新芯片应用需求的兴起，全球市场对于半导体芯片的需求量大幅增加，全球半导体芯片开始出现供不应求的局面。近期，多家半导体企业纷纷上调产品价格，芯片涨价情况不断向上游延伸，中游的封测和晶圆厂商以及上游的半导体材料厂商也都不同程度地上调了产品价格。此外，由于疫情、地震等不可抗力原因，国外某些厂商的光刻胶等关键半导体材料也出现了供应问题，加剧了半导体材料的短缺问题。这导致了国内的晶圆代工

2、厂商开始积极寻找其他产品供应商，同时也明显加快了对上游原材料产品的验证速度。在这一背景下，以北京科华为代表的国产光刻胶产品也在近期相继实现了在某些制程工艺的成功导入。根据谨慎财务估算，项目总投资29676.24万元，其中：建设投资23559.48万元，占项目总投资的79.39%；建设期利息265.41万元，占项目总投资的0.89%；流动资金5851.35万元，占项目总投资的19.72%。项目正常运营每年营业收入62300.00万元，综合总成本费用54380.27万元，净利润5753.55万元，财务内部收益率10.99%，财务净现值-15.22万元，全部投资回收期7.10年。本期项目具有较强的财

3、务盈利能力，其财务净现值良好，投资回收期合理。项目建设符合国家产业政策，具有前瞻性；项目产品技术及工艺成熟，达到大批量生产的条件，且项目产品性能优越，是推广型产品；项目产品采用了目前国内最先进的工艺技术方案；项目设施对环境的影响经评价分析是可行的；根据项目财务评价分析，经济效益好，在财务方面是充分可行的。本期项目是基于公开的产业信息、市场分析、技术方案等信息，并依托行业分析模型而进行的模板化设计，其数据参数符合行业基本情况。本报告仅作为投资参考或作为学习参考模板用途。目录第一章 建设单位基本情况9一、 公司基本信息9二、 公司简介9三、 公司竞争优势10四、 公司主要财务数据12公司合并资产负

4、债表主要数据12公司合并利润表主要数据13五、 核心人员介绍13六、 经营宗旨15七、 公司发展规划15第二章 背景、必要性分析17一、 大陆晶圆代工厂成熟制程快速扩建，国产光刻胶企业迎来重大机遇17二、 光致产酸剂（Photo-AcidGenerator，PAG）18三、 深入实施市场主体培育工程19四、 打造比肩沿海地区的一流营商环境19五、 项目实施的必要性20第三章 项目总论21一、 项目名称及投资人21二、 编制原则21三、 编制依据22四、 编制范围及内容22五、 项目建设背景23六、 结论分析24主要经济指标一览表26第四章 市场预测28一、 负性光刻胶最传统的光刻胶28二、 半

5、导体工业发展的基石光刻技术29第五章 选址可行性分析32一、 项目选址原则32二、 建设区基本情况32三、 切实加快高标准市场体系建设35四、 项目选址综合评价35第六章 建筑技术分析36一、 项目工程设计总体要求36二、 建设方案36三、 建筑工程建设指标36建筑工程投资一览表37第七章 产品方案39一、 建设规模及主要建设内容39二、 产品规划方案及生产纲领39产品规划方案一览表40第八章 SWOT分析说明41一、 优势分析（S）41二、 劣势分析（W）43三、 机会分析（O）43四、 威胁分析（T）44第九章 发展规划分析48一、 公司发展规划48二、 保障措施49第十章 法人治理51一

6、、 股东权利及义务51二、 董事56三、 高级管理人员59四、 监事62第十一章 原材料及成品管理64一、 项目建设期原辅材料供应情况64二、 项目运营期原辅材料供应及质量管理64第十二章 项目环保分析66一、 编制依据66二、 环境影响合理性分析66三、 建设期大气环境影响分析68四、 建设期水环境影响分析70五、 建设期固体废弃物环境影响分析71六、 建设期声环境影响分析71七、 建设期生态环境影响分析72八、 清洁生产73九、 环境管理分析75十、 环境影响结论76十一、 环境影响建议77第十三章 组织机构及人力资源配置78一、 人力资源配置78劳动定员一览表78二、 员工技能培训78第

7、十四章 投资估算81一、 编制说明81二、 建设投资81建筑工程投资一览表82主要设备购置一览表83建设投资估算表84三、 建设期利息85建设期利息估算表85固定资产投资估算表86四、 流动资金87流动资金估算表88五、 项目总投资89总投资及构成一览表89六、 资金筹措与投资计划90项目投资计划与资金筹措一览表90第十五章 项目经济效益评价92一、 基本假设及基础参数选取92二、 经济评价财务测算92营业收入、税金及附加和增值税估算表92综合总成本费用估算表94利润及利润分配表96三、 项目盈利能力分析96项目投资现金流量表98四、 财务生存能力分析99五、 偿债能力分析100借款还本付息计

8、划表101六、 经济评价结论101第十六章 风险评估103一、 项目风险分析103二、 项目风险对策105第十七章 招标及投资方案108一、 项目招标依据108二、 项目招标范围108三、 招标要求108四、 招标组织方式109五、 招标信息发布109第十八章 项目综合评价说明110第十九章 补充表格112建设投资估算表112建设期利息估算表112固定资产投资估算表113流动资金估算表114总投资及构成一览表115项目投资计划与资金筹措一览表116营业收入、税金及附加和增值税估算表117综合总成本费用估算表118固定资产折旧费估算表119无形资产和其他资产摊销估算表120利润及利润分配表120

9、项目投资现金流量表121第一章 建设单位基本情况一、 公司基本信息1、公司名称：xxx集团有限公司2、法定代表人：贾xx3、注册资本：1240万元4、统一社会信用代码：xxxxxxxxxxxxx5、登记机关：xxx市场监督管理局6、成立日期：2014-2-247、营业期限：2014-2-24至无固定期限8、注册地址：xx市xx区xx9、经营范围：从事光刻胶相关业务（企业依法自主选择经营项目，开展经营活动；依法须经批准的项目，经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动；不得从事本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。）二、 公司简介公司注重发挥员工民主管理、民主参与、民主监督的作用，建立了工会组织

10、，并通过明确职工代表大会各项职权、组织制度、工作制度，进一步规范厂务公开的内容、程序、形式，企业民主管理水平进一步提升。围绕公司战略和高质量发展，以提高全员思想政治素质、业务素质和履职能力为核心，坚持战略导向、问题导向和需求导向，持续深化教育培训改革，精准实施培训，努力实现员工成长与公司发展的良性互动。公司将依法合规作为新形势下实现高质量发展的基本保障，坚持合规是底线、合规高于经济利益的理念，确立了合规管理的战略定位，进一步明确了全面合规管理责任。公司不断强化重大决策、重大事项的合规论证审查，加强合规风险防控，确保依法管理、合规经营。严格贯彻落实国家法律法规和政府监管要求，重点领域合规管理不断

11、强化，各部门分工负责、齐抓共管、协同联动的大合规管理格局逐步建立，广大员工合规意识普遍增强，合规文化氛围更加浓厚。三、 公司竞争优势（一）工艺技术优势公司一直注重技术进步和工艺创新，通过引入国际先进的设备，不断加大自主技术研发和工艺改进力度，形成较强的工艺技术优势。公司根据客户受托产品的品种和特点，制定相应的工艺技术参数，以满足客户需求，已经积累了丰富的工艺技术。经过多年的技术改造和工艺研发，公司已经建立了丰富完整的产品生产线，配备了行业先进的设备，形成了门类齐全、品种丰富的工艺，可为客户提供一体化综合服务。（二）节能环保和清洁生产优势公司围绕清洁生产、绿色环保的生产理念，依托科技创新，注重从

12、产品结构和工艺技术的优化来减少三废排放，实现污染的源头和过程控制，通过引进智能化设备和采用自动化管理系统保障清洁生产，提高三废末端治理水平，保障环境绩效。经过持续加大环保投入，公司已在节能减排和清洁生产方面形成了较为明显的竞争优势。（三）智能生产优势近年来，公司着重打造 “智慧工厂”，通过建立生产信息化管理系统和自动输送系统，将企业的决策管理层、生产执行层和设备运作层进行有机整合，搭建完整的现代化生产平台，智能系统的建设有利于公司的订单管理和工艺流程的优化，在确保满足客户的各类功能性需求的同时缩短了产品交付期，提高了公司的竞争力，增强了对客户的服务能力。（四）区位优势公司地处产业集聚区，在集中

13、供气、供电、供热、供水以及废水集中处理方面积累了丰富的经验，能源配套优势明显。产业集群效应和配套资源优势使公司在市场拓展、技术创新以及环保治理等方面具有独特的竞争优势。（五）经营管理优势公司拥有一支敬业务实的经营管理团队，主要高级管理人员长期专注于印染行业，对行业具有深刻的洞察和理解，对行业的发展动态有着较为准确的把握，对产品趋势具有良好的市场前瞻能力。公司通过自主培养和外部引进等方式，建立了一支团结进取的核心管理团队，形成了稳定高效的核心管理架构。公司管理团队对公司的品牌建设、营销网络管理、人才管理等均有深入的理解，能够及时根据客户需求和市场变化对公司战略和业务进行调整，为公司稳健、快速发展

14、提供了有力保障。四、 公司主要财务数据公司合并资产负债表主要数据项目2020年12月2019年12月2018年12月资产总额10808.338646.668106.25负债总额5139.864111.893854.89股东权益合计5668.474534.784251.35公司合并利润表主要数据项目2020年度2019年度2018年度营业收入46328.5637062.8534746.42营业利润7467.405973.925600.55利润总额6507.365205.894880.52净利润4880.523806.813513.97归属于母公司所有者的净利润4880.523806.813513

15、.97五、 核心人员介绍1、贾xx，中国国籍，1976年出生，本科学历。2003年5月至2011年9月任xxx有限责任公司执行董事、总经理；2003年11月至2011年3月任xxx有限责任公司执行董事、总经理；2004年4月至2011年9月任xxx有限责任公司执行董事、总经理。2018年3月起至今任公司董事长、总经理。2、石xx，1974年出生，研究生学历。2002年6月至2006年8月就职于xxx有限责任公司；2006年8月至2011年3月，任xxx有限责任公司销售部副经理。2011年3月至今历任公司监事、销售部副部长、部长；2019年8月至今任公司监事会主席。3、薛xx，中国国籍，无永久境

16、外居留权，1961年出生，本科学历，高级工程师。2002年11月至今任xxx总经理。2017年8月至今任公司独立董事。4、曾xx，中国国籍，无永久境外居留权，1959年出生，大专学历，高级工程师职称。2003年2月至2004年7月在xxx股份有限公司兼任技术顾问；2004年8月至2011年3月任xxx有限责任公司总工程师。2018年3月至今任公司董事、副总经理、总工程师。5、韦xx，中国国籍，1978年出生，本科学历，中国注册会计师。2015年9月至今任xxx有限公司董事、2015年9月至今任xxx有限公司董事。2019年1月至今任公司独立董事。6、付xx，中国国籍，无永久境外居留权，1970

17、年出生，硕士研究生学历。2012年4月至今任xxx有限公司监事。2018年8月至今任公司独立董事。7、邵xx，1957年出生，大专学历。1994年5月至2002年6月就职于xxx有限公司；2002年6月至2011年4月任xxx有限责任公司董事。2018年3月至今任公司董事。8、闫xx，中国国籍，无永久境外居留权，1958年出生，本科学历，高级经济师职称。1994年6月至2002年6月任xxx有限公司董事长；2002年6月至2011年4月任xxx有限责任公司董事长；2016年11月至今任xxx有限公司董事、经理；2019年3月至今任公司董事。六、 经营宗旨根据国家法律、行政法规的规定，依照诚实信

18、用、勤勉尽责的原则，以专业经营的方式管理和经营公司资产，为全体股东创造满意的投资回报。七、 公司发展规划（一）战略目标与发展规划公司致力于为多产业的多领域客户提供高质量产品、技术服务与整体解决方案，为成为百亿级产业领军企业而努力奋斗。（二）措施及实施效果公司立足于本行业，以先进的技术和高品质的产品满足产品日益提升的质量标准和技术进步要求，为国内外生产商率先提供多种产品，为提升转换率和品质保证以及成本降低持续做出贡献，同时通过与产业链优质客户紧密合作，为公司带来稳定的业务增长和持续的收益。公司通过产品和商业模式的不断创新以及与产业链企业深度融合，建立创新引领、合作共赢的模式，再造行业新格局。（三

19、）未来规划采取的措施公司始终秉持提供性价比最优的产品和技术服务的理念，充分发挥公司在技术以及膜工艺技术的扎实基础及创新能力，为成为百亿级产业领军企业而努力奋斗。在近期的三至五年，公司聚焦于产业的研发、智能制造和销售，在消费升级带来的产业结构调整所需的领域积极布局。致力于为多产业的多领域客户提供中高端技术服务与整体解决方案。在未来的五至十年，以蓬勃发展的中国市场为核心，利用中国“一带一路”发展机遇，利用独立创新、联合开发、并购和收购等多种方法，掌握国际领先的技术，使得公司真正成为国际领先的创新型企业。第二章 背景、必要性分析一、 大陆晶圆代工厂成熟制程快速扩建，国产光刻胶企业迎来重大机遇半导体工

20、业沿摩尔定律向前发展，光刻技术是基石。摩尔定律的延续离不开光刻技术的进步，目前全球最为顶尖且实现量产的光刻工艺为台积电的5nm制程工艺（2020年），3nm制程工艺预计将于2022年正式投产。而大陆方面，最为领先的晶圆代工企业中芯国际已于2021年实现7nm制程工艺的突破，但仍与世界顶尖水平存在着约2代技术的差距，对应的技术研发周期约为3-4年。半导体光刻胶为晶圆制造核心材料，大陆产品仍存较大技术差距。在所有的晶圆制造材料中，半导体光刻胶凭借其复杂且精准的成分组成要求而具有最高的价值含量。半导体光刻胶产品由低端到高端可分为g线、i线、KrF、ArF和EUV光刻胶，最高端的EUV光刻胶基本被日本

21、和美国企业所垄断。大陆方面目前仅实现了KrF光刻胶的量产，ArF光刻胶产品仍处于下游客户验证阶段并未形成实际性的量产产能，而最高端的EUV光刻胶的技术储备近乎空白。行业政策与“大基金”加持，助力光刻胶突破“卡脖子”技术壁垒。“十四五”规划提出了“强化国家战略科技力量”的方针，重点强调要从“卡脖子”问题清单和国家重大需求中找出科学问题。集成电路的产业发展一直是我国的“卡脖子”问题之一，其中半导体光刻胶等产品领域存在有明显的“受制于人”的问题，而突破这些“卡脖子”技术壁垒必将成为践行“强化国家战略科技力量”这一宏观战略的重点之一。自2014年6月国务院发布国家集成电路产业发展推进纲要以来，国家不断

22、地通过政策、科研专项基金、产业基金等多种形式为国内光刻胶企业的发展提供支持。大陆晶圆代工产能增速全球第一，聚焦成熟制程利好国产化推进。根据SIA和BCG预测，2021-2030年期间中国大陆的晶圆代工产能增速在全球范围内将排名第一。伴随着大陆晶圆代工产能的快速扩张，特别是28nm及以上成熟制程晶圆代工产能快速扩张，大陆市场对于光刻胶等半导体材料的需求将与日俱增。而中美贸易摩擦对于半导体材料的限制或禁运，将加快国内已实现量产突破的产品向国内晶圆代工厂商的导入进度。同时，半导体光刻胶企业在获得持续订单后有望形成正反馈循环，依靠可持续性的资金流入，推动现有半导体光刻胶产品的产能扩增及新一代半导体光刻

23、胶产品的研发。二、 光致产酸剂（Photo-AcidGenerator，PAG）化学放大的效果主要由PAG带来，PAG经过光照后可产酸，催化分子链反应，增强曝光部分和未曝光部分的溶解性差异。根据不同的化学结构PAG可分为鎓盐类、二甲酰亚胺N-磺酰基类、安息香磺酰酸类、硝基苯磺酸类、砜类、肟酯类、三嗪类等。在选择PAG时，要考虑其产酸效率、酸扩散速率、耐热性、透明性、溶解性、酸性强弱、分解挥发产物等因素。三苯基六氟锑酸盐（TPS-SbF6）是首例用于化学放大型光刻胶的PAG，然而由于其含有金属离子容易对电子设备造成污染，所以逐渐被磺酸盐类取代。目前，KrF和ArF光刻胶中多用鎓盐来作为PAG，例

24、如三芳基硫鎓盐和二芳基碘鎓盐。鎓盐由阳离子和阴离子组成，因此可以通过设计阴阳离子的结构达到改善PAG性能的目的，特别是PAG的阴离子结构对光刻胶的分辨率、灵敏度和线边粗糙度等关键指标有重要影响。三、 深入实施市场主体培育工程实施深化国资国企改革行动，推进国有经济布局优化和结构调整，加快国有企业战略性重组和专业化整合，积极稳妥推进国有企业混合所有制改革，加快完善现代企业制度，支持国有企业做优做强做大，健全管资本为主的国有资产监管体制。大力支持非公有制经济高质量发展，健全支持小微企业和个体工商户发展的长效机制，落实好减税降费、减租降息、稳企稳岗等政策措施。支持企业家以恒心办恒业，弘扬企业家精神，锻

25、造企业家和职业经理人队伍。四、 打造比肩沿海地区的一流营商环境进一步厘清政府和市场、政府和社会的关系，全面实行政府权责清单制度，提高政府效能。健全亲清政商关系的政策体系，大力推行“四到”“四零”服务。实施深化“放管服”改革行动，探索以承诺制为核心的极简审批，健全“证照分离”制度，强化事中事后监管，全面落实“双随机、一公开”制度，全面推行“一件事一次办”，实现政务服务一网通办、全域通办、就近可办。深化“互联网+监管”，强化市场综合监管，对新产业新业态实行包容审慎监管。深化事业单位分类改革，深化行业协会、商会和中介机构改革。开展营商环境评价和绩效考核。五、 项目实施的必要性（一）提升公司核心竞争力

26、项目的投资，引入资金的到位将改善公司的资产负债结构，补充流动资金将提高公司应对短期流动性压力的能力，降低公司财务费用水平，提升公司盈利能力，促进公司的进一步发展。同时资金补充流动资金将为公司未来成为国际领先的产业服务商发展战略提供坚实支持，提高公司核心竞争力。第三章 项目总论一、 项目名称及投资人（一）项目名称衡阳光刻胶项目（二）项目投资人xxx集团有限公司（三）建设地点本期项目选址位于xx（以选址意见书为准）。二、 编制原则1、严格遵守国家和地方的有关政策、法规，认真执行国家、行业和地方的有关规范、标准规定；2、选择成熟、可靠、略带前瞻性的工艺技术路线，提高项目的竞争力和市场适应性；3、设备

27、的布置根据现场实际情况，合理用地；4、严格执行“三同时”原则，积极推进“安全文明清洁”生产工艺，做到环境保护、劳动安全卫生、消防设施和工程建设同步规划、同步实施、同步运行，注意可持续发展要求，具有可操作弹性；5、形成以人为本、美观的生产环境，体现企业文化和企业形象；6、满足项目业主对项目功能、盈利性等投资方面的要求；7、充分估计工程各类风险，采取规避措施，满足工程可靠性要求。三、 编制依据1、国民经济和社会发展第十三个五年计划纲要；2、投资项目可行性研究指南；3、相关财务制度、会计制度；4、投资项目可行性研究指南；5、可行性研究开始前已经形成的工作成果及文件；6、根据项目需要进行调查和收集的设

28、计基础资料；7、可行性研究与项目评价；8、建设项目经济评价方法与参数；9、项目建设单位提供的有关本项目的各种技术资料、项目方案及基础材料。四、 编制范围及内容根据项目的特点，报告的研究范围主要包括：1、项目单位及项目概况；2、产业规划及产业政策；3、资源综合利用条件；4、建设用地与厂址方案；5、环境和生态影响分析；6、投资方案分析；7、经济效益和社会效益分析。通过对以上内容的研究，力求提供较准确的资料和数据，对该项目是否可行做出客观、科学的结论，作为投资决策的依据。五、 项目建设背景在整个芯片制造过程中可能需要进行数十次的光刻，光刻工艺的成本约为整个芯片制造工艺的30%，耗时约占整个芯片生产环

29、节的40%-50%。光刻工艺的精密度决定了集成电路的关键尺寸，奠定了器件微缩的基础，即得到更短的沟道长度和实现更低的工作电压。到二三五年，基本建成区域性枢纽经济中心、先进制造业中心、科技创新中心、教育医疗中心、文旅康养中心，努力在全省率先基本实现社会主义现代化。经济高质量迈上新的大台阶，人均地区生产总值力争达到中等发达国家水平，基本实现新型工业化、信息化、城镇化、农业现代化，建成现代化经济体系，科技创新能力达到新水平，对外开放形成新格局。基本实现治理体系和治理能力现代化，初步建成整体智治体系和现代政府，人民平等参与、平等发展权利得到充分保障，基本建成法治政府、法治社会。国民素质和社会文明程度达

30、到新高度，文化软实力、影响力显著增强，社会主义精神文明和物质文明全面协调发展。基本实现人与自然和谐共生的现代化，绿色生产生活方式广泛形成，资源能源集约利用，生态环境根本好转，天蓝、水清、森林环绕的城市生态基本建成。基本公共服务实现均等化，平安衡阳建设达到更高水平，人民生活更加美好，人的全面发展、全体人民共同富裕取得更为明显的实质性进展。六、 结论分析（一）项目选址本期项目选址位于xx（以选址意见书为准），占地面积约71.00亩。（二）建设规模与产品方案项目正常运营后，可形成年产xxx吨光刻胶的生产能力。（三）项目实施进度本期项目建设期限规划12个月。（四）投资估算本期项目总投资包括建设投资、建

31、设期利息和流动资金。根据谨慎财务估算，项目总投资29676.24万元，其中：建设投资23559.48万元，占项目总投资的79.39%；建设期利息265.41万元，占项目总投资的0.89%；流动资金5851.35万元，占项目总投资的19.72%。（五）资金筹措项目总投资29676.24万元，根据资金筹措方案，xxx集团有限公司计划自筹资金（资本金）18843.23万元。根据谨慎财务测算，本期工程项目申请银行借款总额10833.01万元。（六）经济评价1、项目达产年预期营业收入（SP）：62300.00万元。2、年综合总成本费用（TC）：54380.27万元。3、项目达产年净利润（NP）：5753

32、.55万元。4、财务内部收益率（FIRR）：10.99%。5、全部投资回收期（Pt）：7.10年（含建设期12个月）。6、达产年盈亏平衡点（BEP）：32175.65万元（产值）。（七）社会效益本期项目技术上可行、经济上合理，投资方向正确，资本结构合理，技术方案设计优良。本期项目的投资建设和实施无论是经济效益、社会效益等方面都是积极可行的。本项目实施后，可满足国内市场需求，增加国家及地方财政收入，带动产业升级发展，为社会提供更多的就业机会。另外，由于本项目环保治理手段完善，不会对周边环境产生不利影响。因此，本项目建设具有良好的社会效益。（八）主要经济技术指标主要经济指标一览表序号项目单位指标备

33、注1占地面积47333.00约71.00亩1.1总建筑面积76432.931.2基底面积26506.481.3投资强度万元/亩317.942总投资万元29676.242.1建设投资万元23559.482.1.1工程费用万元20596.482.1.2其他费用万元2442.072.1.3预备费万元520.932.2建设期利息万元265.412.3流动资金万元5851.353资金筹措万元29676.243.1自筹资金万元18843.233.2银行贷款万元10833.014营业收入万元62300.00正常运营年份5总成本费用万元54380.276利润总额万元7671.407净利润万元5753.558所

34、得税万元1917.859增值税万元2069.4910税金及附加万元248.3311纳税总额万元4235.6712工业增加值万元15118.5413盈亏平衡点万元32175.65产值14回收期年7.1015内部收益率10.99%所得税后16财务净现值万元-15.22所得税后第四章 市场预测一、 负性光刻胶最传统的光刻胶光刻胶在经过曝光后，被曝光区域变得可溶于显影剂的为正性光刻胶，反之被曝光区域变得不溶于显影剂的则被称为负性光刻胶。早期的光刻胶材料，如犹太沥青、重铬明胶及其他重铬酸盐胶，都是负性光刻胶。在早期的接触式光刻时代，负性光刻胶因其较高的化学稳定性和较好的成像能力，广泛应用于集成电路板和微

35、电子器件的制造领域。最早的用于电子工业上的光刻胶是由Eastman-Kodak公司于1954年生产出来的聚乙烯醇肉桂酸酯系负性光刻胶，而负性光刻胶中应用最为广泛的则是环化橡胶-双叠氮系负性光刻胶。环化橡胶-双叠氮系负性光刻胶由Kodak公司于1958年研发成功，其感光范围为280460nm。该类光刻胶在硅片上具有良好的粘附性，同时具有感光速度快、感光范围宽、抗湿法刻蚀能力强等优点。该类光刻胶以环化橡胶为成膜树脂，以芳香族双叠氮化合物作为交联剂，在紫外光照射下，交联剂发生光化学反应产生自由基使得不同成膜聚合物分子间发生交联，从而变为具有不溶性的聚合物，展现出负性光刻胶的特质。虽然称负性光刻胶的曝

36、光区具有“不溶性”、非曝光区具有“可溶性”，但是实际上通过曝光引起的化学交联作用不足以完全抑制曝光区光刻胶与溶剂之间的相互作用，曝光区光刻胶在显影过程中会发生溶胀现象。由于溶胀现象的产生，导致光刻胶对于衬底的附着力降低，同时也会使得曝光区光刻胶的图案变形。在微米级别的光刻工艺中，溶胀现象所导致的图案变形问题可以通过选择合适的显影液或其他手段来进行控制，对于整体微观图案的尺寸影响程度不大。然而随着光刻工艺分辨率需求的不断提升，特征尺寸在不断缩小，负性光刻胶的溶胀问题的负面影响更加凸显，导致其难以应用于分辨率在2m以下的光刻工艺中。二、 半导体工业发展的基石光刻技术1904年英国物理学家弗莱明发明

37、了二级检波管（弗莱明管），1907年美国发明家弗雷斯特发明了第一只真空三极管，而世界上第一台通用电子计算机ENIAC则于1946年由约翰冯诺依曼等人在美国发明完成。ENIAC由17,468个电子管和7,200根晶体二极管构成，重量高达30英吨，占地达170平方米。1947年12月，美国贝尔实验室正式成功演示了第一个基于锗半导体的具有放大功能的点接触式晶体管，并于1954年开发出了第一台晶体管化计算机TRADIC。TRADIC由700个晶体管和10,000个锗二极管构成。 现如今已经来到21世纪20年代，在ENIAC和TRADIC发布大半个世纪后，华为公司于2020年10月22日发布了截至当时全

38、球最为先进的芯片产品之一基于5nm工艺制程的手机SoC芯片麒麟9000。麒麟9000集成了多达15,300,000,000个晶体管，将手机所需的CPU、GPU、NPU、ISP、安全系统和5G通信基带等计算单元都集成于一体。与ENIAC和TRADIC相比，麒麟9000的电子元器件数量增加了约100万倍，但整体的器件体积和质量却有了极大程度的缩小，搭载有麒麟9000芯片的华为Mate40Pro手机的重量仅为212克。从ENIAC和TRADIC到麒麟9000，这反映了全球科技的高速发展，而更确切地说这代表着全球半导体集成电路（IC）工艺的飞跃。19世纪50年代末，仙童（Fairchild）半导体公司

39、发明了基于掩膜版的曝光和刻蚀技术，极大地推动了半导体技术革命，该技术也一直沿用至今。1965年，时任仙童半导体公司研究开发实验室主任的戈登摩尔（GordonMoore）在电子学（Electronics）上发表了题为让集成电路填满更多的元件（CrammingMoreComponentsOntoIntergratedCircuits）的文章，并首次提出了被后世奉为“计算机第一定律”的经验性规律摩尔定律：当价格不变时，集成电路上可以容纳的元器件的数目，每隔18-24个月便会增加一倍，性能也将提升一倍。在过去的数十年间，整个半导体工业都始终遵循着摩尔定律向前不断发展。基于现有的晶圆制造工艺规划情况，摩

40、尔定律在未来至少5-10年内仍将保持着“生命力”。半导体工业能够沿着摩尔定律向前发展离不开光刻工艺的不断进步，在光刻领域，对于摩尔定律其实还存在另外一种解读：每18-24个月，利用光刻工艺在集成电路板上所能形成的最小图案的特征尺寸将缩小30%。光刻工艺是半导体制造中通过化学或物理方法进行图案转移的技术。现代光刻工艺通过光学成像系统将掩膜版上的电路设计图样，使用特定波长的光投影到涂覆有光刻胶的硅片上，使其感光并发生化学性质及溶解性的转变，而后再通过显影、刻蚀、去胶等步骤将原掩膜版上的图案信息转移到带有电介质或者金属层的硅片上。在整个芯片制造过程中可能需要进行数十次的光刻，光刻工艺的成本约为整个芯

41、片制造工艺的30%，耗时约占整个芯片生产环节的40%-50%。光刻工艺的精密度决定了集成电路的关键尺寸，奠定了器件微缩的基础，即得到更短的沟道长度和实现更低的工作电压。第五章 选址可行性分析一、 项目选址原则1、符合城乡建设总体规划，应符合当地工业项目占地使用规划的要求，并与大气污染防治、水资源和自然生态保护相一致。2、项目选址应避开自然保护区、风景名胜区、生活饮用水源地和其它特别需要保护的敏感性目标。3、节约土地资源，充分利用空闲地、非耕地或荒地，尽可能不占良田或少占耕地。4、项目选址选择应提供足够的场地以满足工艺及辅助生产设施的建设需要。5、项目选址应具备良好的生产基础条件，水源、电力、运

42、输等生产要素供应充裕，能源供应有可靠的保障。6、项目选址应靠近交通主干道，具备便利的交通条件，有利于原料和产成品的运输。通讯便捷，有利于及时反馈市场信息。7、地势平缓，便于排除雨水和生产、生活废水。8、应与居民区及环境污染敏感点有足够的防护距离。二、 建设区基本情况衡阳，湖南省辖地级市，位于中国南部，湖南省中南部，是长江中游城市群重要成员，湖南省域副中心城市，湘南地区的政治、经济、军事、文化中心。衡阳城区横跨湘江，是湖南省以及中南地区重要的交通枢纽之一，多条重要公路、铁路干线在此交会。衡阳处于中南地区凹形面轴带部分，构成典型的盆地形势，属亚热带季风气候。衡阳市下辖5区5县，代管2县级市，总面积

43、15310平方公里。根据第七次人口普查数据，衡阳市常住人口为664.5243万人。衡阳是中南地区重要的工业城市，是“中国制造2025”试点示范城市群城市之一，拥有湖南第一家综合保税区和国家级高新区，被定位为国家承接产业转移示范区以及全国加工贸易重点承接地。衡阳也是国家服务业综合配套改革试点城市、国家生态文明先行示范区，国家园林城市，中国“中国抗战纪念城”。衡阳拥有南华大学、衡阳师范学院、湖南工学院等15所高校。衡阳被评为2018中国大陆最佳商业城市100强。2020年10月，被评为全国双拥模范城（县）。2021年1月14日，衡阳被正式命名为20182020周期国家卫生城市。“十三五”时期是我市

44、发展极不平凡、极为重要的五年。面对错综复杂的国际形势、艰巨繁重的改革发展稳定任务，特别是面对新冠肺炎疫情严重冲击，市委团结带领全市人民，坚持一张好的蓝图干到底，大力实施“一体两翼”发展战略，扎实推动中国特色社会主义在衡阳生动实践。经济实力迈上新台阶，主要经济指标增速稳居全省第一方阵，预计2020年全市地区生产总值突破3500亿元，经济高质量发展特征逐步显现。产业发展实现新突破，8大产业基地加快建设，优势产业链持续发展壮大，稳增长的底气越发充盈。改革创新激发新活力，供给侧结构性改革取得重大战略成果，国家创新型城市建设扎实推进，创新驱动发展成效明显，数字经济来势喜人。对外开放拓展新局面，被明确为省

45、域副中心城市，获批国家大城市、湘南地区中心城市、湘南湘西承接产业转移示范区、陆港型国家物流枢纽承载城市等金字招牌，开放平台集聚引领作用强劲，中欧班列正式开行，外经外贸持续活跃。三大攻坚战取得新成就，易地扶贫搬迁实现应搬尽搬，贫困县、贫困村全部脱贫摘帽，农村贫困人口全部脱贫；一体推进治山、治水、治气、治城，最美地级市初步呈现；风险防控有力有效。社会民生得到新改善，义务教育超大班额彻底清零，居民收入较快增长，社会保障体系更加健全，新冠肺炎疫情防控取得重大战略成果。成功举办湖南省第十三届运动会和第十届残疾人运动会。治理体系和治理能力现代化实现新提升，全面从严治党成效显著，民主法治建设有力推进，宣传思

46、想文化工作不断加强，国防动员和后备力量建设水平明显提升，社会大局和谐稳定。经过五年努力，“十三五”规划目标任务即将完成，全面建成小康社会胜利在望，全市经济社会发展取得了全方位历史性成就、发生了深层次结构性转变，为开启全面建设社会主义现代化新征程奠定了坚实基础。三、 切实加快高标准市场体系建设加快产权制度改革，健全产权执法司法保护制度，全面依法平等保护各种所有制经济产权和合法权益。实施深化要素市场化配置改革行动，促进土地、劳动力、资本、技术、数据等要素自主有序流动，加快建立健全要素价格市场化形成机制。加快盘活闲置低效土地，深化“亩均论英雄”改革，创新工业用地供地制度。全面实施市场准入负面清单制度，改革生产许可制度，落实公平竞争审查制度，推动“非禁即入”普遍落实。加快社会信用体系建设，健全守信联合激励和失信联合惩戒机制，争创全国社会信用体系建